JPH0636312A - 光ディスク用光学ヘッドの焦点ずれ検出方式 - Google Patents

光ディスク用光学ヘッドの焦点ずれ検出方式

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JPH0636312A
JPH0636312A JP18968292A JP18968292A JPH0636312A JP H0636312 A JPH0636312 A JP H0636312A JP 18968292 A JP18968292 A JP 18968292A JP 18968292 A JP18968292 A JP 18968292A JP H0636312 A JPH0636312 A JP H0636312A
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JP
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light
detector
defocus
order light
optical
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JP18968292A
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Akihiro Hiruta
昭浩 蛭田
Makoto Horie
誠 堀江
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Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ヘッドの組立て調整を簡素化できる焦点ず
れ検出方式を提供する。 【構成】 ディスク記録媒体8からの反射光を0次光,
+1次光,−1次光ごとにディテクタ17a〜17cで
個別に受光し、その±1次光を受光する少なくとも1つ
のディテクタ17bは、その寸法を入射ビーム径よりも
小さく形成した焦点ずれ検出用として用いると共に、そ
の情報信号振幅が最大23のときの出力値又は半導体レ
ーザのモニタ出力のスクープ信号を検知したときの出力
値を記憶し、その記憶値を焦点ずれ検出用ディテクタの
出力値から減算することによりオフセットをキャンセル
し、その減算結果を焦点ずれ信号とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク用光学ヘッ
ドの焦点ずれ検出方式に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の光ディスク用光学ヘッドの焦点ず
れ検出方式を、図10ないし図11を用いて説明する。
【0003】半導体レーザ48から射出されたレーザビ
ームは、コリメートレンズ49で平行光となり、ビーム
整形プリズム50でビーム整形され、ビームスプリッタ
51を透過した後、コーナーミラー(又はガルバノミラ
ー)52で光路を変え、フォーカスレンズ53でディス
ク記録媒体たるディスク記録膜面54に光スポットとし
て絞り込まれる。
【0004】ディスク記録膜面54で反射したレーザビ
ームは、ビームスプリッタ51で反射し、コーナーミラ
ー55で光路を変え、凸レンズ56で集束光となる。こ
の集束光は偏光ビームスプリッタ57で透過ビームと反
射ビームに分離され、透過ビーム集束光は焦点後(又は
焦点前)の光検出器58aで受光され、反射ビーム集束
光は焦点前(又は焦点後)の光検出器58bで受光され
る。この場合、光検出器58aのディテクタ(受光素
子)は受光面a1〜a4に分割され、また光検出器58
bのディテクタは受光面b1〜b4に分割されている。
【0005】光スポットとして絞り込まれたレーザビー
ムがディスク記録膜面54に焦点を結ぶ時は、図11の
(1) に示すように両光検出器58a,58bに入射する
光束径は等しい。しかし、ディスク記録膜面54がフォ
ーカスレンズ53に近づく方向にずれると、同図の(2)
に示すように透過側光検出器58aの光束径は小さくな
り、反射側光検出器58bの光束径は大きくなる。逆
に、ディスク記録膜面54がフォーカスレンズ53から
遠ざかる方向にずれると、同図の(3) に示すように透過
側光検出器58aの光束径は大きくなり、反射側光検出
器58bの光束径は小さくなる。
【0006】以上より、焦点ずれの方向および焦点ずれ
量によって光検出器48a,48bの受光量が変化する
ので、焦点ずれを検出することができる。例えば、焦点
ずれ量は次の演算で求めることができる。
【0007】 焦点ずれ量=(a1+a2)−(b1+b2)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
焦点ずれ検出方式においては、ディスク記録媒体からの
反射ビームを受光するディテクタの受光面が複数に分割
されていた。このため、各分割された受光面に正しくレ
ーザビームが入射する(例えば各分割された受光素子の
受光量が等しくなる)ように調整しなければならない。
しかも、この分割受光面の大きさが微小(数10μm程
度)であるため、入射レーザビームの数μmのずれで受
光量が大きく変化してしまう。このため、調整が極めて
困難であり、調整に長い時間を費やしていた。
【0009】また、複数に受光面が分割されているた
め、最低2軸(上下、左右)の調整が必要であり、調整
の自動化も困難であった。更に、調整後に接着又はねじ
止めなどで固定しても、温度変化や経時変化などによっ
て微小にずれ易く、これらのずれ(調整ずれも含む)に
よって検出サーボ信号にオフセットを生じ、サーボ動作
が不安定になり、正確に情報信号を記録再生することが
できなくなることがあった。
【0010】本発明の目的は、上記従来技術の欠点を解
消し、光ヘッドの組立て調整を簡素化させることができ
る新規な光ディスク用光学ヘッドの焦点ずれ検出方式を
提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の焦点ずれ検出方式は、半導体レーザからの
レーザビームを回折格子による0次光,+1次光,−1
次光の光スポットとしてディスク記録媒体上に結合さ
せ、該ディスク記録媒体からの反射光を0次光,+1次
光,−1次光ごとにディテクタで個別に受光し、これら
のディテクタのうち±1次光を受光する少なくとも1つ
のディテクタはこれに入射するビーム径よりも小さい寸
法に形成して焦点ずれ検出用として用いるものである
(請求項1)。この前記焦点ずれ検出用ディテクタはそ
の信号検出系レンズの焦点位置よりも前方又は後方に設
置される(請求項2)。
【0012】本発明においては、半導体レーザを発光さ
せ、更に前記ディスク記録媒体を回転させ、フォーカシ
ングサーボ動作をOFFにした状態において、情報信号
振幅が最大となる点を検知し、情報信号振幅が最大のと
きにおける前記焦点ずれ検出用ディテクタの出力値を記
憶する回路を設け、その記憶値で前記焦点ずれ検出用デ
ィテクタのオフセットをキャンセルすることが好ましい
(請求項3)。このオフセットのキャンセルは、半導体
レーザを発光させ、更に前記ディスク記録媒体を回転さ
せ、フォーカシングサーボ動作をOFFにした状態にお
いて、前記半導体レーザのモニタ出力を検出し、スクー
プ信号を検知したときにおける前記焦点ずれ検出用ディ
テクタの出力値を記憶する回路を設け、その記憶値で前
記焦点ずれ検出用ディテクタのオフセットをキャンセル
しても良い(請求項4)。いずれの場合でも、前記キャ
ンセルは、前記焦点ずれ検出用ディテクタの出力値から
前記記憶値を減算し、その減算結果を焦点ずれ信号とす
ることで行うことができる(請求項5)。
【0013】
【作用】合焦点時(図2(1) )には凸レンズに入射する
光ビームは平行光であり、焦点ずれ検出用ディテクタの
寸法より光ビームの方が少し大きい。しかし、この位置
からのディスク記録膜面からずれた場合(図2(2)
(3))、このディテクタの受光量は、そのずれ方向及び
ずれ量に応じて増減する。従って、この事象に基づいて
合焦点位置の検出ができる。この場合、ディテクタは分
割されていないので、光ヘッドの組立て調整が簡素化さ
れる(請求項1,2)。
【0014】但し、ディスクずれゼロのとき(合焦点
時)、ディテクタに出力(オフセット)があるが、これ
は、情報信号振幅の包絡線(RF信号)を用いたオフセ
ットキャンセル方法、又は、半導体レーザのスクープ信
号を用いたオフセットキャンセル方法により除去できる
(請求項3〜5)。
【0015】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
【0016】第1実施例を示す図1において、1は光源
である半導体レーザで、この半導体レーザ1が出射した
レーザビームはコリメートレンズ2で平行光とされ、更
にビーム整形プリズム3で円形に成形される。その後、
回折格子4で複数(±1次光、0次光)のビームに回折
され、ビームスプリッタ5を透過した後、コーナーミラ
ー(又はガルバノミラー)6で光路を変え、フォーカス
レンズ7でディスク記録媒体たるディスク記録膜面8に
絞り込まれるようになっている。この時、回折格子4に
よって回折されているので、ディスク記録膜面8には、
0次光スポット9a,+1次光スポット9b,−1次光
スポット9cの3スポットが形成される。
【0017】ディスク記録膜面8で反射したそれぞれの
光スポットは往路の逆方向をたどり、ビームスプリッタ
5で反射され、コーナーミラー10で光路を変え、凸レ
ンズ11を経て収束光束となる。そして、偏光ビームス
プリッタ12でP偏光成分とS偏光成分に分離され、P
偏光成分は光検出器13aで受光され、S偏光成分は光
検出器13bで受光される。尚、光検出器13a,13
bは、信号検出系レンズたる凸レンズ11の焦点位置よ
りも前方に配設されている。
【0018】ここで、光検出器13aにはP偏光成分の
0次光ビーム14a,+1次光ビーム14b,−1次光
ビーム14cが入射する。そこで、図1に示すように、
光検出器13aには、P偏光成分の0次,+1次,−1
次の光ビームを受光するディテクタ15a,15b,1
5cが、+1次,0次,−1次の順序で配設してある。
これらのディテクタ15a,15b,15cは、全て光
ビーム14a,14b,14cより大きな寸法を有して
おり、各々全光量を受光できるようになっている。尚、
各ディテクタの受光面は分割されていない。
【0019】一方、光検出器13bには、S偏光成分の
0次光ビーム16a,+1次光ビーム16b,−1次光
ビーム16cが入射する。そこで光検出器13bにも、
S偏光成分の0次,+1次,−1次の光ビームを受光す
るディテクタ17a,17b,17cが、0次,+1
次,−1次の順序で配設してある。この各ディテクタの
受光面も分割されていない。但し、+1次光ビーム16
bを受光するディテクタ17bの寸法は、+1次光ビー
ム16bより小さくしてあり、焦点ずれ検出用ディテク
タとして使用される。他の0次,−1次の光ビームを受
光するディテクタ17a,17cについては、P偏光成
分の光検出器13aの場合と同じく、その寸法を0次光
ビーム16a,−1次光ビーム16cより大きくし、各
々全光量を受光できるようにしてある。
【0020】次に、図2を用いて、焦点ずれ検出の原理
を説明する。
【0021】先ずディスク記録膜面8に光スポット9
a,9b,9c(0次光,±1次光)がある合焦点時
(図2(1) )には、凸レンズ11に入射する光ビームは
平行光であり、凸レンズの焦点位置19より前に置いた
光検出器13bの焦点ずれ検出用ディテクタ17bの寸
法より、光ビーム16bは少し大きい。
【0022】一方、ディスク記録膜面8がフォーカスレ
ンズ7より遠ざかる方向にずれた場合(図2(2) )、凸
レンズ11に入射する光ビームは収束ぎみとなり、凸レ
ンズ11の焦点20は凸レンズ11に近付く方向にずれ
る。このため、焦点ずれ検出用ディテクタ17bに入射
する光ビーム16の光束は小さくなり、ディテクタ17
bにケラれ損失となる光が少なくなるので、合焦点時に
比べディテクタ17bの受光量は増加する。
【0023】これに対して、ディスク記録膜面8がフォ
ーカスレンズ7に近付く方向にずれた場合(図2(3)
)、凸レンズ11に入射する光ビームは発散ぎみとな
り、凸レンズ11の焦点21は凸レンズ11より遠ざか
る方向にずれる。このため、焦点ずれ検出用ディテクタ
17bに入射する光ビーム16の光束は大きくなるの
で、ディテクタ17bに入射しない光が増え、合焦点時
に比べディテクタ17bの受光量は減少する。このよう
に、ディスク記録膜面8のずれ方向によって、焦点ずれ
検出用ディテクタ17bの受光量が増減する。
【0024】図3に、ディスク記録膜面8のずれ方向
と、焦点ずれ検出用ディテクタ17bの受光量の変化を
示す。この信号では、ディスクずれゼロのとき(合焦点
時)にディテクタ17bの出力(オフセット)22があ
り、フォーカシングサーボ用に適用するには不適当であ
る。
【0025】そこで次に、このオフセット22をキャン
セルする方式について述べる。
【0026】図4は、情報信号振幅の包絡線(RF信
号)を用いたディテクタ17bのオフセット22のキャ
ンセル方法を示すブロック図である。即ち、半導体レー
ザを発光させ、更にディスク記録媒体を回転させ、フォ
ーカシングサーボ動作をOFFにした状態において、情
報信号振幅が最大となる点を検知し、情報信号振幅が最
大のとき、入射ビーム径より小さい寸法の焦点ずれ検出
用ディテクタ17bの出力値を記憶する回路を設け、焦
点ずれ検出用ディテクタ17bの出力値から前記記憶し
た値を減算することによってオフセットをキャンセル
し、所望の焦点ずれ信号を得るものである。
【0027】詳述するに、図5(1) に示すように、ディ
スク記録膜面8に光スポット9a(0次光)がある合焦
点時には、情報信号振幅が最大23になる。これに対し
て、ディスク記録膜面8より光スポット9aがずれる
と、情報信号振幅が減少し、焦点ずれが約5μm以上に
なると情報信号振幅はゼロ24になる。従って、情報信
号振幅の最大点23を求めることで、合焦点位置である
ことを知ることができる。
【0028】そこで、図4において、情報信号の直流成
分を回路25でカットし、ローパスフィルタ26を通し
てRF信号を得る。次に回路27で片側波(ここではマ
イナス側)をカットすると、図5(2) に示した波形とな
る。この波形で微分回路28で微分することにより、図
5(3) に示した波形が得られる。この微分波形のゼロク
ロス点29が合焦点位置を示す。この微分波形を比較回
路30で方形波31aに変換する(図5(3) )。
【0029】一方、焦点ずれ検出用ディテクタ17b出
力をサンプルホールド回路31に入力し、方形波パルス
の立ち下りで、ディテクタ17bの出力36をホールド
する。このホールド値は、方形波パルスの立ち下り、つ
まり合焦点時の値であり、図3のオフセット22に値す
る。
【0030】このホールド(オフセット)値22を、A
/D変換回路32でディジタル化して、メモリ33に記
憶しておく。そして、ディテクタ17b出力から、メモ
リ33の値をD/A変換回路34でアナログ値に変換し
た値(これはオフセット値22に相当する)を減算回路
35で演算することによって、オフセットのない、焦点
ずれ信号37(図6)を得ることができる。この信号を
用いて、フォーカシングサーボを実現することができ
る。
【0031】トラッキングサーボは、例えば公知のサン
プルサーボ方式を用いて行うことができる。これは、サ
ンプルピットにおけるディテクタ15aの出力と、焦点
ずれ検出用ディテクタ17aの出力の和の変化を、トラ
ッキングエラー信号とするものである。
【0032】なお、光検出器13a,13bを、凸レン
ズ焦点19の手前においているが、凸レンズ焦点19の
後においても良い。但し、この時は、ディスク記録膜面
8のずれ方向によるディテクタ17b上での光束の大き
さの変化は逆となるので、焦点ずれ信号は図6の極性と
反対になる。
【0033】図7は、半導体レーザ1のスクープ信号3
8を用いたディテクタ17bのオフセット22のキャン
セル方法を示すブロック図である。これは、半導体レー
ザを発光させ、更に前記ディスク記録媒体を回転させ、
フォーカシングサーボ動作をOFFにした状態におい
て、半導体レーザのモニタ出力を検出し、スクープ信号
を検知したとき、入射ビーム径より小さい寸法の焦点ず
れ検出用ディテクタ17bの出力値を記憶する回路を設
け、焦点ずれ検出用ディテクタ17bの出力値から前記
記憶した値を減算することによってオフセットをキャン
セルし、所望の焦点ずれ信号を得るものである。
【0034】詳述するに、合焦点時には、半導体レーザ
1にディスク記録膜面8の反射光が多く戻る。すると半
導体レーザ1の発振モード等が変化する。このため、半
導体レーザ1のモニタ出力には、スクープ信号38と呼
ばれるピークが現れる(図8)。よって、半導体レーザ
1のモニタ出力を監視し、スクープ信号38が現れたと
き、ディスク記録膜面8は合焦点位置であることが分
る。
【0035】そこで、半導体レーザ1のスクープ信号3
8を、比較回路40を用いて方形波パルス39(図9)
に変換する。一方、焦点ずれ検出用ディテクタ17bの
出力36をサンプルホールド回路41に入力し、方形波
パルス39の立ち下りでディテクタ17bの出力36を
ホールドする。このホールド値は、方形波パルス39の
立ち下り、つまり合焦点時の値であり、図3のオフセッ
ト22に値する。
【0036】このホールド(オフセット)値22を、A
/D変換回路42でディジタル化して、メモリ43に記
憶しておく。そして、ディテクタ17bの出力36か
ら、メモリ43の値をD/A変換回路44でアナログ値
に変換した値(これはオフセット値22に相当する)を
減算回路45で演算することによって、オフセットのな
い焦点ずれ信号46(図5)を得ることができる。この
信号46を用いて、フォーカシングサーボを実現するこ
とができる。
【0037】上記構成によれば、光検出器13a,13
bに入射する各ビーム14a〜14c,16a〜16c
を受光する各ディテクタは複数に分割されていないの
で、光量調整が簡単になる。光検出器13bのディテク
タ17bは光ビーム16bより寸法が小さいので、光量
調整(位置調整)が必要であるが、高精度(数μm)な
位置決めは不要である。何故なら、位置調整が粗くディ
テクタ17bの出力(オフセット)22が変動しても、
実施例で述べたオフセットキャンセルによって焦点ずれ
信号37,46のオフセットはゼロとなるからである。
よって、各光学部品の位置調整及び加工精度も粗くて良
く、光ヘッドの組み立て調整の簡素化及び光ヘッドの低
コスト化が実現できる。
【0038】また、光ヘッド組み立て後、経時変化など
で光学部品がズレて、ディテクタ17bの出力(オフセ
ット)22が変動しても、実施例で述べたオフセットキ
ャンセルを行うことにより、焦点ずれ信号37,46の
オフセットはゼロとなるので、光学部品の再調整を行う
必要がなくなる。
【0039】上記図1の実施例では、光検出器13bの
ディテクタ17bを+1次光ビーム16bより小さな寸
法としたが、光検出器13aのディテクタ15bを+1
次光ビーム14bより小さな寸法としても良い。
【0040】また、図1の実施例では偏光ビームスプリ
ッタ12を用いているが、この代りにウオラストンプリ
ズムを用いると、P偏光とS偏光は同一方向に出射され
るので光検出器は1個で良い。但し、この場合は、光検
出器中に、P偏光成分の0次光,±1次光、及びS偏光
成分の0次光,±1次光を検出するディテクタを搭載す
ることになる。
【0041】以上、光磁気光ヘッドの例について述べた
が、相変化型光ヘッドにも適用できる。相変化型の場
合、偏光ではなく光の強度で情報信号を読み取るので、
偏光ビームスプリッタ12は不要で、光検出器も、光検
出器13bのディテクタ構造のものであれば1個で済
む。焦点ずれ信号及びトラッキングエラー信号の検出方
法は、本実施例に述べた通りである。
【0042】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
【0043】1)請求項1,2の構成によれば、入射ビ
ームを受光する各ディテクタは複数に分割されていない
ので、光量調整が簡単になる。
【0044】2)請求項3〜5の構成によれば、ディテ
クタは光ビームより寸法が小さいので、光量調整(位置
調整)が必要であるが、高精度(数μm)な位置決めは
不要である。何故なら、位置調整が粗くディテクタの出
力(オフセット)が変動しても、オフセットキャンセル
によって焦点ずれ信号のオフセットはゼロとなるからで
ある。よって、各光学部品の位置調整及び加工精度も粗
くて良く、光ヘッドの組み立て調整の簡素化及び光ヘッ
ドの低コスト化が実現できる。また、光ヘッド組み立て
後、経時変化などで光学部品がズレて、ディテクタの出
力(オフセット)が変動しても、オフセットキャンセル
により、焦点ずれ信号のオフセットはゼロとなるので、
光学部品の再調整を行う必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光ヘッドの一実施例を示す図である。
【図2】本発明の焦点ずれ検出原理を示す図である。
【図3】焦点ずれによるディテクタ受光量の変化を示す
図である。
【図4】本発明の一実施例に係る焦点ずれ検出方式を示
すブロック図である。
【図5】図4の動作説明に供する図である。
【図6】光ヘッドの焦点ずれ信号を示す図である。
【図7】本発明の他の実施例に係る焦点ずれ検出方式を
示すブロック図である。
【図8】半導体レーザのモニタ出力におけるスクープ信
号を示す図である。
【図9】スクープ信号を方形波に変換した後の図であ
る。
【図10】従来の光学ヘッド光学系の構成図である。
【図11】従来の焦点ずれ検出の原理を示す図である。
【符号の説明】
1 半導体レーザ 2 コリメートレンズ 3 ビーム整形プリズム 4 回折格子 5 ビームスプリッタ 6 コーナーミラー(又はガルバノミラー) 7 フォーカスレンズ 8 ディスク記録媒体たるディスク記録膜面 9a 0次光スポット 9b +1次光スポット 9c −1次光スポット 10 コーナーミラー 11 凸レンズ 12 偏光ビームスプリッタ 13a P偏光成分の光検出器 13b S偏光成分の光検出器 14a P偏光成分の0次光ビーム 14b P偏光成分の+1次光ビーム 14c P偏光成分の−1次光ビーム 15a,15b,15c P偏光成分のディテクタ 16a S偏光成分の0次光ビーム 16b S偏光成分の+1次光ビーム 16c S偏光成分の−1次光ビーム 17a 0次光ビームのディテクタ 17b +1次光ビームのディテクタ(焦点ずれ検出
用) 17c,−1次光ビームのディテクタ 19,20,21 凸レンズの焦点位置 22 ディテクタの出力(オフセット) 23 情報信号振幅の最大点 24 情報信号振幅のゼロ点 25 直流成分カット回路 26 ローパスフィルタ 27 片側波カット回路 28 微分回路 29 ゼロクロス点 30,40 比較回路 31a 方形波 32,42 A/D変換回路 33,43 メモリ 34,44 D/A変換回路 35,45 減算回路 36 ディテクタの出力 37,46 焦点ずれ信号 38 スクープ信号 39 方形波パルス 41 サンプルホールド回路

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体レーザからのレーザビームを回折
    格子による0次光,+1次光,−1次光の光スポットと
    してディスク記録媒体上に結合させ、該ディスク記録媒
    体からの反射光を0次光,+1次光,−1次光ごとにデ
    ィテクタで個別に受光し、これらのディテクタのうち±
    1次光を受光する少なくとも1つのディテクタはこれに
    入射するビーム径よりも小さい寸法に形成して焦点ずれ
    検出用として用いることを特徴とする光ディスク用光学
    ヘッドの焦点ずれ検出方式。
  2. 【請求項2】 前記焦点ずれ検出用ディテクタはその信
    号検出系レンズの焦点位置よりも前方又は後方に設置さ
    れていることを特徴とする請求項1記載の光ディスク用
    光学ヘッドの焦点ずれ検出方式。
  3. 【請求項3】 前記半導体レーザを発光させ、更に前記
    ディスク記録媒体を回転させ、フォーカシングサーボ動
    作をOFFにした状態において、情報信号振幅が最大と
    なる点を検知し、情報信号振幅が最大のときにおける前
    記焦点ずれ検出用ディテクタの出力値を記憶する回路を
    設け、その記憶値で前記焦点ずれ検出用ディテクタのオ
    フセットをキャンセルすることを特徴とする請求項1,
    2記載の光ディスク用光学ヘッドの焦点ずれ検出方式。
  4. 【請求項4】 前記半導体レーザを発光させ、更に前記
    ディスク記録媒体を回転させ、フォーカシングサーボ動
    作をOFFにした状態において、前記半導体レーザのモ
    ニタ出力を検出し、スクープ信号を検知したときにおけ
    る前記焦点ずれ検出用ディテクタの出力値を記憶する回
    路を設け、その記憶値で前記焦点ずれ検出用ディテクタ
    のオフセットをキャンセルすることを特徴とする請求項
    1,2記載の光ディスク用光学ヘッドの焦点ずれ検出方
    式。
  5. 【請求項5】 前記キャンセルは前記焦点ずれ検出用デ
    ィテクタの出力値から前記記憶値を減算することによっ
    て行い、その減算結果を焦点ずれ信号とすることを特徴
    とする請求項3,4記載の光ディスク用光学ヘッドの焦
    点ずれ検出方式。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4886556A (en) * 1984-10-10 1989-12-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Method for production of sliding member

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