JPH0640472B2 - 蛍光表示管用基板の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は蛍光表示管に用いられる基板の製造方法に関
し、特に絶縁層の形成を露光法により形成する蛍光表示
管の製造方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、蛍光表示管用基板を作製する場合は、その概略工
程を第２図に示すように，絶縁基板としてのガラス基板
１上にＡ薄膜などの配線パターン２を形成し（同図
(a)）、次にスクリーン印刷法１０を用いて絶縁性ペー
スト９を所定の位置に塗布しペースト層９を形成する
（同図(b)，(c)）。このとき、前記ペースト層９は、配
線パターン２を含むガラス基板１上のほぼ全面を被覆す
ると共に、その配線パターン２の一部２ａと後述する蛍
光面を形成すべき陽極パッド（セグメント電極）とを接
続するためのスルーホール６を残して選択的に形成され
る。

次に、このようにして形成されたペースト層９は５６０
℃程度の高温度で焼成し、ガラス基板１上に溶融、固着
して、絶縁層９ａとなす（同図(d)）。次いで、この絶
縁層９ａ上にそのスルーホール６を介して陽極パッド７
を導体層として形成し、この上に蛍光体層８を被着して
蛍光面を形成することにより（同図(e)）、基板作製工
程が完了する。なお、第２図中，１１はスクリーンメツ
シユ、１２はスキージである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、このような従来の方法では、配線パターン２が
粗い場合は問題はなかつたが、配線パターン２が高密
度，高精度になるにつれて絶縁層９ａを所定の位置に設
計通り正しく印刷形成することが困難となつてきてお
り、正しい位置に印刷できない場合にはスルーホール６
が隣の配線パターンの上にもかかり、接触してしまう結
果となる。この原因は、スクリーン印刷に用いるスクリ
ーンメツシユ１１が使用中に徐々に伸びるため、スルー
ホール６の位置がずれてしまうことに起因する場合が多
い。そこで従来は、スクリーンメッシュ１１を頻繁に交
換し、スクリーンメッシュの伸び対策を行っていたが、
この場合にはスクリーンメッシュを交換する都度位置出
し作業を必要とし、非常に作業性を低下させていた。そ
の他スクリーンメッシュのパターン精度のバラツキによ
っても同様の問題が生ずることがあった。

このように、従来のものではスルーホールのずれによる
歩留低下が大きな問題であつた。

本発明は、かかる点に鑑みなされたもので、フオトリソ
グラフイー工程にてパターニングできる感光性絶縁ペー
ストを用いることにより、上記した従来の問題点を解消
した蛍光表示管用基板の製造方法を提供するものであ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の蛍光表示管用基板の製造方法は、絶縁基板の表
面にフォトエッチング法により配線パターンを形成する
工程と、前記基板面に低融点ガラス粉末と感光性液状体
を混合してなるペースト層を厚膜印刷にて形成する工程
と、スルーホールパターンが形成されたフォトマスクを
介して前記ペースト層を露光現像する工程と、基板を焼
成しペースト層の感光性液状体物質を熱分解するととも
に低融点ガラス粉末を溶融固着する工程と、陽極パッド
および蛍光体層を形成する工程よりなることを特徴とす
る。

〔作用〕

本発明においては、低融点ガラス粉末と感光性液体とを
混合してなる感光性の絶縁ペーストを用いて絶縁層を形
成することにより、この絶縁層は露光によりパターニン
グできるので、フオトマスクに忠実な絶縁層のパターン
形成ができる。

〔実施例〕

以下、本発明を第１図を参照して詳細に説明する。

第１図(a)乃至(e)は本発明に係る蛍光表示管用基板の一
実施例を示す基本的な工程断面図であり、同図において
第２図と同一符号は同一または相当部分を示している。
まずガラス基板１上に配線パターン２を形成し（同図
(a)）、次に低融点ガラス粉末としてのフリツトガラス
と感光性液状体とを混合してなる感光性絶縁ペースト３
を印刷法あるいは他の方法により前記ガラス基板１上の
全面に塗布する（同図(b)）。次いでこのペースト層３
を乾燥した後、光源よりの照射光４を所定のパターンを
もつたフオトマスク５を通して露光すると（同図
(c)）、前記ペースト層３がネガ型感光性の場合は露光
部分が現像液に不溶となり、未露光部分は現像液に溶
け、第１図(d)に示すようなスルーホール６が形成され
る。また、前記ペースト層３がポジ型感光性の場合はネ
ガ型とは反対に露光部分が現像液に溶解し、未露光部分
は残存することとなり、同様にしてスルーホール６を形
成できる。

次いで、このように露光法でスルーホール６を形成した
フリツトガラスを含むペースト層３を焼成した溶融，固
着させて絶縁層３ａを形成した後（同図(d)）、この絶
縁層３ａ上にそのスルーホール６を介して陽極パツド
７，蛍光体層８を形成することにより、蛍光表示管用基
板が作製される。

このようにして作製された蛍光表示管用基板は、フオト
マスク５に忠実な絶縁層３ａのパターン形成が可能とな
り、従来のようなスルーホールの位置ずれが全く無くな
る。

つぎに本発明の実施態様を具体的に説明する。まずガラ
ス基板上にスパツタリング法によりＡ薄膜を1.5μｍ
厚に成膜し、これをフオトエツチング法にてパターニン
グして所定のＡ配線パターンを形成する。このＡ配
線パターンは線幅３０μｍ，ピツチ６０μｍで、蛍光面
を形成すべき箇所は２００×２５０μｍのパツド形状と
した。次に、このＡ配線パターン上に、無機フリツト
ガラスと感光性液状体とを混合してなるネガ型感光性絶
縁ペーストをスクリーン印刷法にて基板全面に１０μｍ
厚程度に印刷形成し、乾燥後所定のフオトマスクを用い
て露光する。この露光時の超高圧水銀灯の露光量は３０
〜５０mJ/cm²程度である。次に１−１−トリクロロエタ
ンを用いて室温にてスプレー現象を行うと、前記ペース
ト層の未露光部分が溶解し、その部分にスルーホールが
形成される。次いで560℃，３０分間空気中にて焼成を
行うと、上記ペースト層形成部分が溶融，固着し、スル
ーホールを有する絶縁層の形成が完了する。しかる後、
陽極パツド，蛍光体層をそれぞれ形成し、蛍光表示管用
基板を作製した。

したがつて、このような基板の作製に際し，絶縁層形成
後そのパターン形状について測定したところ、フオトマ
スク寸法にはほぼ忠実なスルーホールが得られ、±１０
μｍ程度の範囲で絶縁層のパターン形成が可能となり、
実用上，良好であつた。また、上記実施例のようにフリ
ツトガラスを含む感光性絶縁ペーストを用いて絶縁層を
形成した場合、フリツトガラス成分を含まない感光性絶
縁ペースト（以下、有機ペーストと称する）を用いたも
のに比べて，次のような問題がなく、蛍光表示管の製造
上有利となる。すなわち、前記有機ペーストで蛍光表示
管の熱工程に耐えられるものが現実には無く、現実にあ
る耐熱性有機ペースト，例えばポリイミド樹脂の耐熱性
は450℃程度したなく、使用に耐えない。仮に高耐熱性
有機ペーストが出来たとしても非常に高価が材料（ポリ
イミド系）を使うので、蛍光表示管には使いづらいもの
となる。また、蛍光表示管では蛍光面近傍の絶縁層が電
子による衝撃（要するに電子が若干当る）を受けやす
く、そのため有機ペースト層の結合手が切れ分解しやす
いので、ガス放出源となる。これは有機ペースト層が無
機フリツトより結合力が弱いことに起因するものであ
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係る蛍光表示管用基板の製
造方法によれば、フリツトガラスを含有する感光性絶縁
ペーストを用いて絶縁膜を形成するため、高い絶縁耐圧
を得るのに必要な所定膜厚の絶縁層の形成に形成容易な
厚膜印刷を用いることができ、その位置精度およびパタ
ーン形状はフォトマスクに忠実に形成できるので、従来
のようなスルーホールの位置ずれが全く無くなり、歩留
りを大幅に向上させることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図(a)乃至(e)は本発明に係る蛍光表示管用基板の一
実施例を示す基本的な工程断面図、第２図(a)乃至(e)は
従来による蛍光表示管用基板の一例を示す工程断面図で
ある。 １……ガラス基板、２……配線パターン、３……フリツ
トガラスを含む感光性絶縁ペースト、３ａ……絶縁層、
４……光、５……フオトマスク、６……スルーホール、
７……陽極パツド、８……蛍光体層。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】絶縁基板の表面にフォトエッチング法によ
   り配線パターンを形成する工程と、前記基板面に低融点
   ガラス粉末と感光性液状体を混合してなるペースト層を
   厚膜印刷にて形成する工程と、スルーホールパターンが
   形成されたフォトマスクを介して前記ペースト層を露光
   現像する工程と、基板を焼成しペースト層の感光性液状
   体物質を熱分解するとともに低融点ガラス粉末を溶融固
   着する工程と、陽極パッドおよび蛍光体層を形成する工
   程よりなることを特徴とする蛍光表示管用基板の製造方
   法。