JPH0637318Y2 - Ｘ線分光装置 - Google Patents
Ｘ線分光装置Info
- Publication number
- JPH0637318Y2 JPH0637318Y2 JP1985124382U JP12438285U JPH0637318Y2 JP H0637318 Y2 JPH0637318 Y2 JP H0637318Y2 JP 1985124382 U JP1985124382 U JP 1985124382U JP 12438285 U JP12438285 U JP 12438285U JP H0637318 Y2 JPH0637318 Y2 JP H0637318Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- dispersive crystal
- bellows
- ray source
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 イ．産業上の利用分野 本考案は高真空型のＸ線線分光装置に関する。
ロ．従来の技術 従来の高真空型Ｘ線分光装置はＸ線分光器全体を大きな
真空容器内に収納していた。このため装置全体が大きく
なり、Ｘ線発生部及びＸ線検出部も真空容器によって設
置スペース上の制約を受け、強いＸ線源を組込むのが困
難であり、Ｘ線検出部も広い設置空間を要するものは用
いることができず、スキャニング範囲が限定される問題
点があった。分光結晶に平面結晶を用いる型のＸ線分光
装置では、Ｘ線源と分光結晶とＸ線検出器との位置関係
が単純で、Ｘ線源と分光結晶間および分光結晶とＸ線検
出器間の各距離は夫々一定でよいので、分光結晶へのＸ
線入射側と反対側の夫々のＸ線通路を管とし、この管と
分光結晶室との間の接続をベローにしてＸ線入反射各通
路の狭角を可変とし、Ｘ線通路となっている部分のみを
排気する提案がなされている。
真空容器内に収納していた。このため装置全体が大きく
なり、Ｘ線発生部及びＸ線検出部も真空容器によって設
置スペース上の制約を受け、強いＸ線源を組込むのが困
難であり、Ｘ線検出部も広い設置空間を要するものは用
いることができず、スキャニング範囲が限定される問題
点があった。分光結晶に平面結晶を用いる型のＸ線分光
装置では、Ｘ線源と分光結晶とＸ線検出器との位置関係
が単純で、Ｘ線源と分光結晶間および分光結晶とＸ線検
出器間の各距離は夫々一定でよいので、分光結晶へのＸ
線入射側と反対側の夫々のＸ線通路を管とし、この管と
分光結晶室との間の接続をベローにしてＸ線入反射各通
路の狭角を可変とし、Ｘ線通路となっている部分のみを
排気する提案がなされている。
しかし凹面分光結晶を用い、Ｘ線源と分光結晶とＸ線検
出器とが常に一つのローランド円上に位置しているよう
に、三者の位置を動かす型のＸ線分光装置はＸ線源と分
光結晶間および分光結晶とＸ線検出器間の各距離を共に
変化させる必要があり、上述したようなＸ線通路のみ排
気すると云う構造の提案はなされていない。
出器とが常に一つのローランド円上に位置しているよう
に、三者の位置を動かす型のＸ線分光装置はＸ線源と分
光結晶間および分光結晶とＸ線検出器間の各距離を共に
変化させる必要があり、上述したようなＸ線通路のみ排
気すると云う構造の提案はなされていない。
ハ．考案が解決しようとする問題点 Ｘ線源と分光結晶とＸ線検出器の三者が一つのローラン
ド円上に位置しながら移動せしめられる型のＸ線分光装
置において、従来の高真空型Ｘ線分光装置における大型
化、Ｘ線源、Ｘ線検出部の選択の制限を解消し、小型に
できスキャンニング範囲の広い高真空型のＸ線分光装置
を得ようとするものである。
ド円上に位置しながら移動せしめられる型のＸ線分光装
置において、従来の高真空型Ｘ線分光装置における大型
化、Ｘ線源、Ｘ線検出部の選択の制限を解消し、小型に
できスキャンニング範囲の広い高真空型のＸ線分光装置
を得ようとするものである。
ニ．問題点解決のための手段 Ｘ線源と分光結晶とＸ線検出分光結晶とを、波長走査の
ため所定の位置関係を保って移動させる駆動機構で結合
し、分光結晶が一つの固定直線に沿ってＸ線源に対して
進退し、Ｘ線検出器が所定の軌道に沿って移動するよう
にして、Ｘ線源と分光結晶室との間及び分光結晶室とＸ
線検出部との間を各々ベローで接続して内部を真空に
し、分光結晶室とＸ線検出部との間のベローにおいて、
分光結晶室とベローとの接続部をスライド真空シール機
構にして、Ｘ線の通路を真空にして確保するようにし
た。
ため所定の位置関係を保って移動させる駆動機構で結合
し、分光結晶が一つの固定直線に沿ってＸ線源に対して
進退し、Ｘ線検出器が所定の軌道に沿って移動するよう
にして、Ｘ線源と分光結晶室との間及び分光結晶室とＸ
線検出部との間を各々ベローで接続して内部を真空に
し、分光結晶室とＸ線検出部との間のベローにおいて、
分光結晶室とベローとの接続部をスライド真空シール機
構にして、Ｘ線の通路を真空にして確保するようにし
た。
ホ．作用 Ｘ線源と分光結晶との間及び分光結晶とＸ線検出部との
間を各々ベローで接続してあるので、上記各部間の距離
及び相互の方向関係は、自由連続的に可変で真空にする
のはベロー内部だけでよいから、大きな真空容器が不要
でＸ線源、Ｘ線検出部は露出しているので、設置スペー
ス上の制約を受けず、Ｘ線源,X線検出部の選択の自由度
が増し、分光結晶部とベローとの接続部が、スライド真
空シール機構であるので、ベローに無理な曲がりが生じ
ないからＸ線線の通路を真空にして障碍なしで確保する
ことができ、しかも分光結晶へのＸ線の入射側も反射側
も夫々Ｘ線通路は伸縮するが、入射側の通路は、分光結
晶が一つの固定直線に沿ってＸ線源に対し進退するよう
になっているので、ベローは伸縮するのみで曲げる必要
がなく、分光結晶室との接続部は単純な固定でよく、ス
ライド真空シールを要しない。
間を各々ベローで接続してあるので、上記各部間の距離
及び相互の方向関係は、自由連続的に可変で真空にする
のはベロー内部だけでよいから、大きな真空容器が不要
でＸ線源、Ｘ線検出部は露出しているので、設置スペー
ス上の制約を受けず、Ｘ線源,X線検出部の選択の自由度
が増し、分光結晶部とベローとの接続部が、スライド真
空シール機構であるので、ベローに無理な曲がりが生じ
ないからＸ線線の通路を真空にして障碍なしで確保する
ことができ、しかも分光結晶へのＸ線の入射側も反射側
も夫々Ｘ線通路は伸縮するが、入射側の通路は、分光結
晶が一つの固定直線に沿ってＸ線源に対し進退するよう
になっているので、ベローは伸縮するのみで曲げる必要
がなく、分光結晶室との接続部は単純な固定でよく、ス
ライド真空シールを要しない。
ヘ．実施例 第１図は、本考案の一実施例の平面図である。
この図でＳはＸ線源で固定されている。Ｃは分光結晶室
でＸ線源に向かうＸ線軸方向のガイド（不図示）にそっ
てパルスモータPM1により移動可能に設置されている。
ＤはＸ線検出部でパルスモータPM2及びPM3によってＸ方
向,Y方向に駆動され、任意の位置に移動可能に設置され
ている。B1はＸ線源Ｓと分光結晶室Ｃを接続するベロー
である。B2は分光結晶室ＣとＸ線検出部Ｄとを接続する
ベローであり、中央部をアームA1によって保持され、ア
ームA1の動きに合わせて動き、ベローB2の軸方向は、分
光結晶室とＸ線検出部を結ぶ直線上に保持されている。
またベローB2の分光結晶室側は、分光結晶室に対して摺
動板Ｑ（第２図）に接続されている。アームA1はＸ線検
出部Ｄを常に分光結晶の方に向けておくためのもので、
第３図に示すように、分光結晶回転軸BPと回転可能な状
態で連結され、Ｘ線検出部ＤはこのアームA1に対し、そ
の軸方向に摺動可能になっている。第１図に戻って、ア
ームA1,A2,A3,A4は互いに回転可能な状態にピンで連結
される菱形のリンク機構を構成している。A2は分光結晶
室Ｃに固定され、Ｘ軸方向に延びているアームである。
アームA5は、第３図に示すように、分光結晶室Ｃを気密
貫通し、その分光結晶室内の端に分光結晶台BLを設けた
分光結晶回転軸BPに一体的に固定されている。台１図に
おいてアームA5は、アームA3とアームA4のジョイント部
ＪとアームA5の軸方向に摺動可能な状態で連結されてお
り。アームA1,A2,A3,A4の菱形リンク機構により、アー
ムA5とアームA2とがなす角と、アームA5とアームA1とが
なす角が一致して、Ｘ線検出部の位置に関係なく、Ｘ線
源Ｓから照射されたＸ線が、分光結晶で反射されて、Ｘ
線検出部に集光される。
でＸ線源に向かうＸ線軸方向のガイド（不図示）にそっ
てパルスモータPM1により移動可能に設置されている。
ＤはＸ線検出部でパルスモータPM2及びPM3によってＸ方
向,Y方向に駆動され、任意の位置に移動可能に設置され
ている。B1はＸ線源Ｓと分光結晶室Ｃを接続するベロー
である。B2は分光結晶室ＣとＸ線検出部Ｄとを接続する
ベローであり、中央部をアームA1によって保持され、ア
ームA1の動きに合わせて動き、ベローB2の軸方向は、分
光結晶室とＸ線検出部を結ぶ直線上に保持されている。
またベローB2の分光結晶室側は、分光結晶室に対して摺
動板Ｑ（第２図）に接続されている。アームA1はＸ線検
出部Ｄを常に分光結晶の方に向けておくためのもので、
第３図に示すように、分光結晶回転軸BPと回転可能な状
態で連結され、Ｘ線検出部ＤはこのアームA1に対し、そ
の軸方向に摺動可能になっている。第１図に戻って、ア
ームA1,A2,A3,A4は互いに回転可能な状態にピンで連結
される菱形のリンク機構を構成している。A2は分光結晶
室Ｃに固定され、Ｘ軸方向に延びているアームである。
アームA5は、第３図に示すように、分光結晶室Ｃを気密
貫通し、その分光結晶室内の端に分光結晶台BLを設けた
分光結晶回転軸BPに一体的に固定されている。台１図に
おいてアームA5は、アームA3とアームA4のジョイント部
ＪとアームA5の軸方向に摺動可能な状態で連結されてお
り。アームA1,A2,A3,A4の菱形リンク機構により、アー
ムA5とアームA2とがなす角と、アームA5とアームA1とが
なす角が一致して、Ｘ線検出部の位置に関係なく、Ｘ線
源Ｓから照射されたＸ線が、分光結晶で反射されて、Ｘ
線検出部に集光される。
ベローB2は、分光結晶室側の端が分光結晶室Ｃに固定さ
れていると、検出部Ｄと分光結晶との位置関係によって
は、無理な曲がり方になってＸ線の通路に障碍を生ず
る。これを防ぐためにベローB2の分光結晶室側の端は、
分光結晶室Ｃの検出部に向かう側面の窓Ｗ（第３図）を
気密にカバーして、両側面に摺動可能に設けられた摺動
板Ｑに固定されている。この摺動板Ｑは、第２図，第３
図に示されるように摺動板Ｑの側面に立てたピンＰがア
ームA1の溝Ｍと摺動可能な状態で係合されていて、第２
図でアームA1が右方に回転すると、溝ＭによりピンＰが
右方に動かされる事で、ピンＰと一体の摺動板Ｑが右方
に動き、それによりベローB2の無理な曲がり緩和され
る。同様に、アームA1が左方に回転すると、溝Ｍにより
ピンＰが左方に動かされる事で、ピンＰと一体の摺動板
Ｑが左方へ動き、ベローB2の無理な曲がり緩和される。
れていると、検出部Ｄと分光結晶との位置関係によって
は、無理な曲がり方になってＸ線の通路に障碍を生ず
る。これを防ぐためにベローB2の分光結晶室側の端は、
分光結晶室Ｃの検出部に向かう側面の窓Ｗ（第３図）を
気密にカバーして、両側面に摺動可能に設けられた摺動
板Ｑに固定されている。この摺動板Ｑは、第２図，第３
図に示されるように摺動板Ｑの側面に立てたピンＰがア
ームA1の溝Ｍと摺動可能な状態で係合されていて、第２
図でアームA1が右方に回転すると、溝ＭによりピンＰが
右方に動かされる事で、ピンＰと一体の摺動板Ｑが右方
に動き、それによりベローB2の無理な曲がり緩和され
る。同様に、アームA1が左方に回転すると、溝Ｍにより
ピンＰが左方に動かされる事で、ピンＰと一体の摺動板
Ｑが左方へ動き、ベローB2の無理な曲がり緩和される。
なお、第１図でＵの部分が、排気ポンプに接続されて、
Ｘ線源からＸ線検出部迄の全系が排気される。
Ｘ線源からＸ線検出部迄の全系が排気される。
ト．効果 本考案の真空型Ｘ線分光装置は、上述したような構成
で、Ｘ線の通路のみが管系によって、真空に保たれるの
で、装置全体を収納する外筐が不要となって装置全体と
して小型化され、Ｘ線源及びＸ線検出器共に外部に出て
いるので、取付スペースの制約を受けず任意の形状大き
さのものを取付けることが可能になり、リンク機構を取
付けると共に、ベローの無理な曲がりを少なくする摺動
板Ｑを介してベローを分光結晶室に取付ける事により、
スキャンニング範囲を広げ、分解能を高めても、ベロー
の曲がりによってＸ線通路が障碍されることがない。そ
して分光結晶がＸ線源に対して一直線に沿って進退する
ようにしてあるので、Ｘ線源と分光結晶室との間のベロ
ーは伸縮するだけで曲がりを受けないから、分光結晶室
との間の接続にはスライド真空シールを要せず、構造的
に簡単となる。
で、Ｘ線の通路のみが管系によって、真空に保たれるの
で、装置全体を収納する外筐が不要となって装置全体と
して小型化され、Ｘ線源及びＸ線検出器共に外部に出て
いるので、取付スペースの制約を受けず任意の形状大き
さのものを取付けることが可能になり、リンク機構を取
付けると共に、ベローの無理な曲がりを少なくする摺動
板Ｑを介してベローを分光結晶室に取付ける事により、
スキャンニング範囲を広げ、分解能を高めても、ベロー
の曲がりによってＸ線通路が障碍されることがない。そ
して分光結晶がＸ線源に対して一直線に沿って進退する
ようにしてあるので、Ｘ線源と分光結晶室との間のベロ
ーは伸縮するだけで曲がりを受けないから、分光結晶室
との間の接続にはスライド真空シールを要せず、構造的
に簡単となる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本考案の一実施例の平面図、第２図は分光結晶
室周辺部の詳細平面図、第３図は、分光結晶室周辺部の
断面図である。
室周辺部の詳細平面図、第３図は、分光結晶室周辺部の
断面図である。
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ線源と分光結晶とＸ線検出器部とを、こ
れら三者が常に一つのローランド円上に位置する位置関
係を保って、相互移動させる機構上に取付け、分光結晶
が一つの固定直線に沿ってＸ線源に対し進退し、Ｘ線検
出器が所定の軌道上を移動するようにすると共に、Ｘ線
源と分光結晶室及び分光結晶室とＸ線検出器部の間を各
々ベローで接続し、これら各ベロー及び分光結晶室内を
排気するようにし、分光結晶質とＸ線検出部のベローの
分光結晶室とベローとの接続部をスライド真空シール機
構にしたＸ線分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985124382U JPH0637318Y2 (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | Ｘ線分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985124382U JPH0637318Y2 (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | Ｘ線分光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6232356U JPS6232356U (ja) | 1987-02-26 |
| JPH0637318Y2 true JPH0637318Y2 (ja) | 1994-09-28 |
Family
ID=31016341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985124382U Expired - Lifetime JPH0637318Y2 (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | Ｘ線分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0637318Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5326183A (en) * | 1976-08-24 | 1978-03-10 | Toshiba Corp | X-ray analyzer |
-
1985
- 1985-08-13 JP JP1985124382U patent/JPH0637318Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6232356U (ja) | 1987-02-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4058831A (en) | Panoramic camera scanning system | |
| WO2022199633A1 (zh) | 一种运动成像补偿装置及运动补偿方法 | |
| US4398823A (en) | Extended range monochromator | |
| JP2005502908A (ja) | 多数の回転望遠鏡サブアセンブリを有する走査センサシステム | |
| CN118068349B (zh) | 一种多波段单站光电定位测量装置 | |
| US4514859A (en) | Collimator for an X-ray examination apparatus | |
| KR102503241B1 (ko) | 다방향 촬영이 가능한 디지털 토모신세시스 시스템 | |
| CN110487405B (zh) | 一种推扫式成像光谱仪的几何定标装置 | |
| US3942879A (en) | Mirror steering system | |
| US4410233A (en) | Unequal four-bar linkage scan mirror assembly | |
| CN101273296B (zh) | 能量信号处理系统 | |
| US5268954A (en) | Mounting apparatus for double crystal monochromators and the like | |
| JPH0448525Y2 (ja) | ||
| JPH01171452U (ja) | ||
| WO2017198736A1 (en) | X-ray scattering apparatus | |
| JP2654990B2 (ja) | シュリーレン装置 | |
| CN116183019A (zh) | 分光装置及光谱仪 | |
| US4490041A (en) | Device for applying radiation at adjustable angles | |
| JPH11166969A (ja) | レーザ式測距装置 | |
| CN116183020B (zh) | 光栅机构及光谱仪 | |
| JPH0430576Y2 (ja) | ||
| CN223347053U (zh) | 测距装置及机器人 | |
| JPH0216339Y2 (ja) | ||
| CN218847406U (zh) | 光栅扫描机构及光谱仪 | |
| JPH06294899A (ja) | 湾曲全反射ミラーカメラ |