JPH0636452B2 - レーザー出力同調用の回折格子の整列方法およびその装置 - Google Patents
レーザー出力同調用の回折格子の整列方法およびその装置Info
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- JPH0636452B2 JPH0636452B2 JP62502483A JP50248387A JPH0636452B2 JP H0636452 B2 JPH0636452 B2 JP H0636452B2 JP 62502483 A JP62502483 A JP 62502483A JP 50248387 A JP50248387 A JP 50248387A JP H0636452 B2 JPH0636452 B2 JP H0636452B2
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08004—Construction or shape of optical resonators or components thereof incorporating a dispersive element, e.g. a prism for wavelength selection
- H01S3/08009—Construction or shape of optical resonators or components thereof incorporating a dispersive element, e.g. a prism for wavelength selection using a diffraction grating
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1828—Diffraction gratings having means for producing variable diffraction
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/003—Alignment of optical elements
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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Description
【発明の詳細な説明】 発明の背景 １． 発明の分野 本発明は、レーザー装置およびレーザー空洞共振器用の
方法および装置に関し、さらに特定すれば、本発明はレ
ーザー出力の同調をなす回折格子を使用する方法および
その装置に関する。
方法および装置に関し、さらに特定すれば、本発明はレ
ーザー出力の同調をなす回折格子を使用する方法および
その装置に関する。
２． この技術の説明 最近の回折光学部品としては、回折格子が使用される
が、実際の格子は板面すなわち鏡面にダイヤモンドの工
具で多数の等間隔な線を形成して製造するか、またはこ
のような平行線の格子の複製を製造する。このような回
折格子の重要な問題としては、対応する別の回折要素の
乱れによる干渉効果である。すなわち、これらの回折要
素では、各回折要素の形状よりもそれらの回折要素の周
期性がより大きな影響を与える。
が、実際の格子は板面すなわち鏡面にダイヤモンドの工
具で多数の等間隔な線を形成して製造するか、またはこ
のような平行線の格子の複製を製造する。このような回
折格子の重要な問題としては、対応する別の回折要素の
乱れによる干渉効果である。すなわち、これらの回折要
素では、各回折要素の形状よりもそれらの回折要素の周
期性がより大きな影響を与える。
この格子の要素が狭いスリットである場合には、これら
が狭いため、不均一な放射をなす乱れの原因となる。ま
た、この格子の要素が狭いスリットではない場合には、
れらは乱れの原因とはなるが、不均一な放射の原因とは
ならず、回折した光の強さの正確なピークがパターンの
同じ部分に同じ形となって現われ、光の強さの相対的な
相違は生じない。
が狭いため、不均一な放射をなす乱れの原因となる。ま
た、この格子の要素が狭いスリットではない場合には、
れらは乱れの原因とはなるが、不均一な放射の原因とは
ならず、回折した光の強さの正確なピークがパターンの
同じ部分に同じ形となって現われ、光の強さの相対的な
相違は生じない。
一般的な回折格子は、ある種類の基板に極めて密接した
極めて多数の溝を平行に形成した光学要素である。ある
種の回折格子の場合には、回折格子面が反射性の金属で
被覆されており、この回折格子に入射した単色光が回折
され、この回折格子を見る角度に対応した光の強さのパ
ターンを形成する。概略的に説明すれば、光の強さのピ
ークは角度間隔をおいて発生し、これらのピークは規則
的な間隔で配置された反射要素で発生した光の小波が干
渉することによって生じる。この回折ピークの「次数」
は連続的に拡散する光の小波の移送の相違によって生
じ、これら小波が結合することによって所定の角度にお
いて光の強さが生じる。一般に、位相の相違が大きい場
合（倍率で２π／λ：ここでλは波長）では回折ピーク
は弱くなる。また、「ブレーズド格子」と称されている
ものが、規則的に配列された角度を持った面からの反射
に使用されており、このものは回折光の大部分が狭い範
囲の方向に集中するように溝の形状をあらかじめ設定し
ておくことができる長所がある。
極めて多数の溝を平行に形成した光学要素である。ある
種の回折格子の場合には、回折格子面が反射性の金属で
被覆されており、この回折格子に入射した単色光が回折
され、この回折格子を見る角度に対応した光の強さのパ
ターンを形成する。概略的に説明すれば、光の強さのピ
ークは角度間隔をおいて発生し、これらのピークは規則
的な間隔で配置された反射要素で発生した光の小波が干
渉することによって生じる。この回折ピークの「次数」
は連続的に拡散する光の小波の移送の相違によって生
じ、これら小波が結合することによって所定の角度にお
いて光の強さが生じる。一般に、位相の相違が大きい場
合（倍率で２π／λ：ここでλは波長）では回折ピーク
は弱くなる。また、「ブレーズド格子」と称されている
ものが、規則的に配列された角度を持った面からの反射
に使用されており、このものは回折光の大部分が狭い範
囲の方向に集中するように溝の形状をあらかじめ設定し
ておくことができる長所がある。
単色光を用する場合には、このような回折格子はビーム
の方向を変えることができる点で便利である。特に、光
が回折されて戻されるものでは、この回折格子は反射要
素として作用する。しかし、反射鏡またはプリズムの場
合には、この回折格子はその格子の平行な線がこの格子
を含む光学装置の光軸に対して垂直となるように配置さ
れなければならない。また、異なる波長を有した光のス
ペクトル線に同調させるためにブレーズド格子を使用し
た場合には、格子の線はさらに回転軸と平行に配置され
なければならず、これによってスペクトル線が選定され
る。
の方向を変えることができる点で便利である。特に、光
が回折されて戻されるものでは、この回折格子は反射要
素として作用する。しかし、反射鏡またはプリズムの場
合には、この回折格子はその格子の平行な線がこの格子
を含む光学装置の光軸に対して垂直となるように配置さ
れなければならない。また、異なる波長を有した光のス
ペクトル線に同調させるためにブレーズド格子を使用し
た場合には、格子の線はさらに回転軸と平行に配置され
なければならず、これによってスペクトル線が選定され
る。
第１図および第２図には回転軸２４上に配置された回折
格子１５を示し、このものは光の特定波長に同調してこ
れを所定の方向に回折するもの（レーザー共振器におけ
るスペクトル線選別器）である。この場合の格子の配置
には３つの自由度がある： １） 回転方向の同調角度、θ １６ ２） 第２ａ図に示すような、格子１５の面内における
回転同調軸２４と格子の線とのなす角度α、 ３） 第２ｂ図に示すような、回転同調軸２４と格子１
５の面とのなす傾き角度βｏ（格子が曲面の場合にはこ
れら角度θ、α、βは別に設定される） 重要な場合のひとつとして、光がその入射ビームの光路
に沿って反射されるもの（いわゆるリトロー状態）があ
る。この場合に、同調角度が所定の波長からずれた場合
の回折光のアライメント誤差は、（まず第１の角度αお
よびβに関して）以下の等式によって求められる： ε＝２α（ｓｉｎθ−ｓｉｎθ０） ＋２β（ｃｏｓθ−ｃｏｓθ０） (1) ここで、上記εは全アライメント誤差（第３図に示
す）、θ０はこの光学系が正確にアライメントされてい
る場合の基準波長における同調角度、θ １６は望む波
長における同調角度、αは格子１５の面内におけるこの
格子の線と回転同調軸とのなす角度（第２ａ図参照）、
またβは格子１５の面と回転同調軸２４とのなす傾き角
度（第２ｂ図参照）である。
格子１５を示し、このものは光の特定波長に同調してこ
れを所定の方向に回折するもの（レーザー共振器におけ
るスペクトル線選別器）である。この場合の格子の配置
には３つの自由度がある： １） 回転方向の同調角度、θ １６ ２） 第２ａ図に示すような、格子１５の面内における
回転同調軸２４と格子の線とのなす角度α、 ３） 第２ｂ図に示すような、回転同調軸２４と格子１
５の面とのなす傾き角度βｏ（格子が曲面の場合にはこ
れら角度θ、α、βは別に設定される） 重要な場合のひとつとして、光がその入射ビームの光路
に沿って反射されるもの（いわゆるリトロー状態）があ
る。この場合に、同調角度が所定の波長からずれた場合
の回折光のアライメント誤差は、（まず第１の角度αお
よびβに関して）以下の等式によって求められる： ε＝２α（ｓｉｎθ−ｓｉｎθ０） ＋２β（ｃｏｓθ−ｃｏｓθ０） (1) ここで、上記εは全アライメント誤差（第３図に示
す）、θ０はこの光学系が正確にアライメントされてい
る場合の基準波長における同調角度、θ １６は望む波
長における同調角度、αは格子１５の面内におけるこの
格子の線と回転同調軸とのなす角度（第２ａ図参照）、
またβは格子１５の面と回転同調軸２４とのなす傾き角
度（第２ｂ図参照）である。
この格子のアライメントをなす従来の装置および方法
は、上記格子１５と回転同期軸２４とのなす２つの角度
に対応した精度の精密な装置を必要としていた。通常の
格子アライメント方法は、この光学系全体をひとつの基
準波長に合せてアライメントをおこない、上記格子１５
が他の波長に同調しないように上記回折光の誤差角度ε
が許容範囲より大きくならないように、上記角度αおよ
びβが十分に小さくなるように調整する。
は、上記格子１５と回転同期軸２４とのなす２つの角度
に対応した精度の精密な装置を必要としていた。通常の
格子アライメント方法は、この光学系全体をひとつの基
準波長に合せてアライメントをおこない、上記格子１５
が他の波長に同調しないように上記回折光の誤差角度ε
が許容範囲より大きくならないように、上記角度αおよ
びβが十分に小さくなるように調整する。
上記の角度αおよびβを調整する方法、およびこれら角
度を十分に小さな角度に押えることは重要な問題であ
る。また、これら角度αおよびβの値を測定することは
容易ではない。また、これら角度αおよびβを従来の方
法で測定できたとしても、これら角度を調整する方法は
必要である。
度を十分に小さな角度に押えることは重要な問題であ
る。また、これら角度αおよびβの値を測定することは
容易ではない。また、これら角度αおよびβを従来の方
法で測定できたとしても、これら角度を調整する方法は
必要である。
従来から、その出力波長が迅速かつ正確に所定のスペク
トル線に同調することができるレーザー装置の設計およ
び構成が望まれていた。たとえば、同調可能なＣＯ２レ
ーザは、化学的な検出を遠隔的におこなう用途について
益々重要となっている。特定の化学的な汚染を遠隔的に
検出することは各種の用途が見出されている。
トル線に同調することができるレーザー装置の設計およ
び構成が望まれていた。たとえば、同調可能なＣＯ２レ
ーザは、化学的な検出を遠隔的におこなう用途について
益々重要となっている。特定の化学的な汚染を遠隔的に
検出することは各種の用途が見出されている。
発明の概要 本発明は、レーザー出力の所定の波長に同調させるため
の回折格子を正確かつ迅速にアライメントする問題を解
決するものである。同調可能なレーザ（たとえばＣＯ２
レーザ）のスペクトル線の選定は、同調軸２４（第１図
参照）に対する回折格子１５の配置、およびこの格子の
所定の角度θ１６の回転角度によっておこなわれる。こ
れらは以下の３つの機械的なアライメントが考慮され
る： １） 同調軸２４が格子１５の面から横方向に離れてい
るか否か。これはレーザー軸と格子の線とのなす角度に
は影響を与えず、よってミスアライメントの原因にはな
らない。
の回折格子を正確かつ迅速にアライメントする問題を解
決するものである。同調可能なレーザ（たとえばＣＯ２
レーザ）のスペクトル線の選定は、同調軸２４（第１図
参照）に対する回折格子１５の配置、およびこの格子の
所定の角度θ１６の回転角度によっておこなわれる。こ
れらは以下の３つの機械的なアライメントが考慮され
る： １） 同調軸２４が格子１５の面から横方向に離れてい
るか否か。これはレーザー軸と格子の線とのなす角度に
は影響を与えず、よってミスアライメントの原因にはな
らない。
２） 格子１５がその面内において同調しており（第２
ａ図における角度α）、溝が回動の同調軸２４と平行で
ないか否か。格子１５が軸２４のまわりに回動している
と、溝がレーザーの光軸に垂直ではなくなり、その結果
入射光線と回折光線とのなす角度εが零ではなくなる。
ａ図における角度α）、溝が回動の同調軸２４と平行で
ないか否か。格子１５が軸２４のまわりに回動している
と、溝がレーザーの光軸に垂直ではなくなり、その結果
入射光線と回折光線とのなす角度εが零ではなくなる。
３） 回動の同調軸２４が傾いており（第２ｂ図の角度
β）、これが格子の面と平行でないか否か。これは、格
子基板の前面（格子面）と後面（取付け面）の平行度が
出ていないことによって生じ、また取付けの不備や支持
の不備による回動の同調軸２４の「ずれ」によって生じ
る。いずれの場合にも、格子１５が同調軸２４のまわり
に回動し、この格子の溝がレーザー光軸に対して平行で
はなくなり、入射光線と回折光線とのなす角度εが零で
はなくなる。
β）、これが格子の面と平行でないか否か。これは、格
子基板の前面（格子面）と後面（取付け面）の平行度が
出ていないことによって生じ、また取付けの不備や支持
の不備による回動の同調軸２４の「ずれ」によって生じ
る。いずれの場合にも、格子１５が同調軸２４のまわり
に回動し、この格子の溝がレーザー光軸に対して平行で
はなくなり、入射光線と回折光線とのなす角度εが零で
はなくなる。
格子に同調させるレーザー装置における従来のアライメ
ント方法では、この装置を基準波長に合せてアライメン
トし、格子のアライメント角度αおよびβが格子の同調
の誤差が過大にならないように十分に小さくなるように
調整する必要がある。本発明は、上記の格子のアライメ
ント角度αおよびβの両方または一方を、それらの角度
の値を測定することなしに調整するものである。本発明
の原理的な特徴のひとつは、回折光の誤差角度を示す前
記（１）式において、たとえば与えられた角度βに対し
て他方の角度αは次の式によって設定される。
ント方法では、この装置を基準波長に合せてアライメン
トし、格子のアライメント角度αおよびβが格子の同調
の誤差が過大にならないように十分に小さくなるように
調整する必要がある。本発明は、上記の格子のアライメ
ント角度αおよびβの両方または一方を、それらの角度
の値を測定することなしに調整するものである。本発明
の原理的な特徴のひとつは、回折光の誤差角度を示す前
記（１）式において、たとえば与えられた角度βに対し
て他方の角度αは次の式によって設定される。
α＝−β（ｃｏｓθ１−ｃｏｓθ０） ／（ｓｉｎθ１−ｓｉｎθ０） (2) ここで、両方の角度θ１およびθ０においてε＝０であ
る。さらに、上記角度θ１およびθ０がいずれも４５゜
近傍にあれば、すべての角度がその近傍にあるので上記
εは略零になる。同様に、βをアライメントのための角
度に選定すれば、与えられた角度αに対してβを選定す
る。
る。さらに、上記角度θ１およびθ０がいずれも４５゜
近傍にあれば、すべての角度がその近傍にあるので上記
εは略零になる。同様に、βをアライメントのための角
度に選定すれば、与えられた角度αに対してβを選定す
る。
よって本発明は、回折格子をレーザー出力の波長帯域に
迅速かつ正確に同調させることを目的とする。
迅速かつ正確に同調させることを目的とする。
また、本発明の別の目的は、１自由度の角度（同調角度
とは異なる）のみを調整することによって回折格子をレ
ーザーに同調させることができる方法を提供することに
あり、この１自由度の角度は制御が困難な他の自由度の
角度と比較して容易かつ正確に調整することができる。
とは異なる）のみを調整することによって回折格子をレ
ーザーに同調させることができる方法を提供することに
あり、この１自由度の角度は制御が困難な他の自由度の
角度と比較して容易かつ正確に調整することができる。
さらに本発明の別の目的は、格子を回動同調軸にアライ
メントさせるために正確な加工や組立て精度を必要とせ
ず、同軸回折格子からの回折光のアライメント誤差を大
幅に減少させることができる方法を提供することにあ
る。
メントさせるために正確な加工や組立て精度を必要とせ
ず、同軸回折格子からの回折光のアライメント誤差を大
幅に減少させることができる方法を提供することにあ
る。
さらに、本発明の別の目的は、角度αおよびβの値を測
定する必要がなく、レーザーの出力を使用して回折光の
全体のミスアライメントを測定しかつそれを利用し、回
折格子のアライメントをなす方法を提供するものであ
る。
定する必要がなく、レーザーの出力を使用して回折光の
全体のミスアライメントを測定しかつそれを利用し、回
折格子のアライメントをなす方法を提供するものであ
る。
さらにまた本発明の別の目的は、同調軸まわりに回動
し、角度αまたはβのいずれかを組織的に変化されるこ
とができるレーザー出力に同調させることにより回折格
子のアライメントをなすことができる方法を提供するも
のである。
し、角度αまたはβのいずれかを組織的に変化されるこ
とができるレーザー出力に同調させることにより回折格
子のアライメントをなすことができる方法を提供するも
のである。
最後に、本発明の別の目的は、別の調整をすることなし
に、波長帯域全体のアライメント誤差が許容範囲以下に
小さくなるようにして、この波長帯域内でひとつの波長
から他の波長に回折格子を用いて迅速に同調させること
ができる方法を提供するものである。
に、波長帯域全体のアライメント誤差が許容範囲以下に
小さくなるようにして、この波長帯域内でひとつの波長
から他の波長に回折格子を用いて迅速に同調させること
ができる方法を提供するものである。
以下の図を参照した実施例の説明によって、本発明の別
の目的を理解し、また本発明を詳細に理解できるであろ
う。
の目的を理解し、また本発明を詳細に理解できるであろ
う。
図面の簡単な説明 第１図は回折格子を示し、（ａ）はその正面図、（ｂ）
は側面図である。この回折格子は回動軸にまわりに角度
θで回動する。上記側面図には垂直成分ベクトル を示し、このベクトルは回折格子の面に対して垂直にな
っている。
は側面図である。この回折格子は回動軸にまわりに角度
θで回動する。上記側面図には垂直成分ベクトル を示し、このベクトルは回折格子の面に対して垂直にな
っている。
第２図は第１図に示す回折格子に生じるミスアライメン
トを詳細に示した図である。第２ａ図には、回動の同調
軸に対して角度αをなした回折格子の線を示す。第２ｂ
図は、回動の同調軸に対して角度βで傾いた回折格子を
示す。これら第２ａおよび２ｂ図において、図示する格
子の線に平行なベクトル成分を で示す。
トを詳細に示した図である。第２ａ図には、回動の同調
軸に対して角度αをなした回折格子の線を示す。第２ｂ
図は、回動の同調軸に対して角度βで傾いた回折格子を
示す。これら第２ａおよび２ｂ図において、図示する格
子の線に平行なベクトル成分を で示す。
第３図は、リトロー状態を満足するような格子のミスア
ライメントによる入射光線と一次の回折光線との間の角
度の差εを示す図である。
ライメントによる入射光線と一次の回折光線との間の角
度の差εを示す図である。
第４図は、レーザー装置の出力波長に同調させて回折格
子をアライメントする本方法の概略的な図である。この
配置台は、断面で示す速動格子機構の固体整列を可能と
する。この配置台および速動格子機構は機械的に連結さ
れている。
子をアライメントする本方法の概略的な図である。この
配置台は、断面で示す速動格子機構の固体整列を可能と
する。この配置台および速動格子機構は機械的に連結さ
れている。
第５図は、本発明の方法を用いて測定した同調回動角度
の範囲にわたる実験結果を示す図である。この線図の縦
座標は、誤差角度εをμラジアンで表わし、また横座標
は回動角度θを度で表わす。
の範囲にわたる実験結果を示す図である。この線図の縦
座標は、誤差角度εをμラジアンで表わし、また横座標
は回動角度θを度で表わす。
第６図は、本発明の方法を用いた波長帯域全体にわたる
ミスアライメントの測定結果を示す。縦座標はアライメ
ント誤差εをμラジアンで表わし、また横座標は波長を
μｍで表わす。
ミスアライメントの測定結果を示す。縦座標はアライメ
ント誤差εをμラジアンで表わし、また横座標は波長を
μｍで表わす。
好ましい実施例の説明 第４図には、レーザー装置の出力波長に同調させるため
に使用される回折格子のアライメントに使用される装置
の各コンポーネントを示す。速動格子機構１１は、電気
的に駆動され、同調角度θを調整することができる。空
力配置台１２（断面で示す）は、２軸アライメント制御
器１３によって速動格子機構１１の固体整列をなすこと
ができる。異なる回折次数の回折ビーム１４は格子面１
５によって反射される。同調角度θは、入射ビーム１８
と、回折格子１５の面と垂直な垂直ベクトル１７とのな
す角度１６である。Ｈｅ−Ｎｅレーザー１８は０．６３
２８μｍの波長を有し、その光軸は、対干渉計の主フレ
ーム１９から放射され、この干渉計の出力伝送基準面２
０を通過するように設定されている。観察される干渉縞
２１は、ビデオモニター２２上に表示され、このモニタ
ーは対干渉計装置２３の一部である。
に使用される回折格子のアライメントに使用される装置
の各コンポーネントを示す。速動格子機構１１は、電気
的に駆動され、同調角度θを調整することができる。空
力配置台１２（断面で示す）は、２軸アライメント制御
器１３によって速動格子機構１１の固体整列をなすこと
ができる。異なる回折次数の回折ビーム１４は格子面１
５によって反射される。同調角度θは、入射ビーム１８
と、回折格子１５の面と垂直な垂直ベクトル１７とのな
す角度１６である。Ｈｅ−Ｎｅレーザー１８は０．６３
２８μｍの波長を有し、その光軸は、対干渉計の主フレ
ーム１９から放射され、この干渉計の出力伝送基準面２
０を通過するように設定されている。観察される干渉縞
２１は、ビデオモニター２２上に表示され、このモニタ
ーは対干渉計装置２３の一部である。
そして、格子の式から、 ｄ（ｓｉｎθ＋ｓｉｎφ）＝ｎλ (3) となる。ここで、上記のθおよびφは、それぞれ入射角
度および回折角度であり、リトロー状態では入射ビーム
は１８０゜回折し（すなわちθ＝φ）、よって同調角度
は次の式によって与えられる。
度および回折角度であり、リトロー状態では入射ビーム
は１８０゜回折し（すなわちθ＝φ）、よって同調角度
は次の式によって与えられる。
θ＝ｓｉｎ-1（ｎλ／２ｄ） (4) ここで、ｎは回折の次数、λは波長、ｄは格子間隔であ
る。たとえば、この格子間隔が１５０本／ｍｍの場合、
表１に一次の波長と、異なる線で同調した高次のＨｅＮ
ｅ回折との比較を示す。ここで、１５次、１６次および
１７次のＨｅＮｅ次数を選定した理由は、これらがＣＯ
２作動範囲における約９．２から１０．８μｍに相当す
るからである。
る。たとえば、この格子間隔が１５０本／ｍｍの場合、
表１に一次の波長と、異なる線で同調した高次のＨｅＮ
ｅ回折との比較を示す。ここで、１５次、１６次および
１７次のＨｅＮｅ次数を選定した理由は、これらがＣＯ
２作動範囲における約９．２から１０．８μｍに相当す
るからである。
前記誤差の式（前記（１）式）から、アライメント誤差
を零にするために、同調角度は２個の値をとることがで
きる： １） 上記θ＝θ０の場合、上記レーザー装置の出力カ
ップリング要素を格子に対して調整し、その状態で完全
なアライメントを達成することができる。実際には、こ
の調整は相対的なもので、格子機構全体を固定してお
き、出力カップラー全体を移動させてアライメントをし
てもよく、または、出力カップラーを固定しておき、格
子機構全体を移動させてアライメントをしてもよい。ま
た、第４図に示すように、実際のアライメントは対干渉
計装置２３のビデオモニター２２の干渉縞２１を見なが
らおこない、上記出力伝送基準面２０は（アライメント
のために）レーザー光学共振空洞の出力カップリング要
素と同様の作用をなす。しかし、上記出力伝送基準面２
０上でのアライメント調整は、干渉計の視野の使用がむ
しろ制限されるので、格子機構を移動させるのと同等の
作動をなすことが好ましい。上記対干渉計装置２３の出
力伝送基準面２０は固定しておき、格子機構１１全体を
移動させ、固体的にアライメント調整をなす。このよう
な調整は、ＨｅＮｅの１５次の回折を使用しておこな
う。
を零にするために、同調角度は２個の値をとることがで
きる： １） 上記θ＝θ０の場合、上記レーザー装置の出力カ
ップリング要素を格子に対して調整し、その状態で完全
なアライメントを達成することができる。実際には、こ
の調整は相対的なもので、格子機構全体を固定してお
き、出力カップラー全体を移動させてアライメントをし
てもよく、または、出力カップラーを固定しておき、格
子機構全体を移動させてアライメントをしてもよい。ま
た、第４図に示すように、実際のアライメントは対干渉
計装置２３のビデオモニター２２の干渉縞２１を見なが
らおこない、上記出力伝送基準面２０は（アライメント
のために）レーザー光学共振空洞の出力カップリング要
素と同様の作用をなす。しかし、上記出力伝送基準面２
０上でのアライメント調整は、干渉計の視野の使用がむ
しろ制限されるので、格子機構を移動させるのと同等の
作動をなすことが好ましい。上記対干渉計装置２３の出
力伝送基準面２０は固定しておき、格子機構１１全体を
移動させ、固体的にアライメント調整をなす。このよう
な調整は、ＨｅＮｅの１５次の回折を使用しておこな
う。
２）もし前記角度αが前記（２）式の右項で与えられる
値に調整されている場合、前記θ＝θ１。これは、上記
ＨｅＮｅの１６次の回折が観察されるまで同調角度を調
整することによって達成される。一般に、その状態でア
ライメントがなされていない場合には、上記のビデオモ
ニター２２に干渉縞２１が現われる。そして、格子機構
を固体のように固定しておき、回折格子１５を角度αの
方向に注意深く回動させる。
値に調整されている場合、前記θ＝θ１。これは、上記
ＨｅＮｅの１６次の回折が観察されるまで同調角度を調
整することによって達成される。一般に、その状態でア
ライメントがなされていない場合には、上記のビデオモ
ニター２２に干渉縞２１が現われる。そして、格子機構
を固体のように固定しておき、回折格子１５を角度αの
方向に注意深く回動させる。
上述したような２つの調整、すなわち、角度θ０におい
てＨｅＮｅの１５次の回折を利用して固体状に作動させ
る調整、および１６次の回折を利用して角度α方向に格
子面を移動させる調整は、互いに関連しており、互いに
独立はできない。よって、本発明のアライメント方法は
以下のようにおこなう： 速動格子アライメント 上記の速動格子機構11には格子１５が取付けられ、この
機構はこの格子を波長選択軸２４まわりに回動（θ回
動）させる。ここで、説明のため、上記の格子１５はそ
れと垂直な方向まわりに回動（α回動）できるが、波長
選択軸２４に対して傾動（角度β）できないものとす
る。上記角度αおよびβは任意の値とすることができる
ので、この格子１５が所定の波長において共振器とアラ
イメントされており、別の波長に走査するとすれば、こ
の共振器は新たな波長においては略アライメントしな
い。本発明の方法の目的は、波長帯域に同調した場合に
共振器のアライメントを維持したまま角度αを調整する
ものである。
てＨｅＮｅの１５次の回折を利用して固体状に作動させ
る調整、および１６次の回折を利用して角度α方向に格
子面を移動させる調整は、互いに関連しており、互いに
独立はできない。よって、本発明のアライメント方法は
以下のようにおこなう： 速動格子アライメント 上記の速動格子機構11には格子１５が取付けられ、この
機構はこの格子を波長選択軸２４まわりに回動（θ回
動）させる。ここで、説明のため、上記の格子１５はそ
れと垂直な方向まわりに回動（α回動）できるが、波長
選択軸２４に対して傾動（角度β）できないものとす
る。上記角度αおよびβは任意の値とすることができる
ので、この格子１５が所定の波長において共振器とアラ
イメントされており、別の波長に走査するとすれば、こ
の共振器は新たな波長においては略アライメントしな
い。本発明の方法の目的は、波長帯域に同調した場合に
共振器のアライメントを維持したまま角度αを調整する
ものである。
上記の格子機構１１は２軸の角度を調整できる配置台１
２上に配置され、また対干渉計２３からのビーム１８上
に配置されている。この対干渉計は、以後の説明では好
ましい態様として説明されるが、これと同様の特性を有
するものであれば、どのような干渉計を使用してもよ
い。通常の干渉計の態様としては、基準面と試験面との
なす角度に対応してモニタスクリーン２２上にドット状
の模様を表示する「ドットモード」のものである。この
ものは、試験平面を基準平面に容易にアライメントさせ
ることができ、また角度αを比較的大きく調整すること
ができるものである。２軸配置台１２は、角度αを調整
して後、格子を基準面に対して保持するために必要であ
る。上記の角度αは組織的に変化され、角度θが回動す
ることによって波長が操作されるように、アライメント
が保持される状態に収束する。
２上に配置され、また対干渉計２３からのビーム１８上
に配置されている。この対干渉計は、以後の説明では好
ましい態様として説明されるが、これと同様の特性を有
するものであれば、どのような干渉計を使用してもよ
い。通常の干渉計の態様としては、基準面と試験面との
なす角度に対応してモニタスクリーン２２上にドット状
の模様を表示する「ドットモード」のものである。この
ものは、試験平面を基準平面に容易にアライメントさせ
ることができ、また角度αを比較的大きく調整すること
ができるものである。２軸配置台１２は、角度αを調整
して後、格子を基準面に対して保持するために必要であ
る。上記の角度αは組織的に変化され、角度θが回動す
ることによって波長が操作されるように、アライメント
が保持される状態に収束する。
上記の格子アセンブリは、２つの波長においてアライメ
ントが維持されるように調整される。１５０本／ｍｍの
格子では、ＨｅＮｅ（波長０．６３２８ｎｍ）の１５次
および１６次の回折がＣＯ２レーザーの作動範囲に相当
するので、これをこの格子のアライメントに使用する。
上記の干渉計の平面は、共振器のアウトカップラーと同
等である。１６次の回折が基準面にアライメントされて
いる場合（干渉縞がない場合）から、格子を１５次の回
折が現われるまで走査させる（同調角度に回動させる）
と、この干渉計に１５次の回折が同調したか否かが示さ
れる。もし１５次の回折が現われない場合には、完全に
アライメントがなされている。なお、同調軸まわりの回
動によって生じる干渉縞は重要ではなく、調整によって
消去される。
ントが維持されるように調整される。１５０本／ｍｍの
格子では、ＨｅＮｅ（波長０．６３２８ｎｍ）の１５次
および１６次の回折がＣＯ２レーザーの作動範囲に相当
するので、これをこの格子のアライメントに使用する。
上記の干渉計の平面は、共振器のアウトカップラーと同
等である。１６次の回折が基準面にアライメントされて
いる場合（干渉縞がない場合）から、格子を１５次の回
折が現われるまで走査させる（同調角度に回動させる）
と、この干渉計に１５次の回折が同調したか否かが示さ
れる。もし１５次の回折が現われない場合には、完全に
アライメントがなされている。なお、同調軸まわりの回
動によって生じる干渉縞は重要ではなく、調整によって
消去される。
上記の「ドットモード」を使用して、１５次および１６
次の回折を略同じ角度にアライメントし、最初の粗アラ
イメントがおこなわれる。そして、作動の干渉モードに
おける１５次と１６次の相対的なアライメントを見なが
ら微細なアライメントをおこなう。アライメントが相違
している場合には、角度αを調整する。角度αの調整量
は、１５次および１６次の間のアライメントが相違して
いる場合に比較して大きい。したがって、角度αは干渉
計がドットモードの状態において調整するのが良い。こ
のドットモードにおいて角度を変化させることは、Ｈｅ
Ｎｅの２つの次数の間のアライメントを変化させること
に直接相当する。このアライメント変化の度合いの表示
を一度記録しておけば、格子のアライメントが迅速にお
こなえる。良い意味または悪い意味で、この格子のミス
アライメントは格子の配置台に触れた場合に干渉縞が動
くのが見えるか否かによって決定できる。
次の回折を略同じ角度にアライメントし、最初の粗アラ
イメントがおこなわれる。そして、作動の干渉モードに
おける１５次と１６次の相対的なアライメントを見なが
ら微細なアライメントをおこなう。アライメントが相違
している場合には、角度αを調整する。角度αの調整量
は、１５次および１６次の間のアライメントが相違して
いる場合に比較して大きい。したがって、角度αは干渉
計がドットモードの状態において調整するのが良い。こ
のドットモードにおいて角度を変化させることは、Ｈｅ
Ｎｅの２つの次数の間のアライメントを変化させること
に直接相当する。このアライメント変化の度合いの表示
を一度記録しておけば、格子のアライメントが迅速にお
こなえる。良い意味または悪い意味で、この格子のミス
アライメントは格子の配置台に触れた場合に干渉縞が動
くのが見えるか否かによって決定できる。
そして、アライメントが達成されたら、上記の角度αを
固定し、これを再度変化させてはならない。格子アセン
ブリを共振器において使用することができ、この場合に
は標準的な方法によってアライメントをなすことができ
る。
固定し、これを再度変化させてはならない。格子アセン
ブリを共振器において使用することができ、この場合に
は標準的な方法によってアライメントをなすことができ
る。
例 １５０本／ｍｍの回折格子を使用した場合のＣＯ２レー
ザーを考慮すると、このレーザーの出力線は９．２から
１０．８ｎｍの波長帯域にわたる。本発明によらない場
合には、角度αおよびβは回折光のアライメント誤差が
十分に小さくなるようにきわめて小さな許容範囲内に押
えなければならない。従来の方法は以下のようにおこな
われていた： この所定のスペクトル範囲の中央にはスペクトル線がな
く；中央に最も近い使用できるスペクトル線は１０．１
ｎｍである。レーザーを１０．１ｎｍにおいてアライメ
ントさせた場合には、もし格子を回動させスペクトル範
囲全体をカバーするように回折光のアライメント誤差を
５０μラジアン以下に押えるためには、前記（１）式か
ら回折格子の角度αおよびβのアライメント誤差はそれ
ぞれ２５０μラジアン以下にする必要がある。
ザーを考慮すると、このレーザーの出力線は９．２から
１０．８ｎｍの波長帯域にわたる。本発明によらない場
合には、角度αおよびβは回折光のアライメント誤差が
十分に小さくなるようにきわめて小さな許容範囲内に押
えなければならない。従来の方法は以下のようにおこな
われていた： この所定のスペクトル範囲の中央にはスペクトル線がな
く；中央に最も近い使用できるスペクトル線は１０．１
ｎｍである。レーザーを１０．１ｎｍにおいてアライメ
ントさせた場合には、もし格子を回動させスペクトル範
囲全体をカバーするように回折光のアライメント誤差を
５０μラジアン以下に押えるためには、前記（１）式か
ら回折格子の角度αおよびβのアライメント誤差はそれ
ぞれ２５０μラジアン以下にする必要がある。
本発明のアライメント方法によれば、１つの状態の代わ
りに２つの状態において正味のアライメント誤差を零に
することができ、同じ５０μラジアンの精度を達成する
のに格子の角度のアライメント誤差を１０，０００μラ
ジアンまで許容でき、これは従来の方法の４０倍に達す
る。この許容誤差の計算結果を表２に示す。本発明のア
ライメント方法によれば、角度αの許容誤差を１１，７
４５μラジアンにすることができる。もちろん、これら
の値は実験者に知られていないものである。
りに２つの状態において正味のアライメント誤差を零に
することができ、同じ５０μラジアンの精度を達成する
のに格子の角度のアライメント誤差を１０，０００μラ
ジアンまで許容でき、これは従来の方法の４０倍に達す
る。この許容誤差の計算結果を表２に示す。本発明のア
ライメント方法によれば、角度αの許容誤差を１１，７
４５μラジアンにすることができる。もちろん、これら
の値は実験者に知られていないものである。
また、本発明の効果をさらに説明すれば、回折格子が回
動するような装置の軸方向のずれによって装置の軸支持
がかなりずれている状態おいての計算をおこなった。こ
の状態は、角度βがスペクトルの一方の端から他方の端
まで−１０００μラジアンから＋１０００μラジアンま
で線形に変化する状態をモデルにした。この量は通常の
方法における軸支持のぐらつきであり、これにより通常
は回折光に１５０μラジアンの誤差を生じる。本発明の
方法によって角度αのアライメントをおこなうことによ
って、装置のずれによる回折光の誤差は、所定の波長帯
域全体にわって低減される。
動するような装置の軸方向のずれによって装置の軸支持
がかなりずれている状態おいての計算をおこなった。こ
の状態は、角度βがスペクトルの一方の端から他方の端
まで−１０００μラジアンから＋１０００μラジアンま
で線形に変化する状態をモデルにした。この量は通常の
方法における軸支持のぐらつきであり、これにより通常
は回折光に１５０μラジアンの誤差を生じる。本発明の
方法によって角度αのアライメントをおこなうことによ
って、装置のずれによる回折光の誤差は、所定の波長帯
域全体にわって低減される。
実験室において、ＣＯ２レーザー回折格子の配置機構
を、上述したような方法によって、干渉計およびＨｅＮ
ｅレーザーを使用して試験した。１３次から１６次の回
折を走査してアライメント誤差角度εを測定した結果を
第５図に示す。この曲線は角度αの変数値が３２００μ
ラジアン、角度βの変数値が２９４２μラジアンのもの
である。このデータは傾き角度βが２９４２μラジアン
に設定した場合によく合致し、ＣＯ２レーザーの波長帯
域９．２〜１０．８ミクロンに相当する回動角度θの範
囲にわたって全体の誤差が約６０μラジアンである。
（特別なブレーズ角度のため、格子の試験の際に１７次
の回折に相当する点は十分見えず、測定できない） 以上、本発明を特別な実施例について説明したが、当業
者であれば、本発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変
更を加えることは容易である。
を、上述したような方法によって、干渉計およびＨｅＮ
ｅレーザーを使用して試験した。１３次から１６次の回
折を走査してアライメント誤差角度εを測定した結果を
第５図に示す。この曲線は角度αの変数値が３２００μ
ラジアン、角度βの変数値が２９４２μラジアンのもの
である。このデータは傾き角度βが２９４２μラジアン
に設定した場合によく合致し、ＣＯ２レーザーの波長帯
域９．２〜１０．８ミクロンに相当する回動角度θの範
囲にわたって全体の誤差が約６０μラジアンである。
（特別なブレーズ角度のため、格子の試験の際に１７次
の回折に相当する点は十分見えず、測定できない） 以上、本発明を特別な実施例について説明したが、当業
者であれば、本発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変
更を加えることは容易である。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−84487（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−81604（ＪＰ，Ａ)
Claims (20)
- 【請求項１】光学装置の一部を構成する反射要素を、回
転同調軸まわりの角度θの所定の回動範囲で回動させ、
上記の回転同調軸に対するこの反射要素の反射面の傾き
角度αを調整してアライメントをなす方法であって： （ａ）上記光学装置の反射要素の固体アライメント調整
を使用して、上記光学装置を上記角度θ方向の所定の回
動範囲の一方の端付近の第１の基準角度θ０の第１の基
準位置にアライメントする過程と； （ｂ）上記の反射要素を上記の角度θ方向に回動させて
この角度θ方向の所定の回動範囲の他方の端付近の第２
の基準角度θ１まで上記反射要素を回動させる過程と； （ｃ）上記の傾き角度αを調整することによってアライ
メント誤差を減少するように上記の光学装置を再度アラ
イメントする過程と； （ｄ）上記反射要素を角度θ方向に回動させて上記第１
の基準角度θ０まで戻し、上記光学装置の固体アライメ
ント調整を用いてこの光学装置を再度アライメントする
過程と； （ｅ）上記の傾き角度αを再度調整してこの光学装置の
アライメント誤差をさらに減少させる過程と； （ｆ）上記の基準角度θ０およびθ１において上記光学
装置がアライメントされるまで上記（ｂ）から（ｅ）ま
での過程を繰り返す過程とを具備したことを特徴とする
反射要素をアライメントする方法。 - 【請求項２】前記反射要素は回折格子であることを特徴
とする前記特許請求の範囲第１項記載の方法。 - 【請求項３】前記光学装置は、レーザー光学共振空洞で
あることを特徴とする前記特許請求の範囲第２項記載の
方法。 - 【請求項４】前記光学装置はレーザー光学共振空洞であ
り、また前記回折格子は上記レーザー光学共振空洞から
放射される光の波長に同調するために使用されるもので
あることを特徴とする欄機特許請求の範囲第２項記載の
方法。 - 【請求項５】光学装置の一部を構成する反射要素を、回
転同調軸まわりの角度θの所定の回動範囲で回動させ、
上記の回転同調軸に対するこの反射要素の格子面の傾き
角度βを調整してアライメントをなす方法であって： （ａ）上記光学装置の反射要素の固体アライメント調整
を使用して、上記光学装置を上記角度θ方向の所定の回
動範囲の一方の端付近の第１の基準角度θ０の第１の基
準位置にアライメントする過程と； （ｂ）上記の反射要素を上記の角度θ方向に回動させて
この角度θ方向の所定の回動範囲の他方の端付近の第２
の基準角度θ１まで上記反射要素を回動させる過程と； （ｃ）上記の傾き角度βを調整することによってアライ
メント誤差を減少するように上記の光学装置を再度アラ
イメントする過程と； （ｄ）上記反射要素を角度θ方向に回動させて上記第１
の基準角度θ０まで戻し、上記光学装置の固体アライメ
ント調整を用いてこの光学装置を再度アライメントする
過程と； （ｅ）上記の傾き角度βを再度調整してこの光学装置の
アライメント誤差をさらに減少させる過程と； （ｆ）上記の基準角度θ０およびθ１において上記光学
装置がアライメントされるまで上記（ｂ）から（ｅ）ま
での過程を繰り返す過程とを具備したことを特徴とする
反射要素をアライメントする方法。 - 【請求項６】前記反射要素は回折格子であることを特徴
とする前記特許請求の範囲第５項記載の方法。 - 【請求項７】前記光学装置は、レーザー光学共振空洞で
あることを特徴とする前記特許請求の範囲第６項記載の
方法。 - 【請求項８】前記光学装置はレーザー光学共振空洞であ
り、また前記回折格子は上記レーザー光学共振空洞から
放射される光の波長に同調するために使用されるもので
あることを特徴とする前記特許請求の範囲第６項記載の
方法。 - 【請求項９】光学装置の一部として反射要素を備え、こ
の反射要素を回転同調軸まわりの角度θの所定の回動範
囲で回動させて放射ビームの方向を調整する装置であっ
て： 出力基準面とこの基準面からの光路とを有する干渉手段
を備え、この光路は光学軸と一致しており； 上記の反射要素を光学軸と垂直に保持する保持手段を備
え、この保持手段は上記の反射要素を回転同調軸まわり
の角度θの方向に回動自在に保持するものであり； 上記の保持手段を上記の干渉手段に対して回動させて上
記の反射要素の上記の出力基準面に対するの固定アライ
メント調整をおこなうる回動手段を備え； 上記の反射要素を反射面の傾き角度αの方向に回動させ
る調整手段を備え； 出力される光の位相と、上記の反射面で反射されて上記
の光学軸に沿って上記の基準面に戻される光の一部の位
相との差を表示する表示手段とを備えたことを特徴とす
る装置。 - 【請求項１０】前記の反射要素は回折格子であることを
特徴とする前記特許請求の範囲第９項記載の装置。 - 【請求項１１】前記の干渉手段は複数の波長の光を出力
するものであることを特徴とする前記特許請求の範囲第
１０項記載の装置。 - 【請求項１２】前記の複数の波長は、ＣＯ２レーザーの
光の波長に対応していることを特徴とする前記特許請求
の範囲第１１項記載の装置。 - 【請求項１３】前記の複数の波長は、約９．２ミクロン
から約１０．８ミクロンの範囲の波長であることを特徴
とする前記特許請求の範囲第１１項記載の装置。 - 【請求項１４】前記の調整手段には、前記の反射要素を
その反射面の傾き角度αを所定の角度に固定する手段を
備えていることを特徴とする前記特許請求の範囲第９項
記載の装置。 - 【請求項１５】光学装置の一部として反射要素を備え、
この反射要素を回転同調軸まわりの角度θの所定の回動
範囲で回動させて放射ビームの方向を調整する装置であ
って： 出力基準面とこの基準面からの光路とを有する干渉手段
を備え、この光路は光学軸と一致しており； 上記の反射要素を光学軸と垂直に保持する保持手段を備
え、この保持手段は上記の反射要素を回転同調軸まわり
の角度θの方向に回動自在に保持するものであり； 上記の保持手段を上記の干渉手段に対して回動させて上
記の反射要素の上記の出力基準面に対するの固定アライ
メント調整をおこなうる回動手段を備え； 上記の反射要素を格子面の傾き角度βの方向に回動させ
る調整手段を備え； 出力される光の位相と、上記の反射面で反射されて上記
の光学軸に沿って上記の基準面に戻される光の一部の位
相との差を表示する表示手段とを備えたことを特徴とす
る装置。 - 【請求項１６】前記の反射要素は回折格子であることを
特徴とする前記特許請求の範囲第１５項記載の装置。 - 【請求項１７】前記の干渉手段は複数の波長の光を出力
するものであることを特徴とする前記特許請求の範囲第
１６項記載の装置。 - 【請求項１８】前記の複数の波長は、ＣＯ２レーザーの
光の波長に対応していることを特徴とする前記特許請求
の範囲第１７項記載の装置。 - 【請求項１９】前記の複数の波長は、約９．２ミクロン
から約１０．８ミクロンの範囲の波長であることを特徴
とする前記特許請求の範囲第１７項記載の装置。 - 【請求項２０】前記の調整手段には、前記の反射要素を
その格子面の傾き角度βを所定の角度に固定する手段を
備えていることを特徴とする前記特許請求の範囲第１５
項記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/860,930 US4815820A (en) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | Method and apparatus for aligning a diffraction grating for tuning the output of a laser |
| US860930 | 1986-05-08 | ||
| PCT/US1987/000689 WO1987007093A1 (en) | 1986-05-08 | 1987-04-02 | Method and apparatus for aligning a diffraction grating for tuning the output of a laser |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63503264A JPS63503264A (ja) | 1988-11-24 |
| JPH0636452B2 true JPH0636452B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=25334399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62502483A Expired - Lifetime JPH0636452B2 (ja) | 1986-05-08 | 1987-04-02 | レーザー出力同調用の回折格子の整列方法およびその装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4815820A (ja) |
| EP (1) | EP0269658B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0636452B2 (ja) |
| IL (1) | IL82316A (ja) |
| TR (1) | TR22845A (ja) |
| WO (1) | WO1987007093A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2646969A1 (fr) * | 1989-05-12 | 1990-11-16 | Telecommunications Sa | Procede d'alignement d'un laser infra-rouge pourvu d'un reseau reflecteur |
| US5075800A (en) * | 1989-12-04 | 1991-12-24 | Yeda Research And Development Co. Ltd. | Method of optimizing holographic optical elements |
| JP3322712B2 (ja) * | 1993-01-14 | 2002-09-09 | 松下電器産業株式会社 | 光チューナの起動方法及び光チューナ |
| US6658032B2 (en) | 2001-10-05 | 2003-12-02 | Pranalytica, Inc. | Automated laser wavelength selection system and method |
| US6775306B2 (en) * | 2002-09-30 | 2004-08-10 | J. Gilbert Tisue | Directly pivotable grating for agile laser tuners |
| US7474948B2 (en) | 2003-04-11 | 2009-01-06 | Borgwarner Inc. | Concept for using software/electronics to calibrate the control system for an automatic transmission |
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