JPH0636455B2 - レ−ザ発振器のパルス発生装置 - Google Patents
レ−ザ発振器のパルス発生装置Info
- Publication number
- JPH0636455B2 JPH0636455B2 JP62177223A JP17722387A JPH0636455B2 JP H0636455 B2 JPH0636455 B2 JP H0636455B2 JP 62177223 A JP62177223 A JP 62177223A JP 17722387 A JP17722387 A JP 17722387A JP H0636455 B2 JPH0636455 B2 JP H0636455B2
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- Japan
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- pulse
- value
- setting device
- pulse peak
- peak
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
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- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、放電励起方式のレーザ発振器におけるパルス
発生装置に関するものである。
発生装置に関するものである。
［従来の技術］ 第５図は従来のレーザ発振器のパルス発生装置の制御ブ
ロツク図、第６図（ａ）および（ｂ）はパルス設定値と
放電電圧のタイミングチヤートである。図において、
１，１ａは放電空間を流動するレーザ媒質に誘導放電を
励起させるための電極、２，２ａは共振器を構成する全
反射鏡と半透過鏡、３はパルスＯＮ時間設定器、４はパ
ルスＯＦＦ時間設定器、５はパルスピーク値設定器、６
は制御回路、７は放電励起回路、８はパルス設定値、９
は連続発振定格値電圧、１０は放電電圧である。
ロツク図、第６図（ａ）および（ｂ）はパルス設定値と
放電電圧のタイミングチヤートである。図において、
１，１ａは放電空間を流動するレーザ媒質に誘導放電を
励起させるための電極、２，２ａは共振器を構成する全
反射鏡と半透過鏡、３はパルスＯＮ時間設定器、４はパ
ルスＯＦＦ時間設定器、５はパルスピーク値設定器、６
は制御回路、７は放電励起回路、８はパルス設定値、９
は連続発振定格値電圧、１０は放電電圧である。
次に動作について説明する。
パルスＯＮ時間設定器３、パルスＯＦＦ時間設定器４お
よびパルスピーク値設定器５により、電極１，１ａ間に
印加すべきパルス周波数とデユーテイ比およびパルスピ
ーク値を設定する。そして、設定されたパルスピーク値
が第６図（ａ）に示す連続発振定格値電圧９よりも小さ
ければ、制御回路６、放電励起回路７によりその設定値
に応じた放電電圧１０を電極１，１ａ間に発生させて全
反射鏡２と半透過鏡２ａの間でレーザビームを共振させ
その一部１１を半透過鏡２ａを通じて外部に発振させ
る。また、上記と同様の条件で、パルスピーク値のみを
連続発振定格値電圧９よりも大きくしたときは、電極
１，１ａ間の放電空間におけるレーザガス温度が上昇
し、発振効率が悪くなるという性質があるので、このと
きはパルスＯＦＦ時間ＴＯＦＦが長くなるようにパルス
ＯＦＦ時間設定器４によりパルスＯＦＦ時間を設定し冷
却時間を長くしている。なお、パルスピーク設定値を連
続発振定格値電圧より大きく設定する理由は、切断加工
性能の向上のためであり、パルスピーク値が高いほど
被加工物への熱影響が少なく、溶け落ちの無いシャープ
なエッジ加工ができること、切断開始時のスタート穴
をあけるためのピアシング時間がパルスピーク値が高い
ほど短くでき、加工時間を短縮できることによるもので
ある。
よびパルスピーク値設定器５により、電極１，１ａ間に
印加すべきパルス周波数とデユーテイ比およびパルスピ
ーク値を設定する。そして、設定されたパルスピーク値
が第６図（ａ）に示す連続発振定格値電圧９よりも小さ
ければ、制御回路６、放電励起回路７によりその設定値
に応じた放電電圧１０を電極１，１ａ間に発生させて全
反射鏡２と半透過鏡２ａの間でレーザビームを共振させ
その一部１１を半透過鏡２ａを通じて外部に発振させ
る。また、上記と同様の条件で、パルスピーク値のみを
連続発振定格値電圧９よりも大きくしたときは、電極
１，１ａ間の放電空間におけるレーザガス温度が上昇
し、発振効率が悪くなるという性質があるので、このと
きはパルスＯＦＦ時間ＴＯＦＦが長くなるようにパルス
ＯＦＦ時間設定器４によりパルスＯＦＦ時間を設定し冷
却時間を長くしている。なお、パルスピーク設定値を連
続発振定格値電圧より大きく設定する理由は、切断加工
性能の向上のためであり、パルスピーク値が高いほど
被加工物への熱影響が少なく、溶け落ちの無いシャープ
なエッジ加工ができること、切断開始時のスタート穴
をあけるためのピアシング時間がパルスピーク値が高い
ほど短くでき、加工時間を短縮できることによるもので
ある。
［発明が解決しようとする問題点］ 従来のレーザ発振器のパルス発生装置は、以上のように
構成されているので、パルスピーク値を連続発振定格値
電圧を越えて設定したときは、パルスＯＦＦ時間も長く
し冷却時間を長くするのであるが、特にパルスＯＮ時間
が長いときは放電空間のレーザガス温度が上昇し、レー
ザビームが発振しないのに電極に電圧を印加することに
なり、そのためレーザ発振効率は低下し、電極にも負担
をかけ電極の寿命を短くするなどの問題点があつた。
構成されているので、パルスピーク値を連続発振定格値
電圧を越えて設定したときは、パルスＯＦＦ時間も長く
し冷却時間を長くするのであるが、特にパルスＯＮ時間
が長いときは放電空間のレーザガス温度が上昇し、レー
ザビームが発振しないのに電極に電圧を印加することに
なり、そのためレーザ発振効率は低下し、電極にも負担
をかけ電極の寿命を短くするなどの問題点があつた。
本発明は、上記の問題点を解消するためになされたもの
で、パルスピーク値を連続発振定格値電圧を越えて設定
した場合、放電空間のレーザガス温度の上昇を抑えてレ
ーザ発振効率を向上させるようにしたレーザ発振器のパ
ルス発生装置を得ることを目的とする。
で、パルスピーク値を連続発振定格値電圧を越えて設定
した場合、放電空間のレーザガス温度の上昇を抑えてレ
ーザ発振効率を向上させるようにしたレーザ発振器のパ
ルス発生装置を得ることを目的とする。
［問題点を解決するための手段］ 本発明に係るレーザ発振器のパルス発生装置は、電極に
所定のパルス電圧を印加して放電空間におけるレーザガ
スを励起させレーザビームを発振させるようにしたレー
ザ発振器のパルス発生装置において、 パルスピーク値設定器と、パルスピーク閾値設定器と、
パルスピーク値とパルスピーク閾値を比較する比較器
と、レーザ発振中に前記パルスピーク値設定器により設
定されたパルスピーク値が前記パルスピーク閾値設定器
により設定されたパルスピーク閾値を越えたとき、前記
比較器の出力により放電エネルギを均一にするように階
段波パルスまたはパルス幅の短いパルスを生成するパル
ス生成器とを備えたものである。
所定のパルス電圧を印加して放電空間におけるレーザガ
スを励起させレーザビームを発振させるようにしたレー
ザ発振器のパルス発生装置において、 パルスピーク値設定器と、パルスピーク閾値設定器と、
パルスピーク値とパルスピーク閾値を比較する比較器
と、レーザ発振中に前記パルスピーク値設定器により設
定されたパルスピーク値が前記パルスピーク閾値設定器
により設定されたパルスピーク閾値を越えたとき、前記
比較器の出力により放電エネルギを均一にするように階
段波パルスまたはパルス幅の短いパルスを生成するパル
ス生成器とを備えたものである。
［作 用］ 本発明のレーザ発振器のパルス発生装置では、レーザ発
振中にパルスピーク値がある一定値を越えると、パルス
生成器が比較器の出力により放電エネルギを均一にする
ように放電電圧のパルス波形を階段波パルスまたはパル
ス幅の短いパルスに生成して該階段波パルスまたはパル
ス幅の短いパルスを電極に印加するため、放電空間にお
けるレーザガス温度の上昇を抑え、電極の寿命を延ばす
ことになる。
振中にパルスピーク値がある一定値を越えると、パルス
生成器が比較器の出力により放電エネルギを均一にする
ように放電電圧のパルス波形を階段波パルスまたはパル
ス幅の短いパルスに生成して該階段波パルスまたはパル
ス幅の短いパルスを電極に印加するため、放電空間にお
けるレーザガス温度の上昇を抑え、電極の寿命を延ばす
ことになる。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図により説明する。
まず、第１の実施例は、レーザ発振中にパルスピーク値
が所定の一定値を越えたときにそのパルスピーク値を制
御することにより放電電圧のパルス波形を制御するもの
であり、これを第１図の制御ブロツク図により示す。ま
た、第２図は第１図に示す主要要素の信号のタイミング
チヤートである。
が所定の一定値を越えたときにそのパルスピーク値を制
御することにより放電電圧のパルス波形を制御するもの
であり、これを第１図の制御ブロツク図により示す。ま
た、第２図は第１図に示す主要要素の信号のタイミング
チヤートである。
第１図において、１，１ａは電極、５はパルスピーク値
設定器、７は放電励起回路である。１２はパルスピーク
閾値設定器、１３はパルス周波数とデユーテイ比設定回
路、１４はパルスピーク値とパルスピーク閾値を比較す
る比較器、１５は階段波パルスピーク幅設定器、１６は
タイミング回路、１７はパルス生成器、１８は階段波後
部ピーク設定器、１９は階段波パルス生成器である。
設定器、７は放電励起回路である。１２はパルスピーク
閾値設定器、１３はパルス周波数とデユーテイ比設定回
路、１４はパルスピーク値とパルスピーク閾値を比較す
る比較器、１５は階段波パルスピーク幅設定器、１６は
タイミング回路、１７はパルス生成器、１８は階段波後
部ピーク設定器、１９は階段波パルス生成器である。
次に、上記実施例の動作を説明する。
パルスピーク値設定器５によりパルスピーク値を設定
し、パルス周波数とデユーテイ比はパルス周波数とデユ
ーテイ比設定回路１３により設定する。これらの制御回
路は、上記パルス設定値がパルスピーク閾値設定器１２
の設定値よりも小さい場合は、該パルス設定値の指令を
タイミング回路１６を介してパルス生成器１７に与える
レーザ発振回路となる。そして、レーザ発振中に、該パ
ルス設定値のパルスピーク値が連続発振定格値付近に設
定したパルスピーク閾値設定器１２の設定値よりも大き
くなつたときは、比較器１４が動作し、階段波後部ピー
ク設定器１８およびタイミング回路１６に信号が入力さ
れ、ここでそのパルス幅が階段波パルスピーク幅設定器
１５のパルスピーク幅よりも大きいときは、前部が階段
波パルスピーク幅と設定ピーク値を持ち、後部の元の残
りのパルス幅は階段波後部ピーク設定器１８により設定
された値のピークを持つ階段波パルスが出力され、放電
励起回路７により電極に階段波パルス状の電圧が印加さ
れる。
し、パルス周波数とデユーテイ比はパルス周波数とデユ
ーテイ比設定回路１３により設定する。これらの制御回
路は、上記パルス設定値がパルスピーク閾値設定器１２
の設定値よりも小さい場合は、該パルス設定値の指令を
タイミング回路１６を介してパルス生成器１７に与える
レーザ発振回路となる。そして、レーザ発振中に、該パ
ルス設定値のパルスピーク値が連続発振定格値付近に設
定したパルスピーク閾値設定器１２の設定値よりも大き
くなつたときは、比較器１４が動作し、階段波後部ピー
ク設定器１８およびタイミング回路１６に信号が入力さ
れ、ここでそのパルス幅が階段波パルスピーク幅設定器
１５のパルスピーク幅よりも大きいときは、前部が階段
波パルスピーク幅と設定ピーク値を持ち、後部の元の残
りのパルス幅は階段波後部ピーク設定器１８により設定
された値のピークを持つ階段波パルスが出力され、放電
励起回路７により電極に階段波パルス状の電圧が印加さ
れる。
すなわち、第２図を参照して説明すると、パルス設定値
８の波形が連続発振定格値９の電圧Ｖ１になる値に対応
する電圧のときは、そのまま、この波形に対応する放電
電圧が電極に印加されるが、パルス設定値８の波形がＶ
１以上のときはＶ１を越えた設定値になる瞬間に比較器
出力２０の波形がローレベルからハイレベルに変わり、
これがタイミング回路１６に入力され、あらかじめ階段
波パルスピーク幅設定器１５により設定された階段波パ
ルスピーク幅２１の波形により階段波前部のパルスピー
ク幅が決まり、残りの部分はタイミング回路１６により
階段波後部２２の波形によりパルス幅が決まる。そし
て、後部のピーク値は階段波後部ピーク設定器１８によ
り設定された値となり、結局、階段波パルス２３の波形
が電極に印加され、放電エネルギを均一化ならしめる。
また、パルス設定値８の波形が階段波パルスピーク幅２
１の波形よりも短いパルス幅であれば、そのままのパル
ス幅の電圧が電極に印加される。
８の波形が連続発振定格値９の電圧Ｖ１になる値に対応
する電圧のときは、そのまま、この波形に対応する放電
電圧が電極に印加されるが、パルス設定値８の波形がＶ
１以上のときはＶ１を越えた設定値になる瞬間に比較器
出力２０の波形がローレベルからハイレベルに変わり、
これがタイミング回路１６に入力され、あらかじめ階段
波パルスピーク幅設定器１５により設定された階段波パ
ルスピーク幅２１の波形により階段波前部のパルスピー
ク幅が決まり、残りの部分はタイミング回路１６により
階段波後部２２の波形によりパルス幅が決まる。そし
て、後部のピーク値は階段波後部ピーク設定器１８によ
り設定された値となり、結局、階段波パルス２３の波形
が電極に印加され、放電エネルギを均一化ならしめる。
また、パルス設定値８の波形が階段波パルスピーク幅２
１の波形よりも短いパルス幅であれば、そのままのパル
ス幅の電圧が電極に印加される。
次に、本発明の第２実施例としてパルス幅を制御する方
式を第３図の制御ブロツク図により示す。また、第４図
は第３図に示す主要要素の信号のタイミングチヤートで
ある。
式を第３図の制御ブロツク図により示す。また、第４図
は第３図に示す主要要素の信号のタイミングチヤートで
ある。
第４図において、第１図と同一符号は同一であるので説
明は省略する。図中、２５はパルス幅設定器、２６は判
断回路で、パルスピーク値がパルスピーク閾値を越えた
こと、パルス幅とパルス幅設定値の大きさを判断するこ
と、およびパルス幅が設定値よりも大きいときに設定値
を出力する動作を行うものである。
明は省略する。図中、２５はパルス幅設定器、２６は判
断回路で、パルスピーク値がパルスピーク閾値を越えた
こと、パルス幅とパルス幅設定値の大きさを判断するこ
と、およびパルス幅が設定値よりも大きいときに設定値
を出力する動作を行うものである。
次に、上記実施例の動作を説明する。
パルスピーク値設定器５によりパルスピーク値を設定
し、パルス周波数とデユーテイ比はパルス周波数とデユ
ーテイ比設定回路１３により設定する。制御回路６は、
上記パルス設定値がパルスピーク閾値設定器１２の設定
値よりも小さい場合は、該パルス設定値の指令を判断回
路２６を介してパルス生成器１７に与えるレーザ発振回
路となる。そして、レーザ発振中に、制御回路６のパル
ス設定値のパルスピーク値が連続発振定格値付近に設定
したパルスピーク閾値設定器１２の設定値よりも大きく
なつたときは、比較器１４が動作し、判断回路２６に信
号が入力され、パルス幅がパルス幅設定器２５のパルス
幅よりも大きいときは、パルス幅設定器２５の設定値の
パルス幅で出力され、パルス生成器１７に指令を与え、
制御回路６と放電励起回路７により電極にパルス幅の短
い電圧が印加される。
し、パルス周波数とデユーテイ比はパルス周波数とデユ
ーテイ比設定回路１３により設定する。制御回路６は、
上記パルス設定値がパルスピーク閾値設定器１２の設定
値よりも小さい場合は、該パルス設定値の指令を判断回
路２６を介してパルス生成器１７に与えるレーザ発振回
路となる。そして、レーザ発振中に、制御回路６のパル
ス設定値のパルスピーク値が連続発振定格値付近に設定
したパルスピーク閾値設定器１２の設定値よりも大きく
なつたときは、比較器１４が動作し、判断回路２６に信
号が入力され、パルス幅がパルス幅設定器２５のパルス
幅よりも大きいときは、パルス幅設定器２５の設定値の
パルス幅で出力され、パルス生成器１７に指令を与え、
制御回路６と放電励起回路７により電極にパルス幅の短
い電圧が印加される。
すなわち、第４図を参照して説明すると、パルス設定値
８の波形が連続発振定格値９の電圧Ｖ１なる値に対応す
る電圧のときは、そのまま、この波形に対応する放電電
圧が電極に印加されるが、パルス設定値８の波形がＶ１
以上のときはＶ１を越えた設定値になる瞬間に比較器出
力２７の波形がローレベルからハイレベルに変わり、こ
れが判断回路２６に入力され、あらかじめパルス幅設定
器２５により設定されたパルス幅設定出力２８，２９の
波形のパルス幅で判断回路出力３０の波形が出力され、
放電励起回路７では放電電圧３１の斜線部で示すような
短い波形のパルス幅の電圧が電極に印加される。これに
より放電エネルギが均一化される。また、パルス設定値
８の波形がパルス幅設定器２５のパルス幅よりも短い波
形のパルス幅であれば、そのままのパルス幅の電圧が電
極に印加される。
８の波形が連続発振定格値９の電圧Ｖ１なる値に対応す
る電圧のときは、そのまま、この波形に対応する放電電
圧が電極に印加されるが、パルス設定値８の波形がＶ１
以上のときはＶ１を越えた設定値になる瞬間に比較器出
力２７の波形がローレベルからハイレベルに変わり、こ
れが判断回路２６に入力され、あらかじめパルス幅設定
器２５により設定されたパルス幅設定出力２８，２９の
波形のパルス幅で判断回路出力３０の波形が出力され、
放電励起回路７では放電電圧３１の斜線部で示すような
短い波形のパルス幅の電圧が電極に印加される。これに
より放電エネルギが均一化される。また、パルス設定値
８の波形がパルス幅設定器２５のパルス幅よりも短い波
形のパルス幅であれば、そのままのパルス幅の電圧が電
極に印加される。
なお、以上の実施例では、レーザ発振器のパルス発生装
置において、パルスＯＮ時間による放電空間の温度が上
昇しレーザ発振効率の低下防止について説明したが、同
時にこれは電極の寿命を延ばす、あるいは急激に大きな
平均パワーを加えない電極保護機構としても用いること
ができるものである。また、以上の実施例では、アナロ
グ制御回路で説明したが、デイジタル制御回路であつて
もよく同様の効果を奏する。
置において、パルスＯＮ時間による放電空間の温度が上
昇しレーザ発振効率の低下防止について説明したが、同
時にこれは電極の寿命を延ばす、あるいは急激に大きな
平均パワーを加えない電極保護機構としても用いること
ができるものである。また、以上の実施例では、アナロ
グ制御回路で説明したが、デイジタル制御回路であつて
もよく同様の効果を奏する。
［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、レーザ発振中にパルスピ
ーク値設定器により設定されたパルスピーク値がパルス
ピーク閾値設定器により設定されたパルスピーク閾値
（連続発振定格値）を越えると、パルス生成器が比較器
の出力により放電エネルギを均一にするように階段波パ
ルスまたはパルス幅の短いパルスを生成し、該パルスを
電極に印加するので、放電空間におけるレーザガスの温
度上昇を抑え、レーザ発振効率が向上し、もつて電極の
寿命を延ばすことができるという効果がある。
ーク値設定器により設定されたパルスピーク値がパルス
ピーク閾値設定器により設定されたパルスピーク閾値
（連続発振定格値）を越えると、パルス生成器が比較器
の出力により放電エネルギを均一にするように階段波パ
ルスまたはパルス幅の短いパルスを生成し、該パルスを
電極に印加するので、放電空間におけるレーザガスの温
度上昇を抑え、レーザ発振効率が向上し、もつて電極の
寿命を延ばすことができるという効果がある。
第１図は本発明の実施例の制御ブロツク図、第２図は第
１図に示す主要要素の信号のタイミングチヤート、第３
図は他の実施例の制御ブロツク図、第４図は第３図に示
す主要要素の信号のタイミングチヤート、第５図は従来
例の制御ブロツク図、第６図（ａ）および（ｂ）はパル
ス設定値と放電電圧のタイミングチヤートである。 １，１ａ……電極 ５……パルスピーク値設定器 ６……制御回路 ７……放電励起回路 １２……パルスピーク閾値設定器 １３……パルス周波数とデユーテイ比設定回路 １４……比較器 １５……階段波パルスピーク幅設定器 １６……タイミング回路 １７……パルス生成器 １８……階段波後部ピーク設定器 １９……階段波パルス生成器 ２５……パルス幅設定器 ２６……判断回路 なお、図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
１図に示す主要要素の信号のタイミングチヤート、第３
図は他の実施例の制御ブロツク図、第４図は第３図に示
す主要要素の信号のタイミングチヤート、第５図は従来
例の制御ブロツク図、第６図（ａ）および（ｂ）はパル
ス設定値と放電電圧のタイミングチヤートである。 １，１ａ……電極 ５……パルスピーク値設定器 ６……制御回路 ７……放電励起回路 １２……パルスピーク閾値設定器 １３……パルス周波数とデユーテイ比設定回路 １４……比較器 １５……階段波パルスピーク幅設定器 １６……タイミング回路 １７……パルス生成器 １８……階段波後部ピーク設定器 １９……階段波パルス生成器 ２５……パルス幅設定器 ２６……判断回路 なお、図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】電極に所定のパルス電圧を印加して放電空
間におけるレーザガスを励起させレーザビームを発振さ
せるようにしたレーザ発振器のパルス発生装置におい
て、 パルスピーク値設定器と、 パルスピーク閾値設定器と、 パルスピーク値とパルスピーク閾値を比較する比較器
と、 レーザ発振中に前記パルスピーク値設定器により設定さ
れたパルスピーク値が前記パルスピーク閾値設定器によ
り設定されたパルスピーク閾値を越えたとき、前記比較
器の出力により放電エネルギを均一にするように段階波
パルスまたはパルス幅の短いパルスを生成するパルス生
成器とを備えたことを特徴とするレーザ発振器のパルス
発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62177223A JPH0636455B2 (ja) | 1987-07-17 | 1987-07-17 | レ−ザ発振器のパルス発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62177223A JPH0636455B2 (ja) | 1987-07-17 | 1987-07-17 | レ−ザ発振器のパルス発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6421985A JPS6421985A (en) | 1989-01-25 |
| JPH0636455B2 true JPH0636455B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=16027308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62177223A Expired - Lifetime JPH0636455B2 (ja) | 1987-07-17 | 1987-07-17 | レ−ザ発振器のパルス発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636455B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57181181A (en) * | 1981-05-01 | 1982-11-08 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | Laser device |
| JPH06101602B2 (ja) * | 1984-06-29 | 1994-12-12 | アマダ エンジニアリング アンド サ−ビス カンパニ− インコ−ポレ−テツド | レーザ発振器 |
-
1987
- 1987-07-17 JP JP62177223A patent/JPH0636455B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6421985A (en) | 1989-01-25 |
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