JPH0640995B2 - フイルタ−システム - Google Patents
フイルタ−システムInfo
- Publication number
- JPH0640995B2 JPH0640995B2 JP61243619A JP24361986A JPH0640995B2 JP H0640995 B2 JPH0640995 B2 JP H0640995B2 JP 61243619 A JP61243619 A JP 61243619A JP 24361986 A JP24361986 A JP 24361986A JP H0640995 B2 JPH0640995 B2 JP H0640995B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- module
- module case
- filter system
- organic solvent
- pure water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、束ねられた複数個のウルトラフィルターモ
ジュール膜（以下「ＵＦ膜」という）をウルトラフィル
ターモジュールケース（以下「ＵＦモジュールケース」
という）によって収納し、前記ＵＦ膜内に純水を通過さ
せ、このＵＦ膜で純水を濾過して超純水を得るフィルタ
ーシステムに関するものである。
ジュール膜（以下「ＵＦ膜」という）をウルトラフィル
ターモジュールケース（以下「ＵＦモジュールケース」
という）によって収納し、前記ＵＦ膜内に純水を通過さ
せ、このＵＦ膜で純水を濾過して超純水を得るフィルタ
ーシステムに関するものである。
［従来の技術］ 半導体工場において使用される超純水は、純水中に含ま
れるバクテリアの死骸、配管内のごみ等の微粒子をＵＦ
膜で濾過して得ている。
れるバクテリアの死骸、配管内のごみ等の微粒子をＵＦ
膜で濾過して得ている。
第２図は、従来のフィルタシステムにおけるＵＦモジュ
ール膜の断面斜視図である。
ール膜の断面斜視図である。
ＵＦモジュール膜１は、一般的には酢酸セルロース製の
細長い管状の膜であり、厚さ５mmのポリスルホン製のＵ
Ｆモジュールケース２により、複数個が束になって収納
されている。
細長い管状の膜であり、厚さ５mmのポリスルホン製のＵ
Ｆモジュールケース２により、複数個が束になって収納
されている。
このＵＦモジュールケースの長さは約１ｍで、直径は１
５ないし３０cmである。
５ないし３０cmである。
次に、このＵＦモジュール膜の動作について説明する。
矢印３より純水が５kg/cm2の水圧で供給され、矢印４か
ら純水が３kg/cm2の水圧で排水される。この圧力差によ
り、純水中のバクテリアの死骸、配管内のごみ等の微粒
子がＵＦモジュール膜１の側壁で濾過される。そして超
純水が矢印５より出てくる。
ら純水が３kg/cm2の水圧で排水される。この圧力差によ
り、純水中のバクテリアの死骸、配管内のごみ等の微粒
子がＵＦモジュール膜１の側壁で濾過される。そして超
純水が矢印５より出てくる。
［発明が解決しようとする問題点］ 従来のフィルタシステムは以上のように構成されてお
り、クリーンルームのメッシュ状の床下のユーティリテ
ィゾーンに設置されている。
り、クリーンルームのメッシュ状の床下のユーティリテ
ィゾーンに設置されている。
そして、クリーンルーム内では、半導体製造のために、
感光剤の希釈剤である酢酸ブチルやアセトン等の有機溶
剤や半導体基板の洗浄に用いる濃硫酸、硝酸等の酸が用
いられている。このような環境下では、クリーンルーム
内で漏らした有機溶剤や酸のミストがダウンフローの気
流にのって落下し、ＵＦモジュールケース２に振りかか
るのは必定である。
感光剤の希釈剤である酢酸ブチルやアセトン等の有機溶
剤や半導体基板の洗浄に用いる濃硫酸、硝酸等の酸が用
いられている。このような環境下では、クリーンルーム
内で漏らした有機溶剤や酸のミストがダウンフローの気
流にのって落下し、ＵＦモジュールケース２に振りかか
るのは必定である。
かかる場合、ＵＦモジュールケース２に超純水によって
応力６がかかっていると、ＵＦモジュールケース２は有
機溶剤に弱いために瞬時にしてＵＦモジュールケース２
に亀裂が生じる。
応力６がかかっていると、ＵＦモジュールケース２は有
機溶剤に弱いために瞬時にしてＵＦモジュールケース２
に亀裂が生じる。
その結果、しばしば水漏れが発生し、作業環境を悪化さ
せていた。
せていた。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、有機溶剤に耐え得るフィルタシステムを提供
することを目的とする。
たもので、有機溶剤に耐え得るフィルタシステムを提供
することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］ この発明に係るフィルターシステムは、複数個のウルト
ラフィルターモジュール膜を備える。上記ウルトラフィ
ルターモジュール膜は束ねられた状態でウルトラフィル
ターモジュールケースに収納される。ウルトラフィルタ
ーモジュールケースは、ウルトラフィルターモジュール
膜の側壁から濾過されて出てくる超純水を取出す取出口
を有する。上記ウルトラフィルターモジュールケースの
周囲を、酸や有機溶剤に耐え得る材料から形成された保
護カバーが覆っている。
ラフィルターモジュール膜を備える。上記ウルトラフィ
ルターモジュール膜は束ねられた状態でウルトラフィル
ターモジュールケースに収納される。ウルトラフィルタ
ーモジュールケースは、ウルトラフィルターモジュール
膜の側壁から濾過されて出てくる超純水を取出す取出口
を有する。上記ウルトラフィルターモジュールケースの
周囲を、酸や有機溶剤に耐え得る材料から形成された保
護カバーが覆っている。
［作用］ ＵＦモジュールケースの周囲を、酸や有機溶剤に耐え得
る材料から形成される保護カバーで覆うので、ＵＦモジ
ュールケースに直接有機溶剤や酸がかからない。
る材料から形成される保護カバーで覆うので、ＵＦモジ
ュールケースに直接有機溶剤や酸がかからない。
［実施例］ 第１図はこの発明の一実施例を示すフィルターシステム
を表わす断面斜視図である。
を表わす断面斜視図である。
複数個のＵＦモジュール膜７がＵＦモジュールケース８
に束になって収納されている。そして、ＵＦモジュール
ケース８の周囲をさらに保護カバー９が覆っている。
に束になって収納されている。そして、ＵＦモジュール
ケース８の周囲をさらに保護カバー９が覆っている。
保護カバー９はテフロン（デュポン社製ポリテトラフロ
オロエチレンの登録商標）によって作製されている。
オロエチレンの登録商標）によって作製されている。
この保護カバー９によって、ＵＦモジュールケース８に
は直接有機溶剤や酸が振りかからないので、ＵＦモジュ
ールケース８に亀裂が発生することはない。その結果、
水漏れ事故を未然に防止することができる。
は直接有機溶剤や酸が振りかからないので、ＵＦモジュ
ールケース８に亀裂が発生することはない。その結果、
水漏れ事故を未然に防止することができる。
このフィルターシステムを用いて純水を濾過する動作に
ついては、従来のものと同じである。すなわち、矢印１
０より純水が５kg/cm2の水圧で供給され、矢印１１から
純水が３kg/cm2の水圧で排出される。この圧力差によ
り、純水中のバクテリアの死骸、配管内のごみ等の微粒
子がＵＦモジュール膜７で濾過される。そして超純水が
矢印１２より出てくる。本実施例の場合においてもＵＦ
モジュールケース８には純水による応力１３がかかって
いる。しかし、上述の如く、ＵＦモジュールケース８に
は直接有機溶剤等がかからないので、ＵＦモジュールケ
ース８が破裂することはない。
ついては、従来のものと同じである。すなわち、矢印１
０より純水が５kg/cm2の水圧で供給され、矢印１１から
純水が３kg/cm2の水圧で排出される。この圧力差によ
り、純水中のバクテリアの死骸、配管内のごみ等の微粒
子がＵＦモジュール膜７で濾過される。そして超純水が
矢印１２より出てくる。本実施例の場合においてもＵＦ
モジュールケース８には純水による応力１３がかかって
いる。しかし、上述の如く、ＵＦモジュールケース８に
は直接有機溶剤等がかからないので、ＵＦモジュールケ
ース８が破裂することはない。
なお、本実施例では保護カバー９の好ましい材質として
テフロンの場合を示したが、本発明はこの物に限定され
ず、ＳＵＳ３１６番（鉄−クロムの合金）、ポリプロピ
レン等を使用しても本発明の目的を同様に達成し得る。
テフロンの場合を示したが、本発明はこの物に限定され
ず、ＳＵＳ３１６番（鉄−クロムの合金）、ポリプロピ
レン等を使用しても本発明の目的を同様に達成し得る。
［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、ＵＦモジュールケー
スの周囲を、酸や有機溶剤に耐え得る材料から形成され
る保護カバーで覆うので、ＵＦモジュールケースに直接
有機溶剤や酸がかからない。
スの周囲を、酸や有機溶剤に耐え得る材料から形成され
る保護カバーで覆うので、ＵＦモジュールケースに直接
有機溶剤や酸がかからない。
その結果、クリーンルームから有機溶剤や酸が漏れてフ
ィルタシステムにかかっても、ＵＦモジュールケースに
亀裂が生じることがないので、フィルターシステムの水
漏れ事故を防ぐことができる。
ィルタシステムにかかっても、ＵＦモジュールケースに
亀裂が生じることがないので、フィルターシステムの水
漏れ事故を防ぐことができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す断面斜視図、第２図
は従来のフィルターシステムを示す断面斜視図である。 図において、７はウルトラフィルターモジュール膜、８
はウルトラフィルターモジュールケース、９は保護カバ
ー、１２は超純水出口である。
は従来のフィルターシステムを示す断面斜視図である。 図において、７はウルトラフィルターモジュール膜、８
はウルトラフィルターモジュールケース、９は保護カバ
ー、１２は超純水出口である。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−153902（ＪＰ，Ａ) 大矢晴彦監修「純水・超純水製造法−要 素技術と応用システム−」（昭60−３− 20）幸書房ｐ．72，ｐ．174，ｐ．186
Claims (1)
- 【請求項１】複数個のウルトラフィルターモジュール膜
と、 前記複数個のウルトラフィルターモジュール膜を束ねた
状態で収納し、かつ前記ウルトラフィルターモジュール
膜の側壁から濾過されて出てくる超純水を取出す取出口
を有するウルトラフィルターモジュールケースと、 前記ウルトラフィルターモジュールケースの周囲を覆
う、酸や有機溶剤に耐え得る材料から形成された保護カ
バーと、 を備えたフィルターシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61243619A JPH0640995B2 (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | フイルタ−システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61243619A JPH0640995B2 (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | フイルタ−システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6397287A JPS6397287A (ja) | 1988-04-27 |
| JPH0640995B2 true JPH0640995B2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=17106513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61243619A Expired - Fee Related JPH0640995B2 (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | フイルタ−システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640995B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008090117A1 (en) | 2007-01-24 | 2008-07-31 | Glaxo Group Limited | Pharmaceutical compositions comprising 3, 5-diamin0-6- (2, 3-dichl0phenyl) -l, 2, 4-triazine or r (-) -2, 4-diamino-5- (2, 3-dichlorophenyl) -6-fluoromethyl pyrimidine and an nk1 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117083170B (zh) | 2021-03-31 | 2025-12-23 | 日本制铁株式会社 | 预涂镀覆钢板及成形品 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60153902A (ja) * | 1984-01-21 | 1985-08-13 | Kurabo Ind Ltd | カプセル型フイルタ−とその製法 |
-
1986
- 1986-10-13 JP JP61243619A patent/JPH0640995B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 大矢晴彦監修「純水・超純水製造法−要素技術と応用システム−」（昭６０−３−２０）幸書房ｐ．７２，ｐ．１７４，ｐ．１８６ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008090117A1 (en) | 2007-01-24 | 2008-07-31 | Glaxo Group Limited | Pharmaceutical compositions comprising 3, 5-diamin0-6- (2, 3-dichl0phenyl) -l, 2, 4-triazine or r (-) -2, 4-diamino-5- (2, 3-dichlorophenyl) -6-fluoromethyl pyrimidine and an nk1 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6397287A (ja) | 1988-04-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0622110B1 (en) | Separation device | |
| US4787921A (en) | Degassing tube | |
| US4640773A (en) | Membrane separation apparatus | |
| EP0531817A3 (en) | Porous filter for liquid purification, and liquid purifying filter assembly and liquid purification plant employing the same | |
| JPH11319501A (ja) | 中空糸膜モジュールおよびその使用方法 | |
| JP3797875B2 (ja) | 濾過膜モジュールの接続構造 | |
| JPWO1999055447A1 (ja) | 濾過膜モジュールの接続構造 | |
| JPH0640995B2 (ja) | フイルタ−システム | |
| JP3487107B2 (ja) | 膜分離装置 | |
| US4568456A (en) | Sealing for an installation for purifying liquids by membrane filtration | |
| JPS6271504A (ja) | 液体処理装置 | |
| CN110787639B (zh) | 基于茶饮料加工的二级反渗透膜装置 | |
| JP3272847B2 (ja) | 複数結合型中空糸膜モジュール | |
| JP2728415B2 (ja) | 濾過フィルター | |
| GB2190306A (en) | Filtration system | |
| JPH0533831U (ja) | 中空糸膜モジユール | |
| JPH0746346Y2 (ja) | 中空糸型膜分離モジュール | |
| JPH10137553A (ja) | 継ぎ手を有する濾過膜カートリッジ | |
| JPS6111110A (ja) | 流体分離装置 | |
| JPH0347125B2 (ja) | ||
| JPH0746345Y2 (ja) | 中空糸型膜分離モジュール | |
| CN217297534U (zh) | 一种用于废水中有机物氧化降解的多功能膜组件 | |
| CN220405267U (zh) | 通用型膜组件 | |
| JP2718852B2 (ja) | 中空糸膜フィルタ装置 | |
| CN223570148U (zh) | 一种化工药液过滤机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |