JPH0636191U - イオン源の熱フイラメント - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 脱着作業を簡単にし、イオン源を用いた装置
の生産性を向上する。 【構成】 両端部２をほぼＵ字状に折曲し、両端部２に
取付ねじの軸部の挿通部５及び取付ねじの頭部の当接部
７を形成し、少なくとも一方の端部２のＵ字状の開口部
８を，両端部２を結ぶ線に対し直角の方向に向ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、比較的大電流を必要とする電子衝撃型イオン源に用いる熱フイラメ ントに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来のこの種熱フイラメントは、図５に示すように、フイラメント１の両端部 ２をほぼＵ字状に折曲し、図６に示す取付ねじ３の軸部４の挿通部５，及び取付 ねじ３の頭部６の当接部７を形成し、両端部２の開口部８を互いに向かい合う方 向に形成し、フイラメント１の中央部９には、フイラメント１を流れる電流によ る磁場を打ち消すよう、平行部分が形成されている。 なお、フイラメント１の材料はＷ，Ｔａ等の高融点材料を用い、太さはφ０． ５〜２．０mmである。

【０００３】 そして、図６に示すように、フイラメント１の両端部２の挿通部５に取付ねじ ３の軸部４を挿通し、２個の電流導入端子１０の取付孔にそれぞれ取付ねじ３を 締付け、取付ねじ３の頭部６を当接部７に押当て、両電流導入端子１０が電流を フイラメント１に流してフイラメント１を加熱し、フイラメント１から熱電子を 放出させている。

【０００４】 そして、フイラメント１の取外し時は、少なくとも一方の取付ねじ３を取外し 、他方の取付ねじ３を緩め、フイラメント１をずらして取外している。 なお、フイラメント１の両端部２をＵ字状に折曲してあるのは、電流導入端子 １０とフイラメント１の端部２との接触面積を十分に取るためである。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

従来の前記フイラメント１の場合、フイラメント１の取外しに際し、両取付ね じ３を緩めた後、少なくとも一方の取付ねじ３を取外さねばならず、また、取付 けに際しても、一方の取付ねじ３を電流導入端子１０から取外した状態で、その ねじ３を端部２の挿通部５に挿通し、電流導入端子１０の取付孔に締付けねばな らず、フイラメント１の脱着作業が煩雑であり、長時間を要する。

【０００６】 しかも、大型のイオン源では、プラズマの均一性やフイラメント電源等の制約 で複数個のフイラメント１が必要であり、各フイラメント１の脱着に長時間を要 することは、イオン源を用いた装置の長時間の休止となり、イオン源を用いた装 置の生産性が低下するという問題点がある。 本考案は、前記の点に留意し、脱着作業を簡単にし、イオン源を用いた装置の 生産性が向上するイオン源のフイラメントを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

前記課題を解決するために、本考案のイオン源のフイラメントは、両端部をほ ぼＵ字状に折曲し、両端部に取付ねじの軸部の挿通部及び取付ねじの頭部の当接 部を形成し、少なくとも一方の端部のＵ字状の開口部を，両端部を結ぶ線に対し 直角の方向に向けたものである。

【０００８】

【作用】

前記のように構成された本考案のイオン源のフイラメントは、少なくとも一方 の端部のＵ字状の開口部が、両端部を結ぶ線に対し直角方向に向いているため、 フイラメントの取外しに際しては、両取付ねじを緩め、一方の端部をその開口部 により取付ねじからずらして外し、他方の端部を外せばよく、また、取付けに際 しては、緩んだ状態の他方の取付ねじにフイラメントの他方の端部をその開口部 から挿通し、その後一方の端部を一方の取付ねじに挿通すればよく、フイラメン トの脱着に際し、両取付ねじを電流導入端子に取付けた状態で行うことができ、 その作業がきわめて簡単であり、短時間に行うことができ、イオン源を用いた装 置の休止時間が短く、生産性が向上する。 その上、両端部が従来と同様のＵ字状であり、電流導入端子と充分な接触面積 を保つことができる。

【０００９】

【実施例】

実施例について図１ないし図４を参照して説明する。それらの図において図５ 及び図６と同一符号は同一もしくは相当するものを示す。 まず、１実施例を示した図１及び図２において、図５及び図６と異なる点は、 フイラメント１の両端部２のＵ字状の開口部８が、両端部２を結ぶ線に対し直角 の方向に，同方向に向いている点である。 従って、図２に示すように、両電流導入端子１０にそれぞれ取付ねじ３が緩く 取付いた状態で、フイラメント１を取付け，取外すことができる。

【００１０】 つぎに、他の実施例を示した図３及び図４は、一方の端部２の開口部８は、図 １と同様、両端部２を結ぶ線に対し直角の方向に向いているが、他方の端部２は 、図５と同様、内方に向いている。 この場合も、図４に示すように、両電流導入端子１０にそれぞれ取付ねじ３が 取付いた状態で、フイラメント１の他方の端部２を先にはめ込み、他方の端部２ を軸として回転し、一方の端部２を取付ねじ３に挿込んで取付け、両取付ねじ３ を締付けて取付け、また、取外しは、その逆の操作により取外す。

【００１１】

【考案の効果】

本考案は、以上説明したように構成されているため、つぎに記載する効果を奏 する。 イオン源のフイラメントは、少なくとも一方の端部２のＵ字状の開口部８が、 両端部２を結ぶ線に対し直角方向に向いているため、フイラメントの取外しに際 しては、両取付ねじを緩め、一方の端部をその開口部８により取付ねじからずら して外し、その後他方の端部を外せばよく、また、取付けに際しては、緩んだ状 態の他方の取付ねじにフイラメントの他方の端部２をその開口部８から挿通し、 その後一方の端部２を一方の取付ねじに挿通すればよく、フイラメントの脱着に 際し、両取付ねじを電流導入端子に取付けた状態で行うことができ、その作業を きわめて簡単にし、短時間に行うことができ、イオン源を用いた装置の休止時間 を短くして生産性を向上することができ、かつ、両端部２が従来と同様のＵ字状 であり、電流導入端子と充分な接触面積を保つことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ａ，Ｂは本考案の１実施例の平面図，正面図で
ある。

【図２】図１の取付時の斜視図である。

【図３】Ａ，Ｂは本考案の他の実施例の平面図，正面図
である。

【図４】図３の取付時の斜視図である。

【図５】Ａ，Ｂは従来例の平面図，正面図である。

【図６】図５の取付時の斜視図である。

【符号の説明】

１ フイラメント ２ 端部 ３ 取付ねじ ４ 軸部 ５ 挿通部 ６ 頭部 ７ 当接部 ８ 開口部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 両端部をほぼＵ字状に折曲し、前記両端
   部に取付ねじの軸部の挿通部及び前記取付ねじの頭部の
   当接部を形成し、少なくとも一方の前記端部のＵ字状の
   開口部を，前記両端部を結ぶ線に対し直角の方向に向け
   たイオン源の熱フイラメント。