JPH0636345B2 - 走査電子顕微鏡等用の絞り装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡等用の絞り装置Info
- Publication number
- JPH0636345B2 JPH0636345B2 JP1242205A JP24220589A JPH0636345B2 JP H0636345 B2 JPH0636345 B2 JP H0636345B2 JP 1242205 A JP1242205 A JP 1242205A JP 24220589 A JP24220589 A JP 24220589A JP H0636345 B2 JPH0636345 B2 JP H0636345B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- thin film
- electron beam
- scanning electron
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は走査電子顕微鏡等に使用される対物レンズ絞り
に関するものである。
に関するものである。
一般に走査電子顕微鏡等には、電子線の一部分を使用す
るために、数十μｍから数百μｍの穴を有する薄膜絞り
板を電子レンズ磁極内、あるいは電子線通路に挿入して
いる。薄膜絞り板に電子線を長時間当てると、この薄膜
絞り板には汚れが生じる。この汚れが生じると電子が帯
電し、電子線の集束に悪影響を与える。このための薄膜
絞り板は時々掃除しなければならない。この問題を解決
するために従来は常時薄膜絞り板を数百度で加熱する方
法がとられている。
るために、数十μｍから数百μｍの穴を有する薄膜絞り
板を電子レンズ磁極内、あるいは電子線通路に挿入して
いる。薄膜絞り板に電子線を長時間当てると、この薄膜
絞り板には汚れが生じる。この汚れが生じると電子が帯
電し、電子線の集束に悪影響を与える。このための薄膜
絞り板は時々掃除しなければならない。この問題を解決
するために従来は常時薄膜絞り板を数百度で加熱する方
法がとられている。
従来の装置は、実用新案出願公開昭61−26250号に記載
のように、絞りホルダの下部と押さえ板の上部をアルマ
イト処理し、絞り板を絞りホルダ下部と押さえ板上部と
の間に配置し、絞り板を直接通電することにより絞り板
を加熱するようになつていた。
のように、絞りホルダの下部と押さえ板の上部をアルマ
イト処理し、絞り板を絞りホルダ下部と押さえ板上部と
の間に配置し、絞り板を直接通電することにより絞り板
を加熱するようになつていた。
上記従来技術は、絞り受け及び絞り押さえのある一部分
のみをアルマイト処理をしなければならず、製作及び構
造が複雑である。また、誤つて大気圧で絞り板を加熱す
ると絞り板が酸化し絞り板表面の導電性がなくなり、電
子が帯電し電子線形状や電子線位置の安定度に悪影響を
与えてしまうが、従来技術ではこの点について考慮され
ていなかつた。
のみをアルマイト処理をしなければならず、製作及び構
造が複雑である。また、誤つて大気圧で絞り板を加熱す
ると絞り板が酸化し絞り板表面の導電性がなくなり、電
子が帯電し電子線形状や電子線位置の安定度に悪影響を
与えてしまうが、従来技術ではこの点について考慮され
ていなかつた。
本発明は単純な構造で薄膜絞り板を加熱でき、さらに薄
膜絞り板の酸化防止を計つた絞り装置を提供することを
目的とする。
膜絞り板の酸化防止を計つた絞り装置を提供することを
目的とする。
上記目的を達成するために、電子線通過用の穴をあけた
薄膜絞り板を、導電性の絞り受けと絞り押さえの間に固
定し、絞り受けは加熱体を組み込んだ絶縁体に接続し、
加熱体にはスイツチを介して加熱電源が接続してある。
更に絞り板の配置してある所の圧力が大気圧の場合はス
イツチが「開」となるようにし薄膜絞り板の酸化防止を
した。
薄膜絞り板を、導電性の絞り受けと絞り押さえの間に固
定し、絞り受けは加熱体を組み込んだ絶縁体に接続し、
加熱体にはスイツチを介して加熱電源が接続してある。
更に絞り板の配置してある所の圧力が大気圧の場合はス
イツチが「開」となるようにし薄膜絞り板の酸化防止を
した。
本発明の走査電子顕微鏡用の対物絞りは、上記のような
構成とすることにより、加熱体の熱が薄膜絞りに伝わ
り、薄膜絞りは数百度に加熱されるため電子線が薄膜絞
り板に当つても汚れが生じることがない。また薄膜絞り
板の配置してある所の圧力が大気圧の場合はスイツチが
「開」となるため薄膜絞り板が加熱されることがなく、
薄膜絞り板は酸化されず電子線に悪影響を及ぼすことも
ない。
構成とすることにより、加熱体の熱が薄膜絞りに伝わ
り、薄膜絞りは数百度に加熱されるため電子線が薄膜絞
り板に当つても汚れが生じることがない。また薄膜絞り
板の配置してある所の圧力が大気圧の場合はスイツチが
「開」となるため薄膜絞り板が加熱されることがなく、
薄膜絞り板は酸化されず電子線に悪影響を及ぼすことも
ない。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。絞り
受け１は導電性の材質で熱伝導の良い材質、例えば銅、
リン青銅等で作つてある。絞り受け１には電子線を通過
させるための穴２がある。絞り押さえ３も導電性の材質
で熱伝導の良い材質、例えば銅、リン青銅等で作つてあ
る。絞り押さえ３にも電子線を通過させるための穴４が
ある。薄膜絞り板５は絞り受け１と絞り押さえ３の間に
置かれ、絞り受け１と絞り押さえ３はねじ６で固定して
ある。薄膜絞り板５には直径２０μｍから５００μｍの
１個またはそれ以上の穴７が形成されている。薄膜絞り
板５は導電性の材質で作つてあり、厚みは１０μｍ程度
である。絞り受け１はヒータ８が埋め込まれたセラミツ
ク９に接続してある。ヒータ８にはスイツチ１０を介し
て、電源１１が接続してあり、スイイツチ１０を「閉」
にすることにより薄膜絞り板５が１５０℃から３００℃
に加熱されるようにしてある。更に絞り装置が配置して
ある所の真空状態によりスイツチ１０を制御するスイツ
チ制御部１２を設け、絞り装置部が大気圧状態の場合は
スイツチ１０は「開」になるように制御する。このよう
な構成にすることにより、薄膜絞り板５は大気中で加熱
されることが無くなり、酸化することが無い。通常は薄
膜絞り板５はアース電位とする。
受け１は導電性の材質で熱伝導の良い材質、例えば銅、
リン青銅等で作つてある。絞り受け１には電子線を通過
させるための穴２がある。絞り押さえ３も導電性の材質
で熱伝導の良い材質、例えば銅、リン青銅等で作つてあ
る。絞り押さえ３にも電子線を通過させるための穴４が
ある。薄膜絞り板５は絞り受け１と絞り押さえ３の間に
置かれ、絞り受け１と絞り押さえ３はねじ６で固定して
ある。薄膜絞り板５には直径２０μｍから５００μｍの
１個またはそれ以上の穴７が形成されている。薄膜絞り
板５は導電性の材質で作つてあり、厚みは１０μｍ程度
である。絞り受け１はヒータ８が埋め込まれたセラミツ
ク９に接続してある。ヒータ８にはスイツチ１０を介し
て、電源１１が接続してあり、スイイツチ１０を「閉」
にすることにより薄膜絞り板５が１５０℃から３００℃
に加熱されるようにしてある。更に絞り装置が配置して
ある所の真空状態によりスイツチ１０を制御するスイツ
チ制御部１２を設け、絞り装置部が大気圧状態の場合は
スイツチ１０は「開」になるように制御する。このよう
な構成にすることにより、薄膜絞り板５は大気中で加熱
されることが無くなり、酸化することが無い。通常は薄
膜絞り板５はアース電位とする。
ところで、電界放出電子銃を使用した走査電子顕微鏡の
場合は電子銃からの電子線に電流変動があるため、試料
からの二次電子信号に悪影響を及ぼす。この悪影響を除
去するために、電子線の電流変動を検出し、この検出信
号で二次電子信号を割り、電流変動の影響の無い二次電
子信号を得る方法が採られている。薄膜絞り板５はその
検出器としても使用できる。
場合は電子銃からの電子線に電流変動があるため、試料
からの二次電子信号に悪影響を及ぼす。この悪影響を除
去するために、電子線の電流変動を検出し、この検出信
号で二次電子信号を割り、電流変動の影響の無い二次電
子信号を得る方法が採られている。薄膜絞り板５はその
検出器としても使用できる。
試料１３からの二次電子を検出器１４で検出しこの信号
１５を割り算回路１６に入れる。また薄膜絞り板５によ
り電子線の変動を検出し、この信号１７を割り算回路１
６に入れる。割り算回路１６において信号１５を信号１
７で割る。これにより、割り算回路１６の出力は電子線
の変動が除去された二次電子信号のみとなる。
１５を割り算回路１６に入れる。また薄膜絞り板５によ
り電子線の変動を検出し、この信号１７を割り算回路１
６に入れる。割り算回路１６において信号１５を信号１
７で割る。これにより、割り算回路１６の出力は電子線
の変動が除去された二次電子信号のみとなる。
本発明によれば簡単な構造で薄膜絞り板を加熱でき、ま
た誤つて薄膜絞り板を酸化させることも無く、信頼性向
上の効果がある。
た誤つて薄膜絞り板を酸化させることも無く、信頼性向
上の効果がある。
図１図は本発明の一実施例を示す図である。 １…絞り受け、２…穴、３…絞り押さえ、４…穴、５…
薄膜絞り板、６…ねじ、７…穴、８…ヒータ、９…セラ
ミツク、１０…スイツチ、１１…電源、１２…スイツチ
制御部、１３…試料、１４…検出器、１５…信号、１６
…割り算回路、１７…信号。
薄膜絞り板、６…ねじ、７…穴、８…ヒータ、９…セラ
ミツク、１０…スイツチ、１１…電源、１２…スイツチ
制御部、１３…試料、１４…検出器、１５…信号、１６
…割り算回路、１７…信号。
Claims (1)
- 【請求項１】電子線通過穴を有する導電性材の絞り受け
と、電子線通過穴を有する導電性材の絞り押さえとの間
に、少なくとも一個の絞り穴を有する導電性薄膜絞り板
を配置し、前記絞り受けは絶縁材に接続され、該絶縁材
には加熱体が組み込まれ、前記薄膜絞りが加熱されるよ
うに構成し、前記薄膜絞り板の配置された所の圧力が大
気圧の場合は加熱が停止するようにしたことを特徴とす
る走査電子顕微鏡等用の絞り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1242205A JPH0636345B2 (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 走査電子顕微鏡等用の絞り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1242205A JPH0636345B2 (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 走査電子顕微鏡等用の絞り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03105834A JPH03105834A (ja) | 1991-05-02 |
| JPH0636345B2 true JPH0636345B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=17085818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1242205A Expired - Lifetime JPH0636345B2 (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 走査電子顕微鏡等用の絞り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636345B2 (ja) |
-
1989
- 1989-09-20 JP JP1242205A patent/JPH0636345B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03105834A (ja) | 1991-05-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080511 Year of fee payment: 14 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090511 Year of fee payment: 15 |
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