JPH0640371B2 - 薄膜磁気ヘツドのコイル構造 - Google Patents
薄膜磁気ヘツドのコイル構造Info
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- JPH0640371B2 JPH0640371B2 JP59029894A JP2989484A JPH0640371B2 JP H0640371 B2 JPH0640371 B2 JP H0640371B2 JP 59029894 A JP59029894 A JP 59029894A JP 2989484 A JP2989484 A JP 2989484A JP H0640371 B2 JPH0640371 B2 JP H0640371B2
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- Japan
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- coil
- coil wire
- thin film
- lower coil
- insulating layer
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/17—Construction or disposition of windings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、磁気記録媒体に接触して配され、所定の速度
で送られる磁気記録媒体によって生じる磁束変化をコイ
ルに発生する誘導電流として読み取る薄膜磁気ヘッドの
コイル構造に関し、さらに詳しくは基板上にコイルが２
層に重ねられてなるコイル構造に関するものである。
で送られる磁気記録媒体によって生じる磁束変化をコイ
ルに発生する誘導電流として読み取る薄膜磁気ヘッドの
コイル構造に関し、さらに詳しくは基板上にコイルが２
層に重ねられてなるコイル構造に関するものである。
磁気記録媒体（例えば磁気テープ）に音声情報等を記録
し、また磁気記録媒体に記録された情報を読み取り再生
する手段として誘導型薄膜磁気ヘッドが知られている。
この誘導型薄膜磁気ヘッドの一例としては第１図〜第３
図に示すようなものがある。第１図は薄膜磁気ヘッドの
正面図、第２図および第３図は第１図に示される矢印Ａ
−Ａ，Ｂ−Ｂに沿って薄膜磁気ヘッドを切断して示す断
面図である。基板１上に設けられたコイル端子４と下部
磁極５とを第１の絶縁層６で被い、この第１の絶縁層６
の上にフォトエッチング等により厚さのごく薄いコイル
３が形成される。このコイル３は最外端3bが外部に電気
的に連絡し、最内端3aは第１の絶縁層を突き抜けてコイ
ル端子４と接続している。コイル３を含む第１の絶縁層
６全体を被う第２の絶縁層７を設け、この第２の絶縁層
７の上に一端2aが第１の絶縁層６および第２の絶縁層を
突き抜けて下部磁極５の一端5aと接続する上部端子２が
設けられ、さらに上部端子２を含む第２の絶縁層７全体
が保護層８で被われて薄膜磁気ヘッドが形成されてい
る。
し、また磁気記録媒体に記録された情報を読み取り再生
する手段として誘導型薄膜磁気ヘッドが知られている。
この誘導型薄膜磁気ヘッドの一例としては第１図〜第３
図に示すようなものがある。第１図は薄膜磁気ヘッドの
正面図、第２図および第３図は第１図に示される矢印Ａ
−Ａ，Ｂ−Ｂに沿って薄膜磁気ヘッドを切断して示す断
面図である。基板１上に設けられたコイル端子４と下部
磁極５とを第１の絶縁層６で被い、この第１の絶縁層６
の上にフォトエッチング等により厚さのごく薄いコイル
３が形成される。このコイル３は最外端3bが外部に電気
的に連絡し、最内端3aは第１の絶縁層を突き抜けてコイ
ル端子４と接続している。コイル３を含む第１の絶縁層
６全体を被う第２の絶縁層７を設け、この第２の絶縁層
７の上に一端2aが第１の絶縁層６および第２の絶縁層を
突き抜けて下部磁極５の一端5aと接続する上部端子２が
設けられ、さらに上部端子２を含む第２の絶縁層７全体
が保護層８で被われて薄膜磁気ヘッドが形成されてい
る。
この薄膜磁気ヘッドの下端部10に接触して、第１図にお
いて紙面に垂直に磁気テープが送られると、磁気テープ
からの磁力により上部磁極２および下部磁極５に磁界が
発生し、磁気テープに記録された情報に応じてこの磁極
中の磁束が変化する。この磁束の変化によってコイル３
に誘導電流が発生し、この誘導電流を、コイル端子４お
よびコイルの最外端3bから取り出して検出することによ
り、テープに記録された情報を読み取ることができる。
磁気テープに情報を記録する時の原理は上記と全く逆で
あり、電流の変化に変換された情報をコイル３に流し、
上部磁極２および下部磁極５に磁束を派生させ、この磁
束の変化を磁気テープに記録させる。
いて紙面に垂直に磁気テープが送られると、磁気テープ
からの磁力により上部磁極２および下部磁極５に磁界が
発生し、磁気テープに記録された情報に応じてこの磁極
中の磁束が変化する。この磁束の変化によってコイル３
に誘導電流が発生し、この誘導電流を、コイル端子４お
よびコイルの最外端3bから取り出して検出することによ
り、テープに記録された情報を読み取ることができる。
磁気テープに情報を記録する時の原理は上記と全く逆で
あり、電流の変化に変換された情報をコイル３に流し、
上部磁極２および下部磁極５に磁束を派生させ、この磁
束の変化を磁気テープに記録させる。
以上の様にして、薄膜磁気ヘッドによる磁気テープ等か
らの情報の読取り（再生）および磁気テープ等への情報
の記録を行なうことができるのであるが、コイルに発生
する誘導電流を大きくすることができれば、読取りおよ
び記録がより正確に行なえ、便利である。同一の磁束変
化に対してコイルに発生する誘導電流を大きくするに
は、コイルの巻数を増すこと、および上部磁極２と下部
磁極５に挟まれたコイル部をできる限り磁気テープに近
づけること等が効果的である。この場合、このままコイ
ルの巻数を増せば、コイルの巻径が外方に拡がり、ヘッ
ドが大きくなるので好ましくないということもあり、こ
の点からコイルを２層に重ねて設ける構造のものが用い
られることが多い。
らの情報の読取り（再生）および磁気テープ等への情報
の記録を行なうことができるのであるが、コイルに発生
する誘導電流を大きくすることができれば、読取りおよ
び記録がより正確に行なえ、便利である。同一の磁束変
化に対してコイルに発生する誘導電流を大きくするに
は、コイルの巻数を増すこと、および上部磁極２と下部
磁極５に挟まれたコイル部をできる限り磁気テープに近
づけること等が効果的である。この場合、このままコイ
ルの巻数を増せば、コイルの巻径が外方に拡がり、ヘッ
ドが大きくなるので好ましくないということもあり、こ
の点からコイルを２層に重ねて設ける構造のものが用い
られることが多い。
２層コイル構造の一例として第４図〜第６図に示すよう
なものがある。第４図は正面図で、第５図および第６図
は第４図に示される矢印Ｃ−Ｃ，矢印Ｄ−Ｄに沿って切
断して示す断面図である。この場合には、基板１の上に
下部磁極５を設け、この下部磁極５を被うように第１絶
縁層11を設け、この第１絶縁層11の上にフォトエッチン
グ等により下部コイル線31を設ける。次に、この第１層
コイル層31を含む第１絶縁層11全体を第２絶縁層12で被
い、この第２絶縁層12の上にフォトエッチング等により
上部コイル線32を設けた後、これを第３絶縁層13で被
う。さらに、下部および上部コイル線31,32をまたぐよ
うに上部磁極２が設けられ、この上部磁極２の一端2aは
下部磁極の一端5aと接続されている。さらに、上部磁極
２を含む第３絶縁層全体が保護層８で被われている。
なものがある。第４図は正面図で、第５図および第６図
は第４図に示される矢印Ｃ−Ｃ，矢印Ｄ−Ｄに沿って切
断して示す断面図である。この場合には、基板１の上に
下部磁極５を設け、この下部磁極５を被うように第１絶
縁層11を設け、この第１絶縁層11の上にフォトエッチン
グ等により下部コイル線31を設ける。次に、この第１層
コイル層31を含む第１絶縁層11全体を第２絶縁層12で被
い、この第２絶縁層12の上にフォトエッチング等により
上部コイル線32を設けた後、これを第３絶縁層13で被
う。さらに、下部および上部コイル線31,32をまたぐよ
うに上部磁極２が設けられ、この上部磁極２の一端2aは
下部磁極の一端5aと接続されている。さらに、上部磁極
２を含む第３絶縁層全体が保護層８で被われている。
以上に示したようなコイル構造とすれば、コイルの巻径
を大きくすることなく巻き数を増せるので、同一の磁束
変化に対して発生する誘導電流を大きくすることができ
る。
を大きくすることなく巻き数を増せるので、同一の磁束
変化に対して発生する誘導電流を大きくすることができ
る。
一方、１本のテープに対して多くの情報を記録させるた
め、ヘッドを多数使用する多チャンネル化が進むにつれ
ヘッドのサイズ特にトラック幅をできる限り小さくする
ことが要求され、コイルの各線の幅を５〜10μ程度とご
く小さいものとし、絶縁層の厚さも、ごく薄いものとす
ることが要求される。このため、通常では、絶縁層を高
周波スパッタリング等により、ほぼ厚さ一様な層として
設け、この層の上にコーティングした導電層をフォトエ
ッチングによりコイル状に形成せしめることにより薄膜
ヘッドが作られることが多い。この時、下部コイル線31
を被う第２絶縁層12は、スパッタリング等によりほぼ厚
さ一様な層として形成されるので、下部コイル線31の上
面で盛り上がり、全面に凹凸を生じる。このため、第２
絶縁層12上に上部コイル線32を形成する際には、凹凸を
有する面上に導電層をコーティングして、これをフォト
エッチングによりコイル状に形成させなければならな
い。特に、コイルを２層にする場合、互いの巻き方向を
逆にしたのでは、互いの誘導電流の流れる方向が逆にな
って打ち消し合うため、必ず同一巻き方向にしなければ
ならない。従って第１層コイル31と第２層コイル32とは
第４図に示すように、１巻きに１度の割で交叉されなけ
ればならず、このため、特に交叉部におけるフォトエッ
チングを行なう際に次のような問題が生じる。例えば、
第１層コイル31と第２層コイル32とが重なる部分を断面
した第６図に示すように、凸部ｂにコイル層を残し凹部
ａではコーティング層をエッチングにより除かねばなら
ないような場合に、凹部ａがあまり狭いと、フォトレジ
スト厚にむらが生じ露光・現像条件が難しくなるためフ
ォトリソグラフィーによるパターン形成がうまくいかな
いという問題がある。さらにドライエッチングを行なう
場合では、凹部があまり狭いと凸部による陰が生じ凹部
全体にエッチングをなすのが難しく、残部によりコイル
が短絡するといった不具合が生じるという問題がある。
しかしながら、凹部を無制限に広くするには、コイルと
コイルの間隔を大きくせねばならず、薄膜磁気ヘッド全
体のサイズが増大することになり、あまり好ましくな
い。
め、ヘッドを多数使用する多チャンネル化が進むにつれ
ヘッドのサイズ特にトラック幅をできる限り小さくする
ことが要求され、コイルの各線の幅を５〜10μ程度とご
く小さいものとし、絶縁層の厚さも、ごく薄いものとす
ることが要求される。このため、通常では、絶縁層を高
周波スパッタリング等により、ほぼ厚さ一様な層として
設け、この層の上にコーティングした導電層をフォトエ
ッチングによりコイル状に形成せしめることにより薄膜
ヘッドが作られることが多い。この時、下部コイル線31
を被う第２絶縁層12は、スパッタリング等によりほぼ厚
さ一様な層として形成されるので、下部コイル線31の上
面で盛り上がり、全面に凹凸を生じる。このため、第２
絶縁層12上に上部コイル線32を形成する際には、凹凸を
有する面上に導電層をコーティングして、これをフォト
エッチングによりコイル状に形成させなければならな
い。特に、コイルを２層にする場合、互いの巻き方向を
逆にしたのでは、互いの誘導電流の流れる方向が逆にな
って打ち消し合うため、必ず同一巻き方向にしなければ
ならない。従って第１層コイル31と第２層コイル32とは
第４図に示すように、１巻きに１度の割で交叉されなけ
ればならず、このため、特に交叉部におけるフォトエッ
チングを行なう際に次のような問題が生じる。例えば、
第１層コイル31と第２層コイル32とが重なる部分を断面
した第６図に示すように、凸部ｂにコイル層を残し凹部
ａではコーティング層をエッチングにより除かねばなら
ないような場合に、凹部ａがあまり狭いと、フォトレジ
スト厚にむらが生じ露光・現像条件が難しくなるためフ
ォトリソグラフィーによるパターン形成がうまくいかな
いという問題がある。さらにドライエッチングを行なう
場合では、凹部があまり狭いと凸部による陰が生じ凹部
全体にエッチングをなすのが難しく、残部によりコイル
が短絡するといった不具合が生じるという問題がある。
しかしながら、凹部を無制限に広くするには、コイルと
コイルの間隔を大きくせねばならず、薄膜磁気ヘッド全
体のサイズが増大することになり、あまり好ましくな
い。
本発明は上記の様な事情に鑑み、上記凹部はできる限り
広くし、且つヘッド全体のサイズはできる限り小さく抑
えた２層コイル構造を有する薄膜磁気ヘッドを提供する
ことを目的とする。特に、ヘッドを１個だけ使う単チャ
ンネル用の場合と、ヘッドを複数個使う多チャンネル用
の場合とではサイズに対する要求が多少異なるというこ
とを考慮し、単チャンネル用に適したヘッドと、多チャ
ンネル用に適したヘッドとを提供することを目的とする
ものである。
広くし、且つヘッド全体のサイズはできる限り小さく抑
えた２層コイル構造を有する薄膜磁気ヘッドを提供する
ことを目的とする。特に、ヘッドを１個だけ使う単チャ
ンネル用の場合と、ヘッドを複数個使う多チャンネル用
の場合とではサイズに対する要求が多少異なるというこ
とを考慮し、単チャンネル用に適したヘッドと、多チャ
ンネル用に適したヘッドとを提供することを目的とする
ものである。
本発明の薄膜磁気ヘッドのコイル構造は、基板上に設け
られた方形状の下部コイル線上に、絶縁層を介して下部
コイル線と同一の巻き方向の方形状の上部コイル線を設
けてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、このヘッドに接触し
て送られ上部および下部コイル線に誘導電流を発生させ
る磁気記録媒体に近接する辺をなす上部および下部コイ
ル線の各々を交互に近接して配し、この近接する辺に隣
接する２辺をなす上部および下部コイル線の各々を交互
に離間して配し、上記近接する辺と対向する辺をなす上
部および下部コイル線の各々を離間して配し、上記対向
する辺の両端の頂角部近傍において上部コイル線と下部
コイル線を重なるようにしたことを特徴とするものであ
る。（これを構造１とする。）さらに、本発明の薄膜磁
気ヘッドのコイル構造は、上記と同様に基板上に設けら
れた下部コイル線上に絶縁層を介して上部コイル線を設
けてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、磁気記録媒体に近接
する辺を含む隣り合う２辺をなす上部および下部コイル
線の各々を交互に近接して配し、他の２辺をなす上部お
よび下部コイル線の各々を交互に離間させて配し、この
他の２辺が交わる頂角部近傍において、上部コイル線と
下部コイル線が重なるようにしたことを特徴とするもの
である。（これを構造２とする） 以下、図面によって本発明の実施例を説明し、併せて本
発明の効果を述べる。
られた方形状の下部コイル線上に、絶縁層を介して下部
コイル線と同一の巻き方向の方形状の上部コイル線を設
けてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、このヘッドに接触し
て送られ上部および下部コイル線に誘導電流を発生させ
る磁気記録媒体に近接する辺をなす上部および下部コイ
ル線の各々を交互に近接して配し、この近接する辺に隣
接する２辺をなす上部および下部コイル線の各々を交互
に離間して配し、上記近接する辺と対向する辺をなす上
部および下部コイル線の各々を離間して配し、上記対向
する辺の両端の頂角部近傍において上部コイル線と下部
コイル線を重なるようにしたことを特徴とするものであ
る。（これを構造１とする。）さらに、本発明の薄膜磁
気ヘッドのコイル構造は、上記と同様に基板上に設けら
れた下部コイル線上に絶縁層を介して上部コイル線を設
けてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、磁気記録媒体に近接
する辺を含む隣り合う２辺をなす上部および下部コイル
線の各々を交互に近接して配し、他の２辺をなす上部お
よび下部コイル線の各々を交互に離間させて配し、この
他の２辺が交わる頂角部近傍において、上部コイル線と
下部コイル線が重なるようにしたことを特徴とするもの
である。（これを構造２とする） 以下、図面によって本発明の実施例を説明し、併せて本
発明の効果を述べる。
第７図は、前者の発明（構造１の発明）の一実施例を示
す正面図であり、下部磁極を設けた基板１上に第１絶縁
層を高周波スパッタリング等で形成し、この上に下部コ
イル線41をフォトエッチング等により設ける。次に、こ
の下部コイル線41を含んで第１絶縁層全体を被う第２絶
縁層を高周波スパッタリング等により形成し、この上に
上部コイル線42をフォトエッチングなどにより形成し、
これを第３絶縁層で被い、上部磁極２を設けた後、全面
を保護層で被う。この時、磁気テープ等の磁気記録媒体
に接触するヘッド下端部40に近接する辺をなす上部およ
び下部コイル線41a,42aは上部コイル線41aと下部コイル
線42aが交互に近接させて配置し、できる限り磁気記録
媒体に近づけるようになして、上部磁極２と下部磁極に
発生する磁界の磁束変化により発生する誘導電流を大き
くなるようにする。さらに、上記近接する辺をなす下部
および上部コイル線41a，42aに隣接する２辺をなす下部
コイル線41b，41dおよび上部コイル線42b，42dは、下部
コイル線と上部コイル線が交互に離れて位置するように
配し、且つ上記近接する辺と対向する辺をなす下部およ
び上部コイル線41c，42cを離れて位置するように配し、
下部コイル線41と上部コイル線42との重なり部43〜46を
上記対向する辺41c，42cの両端近傍に配する。このよう
にすると重なり部43〜46に隣接する凹部ｄ，ｅ，ｆは広
くなり、上部コイル線42を形成するためのエッチングが
容易になる。
す正面図であり、下部磁極を設けた基板１上に第１絶縁
層を高周波スパッタリング等で形成し、この上に下部コ
イル線41をフォトエッチング等により設ける。次に、こ
の下部コイル線41を含んで第１絶縁層全体を被う第２絶
縁層を高周波スパッタリング等により形成し、この上に
上部コイル線42をフォトエッチングなどにより形成し、
これを第３絶縁層で被い、上部磁極２を設けた後、全面
を保護層で被う。この時、磁気テープ等の磁気記録媒体
に接触するヘッド下端部40に近接する辺をなす上部およ
び下部コイル線41a,42aは上部コイル線41aと下部コイル
線42aが交互に近接させて配置し、できる限り磁気記録
媒体に近づけるようになして、上部磁極２と下部磁極に
発生する磁界の磁束変化により発生する誘導電流を大き
くなるようにする。さらに、上記近接する辺をなす下部
および上部コイル線41a，42aに隣接する２辺をなす下部
コイル線41b，41dおよび上部コイル線42b，42dは、下部
コイル線と上部コイル線が交互に離れて位置するように
配し、且つ上記近接する辺と対向する辺をなす下部およ
び上部コイル線41c，42cを離れて位置するように配し、
下部コイル線41と上部コイル線42との重なり部43〜46を
上記対向する辺41c，42cの両端近傍に配する。このよう
にすると重なり部43〜46に隣接する凹部ｄ，ｅ，ｆは広
くなり、上部コイル線42を形成するためのエッチングが
容易になる。
なお、本実施例（構造１）の場合、ヘッドの幅方向の長
さは長くなるため、多チャンネル用として用いるのには
あまり適さず、単チャンネル用として好ましいものであ
る。
さは長くなるため、多チャンネル用として用いるのには
あまり適さず、単チャンネル用として好ましいものであ
る。
第８図は、構造２の発明の一実施例を示す正面図であ
り、特に本実施例は多チャンネル用として用いるのに適
する例を示す。上部磁極２と同形状で重なるように、基
板１上に下部磁極を設け、この基板１上に高周波スパッ
タリング等により第１絶縁層を形成し、この第１絶縁層
の上面にフォトエッチング等により下部コイル線51を形
成する。次に、この下部コイル線51を含んで第１絶縁層
全体を被う第２絶縁層を高周波スパッタリング等により
形成し、この上に上部コイル線52をフォトエッング等に
より形成し、この上に第３絶縁層を設けた後、上部磁極
２を設け、全面を保護層で被う。このようにして薄膜磁
気ヘッドを構成する時に、磁気記録媒体に接触する下端
部50に近接する辺をなす上部および下部コイル線51a，5
2aと、この近接する辺と隣り合う１辺をなす上部および
下部コイル線51b，52bとを、上部コイル線と下部コイル
線とが交互に近接するように配する。さらに上記近接す
る辺と、これに隣接する辺以外の他の２辺においては、
上部コイル線と下部コイル線が交互に離れて配され、且
つ上部コイル線と下部コイル線の重なり部53〜57は上記
他の２辺の交わる頂角部近傍に配される。このようにす
ると上記重なり部近傍の凹部ｇ，ｈ，ｉを広くすること
ができフォトエッチングが容易になる。本実施例では、
重なり部53〜57を片側に位置させ、方形状の２辺をなす
コイル線は互いに近接させているので、ヘッドの幅を小
さくすることができ、ヘッドを並列に多数並べて使用す
るマルチチャンネル用として適している。
り、特に本実施例は多チャンネル用として用いるのに適
する例を示す。上部磁極２と同形状で重なるように、基
板１上に下部磁極を設け、この基板１上に高周波スパッ
タリング等により第１絶縁層を形成し、この第１絶縁層
の上面にフォトエッチング等により下部コイル線51を形
成する。次に、この下部コイル線51を含んで第１絶縁層
全体を被う第２絶縁層を高周波スパッタリング等により
形成し、この上に上部コイル線52をフォトエッング等に
より形成し、この上に第３絶縁層を設けた後、上部磁極
２を設け、全面を保護層で被う。このようにして薄膜磁
気ヘッドを構成する時に、磁気記録媒体に接触する下端
部50に近接する辺をなす上部および下部コイル線51a，5
2aと、この近接する辺と隣り合う１辺をなす上部および
下部コイル線51b，52bとを、上部コイル線と下部コイル
線とが交互に近接するように配する。さらに上記近接す
る辺と、これに隣接する辺以外の他の２辺においては、
上部コイル線と下部コイル線が交互に離れて配され、且
つ上部コイル線と下部コイル線の重なり部53〜57は上記
他の２辺の交わる頂角部近傍に配される。このようにす
ると上記重なり部近傍の凹部ｇ，ｈ，ｉを広くすること
ができフォトエッチングが容易になる。本実施例では、
重なり部53〜57を片側に位置させ、方形状の２辺をなす
コイル線は互いに近接させているので、ヘッドの幅を小
さくすることができ、ヘッドを並列に多数並べて使用す
るマルチチャンネル用として適している。
特に、図示のように上部磁極２を下部磁極とともに、コ
イル中心部から、コイル線51b，52bが位置する辺の方へ
傾いて設けた薄膜磁気ヘッドを２個用いて、それぞれの
コイル線51b，52bが位置する辺を対向するようにして使
用すれば、ヘッド下端部50における上部磁極２および下
部磁極は互いに近接するようになり、磁気記録媒体の必
要幅を小さくすることができる。このように、構造２の
場合はマルチチャンネル用として適し、特に２チャンネ
ル用に最適である。
イル中心部から、コイル線51b，52bが位置する辺の方へ
傾いて設けた薄膜磁気ヘッドを２個用いて、それぞれの
コイル線51b，52bが位置する辺を対向するようにして使
用すれば、ヘッド下端部50における上部磁極２および下
部磁極は互いに近接するようになり、磁気記録媒体の必
要幅を小さくすることができる。このように、構造２の
場合はマルチチャンネル用として適し、特に２チャンネ
ル用に最適である。
以上説明したように、本発明の構造を有する薄膜磁気ヘ
ッドによれば、上部磁極および下部磁極に挾まれるコイ
ル線が互いに近接して配されるので、磁束変化に対する
誘導電流を大きくすることができるとともに、２層コイ
ルを作る際に生じる凹凸の凹部を広くすることができる
ので、フォトエッチングの露光条件を緩くできるなど、
２層コイルを形成するためのフォトエッチングが容易で
ある。
ッドによれば、上部磁極および下部磁極に挾まれるコイ
ル線が互いに近接して配されるので、磁束変化に対する
誘導電流を大きくすることができるとともに、２層コイ
ルを作る際に生じる凹凸の凹部を広くすることができる
ので、フォトエッチングの露光条件を緩くできるなど、
２層コイルを形成するためのフォトエッチングが容易で
ある。
第１図は従来の薄膜磁気ヘッドの正面図、 第２図および第３図はそれぞれ、第１図の矢印Ａ−Ａお
よびＢ−Ｂに沿って薄膜磁気ヘッドを切断して示す断面
図、 第４図は従来の２層コイルを有する薄膜磁気ヘッドの正
面図、 第５図および第６図はそれぞれ第４図の矢印Ｃ−Ｃおよ
びＤ−Ｄに沿って薄膜磁気ヘッドを切断して示す断面
図、 第７図および第８図は本発明の薄膜磁気ヘッドの実施例
を示す正面図である。 １……基板 ２……上部磁極 ５……下部磁極 ８……保護層 31,41,51……下部コイル線 32,42,52……上部コイル線
よびＢ−Ｂに沿って薄膜磁気ヘッドを切断して示す断面
図、 第４図は従来の２層コイルを有する薄膜磁気ヘッドの正
面図、 第５図および第６図はそれぞれ第４図の矢印Ｃ−Ｃおよ
びＤ−Ｄに沿って薄膜磁気ヘッドを切断して示す断面
図、 第７図および第８図は本発明の薄膜磁気ヘッドの実施例
を示す正面図である。 １……基板 ２……上部磁極 ５……下部磁極 ８……保護層 31,41,51……下部コイル線 32,42,52……上部コイル線
Claims (2)
- 【請求項１】基板上に設けられた外側から内側に方形状
に巻かれた下部コイル線上に、絶縁層を介して前記下部
コイル線と同一の巻き方向を有して内側から外側に方形
状に拡がる上部コイル線を設けてなり、接触して送られ
る磁気記録媒体による磁界変化を誘導電流として読み取
る薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部コイル線および前
記上部コイル線の前記磁気記録媒体に近接する辺をなす
各コイル線を交互に近接させて配し、前記近接する辺に
隣接する２辺をなす前記下部コイル線および前記上部コ
イル線を交互に離間させて配し、前記近接する辺に対向
する辺をなす前記下部コイル線および前記上部コイル線
を離間させて配し、前記対向する辺の両端の頂角部近傍
において前記下部コイル線と前記上部コイル線とが重な
るようにしたことを特徴とする薄膜磁気ヘッドのコイル
構造。 - 【請求項２】基板上に設けられた外側から内側に方形状
に巻かれた下部コイル線上に、絶縁層を介して前記下部
コイル線と同一の巻き方向を有して内側から外側に方形
状に拡がる上部コイル線を設けてなり、接触して送られ
る磁気記録媒体による磁界変化を誘導電流として読み取
る薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部コイル線および前
記上部コイル線の前記磁気記録媒体に近接する辺を含む
隣り合う２辺をなす各コイル線を交互に近接させて配す
るとともに、他の２辺をなす各コイル線を交互に離間さ
せて配し、前記他の２辺が交わる頂角部近傍において前
記下部コイル線と前記上部コイル線とが重なるようにし
たことを特徴とする薄膜磁気ヘッドのコイル構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59029894A JPH0640371B2 (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 薄膜磁気ヘツドのコイル構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59029894A JPH0640371B2 (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 薄膜磁気ヘツドのコイル構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60175205A JPS60175205A (ja) | 1985-09-09 |
| JPH0640371B2 true JPH0640371B2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=12288676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59029894A Expired - Lifetime JPH0640371B2 (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 薄膜磁気ヘツドのコイル構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640371B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2719627B2 (ja) * | 1987-11-24 | 1998-02-25 | 株式会社日立メディコ | Ｘ線ｃｔ装置 |
| US5428893A (en) * | 1989-06-02 | 1995-07-04 | Quantum Corporation | Method of making a transducer with improved inductive coupling |
| US5311386A (en) * | 1989-06-02 | 1994-05-10 | Digital Equipment Corporation | Transducer with improved inductive coupling |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5317714A (en) * | 1976-08-02 | 1978-02-18 | Hitachi Ltd | Production of thin film magnetic head |
| JPS5481818A (en) * | 1977-12-13 | 1979-06-29 | Fujitsu Ltd | Production of multilayer multiwinding conductor coil of thin film magnetic head |
| JPS5691406A (en) * | 1979-12-26 | 1981-07-24 | Hitachi Ltd | Thin film coil |
-
1984
- 1984-02-20 JP JP59029894A patent/JPH0640371B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60175205A (ja) | 1985-09-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |