JPH01264157A - 電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子顕微鏡に係り特に、試料ホルダー脱着時ビ
ームＯＦＦによるビームの不安定性を全くなくすことに
好適な電子顕微鏡に関する。

〔従来の技術〕

従来の装置は、試料ホルダー脱着に連動しビームをＯＦ
Ｆするためフィラメント電流を通常使用状能の半分にし
ていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、試料ホルダを真空内へ脱着する場合フ
ィラメント電流をゼロにする。試料ホルダの脱着が行な
われた後に再びフィラメント電流を流すためフィラメン
ト電流のＯＮ／ＣｌＦＦによりビームが安定するまでに
時間がかかり、特に微少領域の分析が要求される最近で
は問題であった。

本発明の目的は、ビームの不安定をなくすことにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、ビームのＯＦＦをフィラメント電流のＯＦ
Ｆによらず、バイアス電圧を最大にすることにより達成
される。

〔作用〕

バイアス電圧を最大にする手段は、試料ホルダを真空内
へ脱着する場合、高真空部分と低真空部との間のバルブ
を開けるが、このバルブを開ける前に試料の移動を検出
しあらかじめビームをＯＦＦするように動作する。また
この時、フイラメン＋−を加熱する電流は一定であり、
バイアス電圧を最大からもとの値へ戻すと、ビームはす
ぐに安定する。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。フィ
ラメント１には、外部の高電圧発生器１４から高電圧が
供給されている。この高電圧によりビーム３が加速され
る。

フィラメント１は、外部の可変抵抗器９で設定された電
圧を増巾器８および一次電源６を通しトランス結合され
ている二次側の整流器４により直流電流を供給される。

またウェネルト２とフィラメント１との間にフィラメン
ト１に印加されている高電圧よりも低い負のバイアス電
圧が印加される。この電圧は、外部の可変抵抗Ｉａ１１
で設定された電圧を増巾器１０および一次電源７を通し
トランス結合され、二次側の整流器５により直流電圧に
変換され供給される。

フィラメント１に電流が流れると、フィラメント１は加
熱され、熱電子が発生する。フィラメント１とウェネル
ト２との間にはバイアス電圧が印加され、この電圧の電
界により熱電子は、レンズ作用を受は収束し、ビーム３
となる。

ここで、バイアス電圧を大きくしていくと、熱電子が、
バイアス電圧で作られる電界によりウェネルト２の穴を
通過出来なくなる。つまりビーム３がＯＦＦとなる。

試料ホルダ脱着時、スイッチ１３がＯＮしリレー１２が
動作し、増巾器１０へ可変抵抗器１１で設定される最大
値が設定される。

上記、バイアス電圧の最大値設定は、フィラメント電流
を一定のまま行なうことは、言うまでもない。

〔発明の効果〕

本発明によれば、フィラメント電流を一定にしたままで
、ビームをＯＦＦすることが出来るので試料ホルダー脱
着を行なっても、ただちに安定したビームを得ることが
出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図である。 １・・・フィラメント、２・・・ウェネルト、３・・・
ビーム。 ４・・・整流装置、５・・・整流装置、６・・・−次電
源、７・・・−次電源、８・・・増巾器、９・・・可変
抵抗器、１゜・・・増巾器、１１・・・可変抵抗器、１
２・・・リレー、１３・・・スイッチ、１４・・・高電
圧発生器。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、フィラメント電流を可変する手段とフィラメントと
   ウエネルト間のバイアス電圧を可変する手段と試料の真
   空内挿入を検出する手段を持つ電子顕微鏡において、試
   料ホルダの真空内脱着に連動しバイアス電圧を最大にす
   る手段を設けたことを特徴とする電子顕微鏡。