JPH10199457A - Ｘ線イメージ管 - Google Patents
Ｘ線イメージ管Info
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- JPH10199457A JPH10199457A JP648097A JP648097A JPH10199457A JP H10199457 A JPH10199457 A JP H10199457A JP 648097 A JP648097 A JP 648097A JP 648097 A JP648097 A JP 648097A JP H10199457 A JPH10199457 A JP H10199457A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 精度のよい電子レンズを形成できるＸ線イメ
ージ管を提供すること 【解決手段】 内部が真空の真空外囲器１１と、この真
空外囲器１１内の一端に設けられ外部から入力するＸ線
像を光電子像に変換する入力部１４と、真空外囲器１１
内の他端に設けられ光電子像を出力像に変換する出力部
１８と、真空外囲器１１の内面に設けられたガラス絶縁
層１５上に形成され、光電子像に対する加速集束用の電
極を構成する導電層１６とを具備したＸ線イメージ管に
おいて、真空外囲器１１の一部に外側へ突出する凸状部
分１２を設け、この凸状部分１２に対応する真空外囲器
１１内側の凹面部分にガラス絶縁層１５の一部が形成さ
れている。
ージ管を提供すること 【解決手段】 内部が真空の真空外囲器１１と、この真
空外囲器１１内の一端に設けられ外部から入力するＸ線
像を光電子像に変換する入力部１４と、真空外囲器１１
内の他端に設けられ光電子像を出力像に変換する出力部
１８と、真空外囲器１１の内面に設けられたガラス絶縁
層１５上に形成され、光電子像に対する加速集束用の電
極を構成する導電層１６とを具備したＸ線イメージ管に
おいて、真空外囲器１１の一部に外側へ突出する凸状部
分１２を設け、この凸状部分１２に対応する真空外囲器
１１内側の凹面部分にガラス絶縁層１５の一部が形成さ
れている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線やγ線などに
よる放射線像を例えば可視光像に変換するＸ線イメージ
管に関する。
よる放射線像を例えば可視光像に変換するＸ線イメージ
管に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線イメージ管は、Ｘ線などの像を例え
ば可視の出力像に変換する電子管で、医療用や工業用な
どの各種装置に利用されている。ここで、従来のＸ線イ
メージ管について図５を参照して説明する。
ば可視の出力像に変換する電子管で、医療用や工業用な
どの各種装置に利用されている。ここで、従来のＸ線イ
メージ管について図５を参照して説明する。
【０００３】符号５１は真空外囲器で、真空外囲器５１
の前面部に入力窓５２が設けられている。入力窓５２の
真空側には入力部５３が設けられている。入力部５３
は、Ｘ線像を可視光像に変換する入力蛍光面５３ａ、お
よび、入力蛍光面５３ａで変換された可視光像の光の強
弱に応じて光電子を放出する光電面５３ｂなどから構成
されている。また、真空外囲器５１内側の側壁部分には
ガラス絶縁層５４が形成され、ガラス絶縁層５４上に導
電層５５が形成されている。導電層５５は第１グリッド
電極Ｇ１として機能し、第１グリッド電極Ｇ１の後方に
は、第２グリッド電極Ｇ２や第３グリッド電極Ｇ３、陽
極５６、そして出力部５７が順に配置されている。
の前面部に入力窓５２が設けられている。入力窓５２の
真空側には入力部５３が設けられている。入力部５３
は、Ｘ線像を可視光像に変換する入力蛍光面５３ａ、お
よび、入力蛍光面５３ａで変換された可視光像の光の強
弱に応じて光電子を放出する光電面５３ｂなどから構成
されている。また、真空外囲器５１内側の側壁部分には
ガラス絶縁層５４が形成され、ガラス絶縁層５４上に導
電層５５が形成されている。導電層５５は第１グリッド
電極Ｇ１として機能し、第１グリッド電極Ｇ１の後方に
は、第２グリッド電極Ｇ２や第３グリッド電極Ｇ３、陽
極５６、そして出力部５７が順に配置されている。
【０００４】上記した構成のＸ線イメージ管において、
入力部５３から放出された光電子は、真空外囲器５１が
形成する陰極、および、第１〜第３グリッド電極Ｇ１〜
Ｇ３、陽極５６によって加速集束され、真空外囲器５１
内の他端に設けられた出力部５７に入射する。出力部５
７に入射した光電子は例えば可視光の出力像に変換され
る。また、出力部５７で変換された出力像は出力部５７
に対向するように設置された光学レンズ（図示せず）な
どを通してＸ線テレビカメラやスボットカメラ等に送ら
れる。
入力部５３から放出された光電子は、真空外囲器５１が
形成する陰極、および、第１〜第３グリッド電極Ｇ１〜
Ｇ３、陽極５６によって加速集束され、真空外囲器５１
内の他端に設けられた出力部５７に入射する。出力部５
７に入射した光電子は例えば可視光の出力像に変換され
る。また、出力部５７で変換された出力像は出力部５７
に対向するように設置された光学レンズ（図示せず）な
どを通してＸ線テレビカメラやスボットカメラ等に送ら
れる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】Ｘ線イメージ管は、入
力部５３に入力されたＸ線像を出力部５７において忠実
な出力像として再現する必要がある。このため、入力部
５３と出力部５７間に形成される電子レンズには高い精
度が要求されている。そして、高精度の電子レンズを実
現するために、導電層５５が構成する第１グリッド電極
Ｇ１や、第２グリッド電極Ｇ２、第３グリッド電極Ｇ
３、陽極５６などの各電極に対し精度のよい組み立てが
必要とされる。
力部５３に入力されたＸ線像を出力部５７において忠実
な出力像として再現する必要がある。このため、入力部
５３と出力部５７間に形成される電子レンズには高い精
度が要求されている。そして、高精度の電子レンズを実
現するために、導電層５５が構成する第１グリッド電極
Ｇ１や、第２グリッド電極Ｇ２、第３グリッド電極Ｇ
３、陽極５６などの各電極に対し精度のよい組み立てが
必要とされる。
【０００６】各電極の組立精度を上げるために、例え
ば、Ｘ線イメージ管を構成する真空外囲器をステンレス
などの金属で形成する方法がある。真空外囲器を金属で
形成しその入力窓に直接、入力蛍光体を形成するような
場合、真空外囲器が陰極電圧（通常０Ｖ）に設定され
る。このため、真空外囲器の側壁部分にグリッド電極用
の導電層を形成する場合、例えば、真空外囲器の内面に
ガラスなどの絶縁層を形成し、絶縁層上に導電層が形成
される（特開昭６０−７４３３４号あるいは米国特許明
細書４９６０９８７号参照）。
ば、Ｘ線イメージ管を構成する真空外囲器をステンレス
などの金属で形成する方法がある。真空外囲器を金属で
形成しその入力窓に直接、入力蛍光体を形成するような
場合、真空外囲器が陰極電圧（通常０Ｖ）に設定され
る。このため、真空外囲器の側壁部分にグリッド電極用
の導電層を形成する場合、例えば、真空外囲器の内面に
ガラスなどの絶縁層を形成し、絶縁層上に導電層が形成
される（特開昭６０−７４３３４号あるいは米国特許明
細書４９６０９８７号参照）。
【０００７】ところで、真空外囲器の真空側の内面にガ
ラス絶縁層を形成する場合、ガラスは焼成段階で溶解す
る。このため、ガラスにだれや盛り上がりが発生し、ガ
ラス絶縁層の端部の境界には１ｍｍ程度の誤差は避けら
れない。また、ガラス絶縁層上に形成される導電層の端
部と真空外囲器との間の電気的絶縁を維持するために、
導電層の端部と真空外囲器間にガラス絶縁層のみの領域
が最低でも５ｍｍ程度は必要とされる。また、光電面を
形成する際にガラス絶縁層のみの領域にアルカリ金属な
どが付着することを考慮すると、ガラス絶縁層のみの領
域として１０ｍｍ以上の幅が必要になってくる。
ラス絶縁層を形成する場合、ガラスは焼成段階で溶解す
る。このため、ガラスにだれや盛り上がりが発生し、ガ
ラス絶縁層の端部の境界には１ｍｍ程度の誤差は避けら
れない。また、ガラス絶縁層上に形成される導電層の端
部と真空外囲器との間の電気的絶縁を維持するために、
導電層の端部と真空外囲器間にガラス絶縁層のみの領域
が最低でも５ｍｍ程度は必要とされる。また、光電面を
形成する際にガラス絶縁層のみの領域にアルカリ金属な
どが付着することを考慮すると、ガラス絶縁層のみの領
域として１０ｍｍ以上の幅が必要になってくる。
【０００８】しかし、ガラス絶縁層のみの領域にはアル
カリ金属やアンチモンが付着することがあり、これらア
ルカリ金属やアンチモンが付着すると、電子レンズの構
成上、電位が不特定な領域になる。したがって、ガラス
絶縁層のみの領域が広くなると、その分、電子レンズの
精度が悪くなり、出力部で変換される出力像の忠実度に
悪い影響が出てくる。また、電位の不特定な領域によっ
て、例えば、Ｘ線イメージ管の周辺部における解像度に
ばらつきが出るという問題もある。
カリ金属やアンチモンが付着することがあり、これらア
ルカリ金属やアンチモンが付着すると、電子レンズの構
成上、電位が不特定な領域になる。したがって、ガラス
絶縁層のみの領域が広くなると、その分、電子レンズの
精度が悪くなり、出力部で変換される出力像の忠実度に
悪い影響が出てくる。また、電位の不特定な領域によっ
て、例えば、Ｘ線イメージ管の周辺部における解像度に
ばらつきが出るという問題もある。
【０００９】この発明は、上記した欠点を解決するもの
で、精度のよい電子レンズを形成できるＸ線イメージ管
を提供することを目的とする。
で、精度のよい電子レンズを形成できるＸ線イメージ管
を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、内部が真空の
真空外囲器と、この真空外囲器内の一端に設けられ外部
から入力するＸ線像を光電子像に変換する入力部と、前
記真空外囲器内の他端に設けられ前記光電子像を出力像
に変換する出力部と、前記真空外囲器の内面に設けられ
たガラス絶縁層上に形成され、前記光電子像に対する加
速集束用の電極を構成する導電層とを具備したＸ線イメ
ージ管において、前記真空外囲器の一部に外側へ突出す
る凸状部分を設け、この凸状部分に対応する前記真空外
囲器内側の凹面部分に前記ガラス絶縁層の一部が形成さ
れている。
真空外囲器と、この真空外囲器内の一端に設けられ外部
から入力するＸ線像を光電子像に変換する入力部と、前
記真空外囲器内の他端に設けられ前記光電子像を出力像
に変換する出力部と、前記真空外囲器の内面に設けられ
たガラス絶縁層上に形成され、前記光電子像に対する加
速集束用の電極を構成する導電層とを具備したＸ線イメ
ージ管において、前記真空外囲器の一部に外側へ突出す
る凸状部分を設け、この凸状部分に対応する前記真空外
囲器内側の凹面部分に前記ガラス絶縁層の一部が形成さ
れている。
【００１１】また、凹面部分が、凹面のもっとも深い最
深部分を挟む入力部側の面と出力部側の面を有し、前記
出力部側の面にガラス絶縁層のみの領域を設けたことを
特徴としている。
深部分を挟む入力部側の面と出力部側の面を有し、前記
出力部側の面にガラス絶縁層のみの領域を設けたことを
特徴としている。
【００１２】また、本発明は、内部が真空の真空外囲器
と、この真空外囲器内の一端に設けられ外部から入力す
るＸ線像を光電子像に変換する入力部と、前記真空外囲
器内の他端に設けられ前記光電子像を出力像に変換する
出力部と、前記真空外囲器の内面に設けられたガラス絶
縁層上に形成され、前記光電子像に対する加速集束用の
電極を構成する導電層とを具備したＸ線イメージ管にお
いて、前記真空外囲器の一部に内側へ突出する凹状部分
を設け、この凹状部分に対応する前記真空外囲器内側の
凸面部分に前記ガラス絶縁層の一部が形成されている。
と、この真空外囲器内の一端に設けられ外部から入力す
るＸ線像を光電子像に変換する入力部と、前記真空外囲
器内の他端に設けられ前記光電子像を出力像に変換する
出力部と、前記真空外囲器の内面に設けられたガラス絶
縁層上に形成され、前記光電子像に対する加速集束用の
電極を構成する導電層とを具備したＸ線イメージ管にお
いて、前記真空外囲器の一部に内側へ突出する凹状部分
を設け、この凹状部分に対応する前記真空外囲器内側の
凸面部分に前記ガラス絶縁層の一部が形成されている。
【００１３】また、凸面部分が、凸面のもっとも高い最
高部分を挟む入力部側の面と出力部側の面を有し、前記
入力部側の面にガラス絶縁層のみの領域を設けたことを
特徴としている。
高部分を挟む入力部側の面と出力部側の面を有し、前記
入力部側の面にガラス絶縁層のみの領域を設けたことを
特徴としている。
【００１４】上記した構成によれば、真空外囲器の一部
に外側へ突出する凸状部分、あるいは内側へ突出する凹
状部分を設け、この凸状部分あるいは凹状部分に対応す
る真空外囲器内側の凹面部分あるいは凸面部分にガラス
絶縁層の一部が形成されている。この場合、真空外囲器
の外周部分に環状に形成される凹面部分あるいは凸面部
分と他の平坦な壁部分との境界線などを目印にしてガラ
ス絶縁層を形成できる。したがって、ガラス絶縁層を精
度よく形成でき精度のよい電子レンズを形成できる。ま
た、真空外囲器と導電層の端部との壁面に沿った距離は
壁部が折り曲げられている分だけ長くなり絶縁特性が維
持される。このため、真空外囲器と導電層の端部との距
離を、例えば数ｍｍ程度に抑えることができ、電子レン
ズに悪い影響を与える電位が不特定な領域を少なくでき
る。また、真空外囲器内側の凹面部分あるいは凸面部分
は出力側から見えない影の領域を持っている。このよう
な影の領域は、光電面を形成する際の素材であるアルカ
リ金属やアンチモンが付着しにくい。このため、真空外
囲器と導電層間の絶縁特性を向上できる。
に外側へ突出する凸状部分、あるいは内側へ突出する凹
状部分を設け、この凸状部分あるいは凹状部分に対応す
る真空外囲器内側の凹面部分あるいは凸面部分にガラス
絶縁層の一部が形成されている。この場合、真空外囲器
の外周部分に環状に形成される凹面部分あるいは凸面部
分と他の平坦な壁部分との境界線などを目印にしてガラ
ス絶縁層を形成できる。したがって、ガラス絶縁層を精
度よく形成でき精度のよい電子レンズを形成できる。ま
た、真空外囲器と導電層の端部との壁面に沿った距離は
壁部が折り曲げられている分だけ長くなり絶縁特性が維
持される。このため、真空外囲器と導電層の端部との距
離を、例えば数ｍｍ程度に抑えることができ、電子レン
ズに悪い影響を与える電位が不特定な領域を少なくでき
る。また、真空外囲器内側の凹面部分あるいは凸面部分
は出力側から見えない影の領域を持っている。このよう
な影の領域は、光電面を形成する際の素材であるアルカ
リ金属やアンチモンが付着しにくい。このため、真空外
囲器と導電層間の絶縁特性を向上できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態について図１を
参照して説明する。符号１１は、Ｘ線イメージ管を構成
する真空外囲器で、例えばステンレスのような金属で形
成されている。真空外囲器１１は径の大きい径大部分１
１ａや径の小さい径小部分１１ｂなどから構成され、径
大部分１１ａの一部に外側に突出した凸状部分１２が形
成されている。なお、凸状部分１２は真空外囲器１１の
外周に沿って環状に形成されている。
参照して説明する。符号１１は、Ｘ線イメージ管を構成
する真空外囲器で、例えばステンレスのような金属で形
成されている。真空外囲器１１は径の大きい径大部分１
１ａや径の小さい径小部分１１ｂなどから構成され、径
大部分１１ａの一部に外側に突出した凸状部分１２が形
成されている。なお、凸状部分１２は真空外囲器１１の
外周に沿って環状に形成されている。
【００１６】真空外囲器１１の前面部には入力窓１３が
設けられ、入力窓１３の真空内側の一端に入力部１４が
設けられている。入力部１４は、Ｘ線像を可視光像に変
換する入力蛍光面１４ａ、および、入力蛍光面１４ａで
変換された可視光像の光の強弱に応じて光電子を放出す
る光電面１４ｂなどから構成されている。
設けられ、入力窓１３の真空内側の一端に入力部１４が
設けられている。入力部１４は、Ｘ線像を可視光像に変
換する入力蛍光面１４ａ、および、入力蛍光面１４ａで
変換された可視光像の光の強弱に応じて光電子を放出す
る光電面１４ｂなどから構成されている。
【００１７】また、真空外囲器１１の凸状部分１２に対
応する真空外囲器１１内側の凹面部分１２ａ、そして、
凹面部分１２ａの後方に位置する径大部分１１ａの平坦
な側壁部分、さらに、径小部分１１ｂへとガラス絶縁層
１５が連続して形成されている。また、ガラス絶縁層１
５上に、第１グリッド電極Ｇ１として機能する導電層１
６が形成されている。第１グリッド電極Ｇ１の後方に
は、円筒状の第２グリッド電極Ｇ２や円錐状の第３グリ
ッド電極Ｇ３、陽極１７、そして、出力部１８が順に配
置されている。
応する真空外囲器１１内側の凹面部分１２ａ、そして、
凹面部分１２ａの後方に位置する径大部分１１ａの平坦
な側壁部分、さらに、径小部分１１ｂへとガラス絶縁層
１５が連続して形成されている。また、ガラス絶縁層１
５上に、第１グリッド電極Ｇ１として機能する導電層１
６が形成されている。第１グリッド電極Ｇ１の後方に
は、円筒状の第２グリッド電極Ｇ２や円錐状の第３グリ
ッド電極Ｇ３、陽極１７、そして、出力部１８が順に配
置されている。
【００１８】上記した構成のＸ線イメージ管において、
入力部１４から放出された光電子１９は、真空外囲器１
１が形成する陰極、および、第１〜第３グリッド電極Ｇ
１〜Ｇ３、陽極１７の各電極によって加速集束され、真
空外囲器１１内の他端に設けられた出力部１８に入射す
る。そして、出力部１８に入射した光電子１９は例えば
可視光の出力像に変換される。
入力部１４から放出された光電子１９は、真空外囲器１
１が形成する陰極、および、第１〜第３グリッド電極Ｇ
１〜Ｇ３、陽極１７の各電極によって加速集束され、真
空外囲器１１内の他端に設けられた出力部１８に入射す
る。そして、出力部１８に入射した光電子１９は例えば
可視光の出力像に変換される。
【００１９】ここで、真空外囲器１１の径大部分１１ａ
に形成された凸状部分１２の構造について図２を参照し
て説明する。図２は、凸状部分１２のみを拡大して示し
た断面図で、図１に対応する部分には同一の符号を付し
てある。真空外囲器１１の壁厚は大気圧に耐えられるよ
うに１．０〜２．０ｍｍ程度とし、ガラスの０．１〜
０．３ｍｍの場合よりも厚くなっている。なお、凸状部
分１２の折り曲げ角度を９０度近くにする場合は、強度
をより上げる必要があり、このような場合は壁厚はもっ
と厚くされる。なお、凸状部分１２によって形成される
真空外囲器１１内側の凹面部分１２ａは、凹面部分１２
ａのもっとも深い最深部分を挟んで、入力部側に位置す
る面１２Ａと出力部側に位置する面１２Ｂとに分かれ、
ガラス絶縁層１５は、凹面部分１２ａの全体に形成さ
れ、さらに、凹面部分１２ａの後方、即ち、凹面部分１
２ａよりも出力部側に位置する径大部分１１ａへと真空
外囲器１１の内面に連続して形成されている。そして導
電層１６は、例えば、径大部分１１ａの凹面部分１２ａ
と平坦部分との境界部分から径小部分１１ｂへとアルミ
蒸着などで、ガラス絶縁層１５上に形成されている。こ
の場合、導電層１６の入力部側の端部が凹面部分１２ａ
の出力部側の面１２Ｂに深く入らないようにしている。
に形成された凸状部分１２の構造について図２を参照し
て説明する。図２は、凸状部分１２のみを拡大して示し
た断面図で、図１に対応する部分には同一の符号を付し
てある。真空外囲器１１の壁厚は大気圧に耐えられるよ
うに１．０〜２．０ｍｍ程度とし、ガラスの０．１〜
０．３ｍｍの場合よりも厚くなっている。なお、凸状部
分１２の折り曲げ角度を９０度近くにする場合は、強度
をより上げる必要があり、このような場合は壁厚はもっ
と厚くされる。なお、凸状部分１２によって形成される
真空外囲器１１内側の凹面部分１２ａは、凹面部分１２
ａのもっとも深い最深部分を挟んで、入力部側に位置す
る面１２Ａと出力部側に位置する面１２Ｂとに分かれ、
ガラス絶縁層１５は、凹面部分１２ａの全体に形成さ
れ、さらに、凹面部分１２ａの後方、即ち、凹面部分１
２ａよりも出力部側に位置する径大部分１１ａへと真空
外囲器１１の内面に連続して形成されている。そして導
電層１６は、例えば、径大部分１１ａの凹面部分１２ａ
と平坦部分との境界部分から径小部分１１ｂへとアルミ
蒸着などで、ガラス絶縁層１５上に形成されている。こ
の場合、導電層１６の入力部側の端部が凹面部分１２ａ
の出力部側の面１２Ｂに深く入らないようにしている。
【００２０】上記した構成の場合、真空外囲器１１の凹
面部分１２ａと平坦部分の境界などを目印にしてガラス
絶縁層１５用のガラス材の被膜を形成でき、焼成後のガ
ラス絶縁層１５の端部の寸法精度を向上させることがで
きる。また、ガラス絶縁層１５の縁面距離は折り曲げら
れている分だけ長くなり、絶縁特性は良好に維持され
る。したがって、真空外囲器１１と導電層１６端部との
最短距離を数ｍｍ程度に抑えることができ、この結果、
ガラス絶縁層１５のみの領域を狭くでき電子レンズに与
える影響を小さくできる。また、凹面部分１２ａの出力
部側の面１２Ｂには、光電面の素材であるアルカリ金属
やアンチモンが付着しにくいためアルカリ金属やアンチ
モンなどによる絶縁不良などの事故を防止できる。
面部分１２ａと平坦部分の境界などを目印にしてガラス
絶縁層１５用のガラス材の被膜を形成でき、焼成後のガ
ラス絶縁層１５の端部の寸法精度を向上させることがで
きる。また、ガラス絶縁層１５の縁面距離は折り曲げら
れている分だけ長くなり、絶縁特性は良好に維持され
る。したがって、真空外囲器１１と導電層１６端部との
最短距離を数ｍｍ程度に抑えることができ、この結果、
ガラス絶縁層１５のみの領域を狭くでき電子レンズに与
える影響を小さくできる。また、凹面部分１２ａの出力
部側の面１２Ｂには、光電面の素材であるアルカリ金属
やアンチモンが付着しにくいためアルカリ金属やアンチ
モンなどによる絶縁不良などの事故を防止できる。
【００２１】次に、真空外囲器１１の他の構造について
図３を参照して説明する。なお、図３は、真空外囲器１
１の径大部分１１ａに形成された凹状部分３１のみを拡
大して示した断面図で、図２に対応する部分には同一の
符号を付してある。
図３を参照して説明する。なお、図３は、真空外囲器１
１の径大部分１１ａに形成された凹状部分３１のみを拡
大して示した断面図で、図２に対応する部分には同一の
符号を付してある。
【００２２】この例では、真空外囲器１１の径大部分１
１ａに内側へ突出する凹状部分３１が設けられている。
そして、ガラス絶縁層１５は、凹状部分３１に対応する
真空外囲器１１内側の凸面部分３１ａ、そして、凸面部
分３１ａに隣接する出力部側の平坦部分へと連続的に形
成されている。また、導電層１６は、凸面部分３１ａの
出力部側の端部からその出力部側方向の平坦部分へとガ
ラス絶縁層１５上にアルミ蒸着などで形成されている。
１ａに内側へ突出する凹状部分３１が設けられている。
そして、ガラス絶縁層１５は、凹状部分３１に対応する
真空外囲器１１内側の凸面部分３１ａ、そして、凸面部
分３１ａに隣接する出力部側の平坦部分へと連続的に形
成されている。また、導電層１６は、凸面部分３１ａの
出力部側の端部からその出力部側方向の平坦部分へとガ
ラス絶縁層１５上にアルミ蒸着などで形成されている。
【００２３】この場合も、真空外囲器１１の凸面部分３
１ａと平坦部分の境界などを目印にしてガラス材の被膜
を形成することができ、焼成後のガラス絶縁層１５の端
部の寸法精度を向上できる。また、電子レンズに影響を
与える真空外囲器１１と導電層１６端部との最短距離を
数ｍｍ程度に抑えることができ、電子レンズに与える影
響を小さくできる。このとき、ガラス絶縁層１５の縁面
距離は折り曲げられている分だけ長くなり絶縁特性は維
持される。また、凸面部分３１ａのもっとも高い位置か
ら入力部側に位置する面３１Ａは、出力部側に位置する
面３１Ｂとは異なり、出力部側から見えない影の部分が
あり、光電面の素材であるアルカリ金属やアンチモンが
付着しにくい。したがって、アルカリ金属やアンチモン
の付着による絶縁不良などの事故を防止できる。なお、
凸面部分３１ａの先端が高くなると、電子レンズに影響
を与えるのであまり高くしない方が望ましい。
１ａと平坦部分の境界などを目印にしてガラス材の被膜
を形成することができ、焼成後のガラス絶縁層１５の端
部の寸法精度を向上できる。また、電子レンズに影響を
与える真空外囲器１１と導電層１６端部との最短距離を
数ｍｍ程度に抑えることができ、電子レンズに与える影
響を小さくできる。このとき、ガラス絶縁層１５の縁面
距離は折り曲げられている分だけ長くなり絶縁特性は維
持される。また、凸面部分３１ａのもっとも高い位置か
ら入力部側に位置する面３１Ａは、出力部側に位置する
面３１Ｂとは異なり、出力部側から見えない影の部分が
あり、光電面の素材であるアルカリ金属やアンチモンが
付着しにくい。したがって、アルカリ金属やアンチモン
の付着による絶縁不良などの事故を防止できる。なお、
凸面部分３１ａの先端が高くなると、電子レンズに影響
を与えるのであまり高くしない方が望ましい。
【００２４】次に、真空外囲器１１の一部に凸状部分１
２を形成する方法について図４を参照して説明する。図
４は、真空外囲器１１の凸状部分１２が形成される例え
ば径大部分１１ａ壁部の一部を断面している。
２を形成する方法について図４を参照して説明する。図
４は、真空外囲器１１の凸状部分１２が形成される例え
ば径大部分１１ａ壁部の一部を断面している。
【００２５】符号４１ａは、径大部分１１ａの入力部側
を構成する前半部分の端部を、また、符号４１ｂは、前
半部分４１ａに接合される径大部分１１ａの後半部分の
端部を示している。両端部４１ａ、４１ｂはほぼ対称の
形状をしており、平坦部分４２ａ、４２ｂから外方に広
がり、端面部分４３ａ、４３ｂはさらに鍔状に広がって
いる。そして、鍔状に広がった端面部分４３ａ、４３ｂ
同士が符号Ｂで示すように気密に溶接され、一体化され
る。この構造の場合、端面部分４３ａ、４３ｂが鍔状に
広がっているため接合面が広くなり、接合強度を大きく
できる。
を構成する前半部分の端部を、また、符号４１ｂは、前
半部分４１ａに接合される径大部分１１ａの後半部分の
端部を示している。両端部４１ａ、４１ｂはほぼ対称の
形状をしており、平坦部分４２ａ、４２ｂから外方に広
がり、端面部分４３ａ、４３ｂはさらに鍔状に広がって
いる。そして、鍔状に広がった端面部分４３ａ、４３ｂ
同士が符号Ｂで示すように気密に溶接され、一体化され
る。この構造の場合、端面部分４３ａ、４３ｂが鍔状に
広がっているため接合面が広くなり、接合強度を大きく
できる。
【００２６】なお、真空外囲器１１の一部に凹状部分を
形成する場合は、図４で説明した凸状部分１２を形成す
る場合と同様の方法で形成される。ただし、凹状部分を
形成する場合は、図４と逆に端面部分が内側に狭い構造
になっている。
形成する場合は、図４で説明した凸状部分１２を形成す
る場合と同様の方法で形成される。ただし、凹状部分を
形成する場合は、図４と逆に端面部分が内側に狭い構造
になっている。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、精度のよい電子レンズ
を形成できるＸ線イメージ管を実現できる。
を形成できるＸ線イメージ管を実現できる。
【図１】本発明の１つの実施例を説明するための概略断
面図である。
面図である。
【図２】本発明を説明する図で、真空外囲器の凸状部分
を拡大した概略断面図である。
を拡大した概略断面図である。
【図３】本発明を説明する図で、真空外囲器の凹状部分
を拡大した概略断面図である。
を拡大した概略断面図である。
【図４】本発明の凸状部分を説明するための凸状部分の
概略断面図である。
概略断面図である。
【図５】従来例を説明するための概略断面図である。
１１…真空外囲器 １１ａ…真空外囲器の径大部分 １１ｂ…真空外囲器の径小部分 １２…凸状部分 １２ａ…凹面部分 １３…入力窓 １４…入力部 １４ａ…入力蛍光面 １４ｂ…光電面 １５…ガラス絶縁層 １６…導電層 １７…陽極 １８…出力部 １９…光電子 Ｇ１…第１グリッド電極 Ｇ２…第２グリッド電極 Ｇ３…第３グリッド電極
Claims (4)
- 【請求項１】 内部が真空の真空外囲器と、この真空外
囲器内の一端に設けられ外部から入力するＸ線像を光電
子像に変換する入力部と、前記真空外囲器内の他端に設
けられ前記光電子像を出力像に変換する出力部と、前記
真空外囲器の内面に設けられたガラス絶縁層上に形成さ
れ、前記光電子像に対する加速集束用の電極を構成する
導電層とを具備したＸ線イメージ管において、前記真空
外囲器の一部に外側へ突出する凸状部分を設け、この凸
状部分に対応する前記真空外囲器内側の凹面部分に前記
ガラス絶縁層の一部が形成されていることを特徴とする
Ｘ線イメージ管。 - 【請求項２】 凹面部分が、凹面のもっとも深い最深部
分を挟む入力部側の面と出力部側の面を有し、前記出力
部側の面にガラス絶縁層のみの領域を設けたことを特徴
とする請求項１記載のＸ線イメージ管。 - 【請求項３】 内部が真空の真空外囲器と、この真空外
囲器内の一端に設けられ外部から入力するＸ線像を光電
子像に変換する入力部と、前記真空外囲器内の他端に設
けられ前記光電子像を出力像に変換する出力部と、前記
真空外囲器の内面に設けられたガラス絶縁層上に形成さ
れ、前記光電子像に対する加速集束用の電極を構成する
導電層とを具備したＸ線イメージ管において、前記真空
外囲器の一部に内側へ突出する凹状部分を設け、この凹
状部分に対応する前記真空外囲器内側の凸面部分に前記
ガラス絶縁層の一部が形成されていることを特徴とする
Ｘ線イメージ管。 - 【請求項４】 凸面部分が、凸面のもっとも高い最高部
分を挟む入力部側の面と出力部側の面を有し、前記入力
部側の面にガラス絶縁層のみの領域を設けたことを特徴
とする請求項３記載のＸ線イメージ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP648097A JPH10199457A (ja) | 1997-01-17 | 1997-01-17 | Ｘ線イメージ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP648097A JPH10199457A (ja) | 1997-01-17 | 1997-01-17 | Ｘ線イメージ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10199457A true JPH10199457A (ja) | 1998-07-31 |
Family
ID=11639648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP648097A Pending JPH10199457A (ja) | 1997-01-17 | 1997-01-17 | Ｘ線イメージ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10199457A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021029614A1 (ko) * | 2019-08-09 | 2021-02-18 | 경북대학교 산학협력단 | 광 센서 |
-
1997
- 1997-01-17 JP JP648097A patent/JPH10199457A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021029614A1 (ko) * | 2019-08-09 | 2021-02-18 | 경북대학교 산학협력단 | 광 센서 |
| EP4012458A4 (en) * | 2019-08-09 | 2023-08-02 | Kyungpook National University Industry-Academic Cooperation Foundation | PHOTOSENSOR |
| US11815632B2 (en) | 2019-08-09 | 2023-11-14 | Kyungpook National University Industry-Academic Cooperation Foundation | Photosensor |
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