JPH0640389B2 - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH0640389B2 JPH0640389B2 JP18432186A JP18432186A JPH0640389B2 JP H0640389 B2 JPH0640389 B2 JP H0640389B2 JP 18432186 A JP18432186 A JP 18432186A JP 18432186 A JP18432186 A JP 18432186A JP H0640389 B2 JPH0640389 B2 JP H0640389B2
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空成膜装置（例えばスパツタ装置，蒸着装
置等）を用い基体上に磁性膜を形成させることによる磁
気記録媒体の製造装置に関するものである。
置等）を用い基体上に磁性膜を形成させることによる磁
気記録媒体の製造装置に関するものである。
従来、真空成膜装置を用いた磁気記録媒体の製造装置に
おいては、成膜室内で発生した粉塵及び凝集したフレー
クが基体の表面や、基体の搬送機構に付着し、製造する
磁気記録媒体の品質を著しく劣化させてしまう問題点が
あつた。これを解決する装置として、特開昭５９−１３
９１３７号公報に記載の装置がある。即ち、基体の表面
又は基体の搬送機構に付着した磁性を有するフレークを
取り除くため、基体及び基体の搬送機構の要所表面に対
向して永久磁石を配置した装置である。
おいては、成膜室内で発生した粉塵及び凝集したフレー
クが基体の表面や、基体の搬送機構に付着し、製造する
磁気記録媒体の品質を著しく劣化させてしまう問題点が
あつた。これを解決する装置として、特開昭５９−１３
９１３７号公報に記載の装置がある。即ち、基体の表面
又は基体の搬送機構に付着した磁性を有するフレークを
取り除くため、基体及び基体の搬送機構の要所表面に対
向して永久磁石を配置した装置である。
しかるに上記装置では、磁石上に粉塵やフレークを捕獲
する効率が充分とはいえなかつた。
する効率が充分とはいえなかつた。
本発明の目的は金属磁性薄膜形成の際、装置内で発生す
る粉塵やフレークを効率的に捕獲し、長時間にわたる安
定した製造を可能にする装置を提供することにある。
る粉塵やフレークを効率的に捕獲し、長時間にわたる安
定した製造を可能にする装置を提供することにある。
本発明は、真空中で搬送される基体上に磁性薄膜を形成
し、磁気記録媒体を製造する装置において、該装置中に
基体を挟んで磁石がそれぞれのＮ極とＳ極とを対向して
配設され、かつ基体表面側に位置する磁石の磁界面積が
基体裏面側に位置する磁石の磁界面積よりも小であるこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造装置に関する。
し、磁気記録媒体を製造する装置において、該装置中に
基体を挟んで磁石がそれぞれのＮ極とＳ極とを対向して
配設され、かつ基体表面側に位置する磁石の磁界面積が
基体裏面側に位置する磁石の磁界面積よりも小であるこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造装置に関する。
上記本発明における磁石は永久磁石でも、電磁石でもよ
い。
い。
以下、本発明を図面によつて説明する。
第２図は基体を挟んで磁石がそれぞれのＮ極とＳ極を対
向して配設した関係を説明するための側面図である。
向して配設した関係を説明するための側面図である。
磁性粉塵，フレークを除去するため基体表面側のみに磁
石２２を配する従来装置にあつては、効率的な粉塵，フ
レークの除去はなされないので、基体２１の裏面側に、
表面側の磁石２２のＮ極と、同程度の磁束を有する今一
つの磁石２３のＳ極とを対向して配設することにより、
基体表面近傍の磁場分布改良による吸着力向上が得られ
る。
石２２を配する従来装置にあつては、効率的な粉塵，フ
レークの除去はなされないので、基体２１の裏面側に、
表面側の磁石２２のＮ極と、同程度の磁束を有する今一
つの磁石２３のＳ極とを対向して配設することにより、
基体表面近傍の磁場分布改良による吸着力向上が得られ
る。
しかしながら、２の場合表面側磁石２２と基体２１の表
面との距離1と、裏面側磁石２３と基体２１の裏面と
の距離2との関係が1≧2の場合には磁性粉塵，フ
レーク２４が基体裏面方向に引きつけられ除去作用が期
待できない。したがつて、このように同型の磁石２２，
２３を使用する場合には1＜2となるよう基体２１と
両磁石22，23との位置を定める必要がある。しかし基板
が振動した場合1＜2の関係がくずれる場合があり除
塵効果が不確実になる。
面との距離1と、裏面側磁石２３と基体２１の裏面と
の距離2との関係が1≧2の場合には磁性粉塵，フ
レーク２４が基体裏面方向に引きつけられ除去作用が期
待できない。したがつて、このように同型の磁石２２，
２３を使用する場合には1＜2となるよう基体２１と
両磁石22，23との位置を定める必要がある。しかし基板
が振動した場合1＜2の関係がくずれる場合があり除
塵効果が不確実になる。
そこで、本発明においては、基体裏面側に基体表面側磁
石２２に比較して磁界面積が大きくかつ総磁束がほゞ同
程度であるような磁石２３を、それぞれのＮ極とＳ極を
対向して配設させた。その結果、第３図に示すように、
基体表面側に磁界に勾配が生じるので、前記1および
2に無関係に磁性粉塵，フレークが表面側磁石２２に
確実に吸着されるようになつた。なお上記各々の磁石の
総磁束の差の程度は一方が他方の２０％以内であること
が好ましい。
石２２に比較して磁界面積が大きくかつ総磁束がほゞ同
程度であるような磁石２３を、それぞれのＮ極とＳ極を
対向して配設させた。その結果、第３図に示すように、
基体表面側に磁界に勾配が生じるので、前記1および
2に無関係に磁性粉塵，フレークが表面側磁石２２に
確実に吸着されるようになつた。なお上記各々の磁石の
総磁束の差の程度は一方が他方の２０％以内であること
が好ましい。
本発明の一実施例を第１図によつて説明する。真空成膜
装置１内において、キヤン５の左右からターゲツト７
ａ，７ｂがスパツタする構造の装置であり、磁性被膜を
形成される基体９は送り出しロール２からガイドロール
４ａ，４ｂを経てキヤン５に送られターゲツト７ａ，７
ｂによるスパツタで磁性膜を被覆させられ、ガイドロー
ル４ｃ，４ｄを経て巻取ロール３に巻取られる。スパツ
タする際に発生する粉塵は真空成膜室内に広がるが、キ
ヤン上部で基板上に粉塵及びフレークが落下付着するの
を防止するため防着板６がある。
装置１内において、キヤン５の左右からターゲツト７
ａ，７ｂがスパツタする構造の装置であり、磁性被膜を
形成される基体９は送り出しロール２からガイドロール
４ａ，４ｂを経てキヤン５に送られターゲツト７ａ，７
ｂによるスパツタで磁性膜を被覆させられ、ガイドロー
ル４ｃ，４ｄを経て巻取ロール３に巻取られる。スパツ
タする際に発生する粉塵は真空成膜室内に広がるが、キ
ヤン上部で基板上に粉塵及びフレークが落下付着するの
を防止するため防着板６がある。
成膜時に発生する磁性粉塵およびフレークが基体上に付
着するのを防止するため、送出しロール２の直後と巻取
ロール３の直前に、本発明の磁石１０，１１，を配設し
た。磁石は基体表面側にＳｍＣｏ合金（Ｂｒ，９７００
Ｇ，磁界面積１５cm2）を、基体裏面側にフエライト（S
r系）（Ｂｒ，２０００Ｇ，磁界面積；７５cm2）をそれ
ぞれ使用した。
着するのを防止するため、送出しロール２の直後と巻取
ロール３の直前に、本発明の磁石１０，１１，を配設し
た。磁石は基体表面側にＳｍＣｏ合金（Ｂｒ，９７００
Ｇ，磁界面積１５cm2）を、基体裏面側にフエライト（S
r系）（Ｂｒ，２０００Ｇ，磁界面積；７５cm2）をそれ
ぞれ使用した。
なお本構造装置には受け皿８を設置し、その底部に磁石
１１を配設することが粉塵及びフレークの捕獲効率向上
のために好ましい。
１１を配設することが粉塵及びフレークの捕獲効率向上
のために好ましい。
その結果本装置で生産した磁気記録媒体はフレークによ
る品質の劣化が少く、かつ磁気記録媒体の製造装置の長
時間操業が可能であつた。
る品質の劣化が少く、かつ磁気記録媒体の製造装置の長
時間操業が可能であつた。
本発明の基体上に付着した粉塵およびフレークを取除く
装置が、基体を挟んで磁石がそれぞれのＮ極とＳ極とを
対向して配設され、かつ基体表面側に位置する磁石の磁
界面積が基体裏面側に位置する磁石の磁界面積よりも小
にすることにより、基体表面に付着した粉塵及びフレー
クが強力かつ確実に取除かれ、磁性膜の表面品質が向上
し、さらに磁気記録媒体の製造装置の長時間操業が可能
となり生産性が向上した。
装置が、基体を挟んで磁石がそれぞれのＮ極とＳ極とを
対向して配設され、かつ基体表面側に位置する磁石の磁
界面積が基体裏面側に位置する磁石の磁界面積よりも小
にすることにより、基体表面に付着した粉塵及びフレー
クが強力かつ確実に取除かれ、磁性膜の表面品質が向上
し、さらに磁気記録媒体の製造装置の長時間操業が可能
となり生産性が向上した。
第１図は本発明の磁気記録媒体の製造装置の一実施例の
概要図、第２図は基体を挟んで磁石がそれぞれのＮ極と
Ｓ極とを対向して配設した関係を説明するための側面
図。第３図は本発明に係る対向配設磁石の一実施例の側
面図である。 １……真空成膜室 ２……送り出しロール ３……巻取りロール ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ……ガイドロール ５……キヤン、６……防着板 ７，７ａ，７ｂ……ターゲツト ８……受皿、９……基体 １０……磁石 １１……磁石 ２１……基体 ２２……磁石 ２３……磁石 ２４……磁性粉塵フレーク ２５……磁力線
概要図、第２図は基体を挟んで磁石がそれぞれのＮ極と
Ｓ極とを対向して配設した関係を説明するための側面
図。第３図は本発明に係る対向配設磁石の一実施例の側
面図である。 １……真空成膜室 ２……送り出しロール ３……巻取りロール ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ……ガイドロール ５……キヤン、６……防着板 ７，７ａ，７ｂ……ターゲツト ８……受皿、９……基体 １０……磁石 １１……磁石 ２１……基体 ２２……磁石 ２３……磁石 ２４……磁性粉塵フレーク ２５……磁力線
Claims (1)
- 【請求項１】真空中に搬送される基体上に磁性薄膜を形
成し磁気記録媒体を製造する装置において、該装置中に
基体を挟んで磁石がそれぞれのＮ極とＳ極とを対向して
配設され、かつ基体表面側に位置する磁石の磁界面積が
基体裏面側に位置する磁石の磁界面積よりも小であるこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18432186A JPH0640389B2 (ja) | 1986-08-07 | 1986-08-07 | 磁気記録媒体の製造装置 |
| US07/071,941 US4867101A (en) | 1986-07-10 | 1987-07-10 | Apparatus for producing magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18432186A JPH0640389B2 (ja) | 1986-08-07 | 1986-08-07 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6342033A JPS6342033A (ja) | 1988-02-23 |
| JPH0640389B2 true JPH0640389B2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=16151284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18432186A Expired - Fee Related JPH0640389B2 (ja) | 1986-07-10 | 1986-08-07 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640389B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0914140A (ja) * | 1995-04-20 | 1997-01-14 | Lg Electronics Inc | 密閉型圧縮機のバルブ装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7212662B2 (ja) * | 2020-11-30 | 2023-01-25 | キヤノントッキ株式会社 | 搬送装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 |
-
1986
- 1986-08-07 JP JP18432186A patent/JPH0640389B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0914140A (ja) * | 1995-04-20 | 1997-01-14 | Lg Electronics Inc | 密閉型圧縮機のバルブ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6342033A (ja) | 1988-02-23 |
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Legal Events
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