JPH0639831A - スライシングマシンにおけるウエハーの収納装置 - Google Patents
スライシングマシンにおけるウエハーの収納装置Info
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- JPH0639831A JPH0639831A JP4250891A JP4250891A JPH0639831A JP H0639831 A JPH0639831 A JP H0639831A JP 4250891 A JP4250891 A JP 4250891A JP 4250891 A JP4250891 A JP 4250891A JP H0639831 A JPH0639831 A JP H0639831A
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 40
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
- B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels
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-
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- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
- B28D5/0094—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work the supporting or holding device being of the vacuum type
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハーの取り出しとカセットへの収納の自
動化を図る。 【構成】 環状切断刃Ａにより切断され搬送機構１４に
より搬送された薄片状切断片を吸着保持する吸着盤２１
を回動アーム２２先端に備える。多数の仕切片３０を設
けた切断片収納カセット２３及び吸着盤２１に保持され
た切断片を受け取りカセット側に搬送するコンベア２４
とを備える。吸着盤により吸着した切断片をコンベアに
供給し、コンベアによりカセット２３に供給する。カセ
ットには切断片の供給と同期して仕切片を１段づつ上昇
する昇降機構３１を備え、各仕切片に順次切断片を供給
する。
動化を図る。 【構成】 環状切断刃Ａにより切断され搬送機構１４に
より搬送された薄片状切断片を吸着保持する吸着盤２１
を回動アーム２２先端に備える。多数の仕切片３０を設
けた切断片収納カセット２３及び吸着盤２１に保持され
た切断片を受け取りカセット側に搬送するコンベア２４
とを備える。吸着盤により吸着した切断片をコンベアに
供給し、コンベアによりカセット２３に供給する。カセ
ットには切断片の供給と同期して仕切片を１段づつ上昇
する昇降機構３１を備え、各仕切片に順次切断片を供給
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は回転する環状切断刃内に
被切断部材を挿入し、薄片状に切断された切断片（以下
ウエハーという）をカセットに収納するスライシングマ
シンにおける切断片の収納装置に関する。
被切断部材を挿入し、薄片状に切断された切断片（以下
ウエハーという）をカセットに収納するスライシングマ
シンにおける切断片の収納装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記スライシングマシンにより切断され
た高硬度脆性材料をもってするウエハーは、人手により
これを取り出し、カセットまたはこれに類する容器に各
葉毎に区分して収納する手段が採られている。
た高硬度脆性材料をもってするウエハーは、人手により
これを取り出し、カセットまたはこれに類する容器に各
葉毎に区分して収納する手段が採られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この方法による時は、
手数を要し自動化の隘路となっている。かつ狭い場所で
のウエハーの取り外しは往々にしてこれを落とし、ある
いは損傷する等の問題がある。
手数を要し自動化の隘路となっている。かつ狭い場所で
のウエハーの取り外しは往々にしてこれを落とし、ある
いは損傷する等の問題がある。
【０００４】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、ウエハーの取り出しとカセットへの収納の自動化を
図ることを目的とする。また上記高硬度脆性の切断に際
し、これに損傷を与えないために、一般にダミー材を添
着し、このダミー材において切り落とす手段が採られて
いる。
で、ウエハーの取り出しとカセットへの収納の自動化を
図ることを目的とする。また上記高硬度脆性の切断に際
し、これに損傷を与えないために、一般にダミー材を添
着し、このダミー材において切り落とす手段が採られて
いる。
【０００５】従ってウエハーには切断されたダミー材が
付着しており、後行程においてこれを除去する必要があ
る。このためダミー材の位置を所定位置、例えばカセッ
トの奥、または前方に向けて収納することが好ましい。
付着しており、後行程においてこれを除去する必要があ
る。このためダミー材の位置を所定位置、例えばカセッ
トの奥、または前方に向けて収納することが好ましい。
【０００６】第２の発明は、上記カセットへの供給にあ
たり、ウエハーに付着するダミー材の位置を自動的に所
定方向に指向することを目的とする。
たり、ウエハーに付着するダミー材の位置を自動的に所
定方向に指向することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになしたもので、環状切断刃により切断され搬
送機構により搬送された薄片状切断片を吸着保持する吸
着盤と、この吸着盤を先端に備えた回動アームと、多数
の仕切片を設けた切断片収納カセット及び吸着盤に保持
された切断片を受け取りカセット側に搬送するコンベア
とを備え、吸着盤により吸着した切断片をコンベアに供
給し、コンベアによりカセットに供給するとともに、カ
セットには切断片の供給と同期して仕切片を１段づつ上
昇する昇降機構を備え、各仕切片に順次切断片を供給す
るようにしたものである。
するためになしたもので、環状切断刃により切断され搬
送機構により搬送された薄片状切断片を吸着保持する吸
着盤と、この吸着盤を先端に備えた回動アームと、多数
の仕切片を設けた切断片収納カセット及び吸着盤に保持
された切断片を受け取りカセット側に搬送するコンベア
とを備え、吸着盤により吸着した切断片をコンベアに供
給し、コンベアによりカセットに供給するとともに、カ
セットには切断片の供給と同期して仕切片を１段づつ上
昇する昇降機構を備え、各仕切片に順次切断片を供給す
るようにしたものである。
【０００８】また第２の発明は吸着盤は自転機構を備
え、回動アームの回動による公転とこれに関連して自転
を行い、切断片に付着するダミー材をカセットに対し所
定方向に指向してコンベアに供給するようにしたもので
ある。
え、回動アームの回動による公転とこれに関連して自転
を行い、切断片に付着するダミー材をカセットに対し所
定方向に指向してコンベアに供給するようにしたもので
ある。
【０００９】
【作用】吸着盤はウエハーを吸着した状態で、回動アー
ムの回動によりコンベア上に移行し、ウエハーをコンベ
アに供給する。コンベアはこれをカセット内に移送す
る。これに伴い、昇降機溝はカセットを仕切片の１ピッ
チ上昇し、ウエハーを仕切片により受け取る。この際、
吸着盤を公転とともに自転させることにより、ウエハー
に付着するダミー材を所定方向に指向して収納すること
ができる。
ムの回動によりコンベア上に移行し、ウエハーをコンベ
アに供給する。コンベアはこれをカセット内に移送す
る。これに伴い、昇降機溝はカセットを仕切片の１ピッ
チ上昇し、ウエハーを仕切片により受け取る。この際、
吸着盤を公転とともに自転させることにより、ウエハー
に付着するダミー材を所定方向に指向して収納すること
ができる。
【００１０】
【実施例】図は本発明の実施例に関し、Ａはスライシン
グマシンに設けられる周知の環状切断刃であり、被切断
部材Ｗは下部にダミー材Ｄを取り付けて切断刃の内孔に
挿入し、適宜の送り機構により所定量づつ送り出しと昇
降を行い、薄片状に切断してウエハーｗを形成する。
グマシンに設けられる周知の環状切断刃であり、被切断
部材Ｗは下部にダミー材Ｄを取り付けて切断刃の内孔に
挿入し、適宜の送り機構により所定量づつ送り出しと昇
降を行い、薄片状に切断してウエハーｗを形成する。
【００１１】１は上記ウエハーｗの取り出し装置であ
る。この取り出し装置１はウエハーｗに対する取り出し
用の吸着盤２と、この吸着盤２を支持する保持体３と、
この保持体３を先端に取り付けるベース板４、及びこの
ベース板４を支承するスライド板５とを備える。
る。この取り出し装置１はウエハーｗに対する取り出し
用の吸着盤２と、この吸着盤２を支持する保持体３と、
この保持体３を先端に取り付けるベース板４、及びこの
ベース板４を支承するスライド板５とを備える。
【００１２】保持体３はベース板４先端に取り付けた軸
受６に支持される支軸７に固定され、支軸７は揺動シリ
ンダー８に連結されており、この揺動シリンダー８の作
動により垂直の吸着位置（実線位置）と水平の移送位置
（鎖線位置）とに往復移行される。９は垂直位置保持用
ストッパ、１０は水平位置保持用ストッパである。
受６に支持される支軸７に固定され、支軸７は揺動シリ
ンダー８に連結されており、この揺動シリンダー８の作
動により垂直の吸着位置（実線位置）と水平の移送位置
（鎖線位置）とに往復移行される。９は垂直位置保持用
ストッパ、１０は水平位置保持用ストッパである。
【００１３】なお上記ベース板４はスライド板５に設け
た固定支軸１１を中心として回動可能に支持され、調整
手段１２により支軸１１を中心として回動し、吸着盤２
をウエハーｗに対し、左右の傾斜を調整する。また１３
はベース位置４を前後させ吸着盤２とウエハーｗとの間
隔を調整するものである。ただし、これらの構造は本願
とは関係はなく、その説明は省略する。
た固定支軸１１を中心として回動可能に支持され、調整
手段１２により支軸１１を中心として回動し、吸着盤２
をウエハーｗに対し、左右の傾斜を調整する。また１３
はベース位置４を前後させ吸着盤２とウエハーｗとの間
隔を調整するものである。ただし、これらの構造は本願
とは関係はなく、その説明は省略する。
【００１４】１４はスライド板５を移行する搬送機構で
あり、例えばロッドレスシリンダをもって構成し、上記
取り出し用吸着盤２をウエハーｗの吸着位置と後方適所
の受け渡し位置とに往復移行するようにしたものであ
る。
あり、例えばロッドレスシリンダをもって構成し、上記
取り出し用吸着盤２をウエハーｗの吸着位置と後方適所
の受け渡し位置とに往復移行するようにしたものであ
る。
【００１５】２０は切断片収納装置である。この収納装
置２０は上記搬送機構１４により移送した水平状態のウ
エハーｗを吸着する受け取り用吸着盤２１と、この吸着
盤２１を先端に備える回動アーム２２と、ウエハー収納
用カセット２３及びカセットにウエハーｗを供給するコ
ンベア２４とを備える。上記吸着盤は、回動アーム２２
の先端に回動自在に支持される支持軸２５に取り付けら
れた昇降シリンダ２６に取り付けられている。
置２０は上記搬送機構１４により移送した水平状態のウ
エハーｗを吸着する受け取り用吸着盤２１と、この吸着
盤２１を先端に備える回動アーム２２と、ウエハー収納
用カセット２３及びカセットにウエハーｗを供給するコ
ンベア２４とを備える。上記吸着盤は、回動アーム２２
の先端に回動自在に支持される支持軸２５に取り付けら
れた昇降シリンダ２６に取り付けられている。
【００１６】回動アーム２２の基端は垂直の回動軸２７
に固定され、回動軸２７は駆動機２８に接続される。駆
動機２８は電動機を用いてもよいが、所定角度の回動に
は、例えばエアー式ロータリアクチュエータを用いるこ
とが好ましい。
に固定され、回動軸２７は駆動機２８に接続される。駆
動機２８は電動機を用いてもよいが、所定角度の回動に
は、例えばエアー式ロータリアクチュエータを用いるこ
とが好ましい。
【００１７】カセット２３は前方を開口し、ウエハーｗ
を載置する多数の仕切片３０を備える。またこのカセッ
ト２３は昇降機構３１に取り付けている。この昇降機構
３１はカセット２３を載置する枠体３２と、この枠体３
２の昇降用モータ３３と、この昇降用モータ３３により
ベルト３４を介して回動される螺軸３５及びこの螺軸３
５に螺合し、基端を枠体３２に取り付ける螺筒３６とを
備える。３７はフレームＦに取り付けたガイドレール、
３８は枠体３２に取り付け、このガイドレール３７に嵌
合するガイドシューである。
を載置する多数の仕切片３０を備える。またこのカセッ
ト２３は昇降機構３１に取り付けている。この昇降機構
３１はカセット２３を載置する枠体３２と、この枠体３
２の昇降用モータ３３と、この昇降用モータ３３により
ベルト３４を介して回動される螺軸３５及びこの螺軸３
５に螺合し、基端を枠体３２に取り付ける螺筒３６とを
備える。３７はフレームＦに取り付けたガイドレール、
３８は枠体３２に取り付け、このガイドレール３７に嵌
合するガイドシューである。
【００１８】また３９はウエハーｗが供給されたか否か
を検知するウエハー検知センサーである。また４０は枠
体３２の所定ピッチの上昇を規制する昇降検知センサ
ー、４１は枠体３２の最下部及び最上部の位置検知用セ
ンサーであり、上記螺筒３６にストライカ等の突子４２
を取り付け、枠体３２を仕切片間隔、すなわち１ピッチ
毎に順次上昇し、最上部の位置まで上昇したとき信号を
発するようにしたものである。
を検知するウエハー検知センサーである。また４０は枠
体３２の所定ピッチの上昇を規制する昇降検知センサ
ー、４１は枠体３２の最下部及び最上部の位置検知用セ
ンサーであり、上記螺筒３６にストライカ等の突子４２
を取り付け、枠体３２を仕切片間隔、すなわち１ピッチ
毎に順次上昇し、最上部の位置まで上昇したとき信号を
発するようにしたものである。
【００１９】コンベア２４は上記搬送機構１４とカセッ
ト２３との間に敷設される。４４はコンベア駆動モータ
であり、ベルト４５によりコンベア２４に連結されてい
る。このコンベア２４は一端を搬送機構１４側に位置
し、他端はカセット２３内部にまで延長して設けられ
る。このため仕切片３０はコンベア挿入のため切込み４
３を形成する。
ト２３との間に敷設される。４４はコンベア駆動モータ
であり、ベルト４５によりコンベア２４に連結されてい
る。このコンベア２４は一端を搬送機構１４側に位置
し、他端はカセット２３内部にまで延長して設けられ
る。このため仕切片３０はコンベア挿入のため切込み４
３を形成する。
【００２０】また５０は自転機構である。この自転機構
は回動アーム２２の回動軸２７と同芯に設けられる固定
プーリ５２と、吸着盤２１を支持する支持軸２５に取り
付けられる従動プーリ５４及び両プーリ間に懸架される
ベルト５５とからなる。
は回動アーム２２の回動軸２７と同芯に設けられる固定
プーリ５２と、吸着盤２１を支持する支持軸２５に取り
付けられる従動プーリ５４及び両プーリ間に懸架される
ベルト５５とからなる。
【００２１】これにより吸着盤２１は回動アーム２２に
より回動（公転）されるとともに、回動を阻止されたベ
ルト５５により回転（自転）を行う。
より回動（公転）されるとともに、回動を阻止されたベ
ルト５５により回転（自転）を行う。
【００２２】この自転は吸着盤２１が搬送機構１４から
送られたウエハーｗを受け取るとき、これに付着する切
断されたダミー材ｄをカセット２３に所定方向に指向さ
せて供給するために行うものである。図例ではそのまま
コンベア２４を介してカセット２３に送り込むときは、
ダミー材ｄは仕切片の側方に位置することとなり、好ま
しくない場合がある。このため送り込みに際し、ダミー
材を前方に位置して供給するためには回動アーム２２の
直角の回動（９０度）とともに１８０度の自転を行なわ
しめ、相対的にダミ−材を９０度反転させている。この
自転角度は固定プーリ５２と従動プーリ５４との径の比
により任意に設定する。
送られたウエハーｗを受け取るとき、これに付着する切
断されたダミー材ｄをカセット２３に所定方向に指向さ
せて供給するために行うものである。図例ではそのまま
コンベア２４を介してカセット２３に送り込むときは、
ダミー材ｄは仕切片の側方に位置することとなり、好ま
しくない場合がある。このため送り込みに際し、ダミー
材を前方に位置して供給するためには回動アーム２２の
直角の回動（９０度）とともに１８０度の自転を行なわ
しめ、相対的にダミ−材を９０度反転させている。この
自転角度は固定プーリ５２と従動プーリ５４との径の比
により任意に設定する。
【００２３】上記構成において、切断されたウエハーｗ
は取り出し装置１の取り出し用吸着盤２により吸着し、
次いで揺動シリンダー８の作動にて水平状態に回動し、
搬送機構１４により所定の受け渡しの位置に移行され
る。
は取り出し装置１の取り出し用吸着盤２により吸着し、
次いで揺動シリンダー８の作動にて水平状態に回動し、
搬送機構１４により所定の受け渡しの位置に移行され
る。
【００２４】しかる後、回動アーム２２を回動し、受け
取り用吸着盤２１をウエハーｗ上に移行し、昇降シリン
ダ２６を作動して吸着盤２１を下降し、ウエハーｗを吸
着して所定位置に上昇する。次いで回動アーム２２を回
動して吸着盤２１をコンベア２４上に移行する。この
際、自転機構を設けることにより吸着盤２１は公転とと
もに自転し、ウエハーｗに付着するダミー材ｄを所定方
向に指向する。次いで吸着盤２１の吸気作用を開放し、
ウエハーｗをコンベア２４に供給する。
取り用吸着盤２１をウエハーｗ上に移行し、昇降シリン
ダ２６を作動して吸着盤２１を下降し、ウエハーｗを吸
着して所定位置に上昇する。次いで回動アーム２２を回
動して吸着盤２１をコンベア２４上に移行する。この
際、自転機構を設けることにより吸着盤２１は公転とと
もに自転し、ウエハーｗに付着するダミー材ｄを所定方
向に指向する。次いで吸着盤２１の吸気作用を開放し、
ウエハーｗをコンベア２４に供給する。
【００２５】コンベア２４はこれを受け取り、カセット
内に移送する。ウエハーｗの移行は検知センサー３９に
より検知し、設定時間後、コンベア２４を停止し昇降機
構３１を作動し、カセット２３を１ピッチ上昇し、ウエ
ハーｗを仕切片３０に供給する。以下この動作を繰り返
し、カセット２３のすべての仕切片３０上にウエハーｗ
が供給されたとき、昇降機構３１は信号を発して停止す
る。
内に移送する。ウエハーｗの移行は検知センサー３９に
より検知し、設定時間後、コンベア２４を停止し昇降機
構３１を作動し、カセット２３を１ピッチ上昇し、ウエ
ハーｗを仕切片３０に供給する。以下この動作を繰り返
し、カセット２３のすべての仕切片３０上にウエハーｗ
が供給されたとき、昇降機構３１は信号を発して停止す
る。
【００２６】なお、上記実施例は切断部、及び取り出し
装置１は水平に配置した例を示したが、これは垂直に配
置した場合も同様である。ただし、この場合ウエハーｗ
は水平に保持することが好ましい。そのため、取り出し
用吸着盤は揺動シリンダー８による回動を必要とせず、
そのまま下降させればよい。
装置１は水平に配置した例を示したが、これは垂直に配
置した場合も同様である。ただし、この場合ウエハーｗ
は水平に保持することが好ましい。そのため、取り出し
用吸着盤は揺動シリンダー８による回動を必要とせず、
そのまま下降させればよい。
【００２７】
【発明の効果】以上の如く本発明による時は、供給され
るウエハーを吸着盤により吸着し、これをコンベアを介
してカセット内に移送し、カセットを仕切片の１ピッチ
上昇することによりこれを受け取るようにしたから、ウ
エハーの受け取り及び収納を自動的、かつ能率よく行う
ことができる。この際、吸着盤を回動アームの先端に取
り付け、回動アームを回動してウエハーをコンベアに供
給するに際し、吸着盤の自転機構を設けるときはウエハ
ーに付着する切断されたダミー材を所定方向に指向する
ことができ、次行程の作業に便利である。
るウエハーを吸着盤により吸着し、これをコンベアを介
してカセット内に移送し、カセットを仕切片の１ピッチ
上昇することによりこれを受け取るようにしたから、ウ
エハーの受け取り及び収納を自動的、かつ能率よく行う
ことができる。この際、吸着盤を回動アームの先端に取
り付け、回動アームを回動してウエハーをコンベアに供
給するに際し、吸着盤の自転機構を設けるときはウエハ
ーに付着する切断されたダミー材を所定方向に指向する
ことができ、次行程の作業に便利である。
【図１】全体正面図である。
【図２】平面図である。
【図３】カセットを切断して示す図１の右側面図であ
る。
る。
【図４】カセットの昇降機構の側面説明図である。
１４ 搬送機構 ２０ 切断片収納装置 ２１ 吸着盤 ２２ 回動アーム ２３ カセット ２４ コンベア ３０ 仕切片 ３１ 昇降機構 ５０ 回転機構 ５１ 回転軸 ５２ 固定プーリ ５４ 従動プーリ ５５ ベルト Ａ 環状切断刃 ｗ ウエハー ｄ ダミー材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/304 ３１１ Ｚ 8728−4Ｍ
Claims (2)
- 【請求項１】 環状切断刃により切断され搬送機構によ
り搬送された薄片状切断片を吸着保持する吸着盤と、こ
の吸着盤を先端に備えた回動アームと、多数の仕切片を
設けた切断片収納カセット及び吸着盤に保持された切断
片を受け取りカセット側に搬送するコンベアとを備え、
吸着盤により吸着した切断片をコンベアに供給し、コン
ベアによりカセットに供給するとともに、カセットには
切断片の供給と同期して仕切片を１段づつ上昇する昇降
機構を備え、各仕切片に順次切断片を供給することを特
徴とするスライングマシンにおけるウエハーの収納装
置。 - 【請求項２】 吸着盤は自転機構を備え、回動アームの
回動による公転とこれに関連して自転を行い、切断片に
付着するダミー材をカセットに対し所定方向に指向して
コンベアに供給することを特徴とする請求項１記載のス
ライシングマシンにおけるウエハーの収納装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4250891A JPH0639831A (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | スライシングマシンにおけるウエハーの収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4250891A JPH0639831A (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | スライシングマシンにおけるウエハーの収納装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0639831A true JPH0639831A (ja) | 1994-02-15 |
Family
ID=12638008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4250891A Pending JPH0639831A (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | スライシングマシンにおけるウエハーの収納装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639831A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0802028A3 (fr) * | 1996-04-16 | 1998-04-08 | Charles Hauser | Dispositif pour la mise en éléments de stockage de tranches obtenues par sciage d'un bloc |
| CN109967648A (zh) * | 2019-04-23 | 2019-07-05 | 合肥市奥比特电气有限公司 | 智能转接传递装置 |
| CN111508865A (zh) * | 2018-12-18 | 2020-08-07 | 细美事有限公司 | 溶解臭氧去除单元、包括该溶解臭氧去除单元的基板处理装置以及基板处理方法 |
-
1991
- 1991-02-13 JP JP4250891A patent/JPH0639831A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0802028A3 (fr) * | 1996-04-16 | 1998-04-08 | Charles Hauser | Dispositif pour la mise en éléments de stockage de tranches obtenues par sciage d'un bloc |
| CN111508865A (zh) * | 2018-12-18 | 2020-08-07 | 细美事有限公司 | 溶解臭氧去除单元、包括该溶解臭氧去除单元的基板处理装置以及基板处理方法 |
| CN111508865B (zh) * | 2018-12-18 | 2023-04-07 | 细美事有限公司 | 溶解臭氧去除单元、包括该溶解臭氧去除单元的基板处理装置以及基板处理方法 |
| CN109967648A (zh) * | 2019-04-23 | 2019-07-05 | 合肥市奥比特电气有限公司 | 智能转接传递装置 |
| CN109967648B (zh) * | 2019-04-23 | 2024-03-22 | 合肥市奥比特电气有限公司 | 智能转接传递装置 |
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