JPH0640954Y2 - ねじ溝真空ポンプ - Google Patents
ねじ溝真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0640954Y2 JPH0640954Y2 JP764788U JP764788U JPH0640954Y2 JP H0640954 Y2 JPH0640954 Y2 JP H0640954Y2 JP 764788 U JP764788 U JP 764788U JP 764788 U JP764788 U JP 764788U JP H0640954 Y2 JPH0640954 Y2 JP H0640954Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- vacuum pump
- rotor
- housing
- thread groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （１）産業上の利用分野 本考案は半導体製造用真空装置その他において有害なガ
スを排気し清浄な高真空を得るのに好適なねじ溝真空ポ
ンプに関する。
スを排気し清浄な高真空を得るのに好適なねじ溝真空ポ
ンプに関する。
（２）従来の技術 従来この種のねじ溝真空ポンプを含む複合真空ポンプと
して、第２図の如くハウジング（ａ）内に上方のターボ
分子ポンプ部（ｂ）とその下方のねじ溝真空ポンプ部
（ｃ）を具備し、該ねじ溝真空ポンプ部（ｃ）が前記ハ
ウジング（ａ）内に固定したステータ（ｄ）内にロータ
（ｅ）を間隙（ｆ）を存して軸支し、該ロータ（ｅ）の
外周面にねじ溝（ｇ）を形成して構成したものが一般的
に知られている。
して、第２図の如くハウジング（ａ）内に上方のターボ
分子ポンプ部（ｂ）とその下方のねじ溝真空ポンプ部
（ｃ）を具備し、該ねじ溝真空ポンプ部（ｃ）が前記ハ
ウジング（ａ）内に固定したステータ（ｄ）内にロータ
（ｅ）を間隙（ｆ）を存して軸支し、該ロータ（ｅ）の
外周面にねじ溝（ｇ）を形成して構成したものが一般的
に知られている。
（３）考案が解決しようとする問題点 ねじ溝真空ポンプはその排気原理上ロータの外周面とス
テータの内周面との間の間隙はその最小部で一般に0.2
〜1.0mmと極めて狭い。そしてロータは同外径のターボ
分子ポンプのロータと比べてその質量は数倍に達し、且
つ毎分数万回転で高速回転している。ところが従来のね
じ溝真空ポンプは前述の如くステータ（ｄ）がハウジン
グ（ａ）内に固定されているので、前記間隙に異物が噛
み込んだり、又はCVDプロセス等で反応生成物が前記間
隙にたい積析出した場合等の最悪の場合にロータが毎分
数万回転での定常回転中に瞬時にロックするおそれがあ
り、この瞬時にロックした場合に、質量の大きい高速回
転体であるロータの持つ運動エネルギーはステータ側に
ねじりとして消費されて該ステータと共にハウジングが
損傷するおそれがある。そこでこのような最悪な事態を
防止すべくポンプの吸気口にフィルターを装着して異物
の侵入を防止したり或いは安全性を相当に見込んで前記
間隙を広く設定したりする方法も行われたが、これらの
方法によればポンプとしての排気性能が低下して極めて
効率を低下し、更に瞬時にロックするような最悪な事態
に対して十分な対策とならない種々の問題点があった。
テータの内周面との間の間隙はその最小部で一般に0.2
〜1.0mmと極めて狭い。そしてロータは同外径のターボ
分子ポンプのロータと比べてその質量は数倍に達し、且
つ毎分数万回転で高速回転している。ところが従来のね
じ溝真空ポンプは前述の如くステータ（ｄ）がハウジン
グ（ａ）内に固定されているので、前記間隙に異物が噛
み込んだり、又はCVDプロセス等で反応生成物が前記間
隙にたい積析出した場合等の最悪の場合にロータが毎分
数万回転での定常回転中に瞬時にロックするおそれがあ
り、この瞬時にロックした場合に、質量の大きい高速回
転体であるロータの持つ運動エネルギーはステータ側に
ねじりとして消費されて該ステータと共にハウジングが
損傷するおそれがある。そこでこのような最悪な事態を
防止すべくポンプの吸気口にフィルターを装着して異物
の侵入を防止したり或いは安全性を相当に見込んで前記
間隙を広く設定したりする方法も行われたが、これらの
方法によればポンプとしての排気性能が低下して極めて
効率を低下し、更に瞬時にロックするような最悪な事態
に対して十分な対策とならない種々の問題点があった。
本考案は簡単な構造によりこれらの問題点を解消したね
じ溝真空ポンプを提供することを目的とする。
じ溝真空ポンプを提供することを目的とする。
（４）問題点を解決するとための手段 この目的を達成すべく本考案はステータをハウジング内
に円周方向に摺動自在に設けたことを特徴とする。
に円周方向に摺動自在に設けたことを特徴とする。
（５）作用 運転中に間隙に異物が侵入したり等したときに、ステー
タがハウジング内に円周方向に摺動自在に設けられてい
るので、ステータがロータと共に回転して、該ステータ
やハウジングが損傷するようなことがない。
タがハウジング内に円周方向に摺動自在に設けられてい
るので、ステータがロータと共に回転して、該ステータ
やハウジングが損傷するようなことがない。
（６）実施例 本考案を複合真空ポンプに適用した１実施例を第１図に
従って説明する。
従って説明する。
（１）はポンプハウジングを示し、該ハウジング（１）
内にはその上部にターボ分子ポンプ部（２）とその下方
にねじ溝真空ポンプ部（３）が設けられており、前記タ
ーボ分子ポンプ部（２）はロータ（４）の外周面に突設
した多数の動翼（2a）と前記ハウジング（１）の内周面
に突設した多数の静翼（2b）とからなり、又前記ねじ溝
真空ポンプ部（３）は前記ロータ（４）の外周面に形成
され下流になるに従って深さが浅くなるねじ溝（3a）と
該ねじ溝（3a）の山部に微小な間隙（５）で対向する内
周面を有する円筒状のステータ（3b）からなり、該ステ
ータ（3b）は略筒状でその上端面及び下端面において前
記ハウジング（１）の一部を構成する支持筒体（1a）の
上部突条（1c）及び下部突条（1d）に摺動材（6a）（6
b）により円周方向に摺動自在に支持されている。
（７）はモータ、（８）はその回転軸、（９）は吸気
口、（10）は排気口を示す。
内にはその上部にターボ分子ポンプ部（２）とその下方
にねじ溝真空ポンプ部（３）が設けられており、前記タ
ーボ分子ポンプ部（２）はロータ（４）の外周面に突設
した多数の動翼（2a）と前記ハウジング（１）の内周面
に突設した多数の静翼（2b）とからなり、又前記ねじ溝
真空ポンプ部（３）は前記ロータ（４）の外周面に形成
され下流になるに従って深さが浅くなるねじ溝（3a）と
該ねじ溝（3a）の山部に微小な間隙（５）で対向する内
周面を有する円筒状のステータ（3b）からなり、該ステ
ータ（3b）は略筒状でその上端面及び下端面において前
記ハウジング（１）の一部を構成する支持筒体（1a）の
上部突条（1c）及び下部突条（1d）に摺動材（6a）（6
b）により円周方向に摺動自在に支持されている。
（７）はモータ、（８）はその回転軸、（９）は吸気
口、（10）は排気口を示す。
次に上記実施例のポンプの作動を説明する。モータ
（７）の駆動によりロータ（４）が高速で回転すると、
吸気口（９）からの気体はターボ分子ポンプ部（２）に
おいて回転する動翼（2a）と静止する静翼（2b）とによ
り圧縮され、更にねじ溝ポンプ部（３）において回転す
るロータ（４）の外周面のねじ溝（3a）に導かれて更に
圧縮され、排気口（10）より排出される。
（７）の駆動によりロータ（４）が高速で回転すると、
吸気口（９）からの気体はターボ分子ポンプ部（２）に
おいて回転する動翼（2a）と静止する静翼（2b）とによ
り圧縮され、更にねじ溝ポンプ部（３）において回転す
るロータ（４）の外周面のねじ溝（3a）に導かれて更に
圧縮され、排気口（10）より排出される。
ところが吸気口（９）より気体と共に異物が混入しター
ボ分子ポンプ部（２）を経てねじ溝ポンプ部（３）に至
り、該異物がねじ溝（3a）の山部とステータ（3b）の内
周面との間隙（５）に噛み込まれると、該ステータ（3
b）はハウジング（１）内に摺動材（6a）（6b）を介し
て円周方向に摺動自在に設けられているので、該ステー
（3b）はロータ（４）と共に高速回転を開始し、かくて
従来の如く該ステータ（3b）及びハウジング（１）が損
傷することがない。
ボ分子ポンプ部（２）を経てねじ溝ポンプ部（３）に至
り、該異物がねじ溝（3a）の山部とステータ（3b）の内
周面との間隙（５）に噛み込まれると、該ステータ（3
b）はハウジング（１）内に摺動材（6a）（6b）を介し
て円周方向に摺動自在に設けられているので、該ステー
（3b）はロータ（４）と共に高速回転を開始し、かくて
従来の如く該ステータ（3b）及びハウジング（１）が損
傷することがない。
尚、前記実施例ではターボ分子ポンプ部とねじ溝ポンプ
部との組合せの複合真空ポンプの例を示したが、本考案
をねじ溝ポンプ単独の場合、或いは該ねじ溝ポンプと渦
流ポンプ等の種々の形式の複合真空ポンプに適用しても
よい。
部との組合せの複合真空ポンプの例を示したが、本考案
をねじ溝ポンプ単独の場合、或いは該ねじ溝ポンプと渦
流ポンプ等の種々の形式の複合真空ポンプに適用しても
よい。
又、前記実施例ではねじ溝をロータの外周面に形成した
場合を示したが、ねじ溝をステータの内周面に形成した
場合について本考案を適用してもよい。
場合を示したが、ねじ溝をステータの内周面に形成した
場合について本考案を適用してもよい。
（７）考案の効果 このように本考案によると、ステータをハウジング内に
円周方向に摺動自在に設けたので、運転中にステータと
ロータの間隙中に異物の侵入や反応生成物のたい積等が
あってロックするようなことがあってもステータがロー
タと共に回転し、かくて従来の装置の如くステータやハ
ウジングが損傷することがなく、構造簡単で廉価に得ら
れる等の効果を有する。
円周方向に摺動自在に設けたので、運転中にステータと
ロータの間隙中に異物の侵入や反応生成物のたい積等が
あってロックするようなことがあってもステータがロー
タと共に回転し、かくて従来の装置の如くステータやハ
ウジングが損傷することがなく、構造簡単で廉価に得ら
れる等の効果を有する。
第１図は本考案ポンプの１実施例の半截断断面図、第２
図は従来のポンプの半截断断面図である。 （１）……ハウジング （3a）……ねじ溝 （3b）……ステータ （４）……ロータ （５）……間隙
図は従来のポンプの半截断断面図である。 （１）……ハウジング （3a）……ねじ溝 （3b）……ステータ （４）……ロータ （５）……間隙
Claims (1)
- 【請求項１】ハウジング内に設けたステータ内にロータ
を間隙を存して軸支し、これらステータの内周面或いは
ロータの外周面にねじ溝を形成したものにおいて、前記
ステータを前記ハウジング内に円周方向に摺動自在に設
けたことを特徴とするねじ溝真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP764788U JPH0640954Y2 (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | ねじ溝真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP764788U JPH0640954Y2 (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | ねじ溝真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01113191U JPH01113191U (ja) | 1989-07-31 |
| JPH0640954Y2 true JPH0640954Y2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=31212835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP764788U Expired - Lifetime JPH0640954Y2 (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | ねじ溝真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640954Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6926493B1 (en) * | 1997-06-27 | 2005-08-09 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| JP2006170217A (ja) * | 1997-06-27 | 2006-06-29 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022062902A (ja) * | 2020-10-09 | 2022-04-21 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、および真空ポンプに備わる回転円筒体 |
-
1988
- 1988-01-26 JP JP764788U patent/JPH0640954Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6926493B1 (en) * | 1997-06-27 | 2005-08-09 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| JP2006170217A (ja) * | 1997-06-27 | 2006-06-29 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01113191U (ja) | 1989-07-31 |
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