JPH0638558A - Vibration motor - Google Patents

Vibration motor

Info

Publication number
JPH0638558A
JPH0638558A JP4212084A JP21208492A JPH0638558A JP H0638558 A JPH0638558 A JP H0638558A JP 4212084 A JP4212084 A JP 4212084A JP 21208492 A JP21208492 A JP 21208492A JP H0638558 A JPH0638558 A JP H0638558A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor
standing wave
voltage
vibration
piezoelectric element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP4212084A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahiko Komoda
晶彦 菰田
Yoshitaka Takemura
芳孝 竹村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asmo Co Ltd
Denso Corp
Original Assignee
Asmo Co Ltd
NipponDenso Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asmo Co Ltd, NipponDenso Co Ltd filed Critical Asmo Co Ltd
Priority to JP4212084A priority Critical patent/JPH0638558A/en
Publication of JPH0638558A publication Critical patent/JPH0638558A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a vibration motor, in which two rotor parts can be rotated and a structure is simple and can be flattened and a rotational output can be generated efficiently. CONSTITUTION:The title vibrating motor has a stator part 40 and two rotor parts 30A, 30B. The stator part 40 contains ring piezoelectric elements 42, 44, ring-shaped electrode plates 46, 48 stacked on the surfaces of the piezoelectric elements 42, 44 and first and second plate block bodies 50 and 52 arranged in the manner of holding both sides of the electrode plates 46, 48 and piezoelectric elements 42, 44. Radial projections 62A, 62B are formed on both end faces 60A, 60B of the stator part 40. In a state where the second electrode plate 48 is earthed, further, a single-phase AC voltage having the resonance frequency of bending vibration is applied to the alternate ones out of split electrode plates 46 arranged on the ring, an elliptical vibration is generated on the projections 62A, 62B, and the rotor parts 30A, 30B are rotated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は振動モータに関する。FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a vibration motor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、ボルト締めランジュバン型の
超音波モータが周知であり、例えば特開昭61-49670号公
報に係る片持ち梁状捩り超音波振動子を用いた圧電モー
タや、特開昭63-217984 号公報に係る超音波モータ等が
知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a bolt tightening Langevin type ultrasonic motor is well known, for example, a piezoelectric motor using a cantilever torsional ultrasonic transducer disclosed in JP-A-61-49670, An ultrasonic motor and the like according to Japanese Patent Laid-Open No. 63-217984 are known.

【0003】しかし、従来この種のモータは、いずれも
ロータを一方向にしか回転できず、しかも構造が複雑で
高価なものとなってしまうという問題があった。
However, in the conventional motors of this type, there is a problem that the rotor can rotate only in one direction, and the structure is complicated and expensive.

【0004】図26には、従来のボルト締めランジュバ
ン型超音波モータの一例が示されている。この超音波モ
ータは、2個の圧電素子10,12の両端に長さの異な
る金属ブロック体14,16が配置され、両ブロック体
14,16は、その中心においてボルト18により圧電
素子10,12を締付けるように固定されている。
FIG. 26 shows an example of a conventional bolted Langevin type ultrasonic motor. In this ultrasonic motor, metal block bodies 14 and 16 having different lengths are arranged at both ends of two piezoelectric elements 10 and 12, and both block bodies 14 and 16 are provided with a bolt 18 at the center thereof. It is fixed to tighten.

【0005】そして、この超音波モータは、交流電源2
0から圧電素子10,12に高周波交流電圧を印加する
と、圧電素子10,12の厚み方向への振動により縦振
動が生じるとともに、ボルト18の捩りにより捩り振動
が生じ、ブロック体14,16の端面には縦振動と捩り
振動を合成した楕円振動が発生することになり、この楕
円振動により回転駆動力を得ることができる。
This ultrasonic motor has an AC power supply 2
When a high frequency AC voltage is applied to the piezoelectric elements 10 and 12 from 0, longitudinal vibration occurs due to the vibration of the piezoelectric elements 10 and 12 in the thickness direction, and torsional vibration occurs due to the twisting of the bolt 18, and the end faces of the block bodies 14 and 16 are generated. The elliptic vibration that is a combination of the longitudinal vibration and the torsional vibration is generated in the, and the rotational driving force can be obtained by the elliptic vibration.

【0006】前記ブロック体16の端面には、円板22
がバネ24によりブロック体16側へ付勢されて配設さ
れており、円板22の回転軸26が軸受28にて支持さ
れている。したがって、前記円板22をブロック体16
の端面に接触することにより、前記合成振動により得ら
れる回転力は円板22に伝達され、回転軸26から回転
出力を取り出すことができる。
A disk 22 is provided on the end surface of the block body 16.
Is urged toward the block body 16 by a spring 24, and a rotating shaft 26 of the disk 22 is supported by a bearing 28. Therefore, the disc 22 is attached to the block body 16
By making contact with the end surface of the rotating shaft, the rotational force obtained by the combined vibration is transmitted to the disc 22, and the rotational output can be taken out from the rotating shaft 26.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】 しかし、前記従来
の超音波モータでは、縦振動と捩り振動との共振点を合
せなければ回転出力を効果的に発生できない。このた
め、一方のブロック体14を短尺状に形成し、他方のブ
ロック体16の長尺状に形成して前記共振点を一致させ
る必要があり、従ってモータ設計時における自由度が少
いという問題があった。 また、この共振点を一致させるためにブロック体1
4,16を含む超音波モータの全長が棒状に形成される
ため、その全長が長くなり、偏平化、小型化がむずかし
いという問題があった。 また、このように縦振動と捩り振動との合成により
楕円振動を発生させる超音波モータでは、ブロック体1
6の端面に一方向の楕円振動しか発生できず、回転軸2
6を正転および逆転の両方向駆動できないという問題が
あった。 また、この超音波モータでは、振動子10,12の
振動から楕円振動を直接発生できず、縦振動と捩り振動
を合成しなければならないため、楕円振動の発生効率が
十分でなく、その分、回転出力を効率よく発生できない
という問題があった。
However, in the conventional ultrasonic motor, the rotational output cannot be effectively generated unless the resonance points of the longitudinal vibration and the torsional vibration are matched. For this reason, it is necessary to form one block body 14 in a short shape and form the other block body 16 in a long shape so that the resonance points coincide with each other. Therefore, the degree of freedom in designing a motor is small. was there. Further, in order to match the resonance points, the block body 1
Since the entire length of the ultrasonic motor including 4, 16 is formed in a rod shape, there is a problem that the entire length becomes long and it is difficult to flatten and downsize. In addition, in the ultrasonic motor that generates elliptical vibration by combining longitudinal vibration and torsional vibration in this way, the block body 1
Only one direction elliptical vibration can be generated on the end face of 6
There was a problem that 6 could not be driven in both forward and reverse directions. Further, in this ultrasonic motor, elliptical vibration cannot be directly generated from the vibrations of the vibrators 10 and 12, and the longitudinal vibration and the torsional vibration must be combined, so that the elliptic vibration generation efficiency is not sufficient. There is a problem that the rotation output cannot be generated efficiently.

【0008】本発明は、このような従来の課題に鑑みな
されたものであり、その目的は、設計の自由度が大き
く、構造が簡単で小型化が可能であり、回転出力を効率
よく発生でき、必要に応じ双方向への回転が可能であ
り、しかも2つの回転出力を得ることができる振動モー
タを提供することにある。
The present invention has been made in view of such conventional problems, and its purpose is to have a large degree of freedom in design, a simple structure and a small size, and to efficiently generate a rotational output. An object of the present invention is to provide a vibration motor that can rotate in both directions as needed and can obtain two rotation outputs.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明は、第1及び第2のロータ接触面を有するス
テータ部と、前記第1及び第2のロータ接触面と接触し
回転駆動される第1のロータ部及び第2のロータ部と、
を有する振動モータであって、前記ステータ部は、振動
を発生させる圧電素子と、前記圧電素子の表面に、ロー
タ部の回転方向に沿って所定の間隔毎に複数個の電圧印
加領域を形成する電極と、前記圧電素子を挟持するよう
その両側に取付け固定され、その外側端面を前記第1及
び第2のロータ接触面とする偏平形状の第1のブロック
体および第2のブロック体と、前記第1及び第2のロー
タ接触面に設けられた複数の突起部と、を含み、前記圧
電素子の電圧印加領域に交流電圧を印加することによ
り、前記各ブロック体の第1及び第2のロータ接触面に
定在波を発生させ、前記定在波の腹と節の間に前記突起
部を設けることにより、前記突起部に楕円振動を発生さ
せ、この突起部に接する前記第1及び第2のロータ部を
回転駆動することを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a stator portion having first and second rotor contact surfaces, and a rotary drive in contact with the first and second rotor contact surfaces. A first rotor portion and a second rotor portion,
In the vibration motor, the stator part forms a plurality of voltage application regions on the surface of the piezoelectric device and a surface of the piezoelectric device at predetermined intervals along the rotation direction of the rotor part. An electrode and a flat first block body and a second block body which are fixedly attached to both sides of the piezoelectric element so as to sandwich the piezoelectric element, and whose outer end faces serve as the first and second rotor contact surfaces; A plurality of protrusions provided on the first and second rotor contact surfaces, and by applying an AC voltage to the voltage application region of the piezoelectric element, the first and second rotors of each block body. By generating a standing wave on the contact surface and providing the protrusion between the antinode and the node of the standing wave, elliptical vibration is generated in the protrusion, and the first and second contacting members are in contact with the protrusion. Drive the rotor part of And butterflies.

【0010】また、本発明は、第1及び第2のロータ接
触面を有するステータ部と、前記第1及び第2のロータ
接触面と接触し回転駆動される第1のロータ部及び第2
のロータ部と、を有する振動モータであって、前記ステ
ータ部は、振動を発生させる圧電素子と、前記圧電素子
の表面に、ロータ部の回転方向に沿って複数個の電圧印
加領域を形成する電極と、前記圧電素子を挟持するよう
その両側に取付け固定され、その外側端面を前記第1及
び第2のロータ接触面とする偏平形状の第1のブロック
体および第2のブロック体と、前記第1及び第2のロー
タ接触面に設けられた複数の突起部と、を含み、前記電
極を介し圧電素子に印加する前記交流電圧の切替え制御
により、前記各ブロック体の第1及び第2のロータ接触
面に異なる位相の第1の定在波および第2の定在波を選
択的に発生させるよう形成され、前記複数の突起部は、
前記第1の定在波の腹と一方側の節の間に位置するとと
もに、前記第2の定在波の腹と他方側の節の間に位置す
るよう形成され、印加する前記交流電圧を切替え制御
し、発生する前記定在波を選択することにより、前記突
起部に接する前記各ロータ部の回転方向を切替えること
を特徴とする。
Further, according to the present invention, there is provided a stator portion having first and second rotor contact surfaces, and a first rotor portion and a second rotor portion which are brought into contact with the first and second rotor contact surfaces to be rotationally driven.
A rotor part, wherein the stator part forms a plurality of voltage application regions along the rotation direction of the rotor part on the surface of the piezoelectric device and the piezoelectric device for generating vibration. An electrode and a flat first block body and a second block body which are fixedly attached to both sides of the piezoelectric element so as to sandwich the piezoelectric element, and whose outer end faces serve as the first and second rotor contact surfaces; A plurality of protrusions provided on the first and second rotor contact surfaces, and by controlling the switching of the alternating voltage applied to the piezoelectric element via the electrodes, the first and second blocks of each block body are controlled. The plurality of protrusions are formed so as to selectively generate a first standing wave and a second standing wave having different phases on the rotor contact surface.
It is formed between the antinode of the first standing wave and the node on one side, and is formed between the antinode of the second standing wave and the node on the other side. It is characterized in that the rotation direction of each rotor portion in contact with the protrusion is switched by switching control and selecting the generated standing wave.

【0011】[0011]

【作用】請求項1の発明では、前記圧電素子の表面に、
ロータ部の回転方向に沿って所定の間隔毎に複数個の電
圧印加領域を形成している。しかも、本発明では、圧電
素子の振動により、梁の撓みに起因する曲げ振動が発生
するようブロック体を偏平形状に形成している。従っ
て、前記複数個の電圧印加領域に交流電圧を印加するこ
とにより、ステータ部のロータ接触面に梁の撓みに起因
する定在波を発生できる。しかも、本発明では、前記各
突起部を定在波の腹と節の間に設けているため、突起部
の端面には楕円振動が直接発生し、ロータ部を回転駆動
することができる。
According to the invention of claim 1, on the surface of the piezoelectric element,
A plurality of voltage application regions are formed at predetermined intervals along the rotation direction of the rotor portion. Moreover, in the present invention, the block body is formed in a flat shape so that the bending vibration caused by the bending of the beam is generated by the vibration of the piezoelectric element. Therefore, by applying an AC voltage to the plurality of voltage application regions, a standing wave due to the bending of the beam can be generated on the rotor contact surface of the stator part. Moreover, in the present invention, since each of the protrusions is provided between the antinode of the standing wave and the node, elliptical vibration is directly generated on the end surface of the protrusion, and the rotor portion can be rotationally driven.

【0012】このように本発明の振動モータでは、従来
のランジュバン型の超音波モータのように、ボルトによ
る捩り振動を用いることなく、圧電素子を振動させるこ
とにより得られる定在波から直接楕円振動を発生させる
ことができるため、回転出力を効率よく得ることができ
る。しかも従来のように縦振動、捩り振動の共振点を一
致させるという設計上の制約がないため、モータ全体の
構成が簡単かつ安価なものとなる。また、偏平形状のブ
ロック体を用いているため、振動モータの全体の偏平
化、小型化を図ることができる。
As described above, in the vibration motor of the present invention, unlike the conventional Langevin type ultrasonic motor, the elliptical vibration is obtained directly from the standing wave obtained by vibrating the piezoelectric element without using the torsional vibration by the bolt. Therefore, the rotation output can be efficiently obtained. Moreover, since there is no design constraint to match the resonance points of the longitudinal vibration and the torsional vibration as in the conventional case, the configuration of the entire motor becomes simple and inexpensive. Further, since the flat block body is used, the vibration motor as a whole can be flattened and downsized.

【0013】特に本発明では、ステータ部の両端面を第
1および第2のロータ接触面とし、第1および第2のロ
ータ接触面に設けられた各突起部と、第1および第2の
ロータ部とを接触させている。前記第1および第2のロ
ータ部は、突起部の端面に発生する楕円振動によって、
それぞれ独立して回転駆動される。従って、本発明によ
れば、第1および第2のロータ部から、それぞれ独立し
た2種類の回転出力を取出すこともできる。また第1お
よび第2のロータ部が同方向に回転駆動されるよう形成
された場合には、第1および第2のロータ部を連結する
ことで、2倍のトルクを有する回転出力を取出すことも
できる。
In particular, according to the present invention, both end surfaces of the stator portion are used as the first and second rotor contact surfaces, and the protrusions provided on the first and second rotor contact surfaces and the first and second rotors. Is in contact with the department. The first and second rotor portions are caused by elliptical vibration generated on the end faces of the protrusions,
Each is independently driven to rotate. Therefore, according to the present invention, it is also possible to extract two types of independent rotational outputs from the first and second rotor portions. Further, when the first and second rotor parts are formed so as to be rotationally driven in the same direction, by connecting the first and second rotor parts, a rotational output having a double torque can be obtained. You can also

【0014】これに加えて、請求項2の発明では、前記
電極を介し圧電素子に印加する交流電圧の制御により、
前記ブロック体のロータ接触面に異なる位相の第1及び
第2の定在波を選択的に発生させるよう形成され、しか
も前記各突起部は、前記第1の定在波の腹と一方側の節
の間に位置するとともに、前記第2の定在波の腹と他方
の節の間に位置するよう形成されている。
In addition to this, in the invention of claim 2, by controlling the AC voltage applied to the piezoelectric element through the electrode,
It is formed on the rotor contact surface of the block body so as to selectively generate first and second standing waves of different phases, and each of the protrusions is formed on the antinode of the first standing wave and on one side. It is formed between the nodes and between the antinode of the second standing wave and the other node.

【0015】従って、印加する前記交流電圧を制御し、
発生する前記定在波を切り替えることにより、前記突起
部に接する前記第1及び第2のロータ部の回転方向を切
り替えることができる。
Therefore, by controlling the applied AC voltage,
By switching the generated standing wave, it is possible to switch the rotation directions of the first and second rotor portions that are in contact with the protrusion.

【0016】また、本発明者は、この振動モータの回転
原理についての検討を行った。この種のモータでは、発
生する振動の種類として、縦振動、捩り振動、曲げ振動
が知られている。従来のボルト締めランジュバン型超音
波モータでは、縦振動と捩り振動との合成により楕円振
動を発生させていたが、本発明の振動モータでは、梁の
撓みによる曲げ振動を用いて突起部上に直接楕円振動を
発生させているものと推定される。
The inventor has also examined the principle of rotation of this vibration motor. In this type of motor, longitudinal vibration, torsional vibration, and bending vibration are known as the types of vibration that occur. In the conventional bolted Langevin type ultrasonic motor, elliptical vibration is generated by combining longitudinal vibration and torsional vibration. It is presumed that elliptical vibration is generated.

【0017】特に、前記曲げ振動は、棒の曲げ振動と、
梁の撓みによる曲げ振動との2種類が考えられるが、本
発明では、ブロック体を偏平形状に形成することによっ
て、梁の撓みによる曲げ振動を発生するよう構成されて
いる。
In particular, the bending vibration is the bending vibration of the rod,
Bending vibration due to bending of the beam can be considered as two types, but in the present invention, by forming the block body into a flat shape, bending vibration due to bending of the beam is generated.

【0018】このように、本発明の振動モータは、従来
のランジュバン型超音波モータと異なる原理によって楕
円振動を得ているものと推定され、その結果、正逆転可
能な回転出力を効率よく発生させることができ、しかも
その構造が簡単でかつ安価なものとなる。
As described above, it is estimated that the vibration motor of the present invention obtains elliptical vibration by a principle different from that of the conventional Langevin type ultrasonic motor, and as a result, the rotation output capable of forward and reverse rotation is efficiently generated. In addition, the structure is simple and inexpensive.

【0019】図6には、ステータ部に発生する曲げ振動
の様子が概念的に示されている。同図(A)及び(B)
には、曲げ振動が生じているステータ部の斜視図が示さ
れ、同図(C)及び(D)には、同図(A),(B)に
示すステータ部の側面図が示されている。同図に示すよ
う、本発明の振動モータでは、曲げ振動を用いてステー
タ部の両端面、すなわち第1および第2のロータ接触面
に定在波を発生させ、この定在波の腹と節の間に突起部
を設けることにより、この突起部上に直接楕円振動を発
生させることができる。
FIG. 6 conceptually shows a state of bending vibration generated in the stator portion. The same figure (A) and (B)
FIG. 6A is a perspective view of the stator portion in which bending vibration occurs, and FIGS. 7C and 7D are side views of the stator portion shown in FIGS. There is. As shown in the figure, in the vibration motor of the present invention, a bending wave is used to generate standing waves on both end surfaces of the stator portion, that is, the first and second rotor contact surfaces, and the antinodes and nodes of the standing waves are generated. By providing a protrusion between the protrusions, elliptical vibration can be directly generated on the protrusion.

【0020】[0020]

【実施例】次に、本発明の好適な実施例を図面に基づい
て詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0021】第1実施例 図1には、本発明に係る振動モータの好適な第1実施例
が概略的に示されている。
First Embodiment FIG. 1 schematically shows a first preferred embodiment of the vibration motor according to the present invention.

【0022】実施例の振動モータは、第1および第2の
ロータ部30A,30Bと、ステータ部40とを有す
る。
The vibration motor of the embodiment has first and second rotor portions 30A and 30B and a stator portion 40.

【0023】そして、ステータ部40の電極板46,4
8に、単相の高周波交流電圧を印加することにより、ス
テータ部40の第1および第2のロータ接触面60A,
60Bに定在波を発生させる。そして、この第1及び第
2のロータ接触面60A,60B上に設けられた突起部
62A,62Bを用い、前記定在波振動を楕円振動に直
接変換し、これにより突起部62A,62Bに接する第
1および第2のロータ部30A,30Bを回転駆動する
ものである。
The electrode plates 46, 4 of the stator section 40 are
8 by applying a single-phase high-frequency AC voltage to the first and second rotor contact surfaces 60A of the stator section 40,
A standing wave is generated at 60B. Then, the standing wave vibrations are directly converted into elliptical vibrations by using the protrusions 62A and 62B provided on the first and second rotor contact surfaces 60A and 60B, thereby contacting the protrusions 62A and 62B. The first and second rotor portions 30A and 30B are rotationally driven.

【0024】このように、実施例の振動モータは、第1
および第2のロータ部30A,30Bから2種類の回転
出力を取出すことができる。また第1および第2のロー
タ部30A,30Bを同方向に回転駆動する場合には、
これ等両ロータ部30A,30Bを一体的に連結し、通
常の2倍のトルクを有する回転出力を取り出すこともで
きる。
As described above, the vibration motor of the embodiment has the first
And two kinds of rotation outputs can be taken out from the second rotor portions 30A and 30B. When the first and second rotor portions 30A and 30B are rotationally driven in the same direction,
It is also possible to integrally connect the two rotor portions 30A and 30B and take out the rotation output having twice the usual torque.

【0025】前記各ロータ部30A,30Bは、ロータ
接触面60A,60B上の突起部62A,62Bに一定
の圧力で接触する円板32A,32Bと、この円板32
A,32Bの回転中心に取り付けられた回転出力軸34
A,34Bとを含む。
The rotor portions 30A and 30B are provided with discs 32A and 32B which come into contact with the protrusions 62A and 62B on the rotor contact surfaces 60A and 60B at a constant pressure, and the discs 32.
The rotation output shaft 34 attached to the rotation centers of A and 32B
A and 34B are included.

【0026】また、前記ステータ部40は、例えばセラ
ミックス等の圧電体を用いてリング状に形成された2個
の圧電素子42,44と、圧電素子44の両側に設けら
れた第1の電極板46及び第2の電極板48と、圧電素
子42,44の両側にそれぞれ配置された偏平板状の第
1の金属ブロック体50及び第2の金属ブロック体52
と、両金属ブロック体50,52を圧電素子42,44
を締め付けるように連結固定する結合ボルト54とを含
み、全体として偏平形状となるように形成されている。
The stator section 40 has two piezoelectric elements 42, 44 formed in a ring shape using a piezoelectric material such as ceramics, and a first electrode plate provided on both sides of the piezoelectric element 44. 46 and the second electrode plate 48, and a flat plate-shaped first metal block body 50 and a second metal block body 52 arranged on both sides of the piezoelectric elements 42 and 44, respectively.
And both metal block bodies 50 and 52 are connected to the piezoelectric elements 42 and 44.
And a connecting bolt 54 for connecting and fixing so as to tighten, and is formed to have a flat shape as a whole.

【0027】なお、前記圧電素子42,44は、分極の
際に電極として使用した、例えば銀,ニッケル面を、分
極終了後に研磨して除去したものを用いる。
As the piezoelectric elements 42 and 44, for example, those obtained by polishing and removing the surfaces of silver and nickel used as electrodes during polarization after the polarization is completed are used.

【0028】次に、前記ステータ部40の構成をより詳
細に説明する。
Next, the structure of the stator section 40 will be described in more detail.

【0029】図2,図3には、前記ステータ部40が示
されている。ここにおいて、図2はステータ部40を組
立てた状態での平面図を示し、図3はその分解斜視図を
示している。
2 and 3, the stator portion 40 is shown. Here, FIG. 2 shows a plan view in a state where the stator portion 40 is assembled, and FIG. 3 shows an exploded perspective view thereof.

【0030】前記第1,第2の金属ブロック体50,5
2の中心にはネジ孔51,53が形成され、さらに圧電
素子42,第1の電極板46,圧電素子44,第2の電
極板48の中心にはボルト挿通孔42a,46a,44
a,48aが設けられている。そして、前記ボルト挿通
孔42a,46a,44a,48aに、絶縁性カラー5
6に挿通された結合ボルト54を挿通し、この結合ボル
ト54の側面に設けられたネジ部を、前記第1及び第2
の金属ブロック体50,52を中心に形成されたネジ孔
51,53に螺合させる。これにより、圧電素子42,
44の両端に、第1の金属ブロック体50及び第2の金
属ブロック体52が、圧電素子42,44を締め付ける
ように連結固定されることになる。
The first and second metal block bodies 50, 5
Screw holes 51, 53 are formed at the center of the second member 2, and bolt insertion holes 42a, 46a, 44 are formed at the centers of the piezoelectric element 42, the first electrode plate 46, the piezoelectric element 44, and the second electrode plate 48.
a and 48a are provided. Then, the insulating collar 5 is inserted into the bolt insertion holes 42a, 46a, 44a, 48a.
6 is inserted, and the screw portion provided on the side surface of the connecting bolt 54 is inserted into the first and second connecting bolts.
The metal block bodies 50 and 52 are screwed into the screw holes 51 and 53 formed at the center. As a result, the piezoelectric element 42,
The first metal block body 50 and the second metal block body 52 are connected and fixed to both ends of 44 so as to tighten the piezoelectric elements 42 and 44.

【0031】なお、本実施例は、この連結固定に際し、
各部材の積層面の固定に接着剤を用いていないため、共
振周波数のモータ毎のばらつきや、Qの値の低下を防ぐ
ことができ、これにより振動モータの性能及び信頼性の
向上を図ることができる。
In this embodiment, when connecting and fixing,
Since no adhesive is used to fix the laminated surface of each member, it is possible to prevent variations in resonance frequency from one motor to another and to prevent the Q value from decreasing, thereby improving the performance and reliability of the vibration motor. You can

【0032】また、前記第1の電極板46は、スリット
部46cにより円周方向へ30度毎に12分割され、そ
の外周部が連結部46bにより互いに連結されている。
この第1の電極板46は、その直径が圧電素子42,4
4の直径よりも幾分大きめに形成され、ステータ部40
を組立てた際、その外周部及び連結部46bがステータ
外部へ突出するようになっている。これにより、ステー
タ部40の組立て終了後に、前記連結部46bを切断す
ることで、互いに電気的に絶縁された分割電極板46−
1,46−2,・・・,46−12を得ることができ
る。
Further, the first electrode plate 46 is divided into 12 in the circumferential direction at intervals of 30 degrees by the slit portion 46c, and the outer peripheral portions thereof are connected to each other by the connecting portion 46b.
The diameter of the first electrode plate 46 is equal to that of the piezoelectric elements 42, 4
4 is formed to be slightly larger than the diameter of the stator portion 40.
When assembled, the outer peripheral portion and the connecting portion 46b are projected to the outside of the stator. As a result, after the assembly of the stator part 40 is completed, the connecting parts 46b are cut off, so that the divided electrode plates 46- which are electrically insulated from each other are formed.
, 46-2, ..., 46-12 can be obtained.

【0033】特に、本実施例では、ステータ組立時に各
分割電極板46−1〜46−12を1枚の電極板46と
して取り扱うことができるため、その組立作業が容易に
なるばかりでなく、各分割電極板46−1〜46−12
の位置決めも正確に行うことができる。
In particular, in this embodiment, since each of the divided electrode plates 46-1 to 46-12 can be handled as one electrode plate 46 at the time of assembling the stator, not only the assembling work becomes easy, but also each Split electrode plates 46-1 to 46-12
Can also be accurately positioned.

【0034】また、各分割電極板46−1〜46−12
のステータ外部へ突出する部分は、図2に示すよう、外
部接続端子45−1〜45−12を構成することにな
り、これに図1に示すよう引き出し線64−1〜64−
12が接続されることになる。さらに、前記第2の電極
板48の外周には、ステータ部40の外部へ突出する外
部接続端子49が設けられ、これに、図1に示すよう、
接地用の引き出し線66が接続されることとなる。
Further, each of the divided electrode plates 46-1 to 46-12
2, the portions protruding to the outside of the stator constitute the external connection terminals 45-1 to 45-12, and the lead wires 64-1 to 64-12 as shown in FIG.
12 will be connected. Further, an external connection terminal 49 projecting to the outside of the stator portion 40 is provided on the outer periphery of the second electrode plate 48, and as shown in FIG.
The lead wire 66 for grounding will be connected.

【0035】そして、12個の分割電極板46−1,4
6−2…46−12にはA相あるいはB相の交流電圧が
選択的に印加される。
The twelve divided electrode plates 46-1 and 46-4
An AC voltage of A phase or B phase is selectively applied to 6-2 ... 46-12.

【0036】圧電素子42,44は、前記電極板46に
対応して30度毎に12分割されている。隣接する2つ
の分割領域を1組の分極領域とすると、隣接する各組の
分極領域は、互いにその分極方向が反対になるように形
成されている。ここにおいて、符号(+,−)は圧電素
子42,44の分極方向を示しており、1組の分極領域
を構成する隣接する2つの分割領域が同一方向に分極さ
れる。そして、同一方向に分極された2つの分割領域の
一方がA領域、他方がB領域を形成する。このA領域
は、前記電極板46においてA相の交流電圧を印加する
分割領域に対応しており、B領域は、前記電極板46に
おいてB相の交流電圧を印加する分割領域に対応してい
る。なお、圧電素子42と44の分極方向は全体的に反
対方向を向いており、対応する領域が同時に伸縮するよ
うになっている。
The piezoelectric elements 42 and 44 are divided into 12 at intervals of 30 degrees corresponding to the electrode plate 46. When two adjacent divided regions are regarded as one set of polarized regions, the adjacent polarized regions of each set are formed so that their polarization directions are opposite to each other. Here, the symbols (+, −) indicate the polarization directions of the piezoelectric elements 42 and 44, and two adjacent divided regions forming one set of polarized regions are polarized in the same direction. Then, one of the two divided regions polarized in the same direction forms the A region and the other forms the B region. The area A corresponds to a divided area of the electrode plate 46 to which the A-phase AC voltage is applied, and the area B corresponds to a divided area of the electrode plate 46 to which the B-phase AC voltage is applied. . The polarization directions of the piezoelectric elements 42 and 44 are generally opposite to each other, and the corresponding regions are simultaneously expanded and contracted.

【0037】また、本実施例の金属ブロック体50,5
2は、金属製の結合ボルト54により相互に連結固定さ
れている。このため、第2の電極板48をアースする
と、自動的に第2の金属ブロック体52,結合ボルト5
4,第1の金属ブロック体50がアース電位となる。し
たがって、第1の金属ブロック体50は、圧電素子42
の片面に対し、第2の電極板48と同様にアース電極と
して機能することになる。
Further, the metal block bodies 50, 5 of this embodiment
2 are connected and fixed to each other by a metal coupling bolt 54. Therefore, when the second electrode plate 48 is grounded, the second metal block body 52 and the connecting bolt 5 are automatically connected.
4, The 1st metal block body 50 becomes earth potential. Therefore, the first metal block body 50 includes the piezoelectric element 42.
Similarly to the second electrode plate 48, it will function as a ground electrode on one side of.

【0038】なお、前記結合ボルト54は、絶縁性のカ
ラー56により圧電素子42,44及び第1の電極板4
6と電気的に絶縁されている。
The coupling bolt 54 has an insulating collar 56 for the piezoelectric elements 42, 44 and the first electrode plate 4.
6 is electrically insulated.

【0039】次に、ロータ接触面60A,60Bに発生
する定在波振動と、突起部32との位置関係について説
明する。
Next, the positional relationship between the standing wave vibration generated on the rotor contact surfaces 60A and 60B and the protrusion 32 will be described.

【0040】図4(A)は、ステータ部40を円周方向
に展開した図であり、符号「+」は印加する交流電圧の
電位が正のときに伸びる領域を、符号「−」は印加する
交流電圧の電位が正のときに縮む領域をそれぞれ示して
いる。
FIG. 4A is a diagram in which the stator portion 40 is expanded in the circumferential direction. The symbol "+" indicates a region that extends when the potential of the applied AC voltage is positive, and the symbol "-" indicates that it is applied. The regions that contract when the potential of the AC voltage to be applied is positive are shown.

【0041】同図(B)は、A領域に単相交流電圧を印
加した場合の振動の状態を示している。同図中の点線
は、分割された6つのA領域のみを切り出したときのそ
れぞれの振動状態であり、実線は実際のステータ部40
全体の振動状態である。
FIG. 6B shows the state of vibration when a single-phase AC voltage is applied to the area A. The dotted lines in the figure show the respective vibration states when only the six divided A areas are cut out, and the solid line shows the actual stator portion 40.
The whole vibration state.

【0042】この場合には、第2の電極板48をアース
し、さらにA相用の6つの分極電極板46−1,46−
3…46−11を一つのグループとして、これに共通の
単相交流電圧を印加する。これにより、圧電素子42,
44のA相電圧印加領域が振動し、ステータ部40のロ
ータ接触面60A,60Bには、図4(B)に示す第1
の定在波振動が発生する。
In this case, the second electrode plate 48 is grounded, and the six polarized electrode plates 46-1 and 46- for the A phase are further grounded.
3 ... 46-11 is made into one group, and a common single phase alternating voltage is applied to this. As a result, the piezoelectric element 42,
The A-phase voltage application region of 44 vibrates, and the rotor contact surfaces 60A and 60B of the stator section 40 have the first portion shown in FIG.
The standing wave vibration of is generated.

【0043】同様に、同図(C)はB領域に単相交流電
圧を印加した場合の振動の状態を示しており、点線は分
割された6つのB領域のみを切り出したときのそれぞれ
の振動状態、実線は実際のステータ部40全体の振動状
態である。
Similarly, FIG. 6C shows the state of vibration when a single-phase AC voltage is applied to the B area, and the dotted lines show the respective vibrations when only the six divided B areas are cut out. The state and the solid line are actual vibration states of the entire stator section 40.

【0044】この場合には、第2の電極板48をアース
し、さらにB相用の6つの分割電極板46−2,46−
4…46−11を1つのグループとして、これに共通の
単相交流電圧を印加する。これにより、圧電素子42,
44のB相分極領域が振動し、ステータ部40の第1及
び第2のロータ接触面60A,60B上には、図4
(B)に示す第2の定在波振動が発生する。
In this case, the second electrode plate 48 is grounded, and the six split electrode plates 46-2, 46-for the B phase are further grounded.
4 ... 46-11 is made into one group, and a common single phase alternating voltage is applied to this. As a result, the piezoelectric element 42,
The B-phase polarization region of 44 vibrates, and the first and second rotor contact surfaces 60A and 60B of the stator portion 40 are oscillated as shown in FIG.
The second standing wave vibration shown in (B) is generated.

【0045】同図(B)、(C)に示すよう、A相分極
領域に単相交流電圧を印加した場合と、B相分極領域に
単相交流電圧を印加した場合とでは、ステータ部40の
第1及び第2のロータ接触面60A,60B上には異な
る位相の第1,第2の定在波振動が発生する。
As shown in FIGS. 7B and 7C, the stator portion 40 is used when a single-phase AC voltage is applied to the A-phase polarized region and when a single-phase AC voltage is applied to the B-phase polarized region. The first and second standing wave vibrations having different phases are generated on the first and second rotor contact surfaces 60A and 60B.

【0046】この定在波振動からロータ駆動用の楕円振
動を得るため、実施例の各突起部32A,32Bは、図
1(B)に示す第1の定在波の腹とその右側の節の中間
に位置すると共に、図1(C)に示す第2の定在波の腹
とその左側の節の中間に位置するよう形成されている。
具体的には、前記複数の分割電極板46−1〜46−1
2の隣接する2つずつを1組とすると、各組の中央に設
けられたスリット部46cに対応したロータ接触面60
A,60B上の位置及び方向に、前記各突起部62A,
62Bが形成されている。従って、実施例の突起部62
A,62Bは、ロータ接触面60A,60B上に、それ
ぞれ60度おきに6個設けられている。
In order to obtain the elliptical vibration for driving the rotor from this standing wave vibration, each protrusion 32A, 32B of the embodiment has the antinode of the first standing wave shown in FIG. Is formed so as to be located in the middle of the second standing wave shown in FIG. 1C and the node on the left side thereof.
Specifically, the plurality of divided electrode plates 46-1 to 46-1
If two adjacent two are set as one set, the rotor contact surface 60 corresponding to the slit portion 46c provided at the center of each set
At the position and direction on A and 60B, the protrusions 62A,
62B is formed. Therefore, the protrusion 62 of the embodiment
Six A and 62B are provided on the rotor contact surfaces 60A and 60B at intervals of 60 degrees.

【0047】本実施例は以上の構成からなり、次にその
作用を説明する。
The present embodiment is constructed as described above, and its operation will be described below.

【0048】実施例の振動モータでは、圧電素子42,
44のA相分極領域に単相交流電圧を印加すると、ステ
ータ部40の第1及び第2のロータ接触面60A、60
Bには、図5(A)に示す第1の定在波振動が発生す
る。このとき、第1及び第2のロータ接触面60A,6
0B上に形成された各突起部62A,62Bは、ステー
タ部40のA領域が伸びるときロータ部30A,30B
を右方向に押出すように作用し、縮んだときロータ部3
0A,30Bから離れる。従って、突起部62A,62
Bには楕円振動が発生し、この楕円振動がロータ部30
A,30Bを右方向に回転駆動する。
In the vibration motor of the embodiment, the piezoelectric element 42,
When a single-phase AC voltage is applied to the A-phase polarized region of 44, the first and second rotor contact surfaces 60A, 60 of the stator portion 40
In B, the first standing wave vibration shown in FIG. At this time, the first and second rotor contact surfaces 60A, 6
The protrusions 62A and 62B formed on the rotor 0B are arranged on the rotor portions 30A and 30B when the area A of the stator portion 40 extends.
To push the rotor to the right, and when it contracts, the rotor part 3
Move away from 0A and 30B. Therefore, the protrusions 62A, 62
Elliptical vibration is generated in B, and this elliptical vibration is generated in the rotor portion 30.
A and 30B are driven to rotate rightward.

【0049】このように、実施例の振動モータによれ
ば、2つのロータ部30A,30Bをそれぞれ独立して
同方向に回転駆動することができる。
As described above, according to the vibration motor of the embodiment, the two rotor portions 30A and 30B can be independently driven to rotate in the same direction.

【0050】なお、ロータ部30A,30Bを逆転駆動
する場合には、ステータ部40のB領域のみに単相交流
電圧を印加すればよい。
When the rotor portions 30A and 30B are driven in the reverse direction, the single-phase AC voltage may be applied only to the B region of the stator portion 40.

【0051】このように、本実施例によれば、交流電圧
を印加する分割電極板46の領域を切り替えることで、
ロータ部30A,30Bを正転及び逆転駆動することが
できる。しかも捩り振動を必要とすることなく、ロータ
接触面60A,,60Bの表面に設けた突起部62A,
62Bに直接楕円振動を発生させることができるため、
モータの構成が簡単なものとなり、しかも回転出力を効
率よく発生させることができる。
As described above, according to this embodiment, by switching the region of the divided electrode plate 46 to which the AC voltage is applied,
The rotor portions 30A and 30B can be driven in forward and reverse directions. Moreover, the protrusions 62A provided on the surfaces of the rotor contact surfaces 60A, 60B do not require torsional vibration.
Since the elliptical vibration can be directly generated in 62B,
The motor has a simple structure, and the rotation output can be efficiently generated.

【0052】なお、前記実施例では、2つのロータ部3
0A,30Bを同方向に回転駆動する場合を例にとり説
明したが、この2つのロータ部30A,30Bを異なる
方向に回転駆動するよう形成することもできる。
In the above embodiment, the two rotor parts 3
Although the case where the 0A and 30B are rotationally driven in the same direction has been described as an example, the two rotor portions 30A and 30B may be rotationally driven in different directions.

【0053】この場合には、図4に示すよう、図中右方
向にA領域、B領域の順に並ぶ2つの領域の境界に位置
するよう、各突起部62Aを形成する。さらに、同図に
おいて点線で示すよう、図中右方向にB領域,A領域の
順に並ぶ2つの領域の境界位置に、各突起部62Bを形
成する。
In this case, as shown in FIG. 4, each protrusion 62A is formed so as to be located at the boundary between two regions arranged in the order of A region and B region in the right direction in the figure. Further, as shown by the dotted line in the figure, each protrusion 62B is formed at the boundary position of the two areas arranged in the order of B area and A area in the right direction in the figure.

【0054】以上の構成とすることにより、ステータ部
40のA領域のみに単相交流電圧を印加すると、ステー
タ部40は図5(B)に示すよう振動する。これによ
り、第1のロータ接触面60A上に設けられた突起部6
2Aは、ロータ部30Aを図中右方向に回転駆動する。
また、第2のロータ接触面60Bに設けられた突起部6
2Bは、ロータ部30Bを図中左方向に回転駆動する。
With the above configuration, when a single-phase AC voltage is applied only to the area A of the stator section 40, the stator section 40 vibrates as shown in FIG. 5 (B). As a result, the protrusions 6 provided on the first rotor contact surface 60A
2A rotationally drives the rotor unit 30A in the right direction in the drawing.
In addition, the protrusion 6 provided on the second rotor contact surface 60B
2B rotationally drives the rotor portion 30B leftward in the drawing.

【0055】このようにして実施例の振動モータによれ
ば、ロータ部30A,30Bを異なる方向に回転駆動す
ることができる。
As described above, according to the vibration motor of the embodiment, the rotor portions 30A and 30B can be rotationally driven in different directions.

【0056】ところで、上述した振動モータを、より効
率よく駆動するためには、前記交流電圧の周波数を、ス
テータ部40が共振現象をおこすような値(共振周波
数)とすることが好ましい。
By the way, in order to drive the above-mentioned vibration motor more efficiently, it is preferable that the frequency of the AC voltage is set to a value (resonance frequency) at which the stator section 40 causes a resonance phenomenon.

【0057】図6には、ステータ部40全体を偏平形状
にした際、このステータ部40に発生する梁の撓みによ
る曲げ振動の様子が概念的に示されている。同図(A)
及び(B)には、曲げ振動が生じているステータ部40
の斜視図が示され、同図(C)及び(D)には同図
(A),(B)に示すステータ部40の側面図が示され
ている。同図に示すよう本発明の振動モータでは、梁の
撓みによる曲げ振動を用いてステータ部40の各ロータ
接触面60A,60Bに定在波振動を発生させることが
できる。
FIG. 6 conceptually shows a state of bending vibration caused by bending of a beam generated in the stator portion 40 when the entire stator portion 40 is formed into a flat shape. Same figure (A)
And (B), the stator part 40 in which bending vibration is generated.
Is shown, and FIGS. 7C and 7D are side views of the stator section 40 shown in FIGS. As shown in the figure, in the vibration motor of the present invention, it is possible to generate standing wave vibration on each rotor contact surface 60A, 60B of the stator section 40 by using bending vibration due to bending of the beam.

【0058】次に、「はり」の撓みによる曲げ振動の共
振周波数を表す式fについて簡単に説明する。この式
は、概略次式で表される。
Next, the formula f representing the resonance frequency of the bending vibration due to the bending of the "beam" will be briefly described. This equation is roughly expressed by the following equation.

【0059】 f=(2π/λ2 )(E/ρ)1/2 (I0 /A)1/2 λ;波長 λ=π(D+d)/2N (D:外径,d:内径,N:波数(山の数)なお、1次
共振、2次共振、3次共振・・・では、異なる値とな
る。
F = (2π / λ 2 ) (E / ρ) 1/2 (I 0 / A) 1/2 λ; wavelength λ = π (D + d) / 2N (D: outer diameter, d: inner diameter, N: Wave number (number of peaks) Note that the primary resonance, the secondary resonance, the tertiary resonance, ... Have different values.

【0060】 (E/ρ)1/2 ;音速(Eはヤング率、ρは密度) (I0 /A)1/2 ;断面2次半径(I0 は断面2次モー
メント、Aはステータ部40の回転方向に垂直方向の断
面積) したがって、例えばステータ部のD,d,lが図7に示
すような値をとり、λ等が次のような値で、金属ブロッ
ク体50,52がアルミニウムの振動モデルを考える
と、λ=0.126[m]、(E/ρ)1/2 は約500
0[m/s]、(I0 /A)1/2 は約5.8×10
-3[m]となる。
(E / ρ) 1/2 ; speed of sound (E is Young's modulus, ρ is density) (I 0 / A) 1/2 ; cross sectional secondary radius (I 0 is cross sectional secondary moment, A is stator part 40 Therefore, for example, D, d, and 1 of the stator portion take values as shown in FIG. 7, λ and the like have the following values, and the metal block bodies 50 and 52 are made of aluminum. Considering the vibration model, λ = 0.126 [m], (E / ρ) 1/2 is about 500
0 [m / s], (I0 / A) 1/2 is about 5.8 × 10
-3 [m].

【0061】この振動モデルでは、ステータ部40の共
振周波数fの値は、約11.5kHzとなる。
In this vibration model, the value of the resonance frequency f of the stator section 40 is about 11.5 kHz.

【0062】図8には、前記振動モータの動作を制御す
る制御回路80の具体的な構成が示されている。
FIG. 8 shows a specific structure of the control circuit 80 for controlling the operation of the vibration motor.

【0063】この制御回路80は、2つの単相交流電圧
A,Bを選択的に出力する電源回路90と、この単相交
流出力を増幅し分割電極板46−1〜46−12に印加
するアンプ92とを含む。
This control circuit 80 amplifies this single-phase AC output and applies it to the split electrode plates 46-1 to 46-12. And an amplifier 92.

【0064】また、この制御回路80は、ON/OFF
スイッチ82,回転方向入力部86,回転速度入力部8
8を含む。
The control circuit 80 is turned on / off.
Switch 82, rotation direction input unit 86, rotation speed input unit 8
Including 8.

【0065】前記ON/OFFスイッチ82は、電源回
路90,アンプ92をオン・オフ制御するものである。
The ON / OFF switch 82 controls ON / OFF of the power supply circuit 90 and the amplifier 92.

【0066】前記回転方向入力部86は、ロータ部30
A,30Bの回転方向を選択設定するものであり、その
出力信号は電源回路90に入力される。電源回路90
は、この入力信号に基づき、1方のグループの分割電極
板46−1,46−3,……46−11に印加する単相
交流電圧A、あるいは、他方のグループの分割電極板4
6−2,46−4,……46−12に印加する単相交流
電圧Bのいずれか一方のみを出力し、ロータ部30A,
30Bの回転方向を決定することができる。
The rotation direction input section 86 is the rotor section 30.
The rotation directions of A and 30B are selectively set, and the output signal thereof is input to the power supply circuit 90. Power supply circuit 90
Is a single-phase AC voltage A applied to one group of divided electrode plates 46-1, 46-3, ... 46-11, or the other group of divided electrode plates 4 based on this input signal.
6-2, 46-4, ... Outputs only one of the single-phase AC voltages B applied to 46-12, and the rotor section 30A,
The direction of rotation of 30B can be determined.

【0067】また、前記回転速度入力部88は、アンプ
92の増幅率を制御することにより、ロータ部30A,
30Bの回転速度を設定することができる。
Further, the rotation speed input section 88 controls the amplification factor of the amplifier 92, so that the rotor section 30A,
A rotation speed of 30B can be set.

【0068】したがって、前記各入力部86,88を用
いて、ロータ部30A,30Bの回転方向,回転速度の
設定を行った後に、ON/OFFスイッチ82をオンす
ると、電源回路90が設定に応じた周波数の高周波交流
電圧を出力する。これをアンプ92で増幅して引き出し
線64−1〜64−12に印加することにより、圧電素
子42,44に前述した単相交流電圧を印加し、ロータ
部30A,30Bを回転駆動することができる。
Therefore, when the ON / OFF switch 82 is turned on after setting the rotation direction and the rotation speed of the rotor sections 30A and 30B using the input sections 86 and 88, the power supply circuit 90 responds to the settings. The high frequency AC voltage of the specified frequency is output. By amplifying this by the amplifier 92 and applying it to the lead lines 64-1 to 64-12, the above-mentioned single-phase AC voltage is applied to the piezoelectric elements 42 and 44, and the rotor sections 30A and 30B can be rotationally driven. it can.

【0069】このとき、圧電素子42,44に印加され
る単相交流電圧は、共振モードに対応した共振周波数に
制御されているため、入力電圧を効率よく回転出力に変
換し、ロータ部30A,30Bを回転駆動することがで
きる。
At this time, since the single-phase AC voltage applied to the piezoelectric elements 42 and 44 is controlled to the resonance frequency corresponding to the resonance mode, the input voltage is efficiently converted into the rotation output, and the rotor portion 30A, 30B can be rotationally driven.

【0070】さらに、本実施例の振動モータによれば、
回転方向入力部86により、各分割電極板64−1〜6
4−12に印加する単相交流電圧A,Bを切替えること
で、ロータ部30A,30Bの回転方向を選択的に決定
することができる。
Further, according to the vibration motor of this embodiment,
By the rotation direction input unit 86, the divided electrode plates 64-1 to 64-6
By switching the single-phase AC voltages A and B applied to 4-12, the rotation directions of the rotor units 30A and 30B can be selectively determined.

【0071】さらに、実施例の振動モータでは、回転速
度入力部88を用いて交流電圧の電圧値を制御すること
により、ロータ部30A,30Bの回転速度を任意の速
度に制御することができる。
Further, in the vibration motor of the embodiment, the rotation speed of the rotor portions 30A and 30B can be controlled to an arbitrary speed by controlling the voltage value of the AC voltage using the rotation speed input portion 88.

【0072】さらに、実施例の振動モータでは、従来の
ランジュバン型超音波モータのように、楕円振動の発生
に捩り振動を必要としない。したがって、圧電素子4
4,42、第1、第2の電極板46,48および第1、
第2の金属ブロック体50,52を、単に締付けること
によって、各構成部材の連結固定を行いステータ部40
を構成することができ、前記構成部材の接合面に接着剤
を塗布することが不要となる。したがって、接着剤を用
いた場合のような、共振周波数のモータごとのばらつき
や、Qの値の低下を防ぐことができ、これにより超音波
モータの性能および信頼性を向上させることができる。
Further, the vibration motor of the embodiment does not require torsional vibration for generating elliptical vibration, unlike the conventional Langevin type ultrasonic motor. Therefore, the piezoelectric element 4
4, 42, the first and second electrode plates 46, 48 and the first,
By simply tightening the second metal block bodies 50 and 52, the respective constituent members are connected and fixed, and the stator portion 40
Can be configured, and it becomes unnecessary to apply an adhesive to the joint surface of the constituent member. Therefore, it is possible to prevent the variation of the resonance frequency among the motors and the decrease of the Q value as in the case where the adhesive is used, and it is possible to improve the performance and reliability of the ultrasonic motor.

【0073】さらに、本実施例では、楕円振動の発生に
曲げ振動という1種類の振動を使用するのみであり、従
来の超音波モータのように縦振動と捩り振動という2種
類の振動を必要としない。したがって、ステータ部40
の設計、特に金属ブロック体50,52の設計の自由度
がひろがり、モータの小型化を図ることが可能となる。
また、板状の金属ブロック体50,52を用いているた
め、ステータ部40を含む振動モータの全体を偏平化す
ることができる。
Further, in the present embodiment, only one type of vibration called bending vibration is used to generate the elliptic vibration, and two kinds of vibrations such as longitudinal vibration and torsional vibration are required as in the conventional ultrasonic motor. do not do. Therefore, the stator portion 40
The degree of freedom in designing, particularly, the design of the metal block bodies 50 and 52 is expanded, and the motor can be downsized.
Further, since the plate-shaped metal block bodies 50 and 52 are used, the entire vibration motor including the stator portion 40 can be flattened.

【0074】図9には、前記振動モータをハウジングに
取り付けて製品化した場合の実施例が示されている。実
施例の振動モータは、モータハウジング106内に収納
されている。そして、モータハウジング106に設けら
れた軸受114に、各ロータ部30A,30Bの回転出
力軸34A,34Bが軸支されている。
FIG. 9 shows an embodiment in which the vibration motor is attached to a housing to manufacture the product. The vibration motor of the embodiment is housed in the motor housing 106. The rotation output shafts 34A and 34B of the rotor portions 30A and 30B are supported by bearings 114 provided in the motor housing 106.

【0075】また、実施例の振動モータは、ステータ部
40が、ブロック体50,52の側方から半径方向へ伸
びた支持部130,132によりハウジグ106に取り
付け固定されている。この支持部130,132は、図
10に示すようステータ40の振動の節の部分に設ける
ことが好ましい。
In the vibration motor of the embodiment, the stator portion 40 is attached and fixed to the housing 106 by the support portions 130 and 132 extending from the sides of the block bodies 50 and 52 in the radial direction. It is preferable that the support portions 130 and 132 be provided at the vibration nodes of the stator 40 as shown in FIG.

【0076】また、前記各ロータ部30A,30Bは、
ステータ部両端面60A,60Bに形成された突起部6
2A,62B上に、その円板32A,32Bを板バネ1
00A,100Bとプレート102A,102Bとによ
り所定圧力で接触させるよう構成されている。前記各円
板32A,32Bには回転出力軸(シャフト)34A,
34BがCリング(Cリング以外でも)により固定され
ており、円板32A,32Bが回転することにより回転
出力軸34A,34Bも回転するようになっている。
The rotor portions 30A and 30B are
Protrusion 6 formed on both end surfaces 60A and 60B of the stator
2A, 62B on the disk 32A, 32B is a leaf spring 1
00A and 100B and the plates 102A and 102B are configured to contact each other at a predetermined pressure. A rotation output shaft (shaft) 34A,
34B is fixed by a C ring (other than the C ring), and the rotation output shafts 34A, 34B are also rotated by the rotation of the disks 32A, 32B.

【0077】このような構成を有する振動モータは、ス
テータ部40、特に金属ブロック体50,52の偏平化
が可能なため、ハウジング106全体の偏平化,小型化
が可能となる。
In the vibration motor having such a structure, the stator 40, particularly the metal block bodies 50 and 52 can be flattened, so that the entire housing 106 can be flattened and downsized.

【0078】また、図11には、1本の回転出力軸34
を、2つのロータ部30A,30Bに連結固定し、前記
図9に示す振動モータに比べて2倍のトルクが得られる
よう構成された振動モータの一例が示されている。な
お、図9に示す実施例と対応する部材には同一記号を付
しその説明は省略する。
Further, in FIG. 11, one rotation output shaft 34 is provided.
Shows an example of a vibration motor configured by connecting and fixing two rotor portions 30A and 30B to obtain twice the torque as compared with the vibration motor shown in FIG. The members corresponding to those of the embodiment shown in FIG. 9 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【0079】実施例の振動モータは、そのステータ部4
0が振動の節の部分で、スクリュネジ122を用いてハ
ウジング106の側面に取り付け固定されている。
The vibration motor of the embodiment has a stator portion 4
Reference numeral 0 denotes a vibration node, which is attached and fixed to the side surface of the housing 106 by using a screw screw 122.

【0080】また、ステータ部40に用いられる結合ボ
ルト54は、中心に回転軸挿通孔54aを有する中空構
造になっており、前記回転軸挿通孔54aに共通の回転
出力軸34が挿通されている。なお回転出力軸34は、
結合ボルト54の回転軸挿通孔54aに設けられた軸受
114と、ハウジング106の上部中央に設けられた軸
受114とにより回動自在に軸支されている。
The coupling bolt 54 used in the stator portion 40 has a hollow structure having a rotary shaft insertion hole 54a at the center, and the common rotary output shaft 34 is inserted into the rotary shaft insertion hole 54a. . The rotation output shaft 34 is
A bearing 114 provided in the rotary shaft insertion hole 54a of the coupling bolt 54 and a bearing 114 provided in the center of the upper portion of the housing 106 are rotatably supported.

【0081】そして、この共通回転出力軸34は、一方
のロータ部30Aの円板32Aに回り止めを介して固定
され、さらに他方のロータ部30Bの円板32Bにも回
り止めを介して固定されている。これにより、2つのロ
ータ部30A,30Bの回転出力が共通の回転出力軸3
4を介して出力されるため、回転出力軸34のトルクが
2倍となる。
The common rotation output shaft 34 is fixed to the disc 32A of the one rotor portion 30A via a detent, and is also fixed to the disc 32B of the other rotor portion 30B via a detent. ing. As a result, the rotation output of the two rotor portions 30A and 30B is common to the rotation output shaft 3
4 is output, the torque of the rotation output shaft 34 is doubled.

【0082】図12には、本実施例の変形例が示されて
いる。前記実施例では、圧電素子42,44を複数に分
割し、隣接する2つの分割領域を1組の分極領域とし
て、隣接する各組の分極領域を互いに、その分極方向が
異なるように形成している。これに対し、この変形例で
は、リング状に形成された2個の圧電素子42,44の
全体を同一方向に分極し、この2個の圧電素子42,4
4を互いにその分極方向が異なる方向を向くように立体
配置している。さらに、第1の電極板46は、60°毎
に6分割され、ステータ部40の組み立て後、各連結部
46bが切断されるように構成されている。なお、これ
以外の構成は前記実施例と同様なので、ここではその説
明は省略する。
FIG. 12 shows a modification of this embodiment. In the above embodiment, the piezoelectric elements 42 and 44 are divided into a plurality of regions, two adjacent divided regions are set as one set of polarization regions, and the polarization regions of each set are formed so that their polarization directions are different from each other. There is. On the other hand, in this modified example, the two piezoelectric elements 42 and 44 formed in a ring shape are polarized in the same direction, and the two piezoelectric elements 42 and 4 are polarized.
4 are three-dimensionally arranged so that their polarization directions are different from each other. Further, the first electrode plate 46 is divided into 6 at intervals of 60 °, and each connecting portion 46b is cut after the stator portion 40 is assembled. Since the configuration other than this is the same as that of the above-described embodiment, the description thereof is omitted here.

【0083】図13には、このように形成された振動モ
ータの動作原理が示されている。
FIG. 13 shows the operating principle of the vibration motor thus formed.

【0084】同図(A)は、ステータ部40を円周方向
に展開した図であり、交流電圧を印加する前の状態を示
している。隣接する2つの分割電極板を1組とし、各組
の一方の分割電極板46−1,46−3,46−5に対
応したステータ部40の各領域をA領域、各組の他方の
分割電極板46−2,46−4,46−6に対応したス
テータ部40の各領域をB領域とする。
FIG. 11A is a diagram showing the stator portion 40 developed in the circumferential direction, and shows a state before an AC voltage is applied. Two adjacent divided electrode plates are set as one set, and each region of the stator portion 40 corresponding to one divided electrode plate 46-1, 46-3, 46-5 of each set is an A region, and the other divided electrode plate of each set is divided. Each area of the stator portion 40 corresponding to the electrode plates 46-2, 46-4, 46-6 is defined as an area B.

【0085】ステータ部40の第1のロータ接触面60
A上には、各組のA領域とB領域の境界に3つの突起部
62Aが形成され、これ等各突起部62Aにはロータ部
30Aが接触している。同様に、ステータ部40の第2
のロータ接触面60B上には、各組のA領域とB領域の
境界に3つの突起部62Bが形成され、各突起部62B
はロータ部30Bに接触している。
The first rotor contact surface 60 of the stator portion 40
On A, three protrusions 62A are formed at the boundary between the A region and the B region of each set, and the rotor portion 30A is in contact with each of these protrusions 62A. Similarly, the second stator portion 40
On the rotor contact surface 60B of the above, three protrusions 62B are formed at the boundary between the A region and the B region of each set.
Is in contact with the rotor portion 30B.

【0086】同図(B)は、上述したステータ部40の
A領域のみに単相交流電圧を印加した場合の振動状態を
示している。第1のロータ接触面60Aの突起部62A
端面のA領域側に着目すると、ステータ部40のA領域
が伸びたときにはロータ部30Aを右方向に押し出すよ
うに作用し、縮んだときにはロータ部30Aから離れ
る。従って、突起部62A端面のA領域側には楕円振動
が発生し、この楕円振動がロータ部30Aを図中右方向
に回転駆動する。
FIG. 6B shows a vibration state when the single-phase AC voltage is applied only to the area A of the stator section 40 described above. Projection 62A of the first rotor contact surface 60A
Focusing on the A region side of the end face, when the A region of the stator portion 40 extends, it acts to push the rotor portion 30A to the right, and when it contracts, it separates from the rotor portion 30A. Therefore, elliptical vibration is generated on the area A side of the end face of the protrusion 62A, and this elliptical vibration drives the rotor portion 30A to rotate rightward in the drawing.

【0087】また、第2のロータ接触面60Bの突起部
62B端面のB領域側に着目するとステータ部40のA
領域が伸びたロータ部30Aを左方向に押出すように作
用し、縮んだときにはロータ部30Aから離れる。従っ
て、突起部62B端面のB領域側には楕円振動が発生
し、この楕円振動はロータ部30Bを図中左方向に回転
駆動する。
Also, focusing on the B area side of the end surface of the protruding portion 62B of the second rotor contact surface 60B, A of the stator portion 40
It acts so as to push out the rotor portion 30A having the extended region to the left, and when it contracts, it separates from the rotor portion 30A. Therefore, elliptical vibration is generated on the B area side of the end surface of the protrusion 62B, and this elliptic vibration drives the rotor portion 30B to rotate leftward in the drawing.

【0088】このように、実施例の振動モータによれ
ば、ロータ部30Aおよびロータ部30Bをそれぞれ逆
方向に回転駆動し、2種類の回転出力を得ることができ
る。
As described above, according to the vibration motor of the embodiment, the rotor portion 30A and the rotor portion 30B can be rotationally driven in opposite directions to obtain two types of rotational outputs.

【0089】また、ロータ部30A,30Bを逆転駆動
する場合には、ステータ部40のB領域のみに単相交流
電圧を印加すればよい。
When the rotor portions 30A and 30B are driven in the reverse direction, the single-phase AC voltage may be applied only to the B region of the stator portion 40.

【0090】このように、本実施例によれば、ステータ
部40に単相交流電圧を印加することで、二つのロータ
部30A、30Bを逆方向に回転駆動することができ
る。
As described above, according to this embodiment, by applying the single-phase AC voltage to the stator portion 40, the two rotor portions 30A and 30B can be rotationally driven in opposite directions.

【0091】なお、前記図13に示す実施例では、2つ
のロータ部30A,30Bを異なる方向に回転駆動する
場合を例にとり説明したが、この2つのロータ部30
A,30Bを同方向に回転駆動するよう形成することも
できる。
In the embodiment shown in FIG. 13, the two rotor portions 30A and 30B are rotationally driven in different directions, but the two rotor portions 30 are not shown.
It is also possible to form A and 30B so as to rotate in the same direction.

【0092】図14には、この場合の動作原理が示され
ている。この場合には、同図(A)に示すよう、図中右
方向にA領域、B領域の順に並ぶ2つの領域の境界に位
置するよう、第1のロータ接触面60A上に各突起部6
2Aを形成する。さらに、図中右方向にB領域,A領域
の順に並ぶ2つの領域の境界に位置するよう、各突起部
62Bを第2のロータ接触面60B上に形成する。
FIG. 14 shows the operating principle in this case. In this case, as shown in FIG. 7A, each protrusion 6 is formed on the first rotor contact surface 60A so as to be located at the boundary between the two regions arranged in the right direction in the drawing in the order of the A region and the B region.
2A is formed. Further, each protrusion 62B is formed on the second rotor contact surface 60B so as to be located at the boundary between two areas arranged in the order of the area B and the area A in the right direction in the drawing.

【0093】以上の構成とすることにより、同図Bに示
すよう、ステータ部40のA領域のみに単相交流電圧を
印加すると、第1のロータ接触面60A上に設けられた
突起部62Aは、図4に示す実施例と同様に振動し、ロ
ータ部30Aを図中右方向に回転駆動する。また、第2
のロータ接触面60Bに設けられた突起部62Bには、
そのB領域側に着目すると、突起部62Aと同方向の楕
円振動が発生し、この楕円振動がロータ部30Bを図中
右方向に回転駆動する。
With the above structure, as shown in FIG. 9B, when a single-phase AC voltage is applied only to the area A of the stator 40, the protrusion 62A provided on the first rotor contact surface 60A As in the embodiment shown in FIG. 4, the rotor portion 30A is driven to rotate rightward in the drawing. Also, the second
The protrusion 62B provided on the rotor contact surface 60B of
Focusing on the B region side, elliptical vibration in the same direction as the protruding portion 62A is generated, and this elliptical vibration drives the rotor portion 30B to rotate rightward in the drawing.

【0094】このようにして実施例の振動モータによれ
ば、ロータ部30A,30Bを同じ方向に回転駆動する
ことができる。
As described above, according to the vibration motor of the embodiment, the rotor portions 30A and 30B can be rotationally driven in the same direction.

【0095】なお、ロータ部30A,30Bを逆転駆動
する場合には、ステータ部40のB領域のみに単相交流
電圧を印加してやればよい。
When the rotor portions 30A and 30B are driven in the reverse direction, the single-phase AC voltage may be applied only to the B region of the stator portion 40.

【0096】図15には、電極板46を上述した12分
割、6分割から4分割に変えた場合の電極板46及びそ
れに対応する第1の金属ブロック体50上の突起部62
の状態が示されている。突起部62A,62Bは隣接す
る分割電極板の境界付近に対応して形成されるため、電
極板46が4分割された場合には突起部62Aは2ヵ所
となり、突起部62Bも2ヵ所となる。その他の構成
は、図3あるいは図9に示されたものと同様であり、交
流電圧A,Bを選択的に印加することにより、ロータ部
を正転あるいは逆転駆動することができる。
In FIG. 15, when the electrode plate 46 is changed from the above-mentioned 12-division, 6-division to 4-division, the electrode plate 46 and the corresponding projections 62 on the first metal block 50 are formed.
The state of is shown. Since the protrusions 62A and 62B are formed corresponding to the vicinity of the boundary between the adjacent divided electrode plates, when the electrode plate 46 is divided into four, the protrusions 62A will be two places and the protrusions 62B will also be two places. . Other configurations are the same as those shown in FIG. 3 or FIG. 9, and the rotor portion can be driven in the normal rotation or the reverse rotation by selectively applying the AC voltages A and B.

【0097】第2実施例 図16には、本発明の好適な第2実施例が示されてい
る。なお、本実施例の振動モータは、ロータ接触面60
A,60B上に設けられる突起部62A,62Bの配置
以外の基本的構成は、図1ないし図3に示す第1実施例
と同様であるので、ここではその説明は省略する。
Second Embodiment FIG. 16 shows a second preferred embodiment of the present invention. It should be noted that the vibration motor of the present embodiment has a rotor contact surface
The basic structure is the same as that of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 3 except the arrangement of the protrusions 62A and 62B provided on the A and 60B, and therefore the description thereof is omitted here.

【0098】本実施例の特徴は、圧電素子42,44の
全面に交流電圧を印加することにより、ステータ部40
の全領域を振動させることにある。すなわち、上述した
第1実施例では、ステータ部40のA領域を振動させた
場合はB領域が休止した状態にあり、反対にB領域を振
動させた場合はA領域が休止した状態にある。従って、
駆動時には常にステータ部40の半分の領域が休止して
おり、この駆動効率を改善したものが本実施例である。
The feature of this embodiment is that by applying an AC voltage to the entire surfaces of the piezoelectric elements 42 and 44, the stator portion 40
To oscillate the whole area of. That is, in the above-described first embodiment, when the A region of the stator portion 40 is vibrated, the B region is in a rest state, and when the B region is vibrated, the A region is in a rest state. Therefore,
At the time of driving, half of the area of the stator portion 40 is always idle, and this embodiment improves the driving efficiency.

【0099】図16(A)には、実施例のステータ部4
0を円周方向に展開した図が示されている。
FIG. 16A shows the stator portion 4 of the embodiment.
A diagram of 0 developed in the circumferential direction is shown.

【0100】実施例のステータ部40の各ロータ接触面
60A,60B上には、それぞれ6個の放射状の突起部
62A,62Bが形成されている。これ等の突起部62
A,62Bは、圧電素子42,44のA領域の中央付近
の位置に対応して形成されている。
Six radial projections 62A and 62B are formed on the rotor contact surfaces 60A and 60B of the stator 40 of the embodiment. These protrusions 62
A and 62B are formed corresponding to the positions near the center of the A area of the piezoelectric elements 42 and 44.

【0101】同図(B)は、A領域にA相の交流電圧を
印加した場合の振動の状態を示している。同図中の点線
は、分割された6つのA領域のみを切り出したときのそ
れぞれの振動状態であり、実線は実際のステータ部40
全体の振動状態である。
FIG. 11B shows the state of vibration when the A-phase AC voltage is applied to the A region. The dotted lines in the figure show the respective vibration states when only the six divided A areas are cut out, and the solid line shows the actual stator portion 40.
The whole vibration state.

【0102】同様に、同図(C)はB領域にA相と同相
のB相の交流電圧を印加した場合の振動の状態を示して
おり、点線は分割された6つのB領域のみを切り出した
ときのそれぞれの振動状態、実線は実際のステータ部4
0全体の振動状態である。なお、同図(D)はB領域に
B相と逆位相のB′相の交流電圧を印加した場合の振動
状態を示している。
Similarly, FIG. 7C shows the state of vibration when an AC voltage of the B phase having the same phase as the A phase is applied to the B area, and the dotted line shows only the six divided B areas. Each vibration state, the solid line is the actual stator part 4
0 is the entire vibration state. It should be noted that FIG. 3D shows a vibration state in the case where a B'phase AC voltage having a phase opposite to that of the B phase is applied to the B region.

【0103】同図(E)は、A領域、B領域にA相、B
相の交流電圧が同時に印加された場合にステータ部40
に現れる第1の定在波振動を示している。これは、同図
(B)及び(C)に示した振動波形を重ね合わせたもの
であり、この第1の定在波の振動のピーク(腹)は、同
方向に分極されたA領域とB領域の境界付近に現れる。
従って、第1及び第2のロータ接触面60A,60B上
に形成された各突起部62A,62Bは、この第1の定
在波の腹と節の中間に位置することとなる。この結果、
突起部62A,62Bの端面には楕円振動が現れ、図1
7(A)に示すようロータ部30A,30Bが左方向に
回転駆動されることとなる。
In the same figure (E), the A phase and B phase are shown in the A region and B region, respectively.
When the phase alternating voltage is applied simultaneously, the stator unit 40
Shows the first standing wave vibration appearing in FIG. This is a superposition of the vibration waveforms shown in (B) and (C) of the same figure, and the peak (antinode) of the vibration of the first standing wave is in the A region polarized in the same direction. Appears near the boundary of the B area.
Therefore, the protrusions 62A and 62B formed on the first and second rotor contact surfaces 60A and 60B are located in the middle of the node and the node of the first standing wave. As a result,
Elliptical vibration appears on the end faces of the protrusions 62A and 62B.
As shown in FIG. 7 (A), the rotor portions 30A and 30B are rotationally driven leftward.

【0104】また、図16(F)は、A相とB′相の交
流電圧が同時に印加された場合にステータ部40に現れ
る第2の定在波振動の状態を示している。これは、図
(B)及び(D)に示した振動波形を重ね合わせたもの
であり、この第2の定在波の振動のピークは、逆方向に
分極されたA領域とB領域の境界付近に現れる。従っ
て、前記各突起部62A,62Bは、この第2の定在波
の腹と節の間に位置することになり、しかも同図(E)
に示した振動状態と比較すると、定在波のピークと突起
部62A,62Bとの相対位置が反対となる。このた
め、図14(A)に示した楕円振動とは反対方向の楕円
振動が突起部62A,62B上に現れ、図17(B)に
示すようロータ部30A,30Bが逆転駆動されること
となる。
FIG. 16F shows the state of the second standing wave vibration that appears in the stator section 40 when the A-phase and B'-phase AC voltages are applied simultaneously. This is a superposition of the vibration waveforms shown in FIGS. (B) and (D), and the peak of the vibration of this second standing wave is the boundary between the regions A and B polarized in the opposite direction. Appears in the vicinity. Therefore, the protrusions 62A and 62B are located between the antinode and the node of the second standing wave, and FIG.
Compared with the vibration state shown in (1), the peak of the standing wave and the relative positions of the protrusions 62A and 62B are opposite. Therefore, the elliptic vibration in the opposite direction to the elliptic vibration shown in FIG. 14A appears on the protrusions 62A and 62B, and the rotors 30A and 30B are driven in the reverse direction as shown in FIG. 17B. Become.

【0105】このように、実施例の各突起部62は、図
16(E)に示す第1の定在波の腹と一方側の節の間に
位置すると共に、図16(F)に示す第2の定在波の腹
と他方側の節の間に位置するよう形成されている。従っ
て、圧電素子42,44の各領域に印加するA相及びB
相の交流電圧の印加状態を振替え制御することにより、
図16(E)に示す第1の定在波、図16(F)に示す
第2の定在波を選択的に発生させ、2つのロータ部30
A,30Bを正転、逆転駆動することができる。
As described above, each protrusion 62 of the embodiment is located between the antinode of the first standing wave shown in FIG. 16 (E) and the node on one side, and is also shown in FIG. 16 (F). It is formed so as to be located between the antinode of the second standing wave and the node on the other side. Therefore, A phase and B applied to each region of the piezoelectric elements 42 and 44
By controlling the application state of the alternating voltage of the phase,
The first standing wave shown in FIG. 16E and the second standing wave shown in FIG.
It is possible to drive A and 30B in the forward and reverse directions.

【0106】特に、本実施例によれば、前記第1実施例
に比べ、ステータ部40の全領域(A領域およびB領
域)を同時に振動させ、ロータ部30A,30Bを回転
駆動するため、2つのロータ部30A,30Bから大き
な出力トルクを得ることができる。
In particular, according to the present embodiment, compared with the first embodiment, the whole area (A area and B area) of the stator section 40 is vibrated at the same time, and the rotor sections 30A, 30B are driven to rotate, so that 2 A large output torque can be obtained from the one rotor section 30A, 30B.

【0107】なお、振動モータの動作を制御する制御回
路80の具体的な構成については、図6に示したものと
ほぼ同じである。この場合に、電源回路90は、互いに
同相の2つの交流電圧(A相,B相)を同時に出力、あ
るいは、互いに逆相の2つの交流電圧(A相,B′相)
を同時に出力することができ、この選択動作が回転方向
入力部86によって指示される。
The specific structure of the control circuit 80 for controlling the operation of the vibration motor is almost the same as that shown in FIG. In this case, the power supply circuit 90 simultaneously outputs two AC voltages (A phase, B phase) having the same phase, or two AC voltages having opposite phases (A phase, B ′ phase).
Can be simultaneously output, and this selection operation is instructed by the rotation direction input unit 86.

【0108】なお、図16,17に示す実施例では、2
つのロータ部30A,30Bを同方向に回転駆動するも
のを例にとり説明したが、本実施例はこれに限らず、2
つのロータ30A,30Bを異なる方向に回転駆動する
よう形成することもできる。
In the embodiment shown in FIGS. 16 and 17, 2
Although the description has been given by taking as an example the one in which the two rotor portions 30A and 30B are rotationally driven in the same direction, the present embodiment is not limited to this.
The two rotors 30A and 30B may be formed so as to be rotationally driven in different directions.

【0109】図18には、このように構成された振動モ
ータが概略的に示されている。
FIG. 18 schematically shows the vibration motor thus constructed.

【0110】同図(A)は、ステータ部40を円周方向
に展開した図である。ステータ部40の第1のロータ接
触面60Aには、圧電素子42のA領域の中央付近に位
置して複数の突起部62Aが形成されている。また、他
方のロータ接触面60B上には、圧電素子42のB領域
の中央付近に位置して複数の突起部62Bが形成されて
いる。なお、同図(B)〜(D)は、図16(B)〜
(E)と同様であるのでこれ等の説明は省略する。
FIG. 13A is a diagram showing the stator portion 40 developed in the circumferential direction. On the first rotor contact surface 60A of the stator 40, a plurality of protrusions 62A are formed near the center of the area A of the piezoelectric element 42. Further, on the other rotor contact surface 60B, a plurality of protrusions 62B are formed near the center of the region B of the piezoelectric element 42. 16B to 16D.
Since it is the same as (E), description thereof will be omitted.

【0111】同図(E)は、A相とB相に交流電圧が同
時に印加された場合に、ステータ部40に現れる第1の
定在波振動を示しており、この第1の定在波のピーク
は、同方向に分極されたA領域とB領域の境界付近に現
れる。従って、この振動のピークに接したA領域の中央
部に対応して設けられた突起部62Aの端面と、B領域
の中央付近に対応して設けられた突起部62Bの端面と
では、楕円振動が逆方向に現れる。従って、図19
(A)に示すよう各ロータ部30A,30Bはそれぞれ
異なる方向に回転駆動されることになる。
FIG. 13E shows the first standing wave vibration appearing in the stator section 40 when the AC voltage is applied to the A phase and the B phase at the same time. Peak appears near the boundary between the A and B regions polarized in the same direction. Therefore, an elliptical vibration is generated between the end face of the protrusion 62A provided corresponding to the central portion of the A region in contact with the peak of this vibration and the end face of the protrusion 62B provided near the center of the B region. Appears in the opposite direction. Therefore, FIG.
As shown in (A), the rotor portions 30A and 30B are rotationally driven in different directions.

【0112】また、図18(F)はA相とB´相の交流
電圧が同時に印加された場合に、ステータ部40に現れ
る第2の定在波振動の状態を示している。この場合に
は、突起部62A,62Bの端面に現れる楕円振動が図
19(A)に示す場合と逆方向となるため、図19
(B)に示すよう各ロータ部30A,30Bは、図19
(A)とは逆方向に回転駆動されることになる。
FIG. 18F shows the state of the second standing wave vibration that appears in the stator section 40 when the A-phase and B'-phase AC voltages are applied at the same time. In this case, the elliptical vibrations appearing on the end faces of the protrusions 62A and 62B are in the opposite direction to the case shown in FIG.
As shown in FIG.
It is driven to rotate in the opposite direction to (A).

【0113】このように、圧電素子42,44の各領域
に印加するA相およびB相の印加状態を制御することに
より、2つのロータ部30A,30Bを効率よく正転あ
るいは逆転駆動することができる。
As described above, by controlling the application states of the A phase and the B phase applied to the respective regions of the piezoelectric elements 42 and 44, the two rotor portions 30A and 30B can be efficiently driven in the forward or reverse direction. it can.

【0114】図20には、前記第1,第2実施例の変形
例が示されている。前記第1,2実施例の圧電素子4
2,44では、図3に示すよう同極性に分極された2個
の分割領域により1組の分極領域を構成し、各組の分極
領域がロータ回転方向に交互に逆向きに分極されるよう
形成されている。これに対し、図20に示す変形例の圧
電素子42,44では、1個の分割領域により1組の分
極領域を構成し、これら各分極領域がロータ回転方向に
交互に逆向きに分極されるよう形成されている。このよ
うに形成した場合でも、電極板46を第1,2実施例と
同様に形成し、電極板46の各分割電極板46−1,4
6−2…により各分極領域をA領域とB領域の2相の電
圧印加領域に分割形成することにより、前記第1,2実
施例と同様な作用効果を奏することができる。
FIG. 20 shows a modification of the first and second embodiments. Piezoelectric element 4 of the first and second embodiments
In Nos. 2 and 44, as shown in FIG. 3, two divided regions polarized in the same polarity form one set of polarized regions, and each set of polarized regions is alternately polarized in the opposite direction in the rotor rotation direction. Has been formed. On the other hand, in the piezoelectric elements 42 and 44 of the modified example shown in FIG. 20, one divided region constitutes one set of polarized regions, and these polarized regions are alternately polarized in opposite directions in the rotor rotation direction. Is formed. Even when formed in this way, the electrode plate 46 is formed in the same manner as in the first and second embodiments, and the divided electrode plates 46-1, 4 of the electrode plate 46 are formed.
By dividing each polarization region into two-phase voltage application regions of A region and B region by 6-2, it is possible to obtain the same effects as those of the first and second embodiments.

【0115】この変形例の圧電素子42,44では、分
極の際に電極として使用した、例えば銀、ニッケル面
を、分極終了後に研磨して除去する必要がある。
In the piezoelectric elements 42 and 44 of this modification, for example, the silver or nickel surface used as an electrode during polarization needs to be removed by polishing after the polarization is completed.

【0116】第3実施例 図21には、本発明の好適な第3実施例が示されてい
る。なお、上述した第1,2実施例と対応する部材には
同一符号を付しその説明は省略する。
Third Embodiment FIG. 21 shows a preferred third embodiment of the present invention. The members corresponding to those in the first and second embodiments described above are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【0117】本実施例の電極板46Aは、60度毎に6
分割されており、各分割領域にはA相の交流電圧が印加
される。同様に、電極板46Bは60度毎に6分割され
ており、各分割領域にはB相の交流電圧が印加される。
これら2つの電極板46A,46B間には絶縁板43が
挟み込まれ、各電極板に別々にA相,B相の交流電圧が
印加できるようになっている。
The electrode plate 46A of the present embodiment is 6 degrees apart every 60 degrees.
It is divided, and an A-phase AC voltage is applied to each divided region. Similarly, the electrode plate 46B is divided into six 60 degrees, and a B-phase AC voltage is applied to each divided region.
An insulating plate 43 is sandwiched between these two electrode plates 46A and 46B so that AC voltage of A phase and B phase can be separately applied to each electrode plate.

【0118】圧電素子42は、一方の電極板46Aに対
応して60度毎に6分割されており、隣接する分割領域
の分極方向が反対になるように形成されている。また、
圧電素子44は、他方の電極板46Bに対応して60度
毎に6分割されており、隣接する分割領域の分極方向が
反対になるように形成されている。圧電素子42と44
は、相互に分極領域の位相が30度ずれるように立体配
置されている。
The piezoelectric element 42 is divided into six parts at intervals of 60 degrees corresponding to one electrode plate 46A, and is formed so that the polarization directions of the adjacent divided regions are opposite to each other. Also,
The piezoelectric element 44 is divided into six parts every 60 degrees corresponding to the other electrode plate 46B, and is formed so that the polarization directions of the adjacent divided regions are opposite. Piezoelectric elements 42 and 44
Are three-dimensionally arranged so that the phases of the polarized regions are shifted from each other by 30 degrees.

【0119】金属ブロック体50,52は、その外側端
面60A,60Bにそれぞれ6個の放射状の突起部62
A−1,62A−2…62A−6および62B−1,6
2B−2…62B−6を有する。これら各突起部62A
−1,62A−2…62A−6および62B−1,62
B−2…62B−6は、図22(A)に示すよう、前記
圧電素子42,44の各分極領域の重複領域中央付近に
対応して位置する。
The metal block bodies 50 and 52 have six radial projections 62 on their outer end surfaces 60A and 60B, respectively.
A-1, 62A-2 ... 62A-6 and 62B-1, 6
2B-2 ... 62B-6. Each of these protrusions 62A
-1, 62A-2 ... 62A-6 and 62B-1, 62
As shown in FIG. 22 (A), B-2 ... 62B-6 are located corresponding to the vicinity of the center of the overlapping region of the polarization regions of the piezoelectric elements 42 and 44.

【0120】図22には、本実施例の動作原理の概略が
示されている。
FIG. 22 shows the outline of the operating principle of this embodiment.

【0121】同図(A)は、ステータ部40を円周方向
に展開した図であり、符号「+」は印加する交流電圧の
電位が正のときに伸びる領域を、符号「−」は印加する
交流電圧の電位が正のときに縮む領域をそれぞれ示して
いる。
FIG. 13A is a diagram in which the stator portion 40 is developed in the circumferential direction. The symbol “+” indicates a region that extends when the potential of the applied AC voltage is positive, and the symbol “−” indicates that it is applied. The regions that contract when the potential of the AC voltage to be applied is positive are shown.

【0122】同図(B)は電極板46AにA相の単相交
流電圧を印加した場合にステータ部40に発生する第1
の定在波振動を、同図(C)は電極板46BにB相の単
相交流電圧を印加した場合にステータ部40に発生する
第2の定在波振動をそれぞれ示している。
FIG. 11B shows the first generated in the stator section 40 when the A-phase single-phase AC voltage is applied to the electrode plate 46A.
2C shows the second standing wave vibration generated in the stator portion 40 when the B-phase single-phase AC voltage is applied to the electrode plate 46B.

【0123】同図に示すように、各突起部62A−1,
62A−2…62A−6,62B−1,62B−2…6
2B−6は、図22(B)に示す第1の定在波の腹と一
方側の節との中間に位置すると共に、図22(C)に示
す第2の定在波の腹と他方側の節との間に位置すること
になる。
As shown in the figure, each protrusion 62A-1,
62A-2 ... 62A-6, 62B-1, 62B-2 ... 6
22B-6 is located between the antinode of the first standing wave shown in FIG. 22B and the node on one side, and the antinode of the second standing wave shown in FIG. It will be located between the side nodes.

【0124】従って、同図(B)に示すよう、ステータ
部40のA領域のみに単相交流電圧を印加し第1の定在
波振動を発生した場合、ステータ部40のA領域が伸び
ると、ロータ部30A,30Bを左方向に押し出すよう
に突起部62A−1,62A−3、62A−5および6
2B−2,62B−4、62B−6が作用する。そし
て、ステータ部40のA領域が縮むと、ロータ部30
A,30Bから突起部62A−1,62A−3、62A
−5および62B−2,62B−4、62B−6は離れ
るが、逆に他の突起部62A−2,62A−4、62A
−6および62B−1,62B−3、62B−5は、ロ
ータ部30A,30Bを左方向に押し出すように作用す
る。このようにして、各突起部62A−1,62A−2
…62A−6および62B−1,62B−2…62B−
6には楕円振動が発生し、この楕円振動が2つのロータ
部30A,30Bを左方向に回転駆動する。
Therefore, as shown in FIG. 7B, when the first standing wave vibration is generated by applying the single-phase AC voltage only to the area A of the stator portion 40, the area A of the stator portion 40 expands. , The protrusions 62A-1, 62A-3, 62A-5 and 6 so as to push the rotor portions 30A, 30B to the left.
2B-2, 62B-4, 62B-6 act. When the area A of the stator portion 40 contracts, the rotor portion 30
A, 30B to protrusions 62A-1, 62A-3, 62A
-5 and 62B-2, 62B-4, 62B-6 are separated, but conversely, other protrusions 62A-2, 62A-4, 62A
-6 and 62B-1, 62B-3, 62B-5 act so as to push the rotor portions 30A, 30B to the left. In this way, each protrusion 62A-1, 62A-2
... 62A-6 and 62B-1, 62B-2 ... 62B-
Elliptic vibration is generated in 6, and this elliptic vibration drives the two rotor portions 30A and 30B to rotate leftward.

【0125】また、これとは逆に、同図(C)に示すよ
う、ステータ部40のB領域のみに単相交流電圧を印加
し第2の定在波振動を発生した場合、ステータ部40の
B領域が伸びると、ロータ部30A,30Bを右方向に
押し出すように突起部62A−2,62A−4、62A
−6および62B−1,62B−3、62B−5は作用
する。そして、ステータ部40のb領域が縮むと、ロー
タ部30A,30Bから突起部62A−2,62A−
4、62A−6および62B−1,62B−3、62B
−5は離れるが、逆に他の突起部62A−1,62A−
3、62A−5および62B−2,62B−4、62B
−6は、ロータ部30A,30Bを右方向に押し出すよ
うに作用する。このようにして、各突起部62A−1,
62A−2…62A−6および62B−1,62B−2
…62B−6には楕円振動が発生し、この楕円振動が2
つのロータ部30A,30Bを右方向に回転駆動する。
On the contrary, as shown in FIG. 7C, when the second standing wave vibration is generated by applying the single-phase AC voltage only to the area B of the stator section 40, When the B area of the rotor is extended, the protrusions 62A-2, 62A-4, 62A are pushed out so as to push the rotor portions 30A, 30B to the right.
-6 and 62B-1, 62B-3, 62B-5 work. When the region b of the stator portion 40 contracts, the rotor portions 30A and 30B extend from the protrusion portions 62A-2 and 62A-.
4, 62A-6 and 62B-1, 62B-3, 62B
-5 separates, but conversely the other protrusions 62A-1, 62A-
3, 62A-5 and 62B-2, 62B-4, 62B
-6 acts so as to push the rotor portions 30A and 30B rightward. In this way, each protrusion 62A-1,
62A-2 ... 62A-6 and 62B-1, 62B-2
... 62B-6 has an elliptical vibration, and this elliptic vibration is 2
The two rotor portions 30A and 30B are rotationally driven in the right direction.

【0126】このように、本実施例によれば、交流電圧
を印加する分割電極板46A,46Bの領域を切り替え
ることで、ロータ部30A,30Bを正転及び逆転駆動
することができる。しかも捩り振動を必要とすることな
く、ロータ接触面60A,60B表面に設けた突起部6
2A,62Bに直接楕円振動を発生させることができる
ため、モータの構成が簡単なものとなり、しかも回転出
力を効率よく発生させることができる。
As described above, according to this embodiment, the rotor portions 30A and 30B can be driven in the forward and reverse directions by switching the regions of the divided electrode plates 46A and 46B to which the AC voltage is applied. Moreover, the projection 6 provided on the surfaces of the rotor contact surfaces 60A and 60B does not require torsional vibration.
Since the elliptical vibration can be directly generated in 2A and 62B, the motor configuration is simple and the rotation output can be efficiently generated.

【0127】第4実施例 次に本発明の好適な第4実施例を説明する。なお、実施
例の振動モータでは、ロータ接触面60A,60B上に
形成される突起部62A,62Bの配置が、前記第3実
施例と異なるのみで、その他の基本構成は前記第3実施
例と同様であるので、ここでは、その詳細な説明は省略
する。
Fourth Embodiment Next, a preferred fourth embodiment of the present invention will be described. In the vibration motor of the embodiment, the arrangement of the protrusions 62A and 62B formed on the rotor contact surfaces 60A and 60B is different from that of the third embodiment, and the other basic configuration is the same as that of the third embodiment. Since it is the same, detailed description thereof is omitted here.

【0128】前記第3実施例の振動モータでは、ステー
タ部40のA領域を振動させた場合はB領域が休止した
状態にあり、反対にB領域を振動させた場合はA領域が
休止した状態にある。従って、駆動時には常にステータ
部40の半分の領域が休止している。これに対し、本実
施例の特徴は、圧電素子42,44の全面に交流電圧を
印加することにより、ステータ部40の全領域を振動さ
せ、その駆動効率を改善することにある。
In the vibration motor of the third embodiment, when the area A of the stator portion 40 is vibrated, the area B is in a rest state, and when the area B is vibrated, the area A is in a rest state. It is in. Therefore, at the time of driving, half the area of the stator portion 40 is always stopped. On the other hand, the feature of this embodiment resides in that the AC voltage is applied to the entire surfaces of the piezoelectric elements 42 and 44 to vibrate the entire area of the stator section 40 and improve the driving efficiency thereof.

【0129】図23(A)には実施例の振動モータのス
テータ部40を円周方向に展開した状態が示されてい
る。
FIG. 23A shows a state where the stator portion 40 of the vibration motor of the embodiment is expanded in the circumferential direction.

【0130】同図で示すよう、実施例のステータ部40
は、そのロータ接触面60A,60Bに複数の放射状突
起部62A,62Bを有する。これ等各突起部62A,
62Bは、圧電素子42の各分割領域Aの中央付近に対
応して位置する。
As shown in the figure, the stator portion 40 of the embodiment
Has a plurality of radial protrusions 62A, 62B on its rotor contact surfaces 60A, 60B. These projections 62A,
62B is located corresponding to the vicinity of the center of each divided area A of the piezoelectric element 42.

【0131】なお、同図中、符号「+」は印加する交流
電圧の電位が正のとき伸びる領域を、符号「−」は印加
する交流電圧の電位が正のときに縮む領域をそれぞれ表
している。
In the figure, the symbol "+" represents a region that extends when the potential of the applied AC voltage is positive, and the symbol "-" represents a region that contracts when the potential of the applied AC voltage is positive. There is.

【0132】同図(B)は電極板46AにA相の交流電
圧を印加した場合の圧電素子42の振動状態を、同図
(C)は電極板46BにB相の交流電圧を印加した場合
の圧電素子44の振動状態をそれぞれ示している。ま
た、同図(D)は電極板46BにB相と逆位相のB′相
の交流電圧を印加した場合の圧電素子44の振動状態を
示している。
FIG. 13B shows the vibration state of the piezoelectric element 42 when the A-phase AC voltage is applied to the electrode plate 46A, and FIG. 13C shows the B-phase AC voltage when the electrode plate 46B is applied. The respective vibration states of the piezoelectric element 44 are shown. Further, FIG. 3D shows the vibration state of the piezoelectric element 44 when an AC voltage of B'phase, which is the opposite phase of the B phase, is applied to the electrode plate 46B.

【0133】同図(E)は、A相とB相の交流電圧が同
時に印加された場合にステータ部40に現れる第1の定
在波振動の状態を示しており、この第1の定在波の振動
のピークと突起部62A,62Bとの相対位置は、図1
6(E)に示した第2実施例のものと同じとなる。従っ
て、突起部62A,62B上に楕円振動が発生し、2つ
のロータ部30A,30Bを左方向に回転駆動すること
ができる。
FIG. 13E shows the state of the first standing wave vibration that appears in the stator section 40 when the A-phase and B-phase AC voltages are simultaneously applied. The relative position between the peak of wave vibration and the protrusions 62A and 62B is shown in FIG.
6 (E) is the same as that of the second embodiment. Therefore, elliptical vibration is generated on the protrusions 62A and 62B, and the two rotors 30A and 30B can be rotationally driven leftward.

【0134】また、同図(F)は、A相とB′相の交流
電圧が同時に印加された場合にステータ部40に現れる
第2の定在波振動の状態を示しており、この第2の定在
波の振動のピークと突起部62A,62Bとの相対位置
も、図16(F)に示した第2実施例のものと同じとな
る。従って、突起部62A,62B上には反対方向の楕
円振動が発生し、ロータ部30A,30Bを右方向に逆
転駆動することができる。
Further, (F) of the figure shows the state of the second standing wave vibration that appears in the stator section 40 when the AC voltages of the A phase and the B'phase are simultaneously applied. The relative position between the peak of the standing wave vibration and the protrusions 62A and 62B is also the same as that of the second embodiment shown in FIG. 16 (F). Therefore, elliptical vibrations in opposite directions are generated on the protrusions 62A and 62B, and the rotor portions 30A and 30B can be driven in the reverse direction to the right.

【0135】このように、A相とB相の交流電圧を印加
することにより2つのロータ部30A,30Bを正転駆
動することができ、A相とB′相の交流電圧を印加する
ことにより2つのロータ部30A,30Bを逆転駆動す
ることができる。また、2つの圧電素子42,44は、
常に交流電圧が印加されて振動状態にあるため、効率よ
い回転駆動を行うことができる。
As described above, the two rotor portions 30A and 30B can be driven in the forward direction by applying the A-phase and B-phase AC voltages, and the A-phase and B'-phase AC voltages can be applied. The two rotor sections 30A and 30B can be driven in reverse. Further, the two piezoelectric elements 42 and 44 are
Since the AC voltage is constantly applied and in a vibrating state, it is possible to perform efficient rotational driving.

【0136】図24には、本実施例の変形例が示されて
いる。この変形例の特徴は、図24(A)に示すよう、
ロータ接触面60A上に設けられた複数の突起部62A
を圧電素子42の各分極領域Aの中央付近に位置させ、
他方のロータ接触面60Bに設けられた複数の突起部6
0Bを圧電素子44の各分極領域Bの中央付近に位置さ
せたことにある。
FIG. 24 shows a modification of this embodiment. The feature of this modified example is as shown in FIG.
A plurality of protrusions 62A provided on the rotor contact surface 60A
Is located near the center of each polarization region A of the piezoelectric element 42,
A plurality of protrusions 6 provided on the other rotor contact surface 60B
0B is located near the center of each polarization region B of the piezoelectric element 44.

【0137】これにより、電極板46A,46Bに,A
相およびB相の単相交流電圧を同時に印加すると、ステ
ータ部40には図24(E)に示すよう、A相の振動と
B相の振動とを合成した第1の定在波振動が現れる。こ
の第1の定在波の振動のピークと、突起部62A,62
Bとの相対位置は、図18(E)に示した実施例と同じ
になる。従って、突起部62A,62B上には異なる方
向へ向けた2種類の楕円振動が発生し、2つのロータ部
30A,30Bを異なる方向に回転駆動することができ
る。
Thus, the electrode plates 46A, 46B are
When the single-phase AC voltages of the B-phase and the B-phase are applied at the same time, the first standing wave vibration that is a combination of the A-phase vibration and the B-phase vibration appears in the stator section 40, as shown in FIG. . The vibration peak of the first standing wave and the protrusions 62A, 62
The relative position to B is the same as that of the embodiment shown in FIG. Therefore, two types of elliptical vibrations directed in different directions are generated on the protrusions 62A, 62B, and the two rotors 30A, 30B can be rotationally driven in different directions.

【0138】また、図24(F)は、A相とB´相の交
流電圧が同時に印加された場合にステータ部40に現れ
る第2の定在波振動の状態を表している。この第2の定
在波振動のピークと突起部62A,62Bとの相対位置
も図18(F)に示した実施例と同じになる。従って、
突起部62A,62B上には、図24(E)に示す場合
と逆方向の楕円振動が発生し、ロータ部30A,30B
を図24(E)と異なる方向に逆転駆動することができ
る。
Further, FIG. 24F shows the state of the second standing wave vibration that appears in the stator section 40 when the A-phase and B'-phase AC voltages are applied simultaneously. The relative position between the peak of the second standing wave vibration and the protrusions 62A and 62B is also the same as that of the embodiment shown in FIG. Therefore,
On the protrusions 62A and 62B, elliptical vibrations in the opposite direction to the case shown in FIG.
Can be reversely driven in a direction different from that shown in FIG.

【0139】なお、本発明は前記各実施例に限定される
ものでなく本発明の要旨の範囲内で各種の変形実施が可
能である。
The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made within the scope of the gist of the present invention.

【0140】例えば、上述した各実施例では、電極板4
6と金属ブロック体50等の円周方向の位置決めを行う
必要がある。この位置決めの方法としては、例えば、カ
ラー56の外周部に溝を形成し、これに対向する電極板
46等に突起を設けるようにすればよい。図25は、図
12に示したステータ部40に位置決めの構成を追加し
た場合の構成を示す。カラー56の外周部には6本の溝
56aを形成し、この溝に対応した突起部51を電極板
46及び金属ブロック体50の各内周部に設ける。これ
らの溝56aと突起51を勘合させてステータ部40の
組み付けを行うことにより、電極板46のスリット部4
6cに対応した位置に金属ブロック体50端面に形成さ
れた突起部62を配置することができる。
For example, in each of the embodiments described above, the electrode plate 4
6 and the metal block body 50 and the like need to be positioned in the circumferential direction. As a method for this positioning, for example, a groove may be formed on the outer peripheral portion of the collar 56, and a protrusion may be provided on the electrode plate 46 or the like facing the groove. FIG. 25 shows a structure in which a positioning structure is added to the stator section 40 shown in FIG. Six grooves 56a are formed on the outer peripheral portion of the collar 56, and protrusions 51 corresponding to the grooves are provided on the inner peripheral portions of the electrode plate 46 and the metal block body 50, respectively. By assembling the stator portion 40 by fitting the groove 56a and the protrusion 51, the slit portion 4 of the electrode plate 46 is
The protrusion 62 formed on the end surface of the metal block body 50 can be arranged at a position corresponding to 6c.

【0141】また、上述した第1〜4実施例では、第1
の金属ブロック体50の端面に6個または12個の突起
部62を設ける場合を例にとって説明したが、電極板及
び圧電素子の分割数、分極数を変えてこの突起部の数を
変更するようにしてもよい。
Further, in the above-described first to fourth embodiments, the first
The case where six or twelve protrusions 62 are provided on the end surface of the metal block body 50 has been described as an example. However, the number of divisions of the electrode plate and the piezoelectric element and the number of polarizations may be changed to change the number of protrusions. You may

【0142】また、前記実施例によれば、ブロック体5
0,52の連結固定に結合ボルト54を用いた場合を例
にとり説明したが、本発明では従来のランジュバン型超
音波モータのように、捩り振動を必要としないため、ボ
ルト以外の結合部材を用いてブロック体50,52を連
結固定するようにしてもよい。
Further, according to the above embodiment, the block body 5
The case where the connecting bolt 54 is used for connecting and fixing 0 and 52 has been described as an example. However, unlike the conventional Langevin type ultrasonic motor, since torsional vibration is not required in the present invention, a connecting member other than the bolt is used. The block bodies 50 and 52 may be connected and fixed together.

【0143】[0143]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれ
ば、、設計の自由度が大きく、構造が簡単で偏平化が可
能であり、2つのロータ部から回転出力を効率よく発生
でき、しかも必要に応じ双方向回転の可能な振動モータ
を提供することができる。
As described above, according to the present invention, the degree of freedom in design is large, the structure is simple, the flattening is possible, and the rotation output can be efficiently generated from the two rotor portions. A vibration motor capable of bidirectional rotation can be provided if necessary.

【0144】特に、本発明では、偏平形状のブロック体
を用いているため、振動モータ全体の偏平化、小型化を
図ることができる。
Particularly, in the present invention, since the flat block body is used, the vibration motor as a whole can be flattened and downsized.

【0145】これに加えて、本発明によれば、ステータ
部に曲げ振動を発生させ、突起部上に直接楕円振動を発
生させることによりロータ部を駆動しているため、構造
が極めて簡単な振動モータを実現することができる。
In addition to this, according to the present invention, since the bending vibration is generated in the stator portion and the elliptical vibration is directly generated on the protrusion portion, the rotor portion is driven. A motor can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る振動モータの好適な第1実施例の
全体説明図である。
FIG. 1 is an overall explanatory view of a first preferred embodiment of a vibration motor according to the present invention.

【図2】図1に示す振動モータのステータ部を示す平面
概略説明図である。
2 is a schematic plan view showing a stator portion of the vibration motor shown in FIG. 1. FIG.

【図3】図2に示すステータ部の分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of a stator portion shown in FIG.

【図4】第1実施例の楕円振動の発生状態を示す説明図
である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a generation state of elliptical vibration according to the first embodiment.

【図5】第1実施例の動作原理の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of an operation principle of the first embodiment.

【図6】ステータ部に発生する曲げ振動の説明図であ
る。
FIG. 6 is an explanatory diagram of bending vibration generated in a stator portion.

【図7】ステータ部の振動モデルの一例を示す図であ
る。
FIG. 7 is a diagram showing an example of a vibration model of a stator section.

【図8】図1に示す振動モータに用いられる制御回路の
ブロック図である。
8 is a block diagram of a control circuit used in the vibration motor shown in FIG.

【図9】振動モータにハウジング等を組み付けた実施例
の断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view of an embodiment in which a housing and the like are attached to the vibration motor.

【図10】ステータ部に発生する曲げ振動とこの曲げ振
動の節の部分とを示す説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram showing a bending vibration generated in a stator portion and a node portion of the bending vibration.

【図11】振動モータにハウジング等を組み付けた他の
一例の断面図である。
FIG. 11 is a cross-sectional view of another example in which a housing and the like are attached to the vibration motor.

【図12】前記第1実施例のステータ部の変形例の分解
斜視図である。
FIG. 12 is an exploded perspective view of a modification of the stator portion of the first embodiment.

【図13】図12に示すステータ部を用いた振動モータ
の動作原理の説明図である。
13 is an explanatory diagram of an operation principle of a vibration motor using the stator section shown in FIG.

【図14】図12に示すステータ部を用いた振動モータ
の動作原理の説明図である。
14 is an explanatory diagram of an operating principle of a vibration motor using the stator section shown in FIG.

【図15】実施例のステータ部の他の変形例の説明図で
ある。
FIG. 15 is an explanatory diagram of another modification of the stator section of the embodiment.

【図16】本発明に係る振動モータの好適な第2実施例
の説明図である。
FIG. 16 is an explanatory diagram of a second preferred embodiment of the vibration motor according to the present invention.

【図17】図16に示す振動モータの動作説明図であ
る。
17 is an operation explanatory view of the vibration motor shown in FIG.

【図18】図16に示す振動モータの変形例の説明図で
ある。
18 is an explanatory diagram of a modification of the vibration motor shown in FIG.

【図19】図18に示す変形例の動作説明図である。FIG. 19 is an operation explanatory diagram of the modified example shown in FIG. 18;

【図20】第2実施例のステータ部の変形例を示す概略
説明図である。
FIG. 20 is a schematic explanatory view showing a modified example of the stator portion of the second embodiment.

【図21】第3実施例のステータ部の分解斜視図であ
る。
FIG. 21 is an exploded perspective view of a stator portion according to a third embodiment.

【図22】第3実施例の動作原理の説明図である。FIG. 22 is an explanatory diagram of an operation principle of the third embodiment.

【図23】本発明に係る振動モータの第4実施例の説明
図である。
FIG. 23 is an explanatory diagram of a vibration motor according to a fourth embodiment of the present invention.

【図24】前記第4実施例の変形例の説明図である。FIG. 24 is an explanatory diagram of a modification of the fourth embodiment.

【図25】カラーに溝を設けて電極板などの位置決めし
た場合の構成図である。
FIG. 25 is a configuration diagram when a groove is provided in a collar and an electrode plate or the like is positioned.

【図26】従来のボルト締めランジュバン型超音波モー
タの説明図である。
FIG. 26 is an explanatory diagram of a conventional bolted Langevin type ultrasonic motor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

30A,30B ロータ部 40 ステータ部 42,44 圧電素子 43 絶縁板 46 第1の電極板 48 第2の電極板 50 第1の金属ブロック体 52 第2の金属ブロック体 54 結合ボルト 60A,60B ロータ接触面 62A,62B 突起部 80 制御回路 30A, 30B Rotor part 40 Stator part 42,44 Piezoelectric element 43 Insulating plate 46 First electrode plate 48 Second electrode plate 50 First metal block body 52 Second metal block body 54 Coupling bolt 60A, 60B Rotor contact Surface 62A, 62B Projection 80 Control circuit

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1及び第2のロータ接触面を有するス
テータ部と、 前記第1及び第2のロータ接触面と接触し回転駆動され
る第1のロータ部及び第2のロータ部と、 を有する振動モータであって、 前記ステータ部は、 振動を発生させる圧電素子と、 前記圧電素子の表面に、ロータ部の回転方向に沿って所
定の間隔毎に複数個の電圧印加領域を形成する電極と、 前記圧電素子を挟持するようその両側に取付け固定さ
れ、その外側端面を前記第1及び第2のロータ接触面と
する偏平形状の第1のブロック体および第2のブロック
体と、 前記第1及び第2のロータ接触面に設けられた複数の突
起部と、 を含み、前記圧電素子の電圧印加領域に交流電圧を印加
することにより、前記各ブロック体の第1及び第2のロ
ータ接触面に定在波を発生させ、前記定在波の腹と節の
間に前記突起部を設けることにより、前記突起部に楕円
振動を発生させ、この突起部に接する前記第1及び第2
のロータ部を回転駆動することを特徴とする振動モー
タ。
1. A stator section having first and second rotor contact surfaces; a first rotor section and a second rotor section that are driven to rotate by contacting the first and second rotor contact surfaces; In the vibration motor, the stator section forms a plurality of voltage application regions on the surface of the piezoelectric element at predetermined intervals along the rotation direction of the rotor section on the surface of the piezoelectric element. An electrode and a flat first block body and a second block body that are attached and fixed to both sides of the electrode so as to sandwich the piezoelectric element, and have outer end surfaces thereof as the first and second rotor contact surfaces; A plurality of protrusions provided on the first and second rotor contact surfaces, and by applying an AC voltage to the voltage application region of the piezoelectric element, the first and second rotors of each block body A standing wave is generated on the contact surface. , The constant by providing the projecting portion between the standing wave antinodes and nodes, an elliptical vibration is generated on the projecting portion, the first and second contact with the protrusion
A vibration motor, characterized in that the rotor part of the motor is rotationally driven.
【請求項2】 第1及び第2のロータ接触面を有するス
テータ部と、 前記第1及び第2のロータ接触面と接触し回転駆動され
る第1のロータ部及び第2のロータ部と、 を有する振動モータであって、 前記ステータ部は、 振動を発生させる圧電素子と、 前記圧電素子の表面に、ロータ部の回転方向に沿って複
数個の電圧印加領域を形成する電極と、 前記圧電素子を挟持するようその両側に取付け固定さ
れ、その外側端面を前記第1及び第2のロータ接触面と
する偏平形状の第1のブロック体および第2のブロック
体と、 前記第1及び第2のロータ接触面に設けられた複数の突
起部と、 を含み、前記電極を介し圧電素子に印加する前記交流電
圧の切替え制御により、前記各ブロック体の第1及び第
2のロータ接触面に異なる位相の第1の定在波および第
2の定在波を選択的に発生させるよう形成され、 前記複数の突起部は、前記第1の定在波の腹と一方側の
節の間に位置するとともに、前記第2の定在波の腹と他
方側の節の間に位置するよう形成され、 印加する前記交流電圧を切替え制御し、発生する前記定
在波を選択することにより、前記突起部に接する前記各
ロータ部の回転方向を切替えることを特徴とする振動モ
ータ。
2. A stator portion having first and second rotor contact surfaces, a first rotor portion and a second rotor portion which are in contact with the first and second rotor contact surfaces and are driven to rotate, And a piezoelectric element that generates vibration, an electrode that forms a plurality of voltage application regions on a surface of the piezoelectric element along a rotation direction of the rotor section, and the piezoelectric element. A flat first block body and a second block body which are fixedly mounted on both sides of the element so as to sandwich the element and whose outer end surfaces are the first and second rotor contact surfaces; and the first and second block bodies. A plurality of protrusions provided on the rotor contact surface of the block body, and different from the first and second rotor contact surfaces of the block bodies by switching control of the AC voltage applied to the piezoelectric element via the electrode. First standing of phase And a second standing wave, the plurality of protrusions are located between an antinode of the first standing wave and a node on one side, and the second standing wave is formed. It is formed so as to be positioned between the antinode of the standing wave and the node on the other side, and by controlling the switching of the applied AC voltage and selecting the standing wave to be generated, the rotor portion in contact with the protrusion is Vibration motor characterized by switching the rotation direction.
【請求項3】 請求項2において、 前記圧電素子は、同一方向に分極形成され、 前記電極は、 前記圧電素子の表面にロータ部の回転方向に沿って形成
された複数個の電圧印加領域を、1つおきに2つの電圧
印加グループに分け選択的に単相交流電圧を印加するこ
とにより、前記ブロック体の第1及び第2のロータ接触
面に第1および第2の定在波振動を選択的に発生させる
よう形成され、 前記複数の突起部は、 前記第1の定在波の腹と一方側の節の間に位置するとと
もに、前記第2の定在波の腹と他方側の節の間に位置す
るよう形成され、 印加する前記交流電圧を切替え制御し、発生する前記定
在波を選択することにより、前記突起部に接する前記各
ロータ部の回転方向を切替えることを特徴とする振動モ
ータ。
3. The piezoelectric element according to claim 2, wherein the piezoelectric elements are polarized in the same direction, and the electrodes have a plurality of voltage application regions formed on a surface of the piezoelectric element along a rotation direction of a rotor portion. By dividing each other into two voltage application groups and selectively applying a single-phase AC voltage, the first and second standing wave vibrations are applied to the first and second rotor contact surfaces of the block body. The plurality of protrusions are formed between the antinodes of the first standing wave and the nodes on one side, and the antinodes of the second standing wave and the other side of the second standing wave. Characterized in that it is formed so as to be located between the nodes, and controls the switching of the applied AC voltage and selects the standing wave to be generated, thereby switching the rotation direction of each rotor portion in contact with the protrusion. Vibration motor to.
【請求項4】 請求項2において、 前記圧電素子は、 前記ロータ部の回転方向に沿って交互に逆向きに分極形
成され、 前記電極は、 前記圧電素子の各分極領域の表面を、複数相の電圧印加
領域とするよう形成され、 前記電極の各電圧印加領域は、 同相電圧印加領域を1組とする複数組の電圧印加グルー
プに分けられ、各電圧印加グループに選択的に単相交流
電圧を印加することにより、前記ブロック体の第1及び
第2のロータ接触面に第1および第2の定在波振動を選
択的に発生させるよう形成され、 前記複数の突起部は、 前記第1の定在波の腹と一方側の節の間に位置するとと
もに、前記第2の定在波の腹と他方側の節の間に位置す
るよう形成され、 印加する前記交流電圧を切替え制御し、発生する前記定
在波を選択することにより、前記突起部に接する前記各
ロータ部の回転方向を切替えることを特徴とする振動モ
ータ。
4. The piezoelectric element according to claim 2, wherein the piezoelectric elements are alternately polarized along the rotation direction of the rotor portion in opposite directions, and the electrodes form a plurality of phases on the surface of each polarization region of the piezoelectric element. Voltage application regions of the electrode, each voltage application region of the electrode is divided into a plurality of voltage application groups, each of which is a common-mode voltage application region, and a single-phase AC voltage is selectively applied to each voltage application group. Is applied to selectively generate first and second standing wave vibrations on the first and second rotor contact surfaces of the block body. Is formed between the antinode of the standing wave and the node on one side, and between the antinode of the second standing wave and the node on the other side. , By selecting the standing wave to be generated, A vibration motor, wherein the rotation direction of each of the rotor portions in contact with the protrusion is switched.
【請求項5】 請求項2において、 前記圧電素子は、 前記ロータ部の回転方向に沿って交互に逆向きに分極形
成され、 前記電極は、 前記圧電素子の各分極領域の表面を、複数相の電圧印加
領域とするよう形成され、 前記電極の各電圧印加領域は、 各分極領域の同相電圧印加領域を1組とする複数組の電
圧印加グループに分けられ、各電圧印加グループのそれ
ぞれに同時に多相交流電圧を印加することにより、前記
ブロック体の第1及び第2のロータ接触面に第1および
第2の定在波振動を選択的に発生させるよう形成され、 前記複数の突起部は、 前記第1の定在波の腹と一方側の節の間に位置するとと
もに、前記第2の定在波の腹と他方側の節の間に位置す
るよう形成され、 印加する前記交流電圧を切替え制御し、発生する前記定
在波を選択することにより、前記突起部に接する前記各
ロータ部の回転方向を切替えることを特徴とする振動モ
ータ。
5. The piezoelectric element according to claim 2, wherein the piezoelectric elements are alternately polarized along the rotation direction of the rotor portion in opposite directions, and the electrodes form a plurality of phases on the surface of each polarization region of the piezoelectric element. Voltage application regions of the electrode, each voltage application region of the electrode is divided into a plurality of voltage application groups having one in-phase voltage application region of each polarization region as a set, and each voltage application region is simultaneously applied to each of the voltage application groups. By applying a multi-phase AC voltage, the block body is formed so as to selectively generate first and second standing wave vibrations on the first and second rotor contact surfaces, and the plurality of protrusions are formed. The AC voltage is formed so as to be located between the antinode of the first standing wave and the node on one side and between the antinode of the second standing wave and the node on the other side. Switching control to generate the standing wave A vibration motor, wherein the rotation direction of each rotor portion in contact with the protrusion is switched by selection.
【請求項6】 請求項2において、 前記圧電素子は、 ロータ部の回転方向に沿って交互に逆向きに分極された
複数個の圧電素子を含み、 前記複数の圧電素子は、 分極領域の位相がずれるように立体配置され、 前記電極は、 前記複数個の圧電素子のそれぞれに対応して設けられ、
対応する圧電素子の各分極領域を電圧印加領域とする複
数の電極を含み、前記複数の電極のいずれかに単相の交
流電圧を印加することにより、前記ブロック体の第1及
び第2のロータ接触面に第1および第2の定在波振動を
選択的に発生させるよう形成され、 前記複数の突起部は、 前記第1の定在波の腹と一方側の節の間に位置するとと
もに、前記第2の定在波の腹と他方側の節の間に位置す
るよう形成され、 印加する前記交流電圧を切替え制御し、発生する前記定
在波を選択することにより、前記突起部に接する前記各
ロータ部の回転方向を切替えることを特徴とする振動モ
ータ。
6. The piezoelectric element according to claim 2, wherein the piezoelectric element includes a plurality of piezoelectric elements that are alternately polarized in opposite directions along a rotation direction of a rotor portion, and the plurality of piezoelectric elements are in a phase of a polarization region. Are arranged three-dimensionally so that the electrodes are provided so as to correspond to each of the plurality of piezoelectric elements,
The first and second rotors of the block body include a plurality of electrodes each having a polarization region of a corresponding piezoelectric element as a voltage application region, and applying a single-phase AC voltage to any one of the plurality of electrodes. The contact surface is formed to selectively generate first and second standing wave vibrations, and the plurality of protrusions are located between an antinode of the first standing wave and a node on one side. Is formed so as to be positioned between the antinode of the second standing wave and the node on the other side, by switching control of the applied AC voltage and selecting the standing wave to be generated, A vibration motor, characterized in that the rotation direction of each rotor portion in contact is switched.
【請求項7】 請求項2において、 前記圧電素子は、 ロータ部の回転方向に沿って交互に逆向きに分極された
複数個の圧電素子を含み、 前記複数の圧電素子は、 分極領域の位相がずれるように立体配置され、 前記電極は、 前記複数個の圧電素子のそれぞれに対応して設けられ、
対応する圧電素子の各分極領域を電圧印加領域とする複
数の電極を含み、前記複数の電極に多相の交流電圧を印
加することにより、前記ブロック体の第1及び第2のロ
ータ接触面に第1および第2の定在波振動を選択的に発
生させるよう形成され、 前記複数の突起部は、 前記第1の定在波の腹と一方側の節の間に位置するとと
もに、前記第2の定在波の腹と他方側の節の間に位置す
るよう形成され、 印加する前記交流電圧を切替え制御し、発生する前記定
在波を選択することにより、前記突起部に接する前記各
ロータ部の回転方向を切替えることを特徴とする振動モ
ータ。
7. The piezoelectric element according to claim 2, wherein the piezoelectric element includes a plurality of piezoelectric elements that are polarized alternately in opposite directions along a rotation direction of a rotor portion, and the plurality of piezoelectric elements are arranged in a phase of a polarization region. Are arranged three-dimensionally so that the electrodes are provided so as to correspond to each of the plurality of piezoelectric elements,
A plurality of electrodes having respective polarization regions of corresponding piezoelectric elements as voltage application regions are included, and by applying a multi-phase AC voltage to the plurality of electrodes, the first and second rotor contact surfaces of the block body are applied. The plurality of protrusions are formed to selectively generate first and second standing wave vibrations, and the plurality of protrusions are located between an antinode of the first standing wave and a node on one side. 2 is formed so as to be located between the antinode of the standing wave and the node on the other side. By switching control of the alternating voltage to be applied and selecting the standing wave to be generated, each of the contact points with the protrusion A vibration motor characterized by switching the rotation direction of a rotor section.
JP4212084A 1992-07-16 1992-07-16 Vibration motor Withdrawn JPH0638558A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4212084A JPH0638558A (en) 1992-07-16 1992-07-16 Vibration motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4212084A JPH0638558A (en) 1992-07-16 1992-07-16 Vibration motor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0638558A true JPH0638558A (en) 1994-02-10

Family

ID=16616610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4212084A Withdrawn JPH0638558A (en) 1992-07-16 1992-07-16 Vibration motor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0638558A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004254406A (en) * 2003-02-19 2004-09-09 Seiko Instruments Inc Ultrasonic motor and electronic equipment with ultrasonic motor
JP2005143297A (en) * 1996-12-19 2005-06-02 Asmo Co Ltd Ultrasonic motor
JP2012196134A (en) * 2012-06-14 2012-10-11 Canon Inc Oscillatory wave driving device
JP2015107053A (en) * 2013-11-29 2015-06-08 フィジック インストゥルメント(ピーアイ)ゲーエムベーハー アンド ツェーオー.カーゲー Ultrasonic motor and method for driving the same
JP2019018946A (en) * 2017-07-13 2019-02-07 シンフォニアテクノロジー株式会社 Workpiece conveying device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005143297A (en) * 1996-12-19 2005-06-02 Asmo Co Ltd Ultrasonic motor
JP2004254406A (en) * 2003-02-19 2004-09-09 Seiko Instruments Inc Ultrasonic motor and electronic equipment with ultrasonic motor
JP2012196134A (en) * 2012-06-14 2012-10-11 Canon Inc Oscillatory wave driving device
JP2015107053A (en) * 2013-11-29 2015-06-08 フィジック インストゥルメント(ピーアイ)ゲーエムベーハー アンド ツェーオー.カーゲー Ultrasonic motor and method for driving the same
EP2882091B1 (en) * 2013-11-29 2018-08-29 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. Kg Ultrasonic motor and method for operating such a ultrasonic motor
JP2019018946A (en) * 2017-07-13 2019-02-07 シンフォニアテクノロジー株式会社 Workpiece conveying device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS62247870A (en) Method of controlling drive of ultrasonic vibrator
US5723935A (en) Vibration driven motor
JP3059031B2 (en) Vibration wave drive device and device provided with vibration wave drive device
JP2981471B2 (en) Double-sided drive ultrasonic motor
JPH05236767A (en) Oscillation motor
JP4261894B2 (en) Vibration type driving device
JPH0538170A (en) Oscillation motor
JPH0345986B2 (en)
JP3441585B2 (en) Ultrasonic motor and method of driving ultrasonic motor
JPH05328760A (en) Vibration motor
JPH05146179A (en) Vibration motor
JP2980424B2 (en) Vibration motor device and method of manufacturing vibration motor
JPH03270679A (en) Ultrasonic oscillator and ultrasonic motor
JPH011486A (en) ultrasonic motor
JP3297162B2 (en) Vibration motor
JP2729827B2 (en) Ultrasonic motor
JPH05184166A (en) Vibrating motor
JPH069389U (en) Vibration motor device
JP3113481B2 (en) Piezo motor
JPH0833370A (en) Ultrasonic motor
JPS60226781A (en) Supersonic wave motor
JPH05146178A (en) Vibration motor
JP2506859B2 (en) Ultrasonic motor
JPH06339286A (en) Vibration motor driving circuit
JPH0538169A (en) Oscillation motor

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19991005