JPS5981604A - 分光器等における光学素子回転位置調整装置 - Google Patents
分光器等における光学素子回転位置調整装置Info
- Publication number
- JPS5981604A JPS5981604A JP19158382A JP19158382A JPS5981604A JP S5981604 A JPS5981604 A JP S5981604A JP 19158382 A JP19158382 A JP 19158382A JP 19158382 A JP19158382 A JP 19158382A JP S5981604 A JPS5981604 A JP S5981604A
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- Japan
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- axis
- around
- optical element
- outer casing
- axes
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/003—Alignment of optical elements
- G02B7/004—Manual alignment, e.g. micromanipulators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光学素子の３直交軸周わシの位置調整を器壁の
外から行うだめの装置に関する。
外から行うだめの装置に関する。
一般に光学素子は直交３軸周シの位置調整が可能なこと
が要求される。例えば第１図に示すような回折格子にお
いて、２軸周シの回転は波長送り方向の回転であり、Ｘ
軸周りの回転は格子線をＸｙ平面に対して垂直にするだ
めの調整回転でｙ軸周シの回転は格子面の仰拝を修正す
るだめの回転で、ｘｙｚ３軸周シに回転可能なことが必
要である。通常回折格子のＸ、ｙ両軸周りの回転は分光
器外筐を開いて行うことができるが、高真空中での分光
測定が必要な場合には−々外筐を開くことは許されない
から、外筐の外から３軸周シの回転を操作できることが
必要となる。しかし従来このような場合に適した光学素
子の３直交軸周りの回転装置はなかった。
が要求される。例えば第１図に示すような回折格子にお
いて、２軸周シの回転は波長送り方向の回転であり、Ｘ
軸周りの回転は格子線をＸｙ平面に対して垂直にするだ
めの調整回転でｙ軸周シの回転は格子面の仰拝を修正す
るだめの回転で、ｘｙｚ３軸周シに回転可能なことが必
要である。通常回折格子のＸ、ｙ両軸周りの回転は分光
器外筐を開いて行うことができるが、高真空中での分光
測定が必要な場合には−々外筐を開くことは許されない
から、外筐の外から３軸周シの回転を操作できることが
必要となる。しかし従来このような場合に適した光学素
子の３直交軸周りの回転装置はなかった。
本発明は高真空を要求される外筐の外から光学素子の３
直交軸周わシの回転操作を行うに適した装置を得ること
を目的としてなされたものである。
直交軸周わシの回転操作を行うに適した装置を得ること
を目的としてなされたものである。
本発明は３軸周シの回転を全て一軸周りの回転に変換し
て操作部材と連結した３軸周９調整装置を提供する。以
下実施例によって本発明を説明する。
て操作部材と連結した３軸周９調整装置を提供する。以
下実施例によって本発明を説明する。
第１図は本発明の実施例の概念を示す斜視図である。Ｇ
は光学素子で例えば回折格子である。ｌは装置本体Ｂに
Ｘ軸周りに回転可能に支承された中間枠で光学素子Ｇは
枠１にＸ軸周りに回動自在に支承されている。ｇｌは光
学素子Ｇと一体的な傘歯車で装置本体ＢにＸ軸周りに回
動可能な傘歯車ｇ２と噛合いｇ２と傘歯車ｇ３とは共軸
連動でｇ３は傘歯車ｇ４と噛合いｇ４は傘歯車ｇ５と噛
合っている。歯車ｇ５の軸ｚ１を回わすと光学素子Ｇを
Ｘ軸周りに回転させることができる。枠］。
は光学素子で例えば回折格子である。ｌは装置本体Ｂに
Ｘ軸周りに回転可能に支承された中間枠で光学素子Ｇは
枠１にＸ軸周りに回動自在に支承されている。ｇｌは光
学素子Ｇと一体的な傘歯車で装置本体ＢにＸ軸周りに回
動可能な傘歯車ｇ２と噛合いｇ２と傘歯車ｇ３とは共軸
連動でｇ３は傘歯車ｇ４と噛合いｇ４は傘歯車ｇ５と噛
合っている。歯車ｇ５の軸ｚ１を回わすと光学素子Ｇを
Ｘ軸周りに回転させることができる。枠］。
には一体的にｙ軸を中心とする傘歯車ｇ６があり、ｙ軸
を中心として装置本体に軸支されＸ軸周りにれだ傘歯車
ｇ８と噛合っている。この歯車ｇ８の軸ｚ２を回わすこ
とにより、枠１をＸ軸周りに回動させることができる。
を中心として装置本体に軸支されＸ軸周りにれだ傘歯車
ｇ８と噛合っている。この歯車ｇ８の軸ｚ２を回わすこ
とにより、枠１をＸ軸周りに回動させることができる。
装置本体Ｂは分光器外筐（不図示）に２軸を軸として回
転可能に支承されている。この構成によって光学素子Ｇ
は２軸方向の軸Ｚｌ、Ｚ２．Ｚ３にＪ：ってｘ、ｙ、
ｚ３３軸りに回動させることができる。
転可能に支承されている。この構成によって光学素子Ｇ
は２軸方向の軸Ｚｌ、Ｚ２．Ｚ３にＪ：ってｘ、ｙ、
ｚ３３軸りに回動させることができる。
光学素子ＧをＸ軸周りに回動させるには軸ｚ２、Ｚ３を
クランプして軸Ｚｌだけを回わせばよい。
クランプして軸Ｚｌだけを回わせばよい。
光学素子ＧをＸ軸周りに回動させるには軸Ｚｌ。
ｚ３をクランプしてｚ２を回わす。光学素子Ｇを２軸周
シに回動させるにはＺｌ、Ｚ２．Ｚ３の３軸を一体的に
回転させる。
シに回動させるにはＺｌ、Ｚ２．Ｚ３の３軸を一体的に
回転させる。
傘歯車ｇ”ｔ ｇ ”ｒ ６８間のバックラッシュ
を消すには傘歯車ｇ′７を第２図でＸ軸方向に摺動可能
にして同歯車の背後から右向きにばねで押圧しておけば
よい。傘歯車ｇ１・ ｇ２＋ ｇ３＋ ｇ’・６５
間のバックラッシュは光学素子ＧをＸ軸周シに一方向に
ばねで付勢しておくことによって除くことができる。
を消すには傘歯車ｇ′７を第２図でＸ軸方向に摺動可能
にして同歯車の背後から右向きにばねで押圧しておけば
よい。傘歯車ｇ１・ ｇ２＋ ｇ３＋ ｇ’・６５
間のバックラッシュは光学素子ＧをＸ軸周シに一方向に
ばねで付勢しておくことによって除くことができる。
第２図ではｚ３軸はＺｌ、２２両軸とは三重軸として同
方向に出ているが、ｚ３軸を反対方向に出すことも可能
である。
方向に出ているが、ｚ３軸を反対方向に出すことも可能
である。
２１〜ｚ３軸を分光器外筐から外側へ貫通させて駆動す
ることも可能であるが、高真空が要求される場合には回
転部分の気密保持が困難であるから、第３図に示すよう
に軸Ｚ１．． ｚ２．Ｚ３は外筐壁Ｗを貫通させず各
軸にクランクＣ（図では一軸についてだけ画いである）
を固着し、外筐壁Ｗを貫通する操作棒ＲとクランクＣと
を連結し、連結棒Ｒと外筐壁Ｗとの間はベローＢＬによ
って気密を保つようにする。
ることも可能であるが、高真空が要求される場合には回
転部分の気密保持が困難であるから、第３図に示すよう
に軸Ｚ１．． ｚ２．Ｚ３は外筐壁Ｗを貫通させず各
軸にクランクＣ（図では一軸についてだけ画いである）
を固着し、外筐壁Ｗを貫通する操作棒ＲとクランクＣと
を連結し、連結棒Ｒと外筐壁Ｗとの間はベローＢＬによ
って気密を保つようにする。
第４図は上述実施例の斜視図で、２は分光器外筐に固定
して立てられた固定枠で装置本体Ｂはこの固定枠に２軸
周シに回転可能に保持されている。
して立てられた固定枠で装置本体Ｂはこの固定枠に２軸
周シに回転可能に保持されている。
３は回折格子保持枠で第２図におけるＧに相当する。そ
の他相２図の各部に相当する部分には第２図と同じ符列
がつけである。
の他相２図の各部に相当する部分には第２図と同じ符列
がつけである。
本発明装置は上述したような構成で、光学素子の直交３
軸周りの回動が共心的な３軸の回動に変換されているの
で、操作部材を分光器外筐壁を貫通させて外に出すこと
が可能となり、真空中に駆動用モータ等を組入れること
なく、また外筐内の真空を破らずに光学素子の位置調整
、波長送９等が可能となる。直交３軸をそのま＼延長し
て外筐外に引出すようにすると例えば２軸周りの波長走
査のだめの回転によってＸ軸Ｉ ｙ軸が２軸周りに回転
して向きを変えるため、ｙ軸、Ｘ軸周りの回転操作部材
は外筐壁にｘｙ平面に治った方向の長孔を穿って外筐外
に引出さねばならず、外筐内の気密保持はきわめて困難
となるのである。まだ真空内にモータ等を置くとモータ
の巻線等が吸蔵しているガスが放出されて高真空を得る
ことは困難であるから、モータ等を用いず外筐外から操
作できることの効果は大きい。
軸周りの回動が共心的な３軸の回動に変換されているの
で、操作部材を分光器外筐壁を貫通させて外に出すこと
が可能となり、真空中に駆動用モータ等を組入れること
なく、また外筐内の真空を破らずに光学素子の位置調整
、波長送９等が可能となる。直交３軸をそのま＼延長し
て外筐外に引出すようにすると例えば２軸周りの波長走
査のだめの回転によってＸ軸Ｉ ｙ軸が２軸周りに回転
して向きを変えるため、ｙ軸、Ｘ軸周りの回転操作部材
は外筐壁にｘｙ平面に治った方向の長孔を穿って外筐外
に引出さねばならず、外筐内の気密保持はきわめて困難
となるのである。まだ真空内にモータ等を置くとモータ
の巻線等が吸蔵しているガスが放出されて高真空を得る
ことは困難であるから、モータ等を用いず外筐外から操
作できることの効果は大きい。
第１図は回折格子の直交３軸周シの回転を示す斜視図、
第２図は本発明の一実施例装置の概念を示す斜視図、第
３図は回転軸操作機構の一例の斜視図、第４図は第１図
に示す実施例の具体的な斜視図である。 Ｇ・・・光学素子、１・・・中間枠、Ｂ・・・装置本体
、Ｚｌ、Ｚ２．Ｚ３・・・回動操作軸、Ｃ・・・クラン
ク、Ｒ・・・操作棒、Ｗ・・・分光器外筐壁。 代理人 弁理士 縣 浩 介 脚２図
第２図は本発明の一実施例装置の概念を示す斜視図、第
３図は回転軸操作機構の一例の斜視図、第４図は第１図
に示す実施例の具体的な斜視図である。 Ｇ・・・光学素子、１・・・中間枠、Ｂ・・・装置本体
、Ｚｌ、Ｚ２．Ｚ３・・・回動操作軸、Ｃ・・・クラン
ク、Ｒ・・・操作棒、Ｗ・・・分光器外筐壁。 代理人 弁理士 縣 浩 介 脚２図
Claims (1)
- 光学素子を装置本体上でｙ軸周シに回転可能な中間枠に
Ｘ軸周りに回転可能に支承し、上記光学記装置本体を分
光器等の外筐に２軸周シに回転可能に支承させ、ｚ軸方
向に共軸的に延びる上記各２軸周りに回転可能な傘歯車
の軸と上記装置本体のＺ方向軸とを分光器等の外筐外の
操作部材と連結した分光器等における光学素子回転位置
調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19158382A JPS5981604A (ja) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | 分光器等における光学素子回転位置調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19158382A JPS5981604A (ja) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | 分光器等における光学素子回転位置調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5981604A true JPS5981604A (ja) | 1984-05-11 |
| JPS6310407B2 JPS6310407B2 (ja) | 1988-03-07 |
Family
ID=16277059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19158382A Granted JPS5981604A (ja) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | 分光器等における光学素子回転位置調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5981604A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0636452B2 (ja) * | 1986-05-08 | 1994-05-11 | ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー | レーザー出力同調用の回折格子の整列方法およびその装置 |
| JP2014026013A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 回折格子ホルダ、回折格子評価装置、および測定装置 |
| JP2020507119A (ja) * | 2017-01-29 | 2020-03-05 | ニューポート コーポレーション | 回析格子ジンバルマウント |
-
1982
- 1982-10-30 JP JP19158382A patent/JPS5981604A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0636452B2 (ja) * | 1986-05-08 | 1994-05-11 | ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー | レーザー出力同調用の回折格子の整列方法およびその装置 |
| JP2014026013A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 回折格子ホルダ、回折格子評価装置、および測定装置 |
| JP2020507119A (ja) * | 2017-01-29 | 2020-03-05 | ニューポート コーポレーション | 回析格子ジンバルマウント |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6310407B2 (ja) | 1988-03-07 |
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