JPH0639666A - 凍結により試料片を固定するための方法および該方法を実施するための装置 - Google Patents
凍結により試料片を固定するための方法および該方法を実施するための装置Info
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- JPH0639666A JPH0639666A JP5185590A JP18559093A JPH0639666A JP H0639666 A JPH0639666 A JP H0639666A JP 5185590 A JP5185590 A JP 5185590A JP 18559093 A JP18559093 A JP 18559093A JP H0639666 A JPH0639666 A JP H0639666A
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- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
- B23Q3/02—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for mounting on a work-table, tool-slide, or analogous part
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- B23Q3/08—Work-clamping means other than mechanically-actuated
- B23Q3/086—Work-clamping means other than mechanically-actuated using a solidifying liquid, e.g. with freezing, setting or hardening means
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25D—REFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- F25D19/006—Thermal coupling structure or interface
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- Thermal Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 凍結による固定方法において、凍結時間を短
くし、従来手間がかかっていた製造プロセス時間を短縮
する。 【構成】 予め不凍液のフィルムを付着させた銅プレー
ト４上の凍結バイス１に凍結することにより、良好な熱
伝導性を有する補助支持体８、例えば、アルミニウム製
の補助支持体上に機械加工される試料片９を固定する。
補助支持体８は、減圧ポンプ７により、磁気により、ま
たは、何らかの機械的締結により凍結バイス上に固定さ
れる。本方法は、機械加工される試料片を凍結バイスか
ら取り外すのに必要とされた凍結解除操作および凍結解
除時間を削減することを可能とする。補助支持体８は、
試料片が凍結により保持される移動パレットとして使用
することができる。
くし、従来手間がかかっていた製造プロセス時間を短縮
する。 【構成】 予め不凍液のフィルムを付着させた銅プレー
ト４上の凍結バイス１に凍結することにより、良好な熱
伝導性を有する補助支持体８、例えば、アルミニウム製
の補助支持体上に機械加工される試料片９を固定する。
補助支持体８は、減圧ポンプ７により、磁気により、ま
たは、何らかの機械的締結により凍結バイス上に固定さ
れる。本方法は、機械加工される試料片を凍結バイスか
ら取り外すのに必要とされた凍結解除操作および凍結解
除時間を削減することを可能とする。補助支持体８は、
試料片が凍結により保持される移動パレットとして使用
することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料片を機械加工する
ために凍結により支持体上に固定するための方法であっ
て、該方法に従い、前記固定する支持体または試料片を
予め液体で湿潤させておき、前記支持体を液体の凍結温
度以下に冷却し、前記液体の凍結により前記試料片を前
記支持体に接着する方法に関する。
ために凍結により支持体上に固定するための方法であっ
て、該方法に従い、前記固定する支持体または試料片を
予め液体で湿潤させておき、前記支持体を液体の凍結温
度以下に冷却し、前記液体の凍結により前記試料片を前
記支持体に接着する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】このような方法は、例えば、米国特許2,
937,437 、DE 23,63,882、DD 49,755およびCH 671,540
に記載されている。固定液は、一般に水であり、好まし
くは、蒸留水である。支持体の冷却は、冷却液の循環、
または、電気的にはペルチエ素子(Peltier element) に
より起こる。米国特許4,091,580 は、また、ガラスのシ
ートを破砕した氷上においた支持体上で凍結により固定
してガラスシートを切断するための方法を開示してい
る。この方法は、機械的な締結手段の束縛なしで機械加
工される試料片を固定することを可能とする。従って、
航空および宇宙構造物で直面するように、非常に変形し
た形状の試料片の輪郭を描くためには、細かな動きがな
され、圧延により切断される必要があり、凍結による固
定は、軽量金属の同一シートから数個の試料片を切断す
ることを可能とする唯一の解決であることが証明されて
いる。
937,437 、DE 23,63,882、DD 49,755およびCH 671,540
に記載されている。固定液は、一般に水であり、好まし
くは、蒸留水である。支持体の冷却は、冷却液の循環、
または、電気的にはペルチエ素子(Peltier element) に
より起こる。米国特許4,091,580 は、また、ガラスのシ
ートを破砕した氷上においた支持体上で凍結により固定
してガラスシートを切断するための方法を開示してい
る。この方法は、機械的な締結手段の束縛なしで機械加
工される試料片を固定することを可能とする。従って、
航空および宇宙構造物で直面するように、非常に変形し
た形状の試料片の輪郭を描くためには、細かな動きがな
され、圧延により切断される必要があり、凍結による固
定は、軽量金属の同一シートから数個の試料片を切断す
ることを可能とする唯一の解決であることが証明されて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法では、基材のシート金属を保持すること
や、試料片を、それらの全周囲にわたって取り外した後
においてさえも固定してしまうという問題があった。ま
た、現在実施されている凍結による固定方法は、切断さ
れる金属シートが比較的寸法が大きいため著しい熱慣性
を有することから、金属シートおよび切断した試料片を
取り外すために必要とする時間、すなわち、凍結解除時
間が著しく長くなり、製造工程に時間がかかるという問
題があった。そして、その程度は少ないが、小さな寸法
の試料片についても同様の問題が存在していた。
うな従来の方法では、基材のシート金属を保持すること
や、試料片を、それらの全周囲にわたって取り外した後
においてさえも固定してしまうという問題があった。ま
た、現在実施されている凍結による固定方法は、切断さ
れる金属シートが比較的寸法が大きいため著しい熱慣性
を有することから、金属シートおよび切断した試料片を
取り外すために必要とする時間、すなわち、凍結解除時
間が著しく長くなり、製造工程に時間がかかるという問
題があった。そして、その程度は少ないが、小さな寸法
の試料片についても同様の問題が存在していた。
【０００４】本発明は、凍結による固定方法の上記欠点
を解消し、製造工程に時間のかからない凍結による固定
方法を提供することを目的とする。
を解消し、製造工程に時間のかからない凍結による固定
方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明に係る凍結により試料片を固定するための方法お
よび該方法を実施するための装置は、主支持体または該
主支持体と接触する補助支持体の１つの面に上に不凍液
のフィルムを敷くことにより熱伝導性の補助支持体を先
ず主支持体に固定し、主支持体を冷却することにより機
械加工する１つまたは１つ以上の試料片を凍結により補
助支持体上に固定することを特徴とする。また、補助支
持体の主支持体への固定は、減圧、磁気または、何らか
の機械的締結によって行われる。主支持体は、当然のこ
とながら、不凍液の凍結温度よりも高い温度に冷却さ
れ、補助支持体は、主支持体に、もっぱら減圧、磁気ま
たは機械的締結により保持される。
本発明に係る凍結により試料片を固定するための方法お
よび該方法を実施するための装置は、主支持体または該
主支持体と接触する補助支持体の１つの面に上に不凍液
のフィルムを敷くことにより熱伝導性の補助支持体を先
ず主支持体に固定し、主支持体を冷却することにより機
械加工する１つまたは１つ以上の試料片を凍結により補
助支持体上に固定することを特徴とする。また、補助支
持体の主支持体への固定は、減圧、磁気または、何らか
の機械的締結によって行われる。主支持体は、当然のこ
とながら、不凍液の凍結温度よりも高い温度に冷却さ
れ、補助支持体は、主支持体に、もっぱら減圧、磁気ま
たは機械的締結により保持される。
【０００６】予想とは対照的に、不凍液のフィルムは、
断熱効果を有せず、対照的に、主支持体と補助支持体と
の間に熱架橋を生ずることにより熱伝導性を向上させ
る。これは、２つの平坦な金属表面が３点でのみ真に接
触し、不凍液のフィルムが空気よりも良好な熱伝導性を
有するという事実によって説明することができる。主支
持体上の補助支持体の圧力に付される不凍液が、部分的
にこれらの溝に取り除かれ、残るフィルムが非常に薄い
が、特に、減圧が解除された場合に、水蒸気の凍結によ
り補助支持体が主支持体に固定されるのを防ぐために十
分となるように、好ましくは、主支持体の表面に溝が設
けられる。
断熱効果を有せず、対照的に、主支持体と補助支持体と
の間に熱架橋を生ずることにより熱伝導性を向上させ
る。これは、２つの平坦な金属表面が３点でのみ真に接
触し、不凍液のフィルムが空気よりも良好な熱伝導性を
有するという事実によって説明することができる。主支
持体上の補助支持体の圧力に付される不凍液が、部分的
にこれらの溝に取り除かれ、残るフィルムが非常に薄い
が、特に、減圧が解除された場合に、水蒸気の凍結によ
り補助支持体が主支持体に固定されるのを防ぐために十
分となるように、好ましくは、主支持体の表面に溝が設
けられる。
【０００７】減圧の解除、磁気固定の解除等は、主支持
体を再加熱する必要なしに、補助支持体を直ちに解放す
る。したがって、通常工作機械の機械加工サイクル時間
に加えられていた凍結解除時間は削減される。冷却時
間、すなわち、凍結時間も、機械加工プロセスに関する
限り、これが単一の機械または数個の機械で連続的に起
ころうと、機械加工される試料片が本プロセスの“隠さ
れた時間(hidden time) を用い、補助支持体に凍結によ
り固定される、すなわち、本発明の方法に従い、これら
の試料片を外部プレート上に置かれた補助支持体に凍結
により固定することにより削減される。補助支持体は、
パレットの形態に製造され、１つの機械加工位置からも
う１つの機械加工位置へ、あるいは、負荷のない位置へ
移すための支持体として使用することができる。この目
的のために、熱慣性、すなわち、補助支持体の比熱は、
パレットの温度を凍結温度（原理的には、０℃）以下か
それに等しい温度に維持するために十分である。
体を再加熱する必要なしに、補助支持体を直ちに解放す
る。したがって、通常工作機械の機械加工サイクル時間
に加えられていた凍結解除時間は削減される。冷却時
間、すなわち、凍結時間も、機械加工プロセスに関する
限り、これが単一の機械または数個の機械で連続的に起
ころうと、機械加工される試料片が本プロセスの“隠さ
れた時間(hidden time) を用い、補助支持体に凍結によ
り固定される、すなわち、本発明の方法に従い、これら
の試料片を外部プレート上に置かれた補助支持体に凍結
により固定することにより削減される。補助支持体は、
パレットの形態に製造され、１つの機械加工位置からも
う１つの機械加工位置へ、あるいは、負荷のない位置へ
移すための支持体として使用することができる。この目
的のために、熱慣性、すなわち、補助支持体の比熱は、
パレットの温度を凍結温度（原理的には、０℃）以下か
それに等しい温度に維持するために十分である。
【０００８】本発明の主題は、本発明に従う方法を実施
するための装置であり、冷却手段を具備した熱伝導性の
材料からなる平坦な支持体を含む装置において、補助支
持体が、パレットからなり、前記主支持体の平坦な表面
が、排気される帯域を限定するガスケットを収容する
溝、この帯域に開口するダクトを有し、減圧ソースに連
結するように意図された装置に係るものである。
するための装置であり、冷却手段を具備した熱伝導性の
材料からなる平坦な支持体を含む装置において、補助支
持体が、パレットからなり、前記主支持体の平坦な表面
が、排気される帯域を限定するガスケットを収容する
溝、この帯域に開口するダクトを有し、減圧ソースに連
結するように意図された装置に係るものである。
【０００９】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。添付の図面は、例として、本発明を実施する
ための装置の２つの実施例を表すものである。図１は、
固定された凍結バイス(freeze vice) の立面図である。
図２は、回転凍結バイスの軸断面図である。
説明する。添付の図面は、例として、本発明を実施する
ための装置の２つの実施例を表すものである。図１は、
固定された凍結バイス(freeze vice) の立面図である。
図２は、回転凍結バイスの軸断面図である。
【００１０】図１に示した凍結バイスは、その冷却手段
に関する限り公知の設計である。それは、冷却装置３に
連結したダブルダクト２に連結する溝を備えたボデイ１
を含む。このダブルダクト２においては、ボデイ１を冷
却するために冷却液が公知のように流れる。ボデイ１に
は、ボデイ１に熱的に密着して銅プレート４が固定され
ている。この銅プレート４には、それ自体ポンプ７に連
結したダクト８に連結して穴５が貫通している。不凍
液、例えば、登録商標アンチフロゲン(ANTIFUROGEN) の
フィルムが銅プレート４に付着されている。金属プレー
トまたはパレット８は、その良好な熱伝導性により、好
ましくは、アルミニウム製であり、プレート４上に置か
れる。ついで、パレット８は、ポンプ７によりその２つ
の試料片間の空気を排気することによりプレート４に固
定される。しかる後、機械加工される試料片９が、パレ
ット８上に置かれる。ボデイ１がまだ冷却されていなけ
れば、後者は、凍結によりパレット８上に試料片を固定
するために冷却される。パレット８の解除は、ただ単
に、この部分と銅プレート４との間の減圧を解除するこ
とによりなされる。図１に表した凍結バイスは、工作機
械上の機械加工支持体、あるいは、パレット８上に試料
片９を固定するための装置として使用することができ、
このパレットは、しかる後、機械加工位置に取り付けら
れた同様の凍結バイスに移される。
に関する限り公知の設計である。それは、冷却装置３に
連結したダブルダクト２に連結する溝を備えたボデイ１
を含む。このダブルダクト２においては、ボデイ１を冷
却するために冷却液が公知のように流れる。ボデイ１に
は、ボデイ１に熱的に密着して銅プレート４が固定され
ている。この銅プレート４には、それ自体ポンプ７に連
結したダクト８に連結して穴５が貫通している。不凍
液、例えば、登録商標アンチフロゲン(ANTIFUROGEN) の
フィルムが銅プレート４に付着されている。金属プレー
トまたはパレット８は、その良好な熱伝導性により、好
ましくは、アルミニウム製であり、プレート４上に置か
れる。ついで、パレット８は、ポンプ７によりその２つ
の試料片間の空気を排気することによりプレート４に固
定される。しかる後、機械加工される試料片９が、パレ
ット８上に置かれる。ボデイ１がまだ冷却されていなけ
れば、後者は、凍結によりパレット８上に試料片を固定
するために冷却される。パレット８の解除は、ただ単
に、この部分と銅プレート４との間の減圧を解除するこ
とによりなされる。図１に表した凍結バイスは、工作機
械上の機械加工支持体、あるいは、パレット８上に試料
片９を固定するための装置として使用することができ、
このパレットは、しかる後、機械加工位置に取り付けら
れた同様の凍結バイスに移される。
【００１１】図２は、旋盤またはターンテーブル上で機
械加工される試料片を支持しようとするための全体が円
形計上の回転凍結バイスを表す。この凍結バイスは、そ
の長さの大部分にわたって中空であり、両側板１０ａを
備えたステンレススチール製のシャフト１０を含む。こ
のシャフト１０には、両側板１０ａに押圧する両側板１
１ａを有する合成材料製のボデイが固定されている。両
側板１１ａ上には、銅のデイスク１２が取り付けられて
いる。シャフト１０は、合成材料製の固定されたスリー
ブ１３に回転可能に取り付けられている。
械加工される試料片を支持しようとするための全体が円
形計上の回転凍結バイスを表す。この凍結バイスは、そ
の長さの大部分にわたって中空であり、両側板１０ａを
備えたステンレススチール製のシャフト１０を含む。こ
のシャフト１０には、両側板１０ａに押圧する両側板１
１ａを有する合成材料製のボデイが固定されている。両
側板１１ａ上には、銅のデイスク１２が取り付けられて
いる。シャフト１０は、合成材料製の固定されたスリー
ブ１３に回転可能に取り付けられている。
【００１２】デイスク１２は、その下面に、ねじ、例え
ば、１７および１８によりデイスクを固定するための一
定数のアイランド(island)、例えば１５および１６を有
する中空体１４を有し、デイスク１２は、その周辺で、
一定数のねじ、例えば、１９および２０により固定され
る。中空体１４は、両側板１１ａにより閉じられ、デイ
スクを冷却するためのチャンバーを構成する。チャンバ
ー１４は、軸ａと平行な５つの溝、例えば、２１と連通
し、これらの溝は、ボデイ１１内に形成される。これら
５つの溝は、中空シャフト１０の壁を介して、スリーブ
１３の環状チャンバー２３と連通し、その中には、チュ
ーブ２４が開口し、これは、冷却液用の導入口を構成す
る。冷却液は、５つの穴、例えば、穴２５を介してチャ
ンバー１４から現れ、両側板１１ａにわたって円形状に
分布し、各々ダクト２６に連通し、これらのダクト２６
は、冷却液用の導出口２８に連通する断熱スリーブ１３
の環状チャンバー２７に開口する。チャンバー２３およ
び２７のシーリングは、回転シール２９，３０，３１，
３２によって確かなものとなる。
ば、１７および１８によりデイスクを固定するための一
定数のアイランド(island)、例えば１５および１６を有
する中空体１４を有し、デイスク１２は、その周辺で、
一定数のねじ、例えば、１９および２０により固定され
る。中空体１４は、両側板１１ａにより閉じられ、デイ
スクを冷却するためのチャンバーを構成する。チャンバ
ー１４は、軸ａと平行な５つの溝、例えば、２１と連通
し、これらの溝は、ボデイ１１内に形成される。これら
５つの溝は、中空シャフト１０の壁を介して、スリーブ
１３の環状チャンバー２３と連通し、その中には、チュ
ーブ２４が開口し、これは、冷却液用の導入口を構成す
る。冷却液は、５つの穴、例えば、穴２５を介してチャ
ンバー１４から現れ、両側板１１ａにわたって円形状に
分布し、各々ダクト２６に連通し、これらのダクト２６
は、冷却液用の導出口２８に連通する断熱スリーブ１３
の環状チャンバー２７に開口する。チャンバー２３およ
び２７のシーリングは、回転シール２９，３０，３１，
３２によって確かなものとなる。
【００１３】スリーブ１３は、また、図１のポンプ７と
同様に、ポンプに連結する導入口３３を具備する。導入
口３３は、スリーブ１３の内壁に形成された環状チャン
バー３４に連通し、このチャンバー３４は、ボデイ１１
内の軸ダクト３５に連通する。ダクト３５は、銅デイス
ク１２の表面を越えて伸長する円筒形の試料片内へと伸
び、センタリング装置を構成する。必要な箇所にはシー
リングガスケットを設けることができる。
同様に、ポンプに連結する導入口３３を具備する。導入
口３３は、スリーブ１３の内壁に形成された環状チャン
バー３４に連通し、このチャンバー３４は、ボデイ１１
内の軸ダクト３５に連通する。ダクト３５は、銅デイス
ク１２の表面を越えて伸長する円筒形の試料片内へと伸
び、センタリング装置を構成する。必要な箇所にはシー
リングガスケットを設けることができる。
【００１４】デイスク１２の上面は、ガスケット３８を
収容する円形溝３７を有する。デイスク１２は、パレッ
トを構成するか、あるいは、機械加工される試料片をセ
ッテイングするアルミニウムデイスク３９を収容するこ
とを意図したものである。このデイスク３９は、中央円
形ハウジング４０を有し、その中に、凍結バイスのセン
タリング装置を収容する。特別な場合には、デイスク３
９は、さらに、そのエッジに近接して、ブラインドホー
ル４１を有し、その中には、デイスク３９の角位置を固
定するための割送りピン４２が挿入されている。
収容する円形溝３７を有する。デイスク１２は、パレッ
トを構成するか、あるいは、機械加工される試料片をセ
ッテイングするアルミニウムデイスク３９を収容するこ
とを意図したものである。このデイスク３９は、中央円
形ハウジング４０を有し、その中に、凍結バイスのセン
タリング装置を収容する。特別な場合には、デイスク３
９は、さらに、そのエッジに近接して、ブラインドホー
ル４１を有し、その中には、デイスク３９の角位置を固
定するための割送りピン４２が挿入されている。
【００１５】凍結バイスは、図１の凍結バイスと同様に
使用される。デイスク１２は、デイスク３９を据え付け
る前に不凍液フィルムで被覆される。デイスク３９は、
センタリング装置３６を介して空気を排気することによ
り減圧により固定され、シール３８は、排気されたボデ
イのシーリングを行う。デイスク１２の表面は、好まし
くは、排気の際、過剰の不凍液を排気するための溝を有
する。
使用される。デイスク１２は、デイスク３９を据え付け
る前に不凍液フィルムで被覆される。デイスク３９は、
センタリング装置３６を介して空気を排気することによ
り減圧により固定され、シール３８は、排気されたボデ
イのシーリングを行う。デイスク１２の表面は、好まし
くは、排気の際、過剰の不凍液を排気するための溝を有
する。
【００１６】なお、図１に従う装置の銅プレート４は、
また、溝とシーリングガスケットとを有する。また、凍
結バイスが固定されるか、あるいは、回転する場合に
は、冷却は、ペルチエ素子によっても得ることができ
る。さらに、補助支持体は、その他の手段、例えば、磁
気または何らかの機械的締結によっても凍結バイスに固
定することができる。
また、溝とシーリングガスケットとを有する。また、凍
結バイスが固定されるか、あるいは、回転する場合に
は、冷却は、ペルチエ素子によっても得ることができ
る。さらに、補助支持体は、その他の手段、例えば、磁
気または何らかの機械的締結によっても凍結バイスに固
定することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明の凍結により
試料片を固定するための方法および該方法を実施するた
めの装置にあっては、主支持体または該主支持体と接触
する補助支持体の１つの面に上に不凍液のフィルムを敷
き熱伝導性の補助支持体を先ず主支持体に固定し、主支
持体を冷却することにより機械加工する試料片を凍結に
より補助支持体上に固定するようにしたことにより、通
常工作機械の機械加工サイクル時間に加えられていた凍
結解除時間が削減されるという効果がある。また、凍結
時間も、本発明の方法に従い、試料片を外部プレート上
に置かれた補助支持体に凍結により固定することにより
削減されるという効果がある。
試料片を固定するための方法および該方法を実施するた
めの装置にあっては、主支持体または該主支持体と接触
する補助支持体の１つの面に上に不凍液のフィルムを敷
き熱伝導性の補助支持体を先ず主支持体に固定し、主支
持体を冷却することにより機械加工する試料片を凍結に
より補助支持体上に固定するようにしたことにより、通
常工作機械の機械加工サイクル時間に加えられていた凍
結解除時間が削減されるという効果がある。また、凍結
時間も、本発明の方法に従い、試料片を外部プレート上
に置かれた補助支持体に凍結により固定することにより
削減されるという効果がある。
【図１】固定された凍結バイス(freeze vice) の立面図
である。
である。
【図２】回転凍結バイスの軸断面図である。
１，１１ ボデイ ２，２６，３５ ダブルダクト ４ 銅プレート ７ ポンプ ８，３９ パレット ９ 試料片 １０ シャフト １２，３９ デイスク １３ スリーブ １４ 中空体 ２９，３０，３１，３２ 回転シール ３６ センターリング装置 ３７ 円形溝 ３８ ガスケット
Claims (8)
- 【請求項１】 試料片を機械加工するために凍結により
支持体上に固定するための方法であって、該方法に従
い、前記固定する支持体または試料片を予め液体で湿潤
させておき、前記支持体を液体の凍結温度以下に冷却
し、前記液体の凍結により前記試料片を前記支持体に接
着する方法において、主支持体または該主支持体と接触
する補助支持体の１つの面に上に不凍液のフィルムを敷
くことにより熱伝導性の補助支持体を先ず主支持体に固
定し、主支持体を冷却することにより機械加工する１つ
または１つ以上の試料片を凍結により補助支持体上に固
定することを特徴とする方法。 - 【請求項２】 少なくとも１つの機械加工位置で試料片
を逐次機械加工するための請求項１に記載の固定方法に
おいて、機械加工される試料片が、補助凍結バイスによ
り補助支持体に固定され、機械加工される試料片を載置
する冷却された補助支持体が、連続的に冷却され続ける
機械加工位置の凍結バイス上に移され、その上に補助支
持体が固定されることを特徴とする方法。 - 【請求項３】 連続して数個の機械加工位置で試料片の
機械加工に適用される請求項２に記載の固定方法におい
て、各機械加工位置が連続して冷却され続ける凍結バイ
スを含むことを特徴とする方法。 - 【請求項４】 前記補助支持体が前記主支持体に減圧に
より固定されることを特徴とする請求項１〜３のいずれ
か１項に記載の固定方法。 - 【請求項５】 冷却手段( ２，３；１４，２４，２８）
を具備した熱伝導性の材料からなる平坦な支持体（４，
１２）を含む請求項４に記載の方法を実施するための装
置において、補助支持体が、パレット（８；３９）から
なり、前記支持体（４；１２）の平坦な表面が、排気さ
れる帯域を限定するシール（３８）を収容する溝（３
７）及びこの帯域に開口するダクトを有し、減圧ソース
（７）に連結するように意図されたことを特徴とする請
求項４に記載の方法を実施するための装置。 - 【請求項６】 主支持体（１２）が回転するように取り
付けられていることを特徴とする請求項５に記載の装
置。 - 【請求項７】 前記支持体がセンタリング装置（３６）
に装着されていることを特徴とする請求項６に記載の装
置。 - 【請求項８】 空気を排気するためのダクトがセンタリ
ング装置を軸方向に通っていることを特徴とする請求項
７に記載の装置。
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