JPH0639687B2 - 加熱状態にあるクラスター用のキャリアガス供給源 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は薄型フィルムの付着、特にクラスタービーム用
の供給源に関する。

基体への薄型フィルムの付着は重要な工程であり、また
種々の分野においてその手段が探求されている。例えば
マイクロ電子装置は、構造の特殊な電子特性を獲得する
ために連続するフィルム層を基体上に付着させることに
よって生成される。ビジコンおよび太陽電池等の光感応
性装置は光感応性材料のフィルムを基体上に設けること
によって生成される。レンズの光学特性は、フィルムを
それらの基体上に付着させることによって改善される。
もちろんこれらの例示は、何千もの薄型フィルム付着技
術の適用の僅かなものである。

高品質フィルムが必要な用途の特性である薄型フィルム
の付着のための高度に制御された方法において、フィル
ムは単一層のフィルムを順次付着させることによって形
成され、各層は１個の原子の厚さである。原子論の関係
において、付着処理技術が最もよく考えられることがで
きる。一般にこのような処理において、僅かな汚染物質
群または汚染原子が必要とされる高品質フィルムの付着
を著しく妨げることさえあるため、基体表面は注意して
清浄にしなければならない。それからフィルムの材料が
蒸気付着、電子ビーム蒸着、スパッタリング、または化
学蒸気付着等の多様な適用に対して開発された多数の技
術の１つによって付着される。

薄型フィルムを付着させるその他の技術において、原子
のイオンクラスターがクラスター付着装置の中に形成さ
れる。これらのクラスターは、それぞれ通常約1000〜20
00個の原子を有する。クラスターはイオン化され、それ
から加速電圧とクラスターのイオン化レベルの積に等し
いエネルギをクラスターに与える電位によって基体ター
ゲットに向かって加速される。基体の表面に達すると、
クラスターは衝撃で分解して原子になり、表面上を自由
に移動する。分解の後に残った各原子片は、クラスター
中の原子数で割ったクラスターの合計エネルギに等しい
エネルギを有する。したがって分解する前のクラスター
は比較的高い質量とエネルギを有し、一方分解した後に
残った各原子はそれぞれ比較的低い質量とエネルギを有
する。表面に付着された原子のエネルギにより原子は表
面上で移動できるため、表面にある歪みまたはホールに
移動することができる。付着した原子が不完全部分に入
って来るため、不完全部分が除去され、フィルムの完全
性および密度を高める。クラスターを使用した他の方法
が開発されており、クラスタービームを使用した薄型フ
ィルム付着は有望な実用的フィルム製造技術である。

クラスターを生成するクラスター供給源は、クラスター
ビーム付着装置の重要な素子である。クラスター供給源
は、選択された寸法範囲で大量のクラスター流を生成
し、高いクラスター形成効率を有すべきである。すなわ
ちクラスタービームは原子よりもクラスターとして共存
するビームの質量の大部分を有するべきである。そうで
ない場合にはクラスターを使用する有効性が損われるか
もしれない。クラスター源は、クラスタービームに適切
なエネルギ状態のクラスターを供給するべきである。

ある型のクラスター供給源はキャリアガスクラスター供
給源であり、クラスターに濃縮される原子流がるつぼか
らガス混合室へ放出される。ガス混合室においてキャリ
アガスは原子流と混合され、過飽和に達するまで原子の
動作を抑制してクラスターを形成する。供給源から出て
くるクラスターは真空室中に入り、イオン化されてター
ゲットに向けて加速される。

キャリアガスクラスター供給源は、表面成長クラスター
供給源に対して２つの重要な利点を有し、別の最も重要
な型の供給源である。キャリアガスクラスター供給源は
非常に高いクラスター形成効率を有し、結果的に原子よ
りもクラスターであるクラスタービームの質量の比率が
高くなる。次にキャリアガスクラスター供給源は、耐熱
金属等の非常に高い融解点を有する材料のクラスタービ
ームを形成するために使用されることができるが、表面
成長クラスター供給源では不可能である。

しかしながら、通常のキャリアガスクラスター供給源を
使用して付着されたフィルムはきめが粗くて表面がざら
ざらする傾向があることが実験的に観察されてきてい
る。結果として、フィルムはマイクロ電子装置等の多数
の型の必要な適用に対して使用することができない。キ
ャリアガスクラスター供給源によって現在行われている
効率および適用の多様性における有効性を保持しなが
ら、このような装置から得られる付着フィルムの品質を
改善することが望ましい。本発明はこの必要性を十分満
たし、さらに関連される効果をもたらすものである。

発明の要約 本発明は、高品質のフィルムを基体上に付着させるため
に調整されたクラスターを生成する修正されたキャリア
ガスクラスター供給源を提供する。形成プロセスは実質
的に変化しないため、供給源はクラスター形成の高い実
効性を保持する。供給源はまた高温材料のクラスターを
生成することができる。修正された構造は既存のクラス
ター付着システムに十分適合し、経済的に構成されるこ
とができる。

本発明によると、クラスターをターゲットに供給するた
めのキャリアガスクラスター供給源はクラスタービーム
を発生するビーム源手段を含み、ビーム源手段は原子ビ
ームとガス混合物を放出する気化供給源を含み、キャリ
アガスは原子ビームと混合してキャリアガス流と混合さ
れた原子のクラスターを有するクラスタービームを形成
する。調整手段は実質的にクラスターの全てが液体状態
になるようにクラスタービームを調整する。また伝達手
段は実質的にターゲットに衝突する前のクラスターは全
て液体状態であるように、調整されたクラスタービーム
のクラスターをターゲットに伝達する。

好ましい実施例において、キャリアガスクラスター供給
源はガス混合室とクラスター材料の原子流を混合室に放
出するるつぼとを有するビーム源を含み、原子流とキャ
リアガスが混合されるため、キャリアガスと混合される
クラスター材料のクラスタービームが形成される。ビー
ム供給源を出た後、クラスタービームおよびキャリアガ
スはドリフトチューブを通過する。ドリフトチューブは
ヒータで加熱される。ドリフトチューブを出た後、クラ
スタービームおよびキャリアガスはノズルを通過する。

従来のキャリアガスクラスター供給源によって生成され
るクラスタービーム、およびこのようなクラスタービー
ムがターゲットに衝突したときに生成されるフィルムの
研究は、少なくともビーム中のクラスターの一部分が固
体状態であることを示す。ここで使用される用語では固
体状態においてとは、物質が濃縮されてクラスターにな
り、さらにバルクの固体材料の結晶特性を示すことを言
う。明らかにこのような固体クラスターがターゲットに
衝突したときに、クラスターは分解して所望の方法で表
面に原子を分散することはない。その結果、固体クラス
ターはフィルムに対して粒子の粗い表面構造を残す。さ
らにクラスター付着が続けられても、粒子の粗さが残り
フィルムの品質が低下する。

キャリアガスクラスター供給源におけるクラスターの形
成は、流動ガスの流れが蒸気供給源から放射された蒸気
を急冷するときに発生するため、蒸気がガス流において
過飽和状態になりクラスターを形成する。冷却は、低い
ガス温度で急速に発生しなくてはならない。そうしない
とクラスターは望ましくない小さい大きさにしか成長し
ない。比較的低い温度でのガス冷却によるもう１つの結
果は、クラスターが固体の結晶特性を示すことである。

本発明において、クラスターはその形成の後、液体状態
に調整される。ここで使用されるような“液体状態”と
は、バルクの液体について類推できるように実質的に結
晶構造が存在しない物質の濃縮された状態を示す技術用
語である。

クラスター調整に対する１つの方法はそれらの温度を上
昇することであり、この場合温度はクラスターにおける
原子の不規則な運動エネルギを生じ、クラスターがター
ゲットに移動するときの方向運動エネルギではない。こ
の増加されたエネルギはクラスターが低温で結晶になる
傾向を克服する。好ましい実施例において、クラスター
は、結晶が消滅してクラスターが液体状態になる温度ま
でクラスターを加熱するのに十分高い温度に維持されて
いる拡散チューブを通過される。加熱は、拡散チューブ
内のクラスターと混合されたキャリアガスの存在によっ
て促進される効果的な熱伝導入プロセスによって達成さ
れる。

実質的にクラスターの全てがこの液体状態に調整される
が、いくつかの非常に大きいクラスターは結晶体を除去
するほど十分には加熱されない。このような大きいクラ
スターは、それらがターゲットに達したならば、望まし
くないきめの粗さを引き起こす。しかしながら実際には
非常に大きいクラスターは質量分離器によってクラスタ
ービームから除去され、フィルムの品質には問題がな
い。

クラスターが適切な非結晶状態に調整された後、それら
はターゲットに衝突するまでこの状態で保存されていな
くてはならない。このような保存を達成する伝達手段
は、大部分のキャリアガスをビームから分離して除去す
る。キャリアガスが除去されることにより、クラスター
が隣接する真空中を進む。このような真空において、ク
ラスターからの伝導および対流による熱損失がほとんど
回避される。真空中の小さいクラスターからの放射熱損
失もまた小さい。調整手段で得られたクラスターの温度
状態は、クラスターが真空で、もし設けられているなら
ば連続的なイオン化、質量分離器、加速器および集束部
品を通過するときに保持される。ターゲットに達したク
ラスターは、温度と非結晶、すなわち調整手段で設定さ
れたゆるい束縛状態を維持する。

換言すると、本発明はターゲットに衝突する高品質のク
ラスタービームを提供する処理において具体化されたも
のであり、キャリアガスを原子流と混合することによっ
てクラスタービームを形成するステップと：実質的にク
ラスターの全てが液体状態であるようにクラスタービー
ム中のクラスターを調整するステップと；調整されたク
ラスタービームをターゲットに伝送し、クラスターの実
質上全てがターゲットに衝突する前は実質的に液体状態
であるようにするステップとを含む。

本発明のクラスター供給源は、キャリアガスクラスター
供給源の技術において重要な進展をもたらすことが理解
されるであろう。クラスター形成の高い効率性および従
来のキャリアガスクラスター供給源の多様性は保持され
るが、さらにクラスターは非結晶の、液体状態に調整さ
れるため、付着されたフィルムは滑らかであり、結晶ク
ラスターの付着のようなきめの粗さおよびその他特有の
欠点を持たない。したがって本発明において、キャリア
ガスクラスター供給源は他のクラスター供給源に置換し
て使用されることができる。本発明のその他の特徴およ
び利点は、以下のさらに詳細な説明および例示によって
本発明の原理を示す添付図面から明らかになるであろ
う。

図面の簡単な説明 第１図はキャリアガスクラスタービーム付着装置の概略
図であり、 第２図は本発明によるキャリアガスクラスター供給源の
側面の断面図である。

好ましい実施例の説明 本発明が適用されるシステムのタイプを説明するため
に、典型的なクラスタービーム付着装置10が第１図に示
されている。付着装置10はクラスタービーム14を生成す
るクラスター供給源12を含む。クラスタービーム14は、
種々の大きさのクラスターおよび若干のクラスターにな
らない原子から構成されている。ビーム14のクラスター
および原子は、通常各クラスターおよび原子に単一電荷
を与えるように調節されるイオン化装置16においてイオ
ン化される。すなわち2000個の原子を有するクラスター
は、単一原子と同じように単一の電荷だけを有する。

狭い寸法範囲内のクラスターだけがターゲット18に到達
することが望ましい。したがってビーム14は、選択され
た寸法よりも著しく大きいまたは小さいクラスターを分
離し、ほぼ所望の寸法のクラスターだけをターゲット18
に到達させる質量分離器20を通過する。最終的にクラス
タービーム14は加速電極21によって付勢され、その後レ
ンズおよび偏向プレート22により集束されて偏向される
ため、クラスターのパターンをターゲット18の表面上に
描くこともできる。付着装置全体は、ターゲットおよび
クラスタービームを真空状態に維持する真空室24中に配
置されている。

本発明はクラスター供給源として具体化され、改善され
たクラスター供給源30は第２図に示されている。クラス
ター供給源30はクラスターとしてターゲット18に伝送さ
れる供給材料34を位置させるるつぼ32を含む。この供給
材料は金属でも非金属でもよい。るつぼ32および供給材
料34はいずれかの適切な手段によって加熱され、ここで
はその手段がるつぼ32の周囲の抵抗巻線36として示され
ている。供給材料34の蒸気を外に出す孔38を除いて、る
つぼ32は密封された容器である。るつぼ32はその温度を
維持し、供給源30の他の部分の加熱を防ぐために熱遮蔽
体40によって包囲されている。

るつぼ32から気化された材料の蒸気は孔38、熱遮蔽体40
の開口42を通過し、その壁がほぼ周辺温度に維持されて
いるガス混合室44中に至る。キャリアガスの流れはガス
入口46からガス混合室44中に別に導入される。気化され
た蒸気はるつぼ32からの気化によって決定された温度で
ある。キャリアガス温度は気化された蒸気の温度よりも
かなり低くく、典型的には周辺温度であるため、蒸気と
キャリアガスがガス混合室44において混合して比較的小
さい容積のクラスターの形成を促進する場合に、蒸気原
子は急速に冷却して飽和状態に至る。そうしないとクラ
スターの寸法は非常に小くなる。ほとんどの場合、１つ
のクラスターについて約2000個の原子よりなるクラスタ
ーが好ましいため、これは望ましい結果ではない。

クラスター形成のために急速に蒸気を冷却することが、
クラスターを低温にする。すなわちクラスターがターゲ
ット18に衝突したときに、本発明を使用しなければ容易
に分解しない結晶または一部結晶構造を有する濃縮され
た集合体となっている。

混合室44において種々の寸法のクラスターが気化された
質量の一部から形成され、一方気化したもののいくらか
が非クラスター原子として残る。気化原子、クラスター
およびキャリアガスは、混合されてガス入口から流れ出
て真空室24の真空方向に流動する混合ビーム48を形成す
る。

混合ビーム48は、抵抗加熱器52によって外側を加熱され
る中空の円筒チューブであるドリフトチューブ50に入
る。混合ビーム48がドリフトチューブ50を通過するとき
に、クラスターは実質的にクラスターの全てが液体状態
に変化するように調整される。クラスターの加熱は、ほ
とんどが混合キャリアガスの媒体を通ってドリフトチュ
ーブ50の加熱された壁からの伝導熱または対流によって
行われる。

クラスターを液体または無秩序状態にするために必要な
温度は、クラスターを構成している材料の融解温度では
ない。それらの寸法は非常に小さいため、クラスターは
典型的に融解温度よりもかなり低い温度に加熱されると
すぐに液体になる。例えば約1000個の原子の金属クラス
ターは融解温度の約２／３の温度で液体になることが予
想され、100個の原子の金属クラスターは融解温度の約
１／２の温度で液体になると考えられる。したがってク
ラスターがドリフトチューブ50を通過するときに得られ
なければならない必要温度はクラスターの材料およびタ
ーゲットに衝突するクラスターの寸法によって決定され
る。ドリフトチューブ50の最高温度は、ほぼクラスター
を液体化するために必要な温度に維持されることが好ま
しい。これはより高い温度ではクラスターから原子が再
び気化するためである。

特有の調整に必要なドリフトチューブ動作温度は１組の
試験により決定されることが最良であり、それにおいて
クラスターの結晶は回折手段により飛翔中に測定され、
または動作温度が次第に上昇されるとき付着されたフィ
ルムの品質を観察することによって連続的に測定され
る。

ドリフトチューブ50はクラスターを加熱するのに十分長
くなければならないが、クラスターがドリフトチューブ
の内壁に小滴を付着させるほど長くてはならない。必要
とされる最少の長さは、ドリフトチューブ50の直径、ク
ラスターの最初の温度および必要な最終温度、クラスタ
ーの性質、クラスターの寸法、キャリアガスの特性およ
びキャリアガスの流速に応じて定められる。2000個の原
子の銀クラスターに対する近似的な計算は、最初に周辺
温度でかつ最後に1000°Ｋで、100cm／秒の流速を有す
るアルゴンガスにおいて行われた。ドリフトチューブの
壁に隣接するクラスターは約0.1cm内で壁の温度に達
し、クラスターの残りに対する熱の拡散はドリフトチュ
ーブの直径にほぼ等しい距離を必要とする。したがって
壁の平衡温度に達するために、チューブを通過するクラ
スターに対するドリフトチューブ50の最少の長さはドリ
フトチューブの直径に等しいものと決定される。

チューブの最大の長さは、加熱された壁面のクラスター
材料の小滴が濃縮されることによって制限される。同様
にシステムにおけるクラスターの濃縮の観察に基くと、
この最大の長さはチューブの直径の約５倍と考えられ
る。

したがって最適な安定状態動作のためには、ドリフトチ
ューブ50の長さがドリフトチューブの直径の約１乃至５
倍であるべきであると考えられる。これらの設計パラメ
ータは、現在の好ましい方法および実施例を反映するも
のであり、臨界的な制限とは考えられない。

クラスターがドリフトチューブ50を通過して適切な温度
に調整された後、それらは真空室24のポンプ能力が過剰
負荷されないように、またキャリアガスができるだけ多
くクラスタービーム14から分離され除去されて真空室の
真空に導入されなくてはならない。クラスターガスはド
リフトチューブ50において調整されたクラスターの実質
的な冷却を防ぐために分離されなくてはならない。キャ
リアガスの存在は加熱されたドリフトチューブにおいて
伝導および対流によりクラスターへの熱伝達を促進する
から、もし存在するならばそれらが同じメカニズムによ
ってクラスター源30からターゲット18に移動する間にク
ラスターからの熱の除去を促進する。キャリアガスがク
ラスタービーム14から除去されることにより、熱伝導お
よび対流によるクラスターからの熱損失は実質的に避け
られる。小さいクラスターからの放射による熱損失が小
さいため、クラスターの全熱損失はそれらがターゲット
に進行するあいだ無視することができる。

キャリアガスは、ドリフトチューブ50の下流に位置され
るノズル54を通るクラスタービームを拡大することによ
ってクラスタービームから分離されて除去される。拡大
する際に、重いクラスターの軌道は著しく変化されない
ので、クラスターは不変のままである。反対にキャリア
ガスの軽い原子または分子の軌道は、速やかな拡大によ
り急速に外側に屈折される。予め均一に混合されたクラ
スターおよびキャリアガスは、それによって分布の中心
に主としてクラスターを有する放射状の分布になる。

変化されたビーム分布により、キャリアガスの原子また
は分子は複数の技術のいずれによってもビームから除去
されることができる。好ましい方法は、ビームすなわち
キャリアガスの半径方向外側部分を屈折するスキマー56
を設けて、屈折されたキャリアガスをポンプポート58に
向けることである。スキマー56の方法はクラスターから
キャリアガス全てを除去するとは考えられないが、クラ
スターからの連続的な熱損失を許容可能な低レベルまで
減少するために十分大量のキャリアガスを除去すること
において有効である。

クラスター供給源30から放出されるクラスタービーム14
は、上記に示された方法で付着装置の残りの部分を通っ
て処理される。クラスターの液体状態は変化しないか、
もしくはイオナイザ16、量子分離器20、加速装置21また
は偏向板22の機能を妨げることはない。

クラスター供給源30の動作において、キャリアガスの流
速は高いクラスター形成効率を維持するために動作パラ
メータとして制御されなくてはならないため、るつぼ32
からかなりの量の気化された材料がクラスターとして伝
送される。ドリフトチューブ50からの熱は上流（マスと
反対側）のガス混合室44の方向に拡散する傾向がある。
この熱拡散は気化原子とキャリアガスとの混合温度を上
昇させ、クラスター形成の効率を減少させる。他方キャ
リアガスの質量流動により熱が下流方向に伝送される。
したがってガス流の速度を動作する最少の安定状態は、
上流および下流の熱拡散率を等しくすることによって大
体計算することができる。前述の動作パラメータのため
に必要なガスの流速は、システムの能力の範囲内である
約140cm／秒であると推測される。キャリアガス流がも
っと低速度である場合にはガス混合室44の方向の上流方
向に実質的な熱流動があると予想され、これは混合温度
を上昇しクラスター形成効率を減少することによって安
定状態動作を損う。

上流の熱流動の問題は、クラスター供給源をパルス的に
動作させることによって軽減または回避されることがで
きる。混合室44とドリフトチューブ50との間に位置され
た冷却チューブ60のような任意の冷却手段で上流への熱
流動を遮断することにより、低いキャリアガス流動速度
で継続的に供給源を動作することができる。冷却チュー
ブ60は熱を取り除くことによりドリフトチューブ50と逆
の方法で動作し、そうでなければ上流の混合室44へ拡散
する熱をガス流から冷却された壁に伝える。

特定の例示において、銀をるつぼ32の中に位置して気化
された原子の流れを放出するために約1500°Ｋまでるつ
ぼ32を加熱することにより、約40オングストロームの直
径の銀クラスターが生成される。周辺温度のアルゴンガ
スは、約0.5トルの圧力で約150cm／秒の流速で導入さ
れ、混合室44において銀蒸気と混合された。ドリフトチ
ューブは0.6cmの直径と2cmの長さを有し、約830°Ｋ
（融点の２／３）で維持された。供給源30を離れるクラ
スターは完全に液体であると考えられる。

したがって本発明の改善されたクラスター供給源は、キ
ャリアガスクラスター供給源を使用し、クラスターが液
体であり実質的に結晶構造を持たない温度にクラスター
を調整することによって形成されるフィルムの品質を改
善する。クラスター供給源は高いクラスター形成効率お
よび従来のクラスター供給源の多様性を保持し、一方フ
ィルムの品質を著しく改善する。

本発明の特有の実施例が説明のために詳細に記載されて
いるが、本発明はその技術的範囲から逸脱することなく
多様に修正されてもよい。したがって本発明は、添付さ
れた請求の範囲によってのみ制限されるものである。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キャリアガスがキャリアガス流と混合され
   た原子のクラスターを有するクラスタービームを形成す
   るために原子のビームと混合されて原子とガスの混合物
   のビームを放出する気化供給源を含むクラスタービーム
   を発生するためのビーム源手段と、 実質的にクラスターの全てが液体状態であるようにクラ
   スタービームを調整する調整手段と、 実質的にクラスターの全てがターゲットに衝突する前は
   液体状態であるように、調整されたクラスタービームの
   クラスターをターゲットに伝送する伝送手段とを具備し
   ているクラスターをターゲットに供給するキャリアガス
   クラスター供給源。
2. 【請求項２】前記調整手段は、クラスターの温度を調節
   する手段を含み、 前記気化供給源は、ヒーターを具備し原子のビームを放
   出するための孔を有するるつぼであり、 前記伝送手段は、クラスタービームからキャリアガスの
   少なくとも一部分を除去する手段を含む請求項１記載の
   クラスター供給源。
3. 【請求項３】前記調整手段はクラスタービームが通過す
   るドリフトチューブであり、前記調整手段は前記ドリフ
   トチューブ用のヒーターを含み、 前記伝送手段は拡大ノズルおよびクラスタービームから
   キャリアガスの一部分を除去するスキマーを含む請求項
   １記載のクラスター供給源。
4. 【請求項４】ガス混合室、およびクラスター材料の原子
   流を前記混合室の中に放出するるつぼを含み、キャリア
   ガスと混合されたクラスター材料のクラスタービームが
   形成されるように原子流とキャリアガスとを混合するビ
   ーム源と、 前記ビーム源を離れた後でクラスタービームおうよびキ
   ャリアガスが通過するドリフトチューブと、 前記ドリフトチューブを加熱するヒーターと、 前記ドリフトチューブを出た後、クラスタービームおよ
   びキャリアガスが通過するノズルとを具備しているキャ
   リアガスクラスター供給源。
5. 【請求項５】前記ドリフトチューブに入る前にクラスタ
   ービームおよびキャリアガスが通過する冷却チューブを
   具備し、この冷却チューブは前記ドリフトチューブと前
   記ビーム源との間に位置し、前記ドリフトチューブの長
   さは前記ドリフトチューブの直径の約１乃至５倍である
   請求項４記載のクラスター供給源。
6. 【請求項６】キャリアガスを原子流と混合することによ
   ってクラスタービームを形成し、 実質的にクラスターの全てが液体状態であるようにクラ
   スタービーム中のクラスターを調整し、 実質的にクラスターの全てがターゲットに衝突する前に
   液体状態であるように、調整されたクラスタービームを
   ターゲットに伝送するステップを含むことを特徴とする
   ターゲットに衝突させる高品質のクラスタービームの処
   理方法。
7. 【請求項７】キャリアガスは不活性ガスであり、 前記調整ステップはクラスターが濃縮状態であるが結晶
   構造を持たない温度までクラスターを加熱することによ
   って達成され、 クラスターを加熱するためにドリフトチューブを通すス
   テップを含み、 前記伝送ステップはクラスターからキャリアガスの少な
   くとも一部分を分離して除去するステップを含む請求項
   ６記載の処理方法。