JPH03222895A - ねじ溝真空ポンプ - Google Patents

ねじ溝真空ポンプ

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JPH03222895A
JPH03222895A JP2017213A JP1721390A JPH03222895A JP H03222895 A JPH03222895 A JP H03222895A JP 2017213 A JP2017213 A JP 2017213A JP 1721390 A JP1721390 A JP 1721390A JP H03222895 A JPH03222895 A JP H03222895A
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JP
Japan
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rotating cylinder
vacuum pump
peripheral surface
cylinder
thread groove
Prior art date
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Pending
Application number
JP2017213A
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English (en)
Inventor
Takeshi Toyoshima
豊島　威
Mitsuo Ogura
光雄 小倉
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Koki Holdings Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Koki Co Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044—Holweck-type pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2250/00—Geometry
    • F05B2250/20—Geometry three-dimensional
    • F05B2250/25—Geometry three-dimensional helical
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2250/00—Geometry
    • F05B2250/20—Geometry three-dimensional
    • F05B2250/28—Geometry three-dimensional patterned
    • F05B2250/281—Geometry three-dimensional patterned threaded

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、粘性流領域から分子流領域におよぶ広い範囲
の気体に適用される真空ポンプに係り、特に大きな背圧
を得るのに好適なねじ溝真空ポンプに関するものである
。
〔発明の背景〕
分子ポンプの代表的なものの一つとして、構造が簡単で
、比較的製作も容易なねじ溝分子ポンプがあるが、背圧
が小さいという欠点がある。第４図に示す従来のねじ溝
分子ポンプにおいては、回転筒１４と静止外筒３との半
径方向すきま１７や回転筒１４と静止内筒９との半径方
向すきま１８より、気体が漏出しやすいため、背圧を高
くとることができず、油回転真空ポンプなどの粗引ポン
プで吐出側の圧力を１〜１００Ｔｏｒｒ程度に低くしな
ければならないという欠点がある。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、上記欠点を解消し、粗引きポンプが不
要で大気圧から引けるねじ溝式真空ポンプを提供するこ
とにある。
〔発明の概要〕
本発明は１層流よりも乱流の方が、流れ抵抗が大きいこ
とに着目し、静止筒のねし溝内の気体に乱流を発生する
構造を工夫したものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の位置実施例を第１図、第２図、第３図に
より説明する。第３図は第１図の■−■線より見た部分
展開図であり１回転筒１４は矢印の方向に一定速度で移
動する。内周面にねじ溝１とねし山２を形成した静止外
筒３と、外周面にねじ溝４とねじ山５を形成し軸方向に
′ＩＩ通する排気穴６を有しモータの固定子７および軸
受８ａ、８ｂとを内臓する静止内筒９を芯を同一にして
配置シフ、外周面に凹み力布１０と平滑面帯１１とを軸
方向に交互に設け、内周面に凹み力布１２と平滑面体１
３とを軸方向に交互に設けた回転筒１４を、Ｒｉｆ記軸
受８ａ、８ｂで支持され前記固定子７と対面する回転子
１５を有するロータシャフト１６の上端において回り止
め結合するとともに、前記静止外筒３と前記静止内筒９
間に配置して。
静止外筒３内周面のねし山２と回転筒１４外周面間にす
きま１７と静止内筒９外周面のねし山５と回転筒１４内
周面間にすきま１８を形成している。静止外筒３上端開
口部は吸い込み口１９でこの先に排気すべき装置が接続
し、気体は吸い込み口１９より入り下方の吐出口２０よ
り排出される。
固定子７と回転子１５の関係で、ロータシャフト１６と
回転筒１４が回転すると、吸い込み口１９より吸入され
た気体は、静止外筒３内周面に設けられたねし溝１内に
導入され、下方へ圧縮されたのち、今度は逆に静止内筒
９外周面に設けられたねし溝４にそって上方に進み、前
記排気穴６を通過して下方の吐出口２０より排出される
。この過程において、吐出口２０に近づく程、圧力が高
くなり、すきま１７、すきま１８からの漏出傾向が強く
なるが、平滑面帯１１．平滑面帯１３によりこの漏出を
少なく抑えると共に、凹み力布１０、凹み力布１２によ
り、ねし溝１、ねじ溝４に乱流を発生させ、ねし溝内の
気体の流量を増すことによってこの漏出を補償し、圧力
の高い領域でもポンプ作用を得ることができる。なお、
本発明において、漏出を少なくするため、第３図に示す
ごとく凹み力布１０の構成要素である凹み部２１のねし
山の山巾方向の最大長さＬｌは、ねじ山の山巾Ｌ２より
短くして、相隣る上下のねし溝が連通しないようにしで
ある。凹み力布と平滑面帯は回転筒の表面に環状あるい
は螺旋状に設け、また、ねじ溝の条数は必要とする真空
圧力や排気速度に応じて多条化することができ、第１図
の実施例では静止外筒３の内周面のねじを２条としてい
る。
〔発明の効果〕
以上のように１本発明によれば、背圧の高い真空ポンプ
を得ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の実施例を示す縦断面図、第２図は、
第１図のＩ−Ｉ線断面図、第３図は、第１図のｎ−ｎ線
より見た部分展開図、第４図は、従来例を示す縦断面図
である。 図において、１はねし溝、・２はねじ山、３は静止外筒
、４はねし溝、５はねし山、９は静止内筒１０は凹み力
布、１１は平滑面帯、１２は凹み力布、１３は平滑面帯
、１４は回転筒、１５は回転子、 ２１は凹み部である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）回転筒に対して、該回転筒の外周面を囲み内周面
    にねじ溝を有する静止外筒と前記回転筒の内周面と対面
    し外周面にねじ溝を有する静止内筒の少なくとも一方を
    、回転筒と同心にして配置し、前記回転筒の回転によっ
    て気体をねじ溝に沿って軸方向に移動させる真空ポンプ
    において、回転筒の外周面あるいは内周面に有限な大き
    さの凹みを多数設けたことを特徴としたねじ溝真空ポン
    プ。
  2. （２）ねじ山巾より短い長さの凹み部を並べて形成した
    凹み列帯と凹みのない平滑面帯を、回転筒の外周面ある
    いは内周面の軸方向に交互に環状または螺旋状に設けた
    ことを特徴とする請求項１記載のねじ溝真空ポンプ。
JP2017213A 1990-01-26 1990-01-26 ねじ溝真空ポンプ Pending JPH03222895A (ja)

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