JPH0640475B2 - 電界放出型電子銃 - Google Patents
電界放出型電子銃Info
- Publication number
- JPH0640475B2 JPH0640475B2 JP63015288A JP1528888A JPH0640475B2 JP H0640475 B2 JPH0640475 B2 JP H0640475B2 JP 63015288 A JP63015288 A JP 63015288A JP 1528888 A JP1528888 A JP 1528888A JP H0640475 B2 JPH0640475 B2 JP H0640475B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- electrode
- electron gun
- field emission
- extraction electrode
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/073—Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は走査型電子顕微鏡等の電界放出型電子銃に係
り、特に低加速電圧でも仮想光源を虚像領域で使用する
ことができる電界放出型電子銃に関するものである。
り、特に低加速電圧でも仮想光源を虚像領域で使用する
ことができる電界放出型電子銃に関するものである。
第１８図は走査型電子顕微鏡等の電界放出型電子銃の概
略構成を示す図で、１は陰極、３は電子線、５は引き出
し電極、７は加速電極、９は仮想光源である。
略構成を示す図で、１は陰極、３は電子線、５は引き出
し電極、７は加速電極、９は仮想光源である。
電界放出型電子銃は、陰極１との間に電界を形成するた
めの引き出し電極５と、陰極１から電界放出されて引き
出し電極５を通過する電子線３を加速するための加速電
極７とから構成されている。引き出し電極５には陰極１
に対してＶ１の電圧が、また加速電極７には陰極１に対
してＶ０の電圧が印加され、引き出し電極と加速電極に
より静電レンズが形成される。この静電レンズにより陰
極１から放出された電子線の軌道は曲げられ、その結果
仮想光源９が形成される。
めの引き出し電極５と、陰極１から電界放出されて引き
出し電極５を通過する電子線３を加速するための加速電
極７とから構成されている。引き出し電極５には陰極１
に対してＶ１の電圧が、また加速電極７には陰極１に対
してＶ０の電圧が印加され、引き出し電極と加速電極に
より静電レンズが形成される。この静電レンズにより陰
極１から放出された電子線の軌道は曲げられ、その結果
仮想光源９が形成される。
今、引き出し電極５から陰極１、及び仮想光源９までの
距離をそれぞれＳ０、Ｓとすると、仮想光源位置Ｓは、
第１９図に示すようにＶ０／Ｖ１に従って変化する。Ｖ
０／Ｖ１＝１の時はレンズ作用がないために仮想光源位
置Ｓは陰極の先端Ｓ０に位置し、Ｖ０／Ｖ１が１より減
少または増大するにつれてレンズ作用が増していき、仮
想光源９は上方へ移動する。この領域を虚像領域と言
う。またＶ０／Ｖ１があるしきい値α１またはα２のと
ころで電子線は平行ビームとなり、仮想光源位置Ｓは上
方無限遠位置から下方無限遠位置に変化する。Ｖ０／Ｖ
１がα１より小さいか、α２より大きくなるにつれて仮
想光源位置Ｓは下方から陰極の先端Ｓ０に近づいてく
る。このα１より小さい領域とα２より大きい領域とを
実像領域と言う。
距離をそれぞれＳ０、Ｓとすると、仮想光源位置Ｓは、
第１９図に示すようにＶ０／Ｖ１に従って変化する。Ｖ
０／Ｖ１＝１の時はレンズ作用がないために仮想光源位
置Ｓは陰極の先端Ｓ０に位置し、Ｖ０／Ｖ１が１より減
少または増大するにつれてレンズ作用が増していき、仮
想光源９は上方へ移動する。この領域を虚像領域と言
う。またＶ０／Ｖ１があるしきい値α１またはα２のと
ころで電子線は平行ビームとなり、仮想光源位置Ｓは上
方無限遠位置から下方無限遠位置に変化する。Ｖ０／Ｖ
１がα１より小さいか、α２より大きくなるにつれて仮
想光源位置Ｓは下方から陰極の先端Ｓ０に近づいてく
る。このα１より小さい領域とα２より大きい領域とを
実像領域と言う。
このような電界放出型電子銃としては、従来、第２０図
（イ）〜（ロ）に示すような形状の引き出し電極５と加
速電極７との組み合わせのものが使用されており、これ
らのものではα１は０．１〜０．２、またα２は１０以
上の特性を示している。
（イ）〜（ロ）に示すような形状の引き出し電極５と加
速電極７との組み合わせのものが使用されており、これ
らのものではα１は０．１〜０．２、またα２は１０以
上の特性を示している。
ところで、電圧Ｖ１は陰極からの電子の放出が変化した
場合に電界放出状態を一定にするため、通常４〜８kV程
度の範囲で変化させ、また加速電圧は通常１〜４０kV程
度の範囲で変えている。このような電界放出型電子銃を
持つ走査型電子顕微鏡の性能としては、低加速電圧（Ｖ
０小）から高加速電圧（Ｖ０大）まで使えることが必要
であり、最近のＩＣ分野ではさらに低い加速電圧での使
用が要求されつつある。ところが、従来の電子銃で加速
電圧を下げていくと、Ｖ０／Ｖ１がα１より小さくなっ
て実像領域Ｉに入ってしまう。この境界α１付近では、
仮想光源位置が不連続的な変化をするため、電子銃より
下方に配置されるレンズ系により試料上に電子線を結像
されることが難しくなる。また虚像領域と実像領域では
電子銃より下に配置されるレンズ系の結像条件が全く異
なるためにレンズ系の制御が複雑となってしまう。
場合に電界放出状態を一定にするため、通常４〜８kV程
度の範囲で変化させ、また加速電圧は通常１〜４０kV程
度の範囲で変えている。このような電界放出型電子銃を
持つ走査型電子顕微鏡の性能としては、低加速電圧（Ｖ
０小）から高加速電圧（Ｖ０大）まで使えることが必要
であり、最近のＩＣ分野ではさらに低い加速電圧での使
用が要求されつつある。ところが、従来の電子銃で加速
電圧を下げていくと、Ｖ０／Ｖ１がα１より小さくなっ
て実像領域Ｉに入ってしまう。この境界α１付近では、
仮想光源位置が不連続的な変化をするため、電子銃より
下方に配置されるレンズ系により試料上に電子線を結像
されることが難しくなる。また虚像領域と実像領域では
電子銃より下に配置されるレンズ系の結像条件が全く異
なるためにレンズ系の制御が複雑となってしまう。
本発明は上記課題を解決するためのもので、α２を下げ
ることなくα１を小さくすることができ、特に低加速電
圧側で広い範囲で虚像領域が使用でき、その結果試料上
に連続的に電子線を結像でき、電子銃より下方に配置さ
れるレンズ系の制御を簡単化することが可能な電界放出
型電子銃を提供することを目的とする。
ることなくα１を小さくすることができ、特に低加速電
圧側で広い範囲で虚像領域が使用でき、その結果試料上
に連続的に電子線を結像でき、電子銃より下方に配置さ
れるレンズ系の制御を簡単化することが可能な電界放出
型電子銃を提供することを目的とする。
そのために本発明は、陰極と、陰極との間に電界を形成
するための引き出し電極と、陰極から電界放出され、引
き出し電極を通過する電子線を加速するための加速電極
とを備えた電界放出型電子銃において、引き出し電極は
下に凸の円錐形であると共に、中心部に陰極に対向して
底穴を有する上に凹の円筒形窪みを有し、加速電極は引
き出し電極との対向部をすり鉢状にするとともに、中心
部に底穴が設けられた下に凹の円筒形窪みを有している
ことを特徴とする。
するための引き出し電極と、陰極から電界放出され、引
き出し電極を通過する電子線を加速するための加速電極
とを備えた電界放出型電子銃において、引き出し電極は
下に凸の円錐形であると共に、中心部に陰極に対向して
底穴を有する上に凹の円筒形窪みを有し、加速電極は引
き出し電極との対向部をすり鉢状にするとともに、中心
部に底穴が設けられた下に凹の円筒形窪みを有している
ことを特徴とする。
〔作用〕 本発明は、引き出し電極を、下に凸の円錐形で、中心部
に陰極に対向して底穴を有する上に凹の円筒形窪みを持
つ形状とし、加速電極を、下に凸の円錐形で、中心部に
底穴が設けられた下に凹の円筒形窪みを有する形状とす
ることにより陰極と引き出し電極間電圧をＶ１、陰極と
加速電極間電圧をＶ０としたとき、Ｖ０／Ｖ１が０．０
６程度から１０以上の範囲で仮想光源を虚像とすること
が可能である。
に陰極に対向して底穴を有する上に凹の円筒形窪みを持
つ形状とし、加速電極を、下に凸の円錐形で、中心部に
底穴が設けられた下に凹の円筒形窪みを有する形状とす
ることにより陰極と引き出し電極間電圧をＶ１、陰極と
加速電極間電圧をＶ０としたとき、Ｖ０／Ｖ１が０．０
６程度から１０以上の範囲で仮想光源を虚像とすること
が可能である。
以下、実施例を図面に基づき説明する。
第１図は本発明の電界放出型電子銃の概略構成を示す図
である。
である。
図において、１は陰極であり、引き出し電極５は傾斜角
がβ１の下に凸の円錐形をし、中心部は陰極開口径がＤ
１、円筒内径がＤ２、円筒深さがｈ１である上に凹の円
筒形窪みを有している。また加速電極７は傾斜角がβ２
で引き出し電極との対向部をすり鉢状にするとともに、
中心部は円筒内径がＤ３、底穴径がＤ４、円筒深さｈ２
である下に凹の円筒形窪みを有している。
がβ１の下に凸の円錐形をし、中心部は陰極開口径がＤ
１、円筒内径がＤ２、円筒深さがｈ１である上に凹の円
筒形窪みを有している。また加速電極７は傾斜角がβ２
で引き出し電極との対向部をすり鉢状にするとともに、
中心部は円筒内径がＤ３、底穴径がＤ４、円筒深さｈ２
である下に凹の円筒形窪みを有している。
次に第２図〜第１７図を参照して本発明の電界放出型電
子銃について説明する。
子銃について説明する。
第２図〜第１２図は各種の電極形状についての軸上ポテ
ンシャル分布を示したもので、第２図はムンロー形の場
合、第３図は平板形の場合、第４図は逆ムンロー形で加
速電極の傾斜角が３０°の場合、第５図は逆ムンロー形
で加速電極の傾斜角が４５°の場合、第６図は加速電極
が鍋底型の場合、第７図はウェーネルト型で電極の傾斜
角が３０°の場合、第８図はウェーネルト形で電極の傾
斜角が４５°の場合、第９図は引き出し電極がウェーネ
ルト形、加速電極を鍋底形にした場合、第１０図〜第１
２図は第１図に示した本発明の電界放出型電子銃で、引
き出し電極の円筒形窪みの円筒深さを変えた（タイプＩ
〜III）ときのものを示している。
ンシャル分布を示したもので、第２図はムンロー形の場
合、第３図は平板形の場合、第４図は逆ムンロー形で加
速電極の傾斜角が３０°の場合、第５図は逆ムンロー形
で加速電極の傾斜角が４５°の場合、第６図は加速電極
が鍋底型の場合、第７図はウェーネルト型で電極の傾斜
角が３０°の場合、第８図はウェーネルト形で電極の傾
斜角が４５°の場合、第９図は引き出し電極がウェーネ
ルト形、加速電極を鍋底形にした場合、第１０図〜第１
２図は第１図に示した本発明の電界放出型電子銃で、引
き出し電極の円筒形窪みの円筒深さを変えた（タイプＩ
〜III）ときのものを示している。
これらの電界放出型電子銃についてのＶ０／Ｖ１に対す
る仮想光源位置Ｓの関係を倍率Ｍと共に示すと第１３図
〜第１６図のようになる。第１３図はムンロー形、平板
電極形、逆ムンロー形、（傾斜角３０°）、第１４図は
逆ムンロー形、鍋底形、ウェーネルト形（３０°）、ウ
ェーネルト形（４５°）、第１５図は引き出し電極がウ
ェーネルト形、加速電極が鍋底形、第１６図は本発明の
電界放出型電子銃（コニカル静電レンズタイプ）を示し
ている。これらの図から、電極形状が第２図→第１２図
になるにつれてα１が小さくなり、虚像領域が広くなる
ことが分かる。
る仮想光源位置Ｓの関係を倍率Ｍと共に示すと第１３図
〜第１６図のようになる。第１３図はムンロー形、平板
電極形、逆ムンロー形、（傾斜角３０°）、第１４図は
逆ムンロー形、鍋底形、ウェーネルト形（３０°）、ウ
ェーネルト形（４５°）、第１５図は引き出し電極がウ
ェーネルト形、加速電極が鍋底形、第１６図は本発明の
電界放出型電子銃（コニカル静電レンズタイプ）を示し
ている。これらの図から、電極形状が第２図→第１２図
になるにつれてα１が小さくなり、虚像領域が広くなる
ことが分かる。
また第７図、第８図のウェーネル形、第９図のウェーネ
ル形／鍋底形の軸上ポテンシャンル分布についての仮想
光源位置を示す第１４図、第１５図から分かるように、
軸上ポテンシャル分布を第１７図の立ち上がり部Ａを急
にしすぎるとα２が小さくなり、Ａ部分の立ち上がりを
暖めるとα２が大きくなることが分かる。また、第９
図、第１０図〜第１２図の軸上ポテンシャル分布につい
ての仮想光源位置を示す第１５図、第１６図から分かる
ように第１７図のＢ部分の上に凸の領域を広げるにつれ
てα１を小さくすることができる。
ル形／鍋底形の軸上ポテンシャンル分布についての仮想
光源位置を示す第１４図、第１５図から分かるように、
軸上ポテンシャル分布を第１７図の立ち上がり部Ａを急
にしすぎるとα２が小さくなり、Ａ部分の立ち上がりを
暖めるとα２が大きくなることが分かる。また、第９
図、第１０図〜第１２図の軸上ポテンシャル分布につい
ての仮想光源位置を示す第１５図、第１６図から分かる
ように第１７図のＢ部分の上に凸の領域を広げるにつれ
てα１を小さくすることができる。
これらのことから、第１図に示すような構成のコニカル
電極とすることにより、第１６図に示すようにα１は約
０．０６、α２＞１０の性能が得られる。この結果、引
き出し電圧Ｖ１が４〜８kVとすると、対応する低加速電
圧は０．２４〜０．５kVとなり、印加電圧０．５〜４０
kV達成することが可能となる。
電極とすることにより、第１６図に示すようにα１は約
０．０６、α２＞１０の性能が得られる。この結果、引
き出し電圧Ｖ１が４〜８kVとすると、対応する低加速電
圧は０．２４〜０．５kVとなり、印加電圧０．５〜４０
kV達成することが可能となる。
なお、第１図において、β１、β２≧０、Ｄ２≧Ｄ１、
Ｄ３≧Ｄ４の関係が満たされる範囲であれば所期の効果
を達成することが可能である。
Ｄ３≧Ｄ４の関係が満たされる範囲であれば所期の効果
を達成することが可能である。
以上のように本発明によれば、α１を小さくすることが
できるので、広い範囲で、特に低加速電圧側で虚像領域
を使用することができ、より低い加速電圧まで電子銃よ
り下方に配置されるレンズ系により試料上に電子線を連
続的に結像することが可能となると共に、電子銃より下
方に配置さるレンズ系の制御を簡単化することができ
る。
できるので、広い範囲で、特に低加速電圧側で虚像領域
を使用することができ、より低い加速電圧まで電子銃よ
り下方に配置されるレンズ系により試料上に電子線を連
続的に結像することが可能となると共に、電子銃より下
方に配置さるレンズ系の制御を簡単化することができ
る。
第１図は本発明の電界放出型電子銃の構成を示す図、第
２図〜第１２図は各種電極形状に対する軸上ポテンシャ
ル分布を示す図、第１３図〜第１６図はＶ０／Ｖ１に対
する仮想光源位置Ｓの関係を示す図、第１７図は軸上ポ
テンシャル分布とα１、α２の関係を説明するための
図、第１８図は一般的な電界放出形電子銃の構成を示す
図、第１９図はＶ０／Ｖ１に対する仮想光源位置を示す
図、第２０図は従来の電界放出型電子銃の電極形状を示
す図である。 １……陰極、３……電子線、５……引き出し電極、７…
…加速電極。
２図〜第１２図は各種電極形状に対する軸上ポテンシャ
ル分布を示す図、第１３図〜第１６図はＶ０／Ｖ１に対
する仮想光源位置Ｓの関係を示す図、第１７図は軸上ポ
テンシャル分布とα１、α２の関係を説明するための
図、第１８図は一般的な電界放出形電子銃の構成を示す
図、第１９図はＶ０／Ｖ１に対する仮想光源位置を示す
図、第２０図は従来の電界放出型電子銃の電極形状を示
す図である。 １……陰極、３……電子線、５……引き出し電極、７…
…加速電極。
Claims (1)
- 【請求項１】陰極と、陰極との間に電界を形成するため
の引き出し電極と、陰極から電界放出され、引き出し電
極を通過する電子線を加速するための加速電極とを備え
た電界放出型電子銃において、引き出し電極は下に凸の
円錐形であると共に、中心部に陰極に対向して底穴を有
する上に凹の円筒形窪みを有し、加速電極は引き出し電
極との対向部をすり鉢状にするとともに、中心部に底穴
が設けられた下に凹の円筒形窪みを有していることを特
徴とする電界放出型電子銃。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63015288A JPH0640475B2 (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | 電界放出型電子銃 |
| US07/299,341 US4926055A (en) | 1988-01-25 | 1989-01-23 | Field emission electron gun |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63015288A JPH0640475B2 (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | 電界放出型電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01189843A JPH01189843A (ja) | 1989-07-31 |
| JPH0640475B2 true JPH0640475B2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=11884662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63015288A Expired - Lifetime JPH0640475B2 (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | 電界放出型電子銃 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4926055A (ja) |
| JP (1) | JPH0640475B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0766766B2 (ja) * | 1989-03-30 | 1995-07-19 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡 |
| US5828064A (en) * | 1995-08-11 | 1998-10-27 | Philips Electronics North America Corporation | Field emission environmental scanning electron microscope |
| US5854490A (en) * | 1995-10-03 | 1998-12-29 | Fujitsu Limited | Charged-particle-beam exposure device and charged-particle-beam exposure method |
| SG74599A1 (en) * | 1997-09-27 | 2000-08-22 | Inst Of Material Res & Enginee | Portable high resolution scanning electron microscope column using permanent magnet electron lenses |
| JP2006059513A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-03-02 | Kuresutetsuku:Kk | 電子ビーム照射装置および描画装置 |
| JP2009146884A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-07-02 | Mamoru Nakasuji | 電子銃及び電子線装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3678333A (en) * | 1970-06-15 | 1972-07-18 | American Optical Corp | Field emission electron gun utilizing means for protecting the field emission tip from high voltage discharges |
| US3863095A (en) * | 1971-04-12 | 1975-01-28 | Hitachi Ltd | Electron gun device of field emission type |
| US4020387A (en) * | 1972-02-14 | 1977-04-26 | American Optical Corporation | Field emission electron gun |
| US3927321A (en) * | 1974-04-24 | 1975-12-16 | American Optical Corp | Electron microscope beam tube |
| US4130759A (en) * | 1977-03-17 | 1978-12-19 | Haimson Research Corporation | Method and apparatus incorporating no moving parts, for producing and selectively directing x-rays to different points on an object |
| GB1594465A (en) * | 1977-03-23 | 1981-07-30 | Nat Res Dev | Electron beam apparatus |
| JPS5516321A (en) * | 1978-07-21 | 1980-02-05 | Hitachi Ltd | Electrostatic radiant type electronic gun |
| US4477921A (en) * | 1981-11-27 | 1984-10-16 | Spire Corporation | X-Ray lithography source tube |
| US4427886A (en) * | 1982-08-02 | 1984-01-24 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Low voltage field emission electron gun |
| US4521903A (en) * | 1983-03-09 | 1985-06-04 | Micronix Partners | High power x-ray source with improved anode cooling |
| JPH0766772B2 (ja) * | 1983-11-30 | 1995-07-19 | 株式会社日立製作所 | 多段加速方式電界放射形電子顕微鏡 |
| US4663525A (en) * | 1985-07-08 | 1987-05-05 | Nanometrics Incorporated | Method for electron gun alignment in electron microscopes |
-
1988
- 1988-01-25 JP JP63015288A patent/JPH0640475B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-01-23 US US07/299,341 patent/US4926055A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4926055A (en) | 1990-05-15 |
| JPH01189843A (ja) | 1989-07-31 |
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Legal Events
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080525 Year of fee payment: 14 |