JPH0636713A - Ｘ線イメージ管 - Google Patents
Ｘ線イメージ管Info
- Publication number
- JPH0636713A JPH0636713A JP19255792A JP19255792A JPH0636713A JP H0636713 A JPH0636713 A JP H0636713A JP 19255792 A JP19255792 A JP 19255792A JP 19255792 A JP19255792 A JP 19255792A JP H0636713 A JPH0636713 A JP H0636713A
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- JP
- Japan
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- electrodes
- electron beam
- electrode
- ray image
- image tube
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- Pending
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- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電極の組立て精度を向上させ、非点収差を減
少するＸ線イメージ管を提供すること。 【構成】 Ｘ線の入射側に入力窓が形成され、その反対
側に出力窓２が形成された真空外囲器１と、入射するＸ
線に対応する電子ビ−ムを放出する入力面と、電子ビ−
ムを可視光像に変換する出力面３と、前記電子ビ−ムの
進路上に電子レンズを形成する複数の電極とを具備した
Ｘ線イメージ管において、前記複数の電極のうち少なく
ともアノ−ド電極Ａとこのアノ−ド電極に一番近いグリ
ッド電極Ｇ１とを、絶縁物または高抵抗物質からなる一
つの構造体４の異なる領域に形成している。
少するＸ線イメージ管を提供すること。 【構成】 Ｘ線の入射側に入力窓が形成され、その反対
側に出力窓２が形成された真空外囲器１と、入射するＸ
線に対応する電子ビ−ムを放出する入力面と、電子ビ−
ムを可視光像に変換する出力面３と、前記電子ビ−ムの
進路上に電子レンズを形成する複数の電極とを具備した
Ｘ線イメージ管において、前記複数の電極のうち少なく
ともアノ−ド電極Ａとこのアノ−ド電極に一番近いグリ
ッド電極Ｇ１とを、絶縁物または高抵抗物質からなる一
つの構造体４の異なる領域に形成している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、医用のＸ線診断装置
や、産業用の非破壊検査装置などに使用され、微弱なＸ
線像を明るい可視光像に変換するＸ線イメージ管に関す
る。
や、産業用の非破壊検査装置などに使用され、微弱なＸ
線像を明るい可視光像に変換するＸ線イメージ管に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、Ｘ線イメージ管を用いたＸ線診
断装置や非破壊検査装置では、被検体を透過したＸ線像
を、Ｘ線イメージ管で可視光像に変換し、この可視光像
をＴＶカメラなどで撮影し、ＴＶモニタで観察してい
る。
断装置や非破壊検査装置では、被検体を透過したＸ線像
を、Ｘ線イメージ管で可視光像に変換し、この可視光像
をＴＶカメラなどで撮影し、ＴＶモニタで観察してい
る。
【０００３】ここで従来のＸ線イメージ管について、図
３を参照して説明する。
３を参照して説明する。
【０００４】２１は真空容器で、この真空容器２１のＸ
線２２の入射側には入力窓２３が設けられる。そして、
入力窓２３の近くには、Ｘ線２２を電子ビ−ム２４に変
換する入力面２５が設けられる。また入力面２５と反対
側には、電子ビ−ム２４を可視光像に変換する出力面２
６が設けられる。また、入力面２５から出力面２６に向
かって進行する電子ビ−ム２４の進路に沿って、電子ビ
−ム２４を加速したり、集束したりする電子レンズが形
成される。
線２２の入射側には入力窓２３が設けられる。そして、
入力窓２３の近くには、Ｘ線２２を電子ビ−ム２４に変
換する入力面２５が設けられる。また入力面２５と反対
側には、電子ビ−ム２４を可視光像に変換する出力面２
６が設けられる。また、入力面２５から出力面２６に向
かって進行する電子ビ−ム２４の進路に沿って、電子ビ
−ム２４を加速したり、集束したりする電子レンズが形
成される。
【０００５】この電子レンズは、入力面２５に負の電圧
を加えるカソ−ド電極Ｋや出力面２６に高い正の電圧を
加えるアノ−ド電極Ａ、そして複数のグリッド電極Ｇ
１、Ｇ２などで形成される。
を加えるカソ−ド電極Ｋや出力面２６に高い正の電圧を
加えるアノ−ド電極Ａ、そして複数のグリッド電極Ｇ
１、Ｇ２などで形成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、Ｘ線イメー
ジ管の電子レンズは、小形軽量化という要求から電子レ
ンズの長さは、できるだけ短くなるように設計される。
電子レンズを短くすると、電子ビ−ムの結像面が平坦で
なくなったり、画像歪が生じたりする。
ジ管の電子レンズは、小形軽量化という要求から電子レ
ンズの長さは、できるだけ短くなるように設計される。
電子レンズを短くすると、電子ビ−ムの結像面が平坦で
なくなったり、画像歪が生じたりする。
【０００７】このような問題を解消するために、例えば
多数の補正電極、即ちグリッド電極が配置される。補正
用のグリッド電極を多数配置する場合、グリッド電極の
組立て精度が重要になる。特に、アノ−ド電極とこのア
ノ−ド電極の直前に位置するグリッド電極との間は電位
差が大きく、その組立て精度は非点収差の発生に大きな
影響を与える。そして、非点収差の発生を防止するため
には、０．１ｍｍ以下の組立て精度が要求される。
多数の補正電極、即ちグリッド電極が配置される。補正
用のグリッド電極を多数配置する場合、グリッド電極の
組立て精度が重要になる。特に、アノ−ド電極とこのア
ノ−ド電極の直前に位置するグリッド電極との間は電位
差が大きく、その組立て精度は非点収差の発生に大きな
影響を与える。そして、非点収差の発生を防止するため
には、０．１ｍｍ以下の組立て精度が要求される。
【０００８】この精度が達成されないと、電子ビ−ム束
は一点に結像せず、非点収差が発生する。この結果、Ｘ
線イメージ管に必要とされる解像度が低下する。
は一点に結像せず、非点収差が発生する。この結果、Ｘ
線イメージ管に必要とされる解像度が低下する。
【０００９】従来、電子レンズを構成する電極は、金属
の筒のような形をしている。そしてこれらの電極を溶接
やネジ止めなどで直接あるいは間接に真空容器に固定し
ている。
の筒のような形をしている。そしてこれらの電極を溶接
やネジ止めなどで直接あるいは間接に真空容器に固定し
ている。
【００１０】しかし、溶接やネジ止めなどでは、電極の
組立て精度に限界があり、非点収差を防止する０．１ｍ
ｍ以下の精度を達成することは困難である。
組立て精度に限界があり、非点収差を防止する０．１ｍ
ｍ以下の精度を達成することは困難である。
【００１１】本発明は電極の組立て精度を向上させ、非
点収差を減少するＸ線イメージ管を提供することを目的
とする。
点収差を減少するＸ線イメージ管を提供することを目的
とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ線の入射側
に入力窓が形成され、入力窓と反対側に出力窓が形成さ
れた真空外囲器と、この真空外囲器内で前記入力窓の近
くに設けられ、入射するＸ線に対応する電子ビ−ムを放
出する入力面と、出力窓の近くに設けられ、前記電子ビ
−ムを可視光像に変換する出力面と、前記入力面と前記
出力面との間で、前記電子ビ−ムの進路上に電子レンズ
を形成する複数の電極とを具備したＸ線イメージ管にお
いて、前記複数の電極のうち少なくともアノ−ド電極と
このアノ−ド電極に一番近いグリッド電極とを、絶縁物
または高抵抗物質からなる一つの構造体の異なる領域に
形成している。
に入力窓が形成され、入力窓と反対側に出力窓が形成さ
れた真空外囲器と、この真空外囲器内で前記入力窓の近
くに設けられ、入射するＸ線に対応する電子ビ−ムを放
出する入力面と、出力窓の近くに設けられ、前記電子ビ
−ムを可視光像に変換する出力面と、前記入力面と前記
出力面との間で、前記電子ビ−ムの進路上に電子レンズ
を形成する複数の電極とを具備したＸ線イメージ管にお
いて、前記複数の電極のうち少なくともアノ−ド電極と
このアノ−ド電極に一番近いグリッド電極とを、絶縁物
または高抵抗物質からなる一つの構造体の異なる領域に
形成している。
【００１３】
【作用】本発明によれば、非点収差の発生に大きな影響
を与えるアノ−ド電極とこのアノ−ド電極に一番近いグ
リッド電極とが、絶縁物または高抵抗物質からなる一つ
の構造体の異なる領域に形成されている。
を与えるアノ−ド電極とこのアノ−ド電極に一番近いグ
リッド電極とが、絶縁物または高抵抗物質からなる一つ
の構造体の異なる領域に形成されている。
【００１４】ところで、絶縁物または高抵抗物質からな
る一つの構造体は、精度のよい加工が容易である。した
がって、一つの構造体を精度よく加工し、アノ−ド電極
とこのアノ−ド電極に一番近いグリッド電極とを、精度
よく加工された構造体に形成することにより、アノ−ド
電極とグリッド電極との組立て精度を向上できる。
る一つの構造体は、精度のよい加工が容易である。した
がって、一つの構造体を精度よく加工し、アノ−ド電極
とこのアノ−ド電極に一番近いグリッド電極とを、精度
よく加工された構造体に形成することにより、アノ−ド
電極とグリッド電極との組立て精度を向上できる。
【００１５】
【実施例】本発明の一実施例について、図１の断面図を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００１６】図１では、Ｘ線イメージ管の一部、即ち、
出力窓の近傍のみを図示している。Ｘ線イメージ管の全
体が真空容器で構成され、Ｘ線の入射する側に入力窓や
入力面が形成される構造などは、従来で説明した図３と
同様であるので、図示は省略し、また説明も省略する。
出力窓の近傍のみを図示している。Ｘ線イメージ管の全
体が真空容器で構成され、Ｘ線の入射する側に入力窓や
入力面が形成される構造などは、従来で説明した図３と
同様であるので、図示は省略し、また説明も省略する。
【００１７】１は、Ｘ線イメージ管を構成する真空容器
であり、真空容器１の下端は出力窓２になっている。こ
の出力窓２の近く、例えばその面には、入力面（図示せ
ず。）から放出された電子ビ−ムを可視光像に変換する
出力面３が形成される。
であり、真空容器１の下端は出力窓２になっている。こ
の出力窓２の近く、例えばその面には、入力面（図示せ
ず。）から放出された電子ビ−ムを可視光像に変換する
出力面３が形成される。
【００１８】また、出力面３を囲むように筒状構造体４
が設けられる。この筒状構造体４は、セラミックなどの
絶縁物、あるいは高抵抗物質で構成され、図面で上方の
方が下方に比べて開口径が小さくなっている。そして筒
状の構造体４の内側には、アルミニウムなどの金属を蒸
着してアノ−ド電極Ａが形成される。このアノ−ド電極
Ａは正の高電圧が印加され、前記出力面３と電気的に接
続している。
が設けられる。この筒状構造体４は、セラミックなどの
絶縁物、あるいは高抵抗物質で構成され、図面で上方の
方が下方に比べて開口径が小さくなっている。そして筒
状の構造体４の内側には、アルミニウムなどの金属を蒸
着してアノ−ド電極Ａが形成される。このアノ−ド電極
Ａは正の高電圧が印加され、前記出力面３と電気的に接
続している。
【００１９】また、筒状構造体４の外側には、その上端
面部分を含めアルミニウムなどの金属を蒸着してグリッ
ド電極Ｇ１が形成される。グリッド電極Ｇ１の端は真空
容器１の外に延びている。また、筒状の構造体４の内側
でアノ−ド電極Ａとグリッド電極Ｇ１との間には酸化ク
ロム、または窒化チタニウムなどの高抵抗物質５が蒸着
される。この高抵抗物質５は、アノ−ド電極Ａやグリッ
ド電極Ｇ１で形成される電位の変化を滑らかにしてい
る。
面部分を含めアルミニウムなどの金属を蒸着してグリッ
ド電極Ｇ１が形成される。グリッド電極Ｇ１の端は真空
容器１の外に延びている。また、筒状の構造体４の内側
でアノ−ド電極Ａとグリッド電極Ｇ１との間には酸化ク
ロム、または窒化チタニウムなどの高抵抗物質５が蒸着
される。この高抵抗物質５は、アノ−ド電極Ａやグリッ
ド電極Ｇ１で形成される電位の変化を滑らかにしてい
る。
【００２０】また、グリッド電極Ｇ１の上方に、他のグ
リッド電極Ｇ２が設けられる。グリッド電極Ｇ２は、断
面が台形をした筒状で、その下端は真空容器１の外に延
びている。なお、グリッド電極Ｇ２はロ−付けなどで、
真空容器１に接合され、固定される。
リッド電極Ｇ２が設けられる。グリッド電極Ｇ２は、断
面が台形をした筒状で、その下端は真空容器１の外に延
びている。なお、グリッド電極Ｇ２はロ−付けなどで、
真空容器１に接合され、固定される。
【００２１】上記の構成によれば、アノ−ド電極Ａやグ
リッド電極Ｇ１は、共通する筒状構造体４の異なる表面
にアルミニウムなどの金属の蒸着で形成されている。し
たがって、アノ−ド電極Ａやグリッド電極Ｇ１の構造
的、または位置的な精度は、ほとんど筒状構造体４の寸
法精度で決定される。
リッド電極Ｇ１は、共通する筒状構造体４の異なる表面
にアルミニウムなどの金属の蒸着で形成されている。し
たがって、アノ−ド電極Ａやグリッド電極Ｇ１の構造
的、または位置的な精度は、ほとんど筒状構造体４の寸
法精度で決定される。
【００２２】ところで、筒状の構造体４を構成する、例
えばアルミナセラミックの加工精度は、金属加工と同様
に数μｍ程度の精度が得られる。
えばアルミナセラミックの加工精度は、金属加工と同様
に数μｍ程度の精度が得られる。
【００２３】したがって、一つの筒状の構造体４を高精
度に加工した後、筒状の構造体４の外側と内側など異な
る領域に、アノ−ド電極とグリッド電極とを金属の蒸着
などで形成すれば、各電極の組立て精度は０．１ｍｍ以
下に抑えることができる。
度に加工した後、筒状の構造体４の外側と内側など異な
る領域に、アノ−ド電極とグリッド電極とを金属の蒸着
などで形成すれば、各電極の組立て精度は０．１ｍｍ以
下に抑えることができる。
【００２４】これにより、Ｘ線イメージ管の非点収差の
発生が防止でき、また解像度の悪化が防げる。
発生が防止でき、また解像度の悪化が防げる。
【００２５】例えば、従来のように個々の電極を、溶接
やネジ止めなどで独立して真空容器に固定する構造で
は、約５０％の製品に非点収差の発生が見られた。本発
明の構造によれば、電極間の軸ずれや真円度のずれなど
が０．１ｍｍ以下にでき、非点収差が発生せず、解像度
の低下はほとんど見られなかった。
やネジ止めなどで独立して真空容器に固定する構造で
は、約５０％の製品に非点収差の発生が見られた。本発
明の構造によれば、電極間の軸ずれや真円度のずれなど
が０．１ｍｍ以下にでき、非点収差が発生せず、解像度
の低下はほとんど見られなかった。
【００２６】なお、Ｘ線イメージ管では、通常アノ−ド
電極をグリッド電極より高電位にしている。本発明のよ
うにアノ−ド電極とグリッド電極とを一つの構造体に形
成した場合、グリッド電極の方をアノ−ド電極より高電
位にして減速電界を形成し、幾何学的歪みを補正するこ
とができる。
電極をグリッド電極より高電位にしている。本発明のよ
うにアノ−ド電極とグリッド電極とを一つの構造体に形
成した場合、グリッド電極の方をアノ−ド電極より高電
位にして減速電界を形成し、幾何学的歪みを補正するこ
とができる。
【００２７】この模様を図２で説明する。なお、図２で
は図１に対応する部分には同一符号を付し重複する説明
は省略する。
は図１に対応する部分には同一符号を付し重複する説明
は省略する。
【００２８】即ち、筒状構造体４の表面側に形成された
グリッド電極Ｇ１に高電圧（３０ｋＶ）を印加すること
によって、０電位のカソ−ド電極ＫＡ近傍の電界強度が
高くなり、電子ビ−ムＢは広がらず、指向性よく放出さ
れ電子ビ−ム径が細くなる。これは電子レンズ系のＭＴ
Ｆ特性を向上させる。
グリッド電極Ｇ１に高電圧（３０ｋＶ）を印加すること
によって、０電位のカソ−ド電極ＫＡ近傍の電界強度が
高くなり、電子ビ−ムＢは広がらず、指向性よく放出さ
れ電子ビ−ム径が細くなる。これは電子レンズ系のＭＴ
Ｆ特性を向上させる。
【００２９】また、高電界により電子レンズのクロスオ
−バ−ポイントＰがカソ−ド電極ＫＡ側に移動し、ま
た、グリッド電極Ｇ１より低い電位のアノ−ド電極Ａ
（２５ｋＶ）によって、周辺部電子ビ−ムの広がりが抑
えられ画像周辺部の伸びが少なくなる。
−バ−ポイントＰがカソ−ド電極ＫＡ側に移動し、ま
た、グリッド電極Ｇ１より低い電位のアノ−ド電極Ａ
（２５ｋＶ）によって、周辺部電子ビ−ムの広がりが抑
えられ画像周辺部の伸びが少なくなる。
【００３０】なお、上記の実施例では、非点収差の発生
に影響が大きいアノ−ド電極とその直前に位置するグリ
ッド電極とを、一つの筒状の構造体４に形成している。
に影響が大きいアノ−ド電極とその直前に位置するグリ
ッド電極とを、一つの筒状の構造体４に形成している。
【００３１】しかし、これ以外の複数の電極について
も、共通の構造体の異なる領域に形成するができ、この
場合も各電極の組立て精度が向上できる。
も、共通の構造体の異なる領域に形成するができ、この
場合も各電極の組立て精度が向上できる。
【００３２】また、複数の電極が形成される共通の構造
体もセラミックに限らず、他の高抵抗材料を用いること
ができ、また２つ以上の材料を組み合わせて構成するこ
ともできる。
体もセラミックに限らず、他の高抵抗材料を用いること
ができ、また２つ以上の材料を組み合わせて構成するこ
ともできる。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、電極の組立て精度が向
上でき、非点収差が減少し、解像度が改善したＸ線イメ
ージ管が実現できる。
上でき、非点収差が減少し、解像度が改善したＸ線イメ
ージ管が実現できる。
【図１】本発明の一実施例を説明する断面図である。
【図２】本発明の動作を説明する図である。
【図３】従来の例を説明する断面図である。
１…真空外囲器 ２…出力窓 ３…出力面 ４…筒状構造体 ５…高抵抗物質 Ｇ１、Ｇ２…グリッド電極
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線の入射側に入力窓が形成され、入力
窓と反対側に出力窓が形成された真空外囲器と、この真
空外囲器内で前記入力窓の近くに設けられ、入射するＸ
線に対応する電子ビ−ムを放出する入力面と、出力窓の
近くに設けられ、前記電子ビ−ムを可視光像に変換する
出力面と、前記入力面と前記出力面との間で、前記電子
ビ−ムの進路上に電子レンズを形成する複数の電極とを
具備したＸ線イメージ管において、前記複数の電極のう
ち少なくともアノ−ド電極とこのアノ−ド電極に一番近
いグリッド電極とが、絶縁物または高抵抗物質からなる
一つの構造体の異なる領域に形成されたことを特徴とす
るＸ線イメージ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19255792A JPH0636713A (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | Ｘ線イメージ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19255792A JPH0636713A (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | Ｘ線イメージ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0636713A true JPH0636713A (ja) | 1994-02-10 |
Family
ID=16293262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19255792A Pending JPH0636713A (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | Ｘ線イメージ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636713A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005268197A (ja) * | 2004-02-20 | 2005-09-29 | Toshiba Corp | Ｘ線イメージ管 |
-
1992
- 1992-07-21 JP JP19255792A patent/JPH0636713A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005268197A (ja) * | 2004-02-20 | 2005-09-29 | Toshiba Corp | Ｘ線イメージ管 |
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