JPH0641121Y2 - 測定プローブ - Google Patents
測定プローブInfo
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- JPH0641121Y2 JPH0641121Y2 JP1389389U JP1389389U JPH0641121Y2 JP H0641121 Y2 JPH0641121 Y2 JP H0641121Y2 JP 1389389 U JP1389389 U JP 1389389U JP 1389389 U JP1389389 U JP 1389389U JP H0641121 Y2 JPH0641121 Y2 JP H0641121Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed
- protrusion
- moving member
- moving
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、座標測定機等に設けられる測定プローブに関
するものである。
するものである。
一般に、３次元の座標測定機等に設けられる測定プロー
ブでは、定められた方向に変位可能にスタイラスが配設
され、このスタイラスが被測定物に接触してから一定量
変位した時点で位置を読取るといった制御が行われる。
ブでは、定められた方向に変位可能にスタイラスが配設
され、このスタイラスが被測定物に接触してから一定量
変位した時点で位置を読取るといった制御が行われる。
このようなプローブでは、上記スタイラスが比較的微小
に変位した時点で座標測定が行われる。従って、このス
タイラスはフリーな状態で正確に中立位置に復帰する必
要があり、このため、比較的高いばね定数を有する弾性
材で中立位置に保持する必要がある。その反面、スタイ
ラスを保持する部材のばね定数を無条件に大きくする
と、上記スタイラスを被測定物に当ててから所定量変位
させるまでに非常に大きな圧力（測定圧）が発生するこ
とになり、スタイラスやその他の部材に強度的な負担が
かかる。
に変位した時点で座標測定が行われる。従って、このス
タイラスはフリーな状態で正確に中立位置に復帰する必
要があり、このため、比較的高いばね定数を有する弾性
材で中立位置に保持する必要がある。その反面、スタイ
ラスを保持する部材のばね定数を無条件に大きくする
と、上記スタイラスを被測定物に当ててから所定量変位
させるまでに非常に大きな圧力（測定圧）が発生するこ
とになり、スタイラスやその他の部材に強度的な負担が
かかる。
そこで近年は、上記スタイラスを中立位置に保持するた
めに、複数のばね定数を有する２段特性をもつ弾性保持
手段を備えたものが数々提案されている。例えば実公昭
56-35784号公報には、撓みバーと２本のコイルばねでス
タイラスを支持し、上記スタイラスの微小変位は、高い
ばね定数をもつ撓みバーの撓み変形で請負い、それ以上
の変位は、低いばね定数をもつコイルばねの伸縮変形で
請負うようにしたものが示されている。このような構造
によれば、撓みバーの弾性力によってスタイラスの中立
位置への復帰力が十分に確保されるとともに、スタイラ
スが一定以上変位した後は、変位が増大しても測定圧が
急激に上がることはなく、これによって測定プローブが
保護される。
めに、複数のばね定数を有する２段特性をもつ弾性保持
手段を備えたものが数々提案されている。例えば実公昭
56-35784号公報には、撓みバーと２本のコイルばねでス
タイラスを支持し、上記スタイラスの微小変位は、高い
ばね定数をもつ撓みバーの撓み変形で請負い、それ以上
の変位は、低いばね定数をもつコイルばねの伸縮変形で
請負うようにしたものが示されている。このような構造
によれば、撓みバーの弾性力によってスタイラスの中立
位置への復帰力が十分に確保されるとともに、スタイラ
スが一定以上変位した後は、変位が増大しても測定圧が
急激に上がることはなく、これによって測定プローブが
保護される。
上記構造では、スタイラスの弾性保持手段に２段特性を
持たせるため、撓みバーとコイルばねの２種類の部材が
必要であり、しかも、これらの部材を精度良く組合わせ
なければならないために製造工程が多く、構造も複雑
で、コスト高を招く不都合がある。また、スタイラスの
大きな変位はコイルばねの変形で担っているため、この
範囲でのばね定数を低下させるには限界があり、スタイ
ラスの変位に伴う測定圧の上昇は避けられない。
持たせるため、撓みバーとコイルばねの２種類の部材が
必要であり、しかも、これらの部材を精度良く組合わせ
なければならないために製造工程が多く、構造も複雑
で、コスト高を招く不都合がある。また、スタイラスの
大きな変位はコイルばねの変形で担っているため、この
範囲でのばね定数を低下させるには限界があり、スタイ
ラスの変位に伴う測定圧の上昇は避けられない。
本考案は、このような事情に鑑み、低コストの構造で、
スタイラスを正確に中立位置に復帰させることができ、
かつ、スタイラスが大きく変位する範囲では、該変位の
増加に対する測定圧の上昇を極めて微小に抑えることが
できる測定プローブを提供することを目的とする。
スタイラスを正確に中立位置に復帰させることができ、
かつ、スタイラスが大きく変位する範囲では、該変位の
増加に対する測定圧の上昇を極めて微小に抑えることが
できる測定プローブを提供することを目的とする。
本考案は、測定機本体に固定された固定部材と、この固
定部材に対して予め設定された相対移動方向に移動可能
に連結された移動部材と、この移動部材に取付けられ、
該移動部材とともに移動するスタイラスとを備えた測定
プローブにおいて、上記固定部材に設けられ、上記移動
部材に向かって突出する固定部と、上記移動部材に設け
られ、上記固定部材に向かって突出する移動突出部と、
上記固定部材側または移動部材側に固定され、互いに等
しいばね定数を有する一対の密着巻渦巻きばねとを備
え、上記固定部材部、移動突出部のいずれか一方を他方
の上記相対移動方向と直交する方向の両側に隙間をおい
て設け、各突出部の上記相対移動方向の寸法を等しく設
定するとともに、各密着巻渦巻きばねの周面が上記固定
突出部における上記相対移動方向の両端面および中立位
置にある移動突出部における上記相対移動方向の両端面
に対して上記相対移動方向の両側から同時に圧接するよ
うにこれら密着巻渦巻きばねを配設し、これらの密着巻
渦巻きばねがその弾性力で上記固定突出部と移動突出部
とを上記相対移動方向両側から同時に挾むことにより上
記移動部材を中立位置に復帰させ、保持するようにした
ものである（請求項１）。
定部材に対して予め設定された相対移動方向に移動可能
に連結された移動部材と、この移動部材に取付けられ、
該移動部材とともに移動するスタイラスとを備えた測定
プローブにおいて、上記固定部材に設けられ、上記移動
部材に向かって突出する固定部と、上記移動部材に設け
られ、上記固定部材に向かって突出する移動突出部と、
上記固定部材側または移動部材側に固定され、互いに等
しいばね定数を有する一対の密着巻渦巻きばねとを備
え、上記固定部材部、移動突出部のいずれか一方を他方
の上記相対移動方向と直交する方向の両側に隙間をおい
て設け、各突出部の上記相対移動方向の寸法を等しく設
定するとともに、各密着巻渦巻きばねの周面が上記固定
突出部における上記相対移動方向の両端面および中立位
置にある移動突出部における上記相対移動方向の両端面
に対して上記相対移動方向の両側から同時に圧接するよ
うにこれら密着巻渦巻きばねを配設し、これらの密着巻
渦巻きばねがその弾性力で上記固定突出部と移動突出部
とを上記相対移動方向両側から同時に挾むことにより上
記移動部材を中立位置に復帰させ、保持するようにした
ものである（請求項１）。
また本発明は、測定機本体に固定された固定部材と、こ
の固定部材に対して第１の方向に移動可能に連結された
第１の移動部材と、この第１の移動部材に対して上記第
１の方向と異なる第２の方向に移動可能に連結された第
２の移動部材と、この第２の移動部材に取付けられ、該
第２の移動部材とともに移動するスタイラスとを備えた
測定プローブにおいて、上記固定部材に設けられ、上記
第１の移動部材に向かって突出する第１の固定突出部
と、上記第１の移動部材に設けられ、上記固定部材に向
かって突出する第１の移動突出部と、上記第１の移動部
材に設けられ、上記第２の移動部材に向かって突出する
第２の固定突出部と、上記第２の移動部材に設けられ、
上記第１の移動部材に向かって突出する第２の移動突出
部と、上記固定部材側または第１の移動部材側に固定さ
れ、互いに等しいばね定数を有する一対の第１の密着巻
渦巻きばねと、上記第１の移動部材側または第２の移動
部材側に固定され、互いに等しいばね定数を有する一対
の第２の密着巻渦巻きばねとを備え、上記第１の固定突
出部、第１の移動突出部のいずれか一方を他方の上記第
１の方向と直交する方向の両側に隙間をおいて設け、こ
れら第１の固定突出部及び第１の移動突出部の上記第１
の方向の寸法を等しく設定するとともに、各第１の密着
巻渦巻きばねの周面が上記第１の固定突出部における上
記第１の方向の両端面および中立位置にある第１の移動
突出部における上記第１の方向の両端面に対して上記第
１の方向の両側から同時に圧接するようにこれら第１の
密着巻渦巻きばねを配設し、上記第２の固定突出部、第
２の移動突出部のいずれか一方を他方の上記第２の方向
と直交する方向の両側に隙間をおいて設け、これら第２
の固定突出部及び第２の移動突出部の上記第２の方向の
寸法を等しく設定するとともに、各記第２の密着巻渦巻
きばねの周面が上記第２の固定突出部における上記第２
の方向の両端面および中立位置にある第２の移動突出部
における上記第２の方向の両端面に対して上記第２の方
向の両側から同時に圧接するようにこれら第２の密着巻
渦巻きばねを配設し、上記第１の密着巻渦巻きばねがそ
の弾性力で上記第１の固定突出部と第１の移動突出部と
を上記第１の方向両側から同時に挾むことにより上記第
１の移動部材を中立位置に復帰させ、保持し、上記第２
の密着巻渦巻きばねがその弾性力で上記第２の固定突出
部と第２の移動突出部とを上記第２の方向両側から同時
に挾むことにより上記第２の移動部材を中立位置に復帰
させ、保持するようにしたものである（請求項２）。
の固定部材に対して第１の方向に移動可能に連結された
第１の移動部材と、この第１の移動部材に対して上記第
１の方向と異なる第２の方向に移動可能に連結された第
２の移動部材と、この第２の移動部材に取付けられ、該
第２の移動部材とともに移動するスタイラスとを備えた
測定プローブにおいて、上記固定部材に設けられ、上記
第１の移動部材に向かって突出する第１の固定突出部
と、上記第１の移動部材に設けられ、上記固定部材に向
かって突出する第１の移動突出部と、上記第１の移動部
材に設けられ、上記第２の移動部材に向かって突出する
第２の固定突出部と、上記第２の移動部材に設けられ、
上記第１の移動部材に向かって突出する第２の移動突出
部と、上記固定部材側または第１の移動部材側に固定さ
れ、互いに等しいばね定数を有する一対の第１の密着巻
渦巻きばねと、上記第１の移動部材側または第２の移動
部材側に固定され、互いに等しいばね定数を有する一対
の第２の密着巻渦巻きばねとを備え、上記第１の固定突
出部、第１の移動突出部のいずれか一方を他方の上記第
１の方向と直交する方向の両側に隙間をおいて設け、こ
れら第１の固定突出部及び第１の移動突出部の上記第１
の方向の寸法を等しく設定するとともに、各第１の密着
巻渦巻きばねの周面が上記第１の固定突出部における上
記第１の方向の両端面および中立位置にある第１の移動
突出部における上記第１の方向の両端面に対して上記第
１の方向の両側から同時に圧接するようにこれら第１の
密着巻渦巻きばねを配設し、上記第２の固定突出部、第
２の移動突出部のいずれか一方を他方の上記第２の方向
と直交する方向の両側に隙間をおいて設け、これら第２
の固定突出部及び第２の移動突出部の上記第２の方向の
寸法を等しく設定するとともに、各記第２の密着巻渦巻
きばねの周面が上記第２の固定突出部における上記第２
の方向の両端面および中立位置にある第２の移動突出部
における上記第２の方向の両端面に対して上記第２の方
向の両側から同時に圧接するようにこれら第２の密着巻
渦巻きばねを配設し、上記第１の密着巻渦巻きばねがそ
の弾性力で上記第１の固定突出部と第１の移動突出部と
を上記第１の方向両側から同時に挾むことにより上記第
１の移動部材を中立位置に復帰させ、保持し、上記第２
の密着巻渦巻きばねがその弾性力で上記第２の固定突出
部と第２の移動突出部とを上記第２の方向両側から同時
に挾むことにより上記第２の移動部材を中立位置に復帰
させ、保持するようにしたものである（請求項２）。
また本発明は、測定機本体に固定された固定部材と、こ
の固定部材に対して第１の方向に移動可能に連結された
第１の移動部材と、この第１の移動部材に対して上記第
１の方向と異なる第２の方向に移動可能に連結された第
２の移動部材と、この第２の移動部材に対して上記第１
の方向および第２の方向と異なる第３の方向に移動可能
に連結された第３の移動部材と、この第３の移動部材に
取付けられ、該第３の移動部材とともに移動するスタイ
ラスとを備えた測定プローブにおいて、上記固定部材に
設けられ、上記第１の移動部材に向かって突出する第１
の固定突出部と、上記第１の移動部材に設けられ、上記
固定部材に向かって突出する第１の移動突出部と、上記
第１の移動部材に設けられ、上記第２の移動部材に向か
って突出する第２の固定突出部と、上記第２の移動部材
に設けられ、上記第１の移動部材に向かって突出する第
２の移動突出部と、上記第２の移動部材に設けられ、上
記第３の移動部材に向かって突出する第３の固定突出部
と、上記第３の移動部材に設けられ、上記第３の移動部
材に向かって突出する第３の移動突出部と、上記固定部
材側または第１の移動部材側に固定され、互いに等しい
ばね定数を有する一対の第１の密着巻渦巻きばねと、上
記第１の移動部材側または第２の移動部材側に固定さ
れ、互いに等しいばね定数を有する一対の第２の密着巻
渦巻きばねと、上記第２の移動部材側または第３の移動
部材側に固定され、互いに等しいばね定数を有する一対
の第３の密着巻渦巻きばねとを備え、上記第１の固定突
出部、第１の移動突出部のいずれか一方を他方の上記第
１の方向と直交する方向の両側に隙間をおいて設け、こ
れら第１の固定突出部及び第１の移動突出部の上記第１
の方向の寸法を等しく設定するとともに、各第１の密着
巻渦巻きばねの周面が上記第１の固定突出部における上
記第１の方向の両端面および中立位置にある第１の移動
突出部における上記第１の方向の両端面に対して上記第
１の方向の両側から同時に圧接するようにこれら第１の
密着巻渦巻きばねを配設し、上記第２の固定突出部、第
２の移動突出部のいずれか一方を他方の上記第２の方向
と直交する方向の両側に隙間をおいて設け、これら第２
の固定突出部及び第２の移動突出部の上記第２の方向の
寸法を等しく設定するとともに、各第２の密着巻渦巻き
ばねの周面が上記第２の固定突出部における上記第２の
方向の両端面および中立位置にある第２の移動突出部に
おける上記第２の方向の両端面に対して上記第２の方向
の両側から同時に圧接するようにこれら第２の密着巻渦
巻きばねを配設し、上記第３の固定突出部、第３の移動
突出部のいずれか一方を他方の上記第３の方向と直交す
る方向の両側に隙間をおいて設け、これら第３の固定突
出部及び第３の移動突出部の上記第３の方向の寸法を等
しく設定するとともに、各第３の密着巻渦巻きばねの周
面が上記第３の固定突出部における上記第３の方向の両
端面および中立位置にある第３の移動突出部における上
記第３の方向の両端面に対して上記第３の方向の両側か
ら同時に圧接するようにこれら第３の密着巻渦巻きばね
を配設し、上記第１の密着巻渦巻きばねがその弾性力で
上記第１の固定突出部と第１の移動突出部とを上記第１
の方向両側から同時に挾むことにより上記第１の移動部
材を中立位置に復帰させ、保持し、上記第２の密着巻渦
巻きばねがその弾性力で上記第２の固定突出部と第２の
移動突出部とを上記第２の方向両側から同時に挾むこと
により上記第２の移動部材を中立位置に復帰させ、保持
し、上記第３の密着巻渦巻きばねがその弾性力で上記第
３の固定突出部と第３の移動突出部とを上記第３の方向
両側から同時に挾むことにより上記第３の移動部材を中
立位置に復帰させ、保持するようにしたのである（請求
項３）。
の固定部材に対して第１の方向に移動可能に連結された
第１の移動部材と、この第１の移動部材に対して上記第
１の方向と異なる第２の方向に移動可能に連結された第
２の移動部材と、この第２の移動部材に対して上記第１
の方向および第２の方向と異なる第３の方向に移動可能
に連結された第３の移動部材と、この第３の移動部材に
取付けられ、該第３の移動部材とともに移動するスタイ
ラスとを備えた測定プローブにおいて、上記固定部材に
設けられ、上記第１の移動部材に向かって突出する第１
の固定突出部と、上記第１の移動部材に設けられ、上記
固定部材に向かって突出する第１の移動突出部と、上記
第１の移動部材に設けられ、上記第２の移動部材に向か
って突出する第２の固定突出部と、上記第２の移動部材
に設けられ、上記第１の移動部材に向かって突出する第
２の移動突出部と、上記第２の移動部材に設けられ、上
記第３の移動部材に向かって突出する第３の固定突出部
と、上記第３の移動部材に設けられ、上記第３の移動部
材に向かって突出する第３の移動突出部と、上記固定部
材側または第１の移動部材側に固定され、互いに等しい
ばね定数を有する一対の第１の密着巻渦巻きばねと、上
記第１の移動部材側または第２の移動部材側に固定さ
れ、互いに等しいばね定数を有する一対の第２の密着巻
渦巻きばねと、上記第２の移動部材側または第３の移動
部材側に固定され、互いに等しいばね定数を有する一対
の第３の密着巻渦巻きばねとを備え、上記第１の固定突
出部、第１の移動突出部のいずれか一方を他方の上記第
１の方向と直交する方向の両側に隙間をおいて設け、こ
れら第１の固定突出部及び第１の移動突出部の上記第１
の方向の寸法を等しく設定するとともに、各第１の密着
巻渦巻きばねの周面が上記第１の固定突出部における上
記第１の方向の両端面および中立位置にある第１の移動
突出部における上記第１の方向の両端面に対して上記第
１の方向の両側から同時に圧接するようにこれら第１の
密着巻渦巻きばねを配設し、上記第２の固定突出部、第
２の移動突出部のいずれか一方を他方の上記第２の方向
と直交する方向の両側に隙間をおいて設け、これら第２
の固定突出部及び第２の移動突出部の上記第２の方向の
寸法を等しく設定するとともに、各第２の密着巻渦巻き
ばねの周面が上記第２の固定突出部における上記第２の
方向の両端面および中立位置にある第２の移動突出部に
おける上記第２の方向の両端面に対して上記第２の方向
の両側から同時に圧接するようにこれら第２の密着巻渦
巻きばねを配設し、上記第３の固定突出部、第３の移動
突出部のいずれか一方を他方の上記第３の方向と直交す
る方向の両側に隙間をおいて設け、これら第３の固定突
出部及び第３の移動突出部の上記第３の方向の寸法を等
しく設定するとともに、各第３の密着巻渦巻きばねの周
面が上記第３の固定突出部における上記第３の方向の両
端面および中立位置にある第３の移動突出部における上
記第３の方向の両端面に対して上記第３の方向の両側か
ら同時に圧接するようにこれら第３の密着巻渦巻きばね
を配設し、上記第１の密着巻渦巻きばねがその弾性力で
上記第１の固定突出部と第１の移動突出部とを上記第１
の方向両側から同時に挾むことにより上記第１の移動部
材を中立位置に復帰させ、保持し、上記第２の密着巻渦
巻きばねがその弾性力で上記第２の固定突出部と第２の
移動突出部とを上記第２の方向両側から同時に挾むこと
により上記第２の移動部材を中立位置に復帰させ、保持
し、上記第３の密着巻渦巻きばねがその弾性力で上記第
３の固定突出部と第３の移動突出部とを上記第３の方向
両側から同時に挾むことにより上記第３の移動部材を中
立位置に復帰させ、保持するようにしたのである（請求
項３）。
（作用） まず、請求項１記載の測定プローブにおいて、スタイラ
スに外力が加えられない状態では、一対の密着巻渦巻き
ばねがその弾性力で上記固定突出部と移動突出部とを上
記相対移動方向両側から同時に挾むことにより、これら
密着巻渦巻きばねの周面が上記固定突出部における上記
相対移動方向の両端面および移動突出部における上記相
対移動方向の両端面に対して上記相対移動方向の両側か
ら同時に圧接するような位置（すなわち中立位置）に移
動部材が保持される。この状態から、スタイラスが被測
定物に押付けられると、このスタイラスおよび移動部材
が固定部材に対して変位するが、この変位が小さい範囲
では、密着巻渦巻きばねの特性により、上記変位の増加
に伴って測定圧が急激に上昇し、これによってスタイラ
スの中立位置への復帰力が十分に保たれる。さらに、ス
タイラスが大きく変位すると、上記密着巻渦巻きばねの
特性により、そのばね定数が極めて微小なものになり、
このため、スタイラスが変位しても測定圧はほとんど上
昇しない。
スに外力が加えられない状態では、一対の密着巻渦巻き
ばねがその弾性力で上記固定突出部と移動突出部とを上
記相対移動方向両側から同時に挾むことにより、これら
密着巻渦巻きばねの周面が上記固定突出部における上記
相対移動方向の両端面および移動突出部における上記相
対移動方向の両端面に対して上記相対移動方向の両側か
ら同時に圧接するような位置（すなわち中立位置）に移
動部材が保持される。この状態から、スタイラスが被測
定物に押付けられると、このスタイラスおよび移動部材
が固定部材に対して変位するが、この変位が小さい範囲
では、密着巻渦巻きばねの特性により、上記変位の増加
に伴って測定圧が急激に上昇し、これによってスタイラ
スの中立位置への復帰力が十分に保たれる。さらに、ス
タイラスが大きく変位すると、上記密着巻渦巻きばねの
特性により、そのばね定数が極めて微小なものになり、
このため、スタイラスが変位しても測定圧はほとんど上
昇しない。
さらに、請求項２記載の測定プローブにおいては、固定
部材に対して第１および第２の移動部材とスタイラスと
が第１の方向に変位するとともに、これらが第１の密着
巻渦巻きばねによって中立位置に保持され、第１の移動
部材に対して第２の移動部材とスタイラスとが第２の方
向に変位するとともに、これらが第２の密着巻渦巻きば
ねによって中立位置に保持される。
部材に対して第１および第２の移動部材とスタイラスと
が第１の方向に変位するとともに、これらが第１の密着
巻渦巻きばねによって中立位置に保持され、第１の移動
部材に対して第２の移動部材とスタイラスとが第２の方
向に変位するとともに、これらが第２の密着巻渦巻きば
ねによって中立位置に保持される。
さらに、請求項３記載の測定プローブにおいては、上記
第２の移動部材に対して第３の移動部材とスタイラスと
が第３の方向に変位するとともに、これらが第３の密着
巻渦巻きばねによって中立位置に保持される。
第２の移動部材に対して第３の移動部材とスタイラスと
が第３の方向に変位するとともに、これらが第３の密着
巻渦巻きばねによって中立位置に保持される。
本考案の一実施例を第１図〜第６図にもとづいて説明す
る。ここに示される測定プローブは、図外の測定機本体
に固定される矩形状の固定プレート（固定部材）10、お
よび矩形状の移動プレート（移動部材）12を備え、両者
の一対の対辺同志が板ばね14により連結されている。こ
れらの板ばね14は、上下方向の寸法が等しく、その表裏
両面に補強板16が固定されており、上下端が固定プレー
ト10および移動プレート12の縁部に各々ボルト等で固定
されている。これによって、上記固定プレート10および
移動プレート12は互いに平行な状態に保持され、かつ移
動プレート12は固定プレート10に対してＸ軸方向（第１
図〜第４図の左右方向）に移動可能となっている。
る。ここに示される測定プローブは、図外の測定機本体
に固定される矩形状の固定プレート（固定部材）10、お
よび矩形状の移動プレート（移動部材）12を備え、両者
の一対の対辺同志が板ばね14により連結されている。こ
れらの板ばね14は、上下方向の寸法が等しく、その表裏
両面に補強板16が固定されており、上下端が固定プレー
ト10および移動プレート12の縁部に各々ボルト等で固定
されている。これによって、上記固定プレート10および
移動プレート12は互いに平行な状態に保持され、かつ移
動プレート12は固定プレート10に対してＸ軸方向（第１
図〜第４図の左右方向）に移動可能となっている。
上記移動プレート12の下面にはスタイラス17が固定され
ており、この移動プレート12と一体に移動するようにな
っている。このスタイラス17の下端には、被測定物と接
触する接触球171が形成されている。
ており、この移動プレート12と一体に移動するようにな
っている。このスタイラス17の下端には、被測定物と接
触する接触球171が形成されている。
上記固定プレート10において、移動プレート12に対向す
る面には、この移動プレート12側（下側）に突出するよ
うに直方体状の固定ブロック（固定突出部）18がボルト
等で固定されている。同様に、移動プレート12におい
て、固定プレート10に対向する面には、この固定プレー
ト10側（上側）に突出するように直方体状の移動ブロッ
ク（移動突出部）20が固定されている。
る面には、この移動プレート12側（下側）に突出するよ
うに直方体状の固定ブロック（固定突出部）18がボルト
等で固定されている。同様に、移動プレート12におい
て、固定プレート10に対向する面には、この固定プレー
ト10側（上側）に突出するように直方体状の移動ブロッ
ク（移動突出部）20が固定されている。
第５図に示されるように、上記固定ブロック18の下面中
央には凸部181が形成され、移動ブロック20の上面中央
には上記凸部よりも大きな凹部201が形成されており、
両ブロック18,20が互いに干渉しないようになってい
る。また、両ブロック18,20の幅寸法（Ｘ軸方向の寸
法）は等しく設定されている。
央には凸部181が形成され、移動ブロック20の上面中央
には上記凸部よりも大きな凹部201が形成されており、
両ブロック18,20が互いに干渉しないようになってい
る。また、両ブロック18,20の幅寸法（Ｘ軸方向の寸
法）は等しく設定されている。
さらに、この測定プローブは、第１〜４図に示されるよ
うな一対の密着巻渦巻きばね（Coiled Flat Spring）22
を備えている。これらの密着巻渦巻きばね22は、テープ
状に切断された金属等の薄板24の両端部を芯材に巻き、
塑性変形させることにより形成されたものであり、互い
に等しいばね特性（詳細後述）をもっている。そして、
上記薄板24の中央部が固定プレート10と固定ブロック18
との間に挟まれて固定されており、これによって、両密
着巻渦巻きばね22の周面が固定ブロック18および移動ブ
ロック20の双方の周面に対しＸ軸方向の両側から圧接す
る状態になっている。
うな一対の密着巻渦巻きばね（Coiled Flat Spring）22
を備えている。これらの密着巻渦巻きばね22は、テープ
状に切断された金属等の薄板24の両端部を芯材に巻き、
塑性変形させることにより形成されたものであり、互い
に等しいばね特性（詳細後述）をもっている。そして、
上記薄板24の中央部が固定プレート10と固定ブロック18
との間に挟まれて固定されており、これによって、両密
着巻渦巻きばね22の周面が固定ブロック18および移動ブ
ロック20の双方の周面に対しＸ軸方向の両側から圧接す
る状態になっている。
これらの密着巻渦巻きばね22は、その弾性力によって固
定ブロック18および移動ブロック20を両側から挟みつけ
ており、これによって、スタイラス17および移動プレー
ト12は外力を受けない状態で上記固定ブロック18の側面
と移動ブロック20の側面とが面一となる位置（中立位
置）に保持されている。
定ブロック18および移動ブロック20を両側から挟みつけ
ており、これによって、スタイラス17および移動プレー
ト12は外力を受けない状態で上記固定ブロック18の側面
と移動ブロック20の側面とが面一となる位置（中立位
置）に保持されている。
また、図示省略するが、この測定プローブには固定プレ
ート10に対して移動プレート12が所定量Ｌだけ変位した
ことを検知するセンサが設けられている。
ート10に対して移動プレート12が所定量Ｌだけ変位した
ことを検知するセンサが設けられている。
次に、この測定プローブの作用を説明する。
上述のように、移動プレート12およびスタイラス17は密
着巻渦巻きばね22によって中立位置に保持されている
が、この状態から測定プローブ全体がＸ軸方向に駆動さ
れ、スタイラス17が被測定物に接触することにより、そ
の反力によって、スタイラス17および移動プレート12
は、上記密着巻渦巻きばね22の弾性力に抗して、固定プ
レート10に対し測定プローブの進行方向と逆の方向に変
位する。
着巻渦巻きばね22によって中立位置に保持されている
が、この状態から測定プローブ全体がＸ軸方向に駆動さ
れ、スタイラス17が被測定物に接触することにより、そ
の反力によって、スタイラス17および移動プレート12
は、上記密着巻渦巻きばね22の弾性力に抗して、固定プ
レート10に対し測定プローブの進行方向と逆の方向に変
位する。
この変位によって、第３図に示されるように密着巻渦巻
きばね22が変形し、測定圧が発生するが、周知のよう
に、この密着巻渦巻きばね22は２段のばね特性を有する
ため、上記測定圧はスタイラス17の変位に伴って第６図
に示されるように変化する。
きばね22が変形し、測定圧が発生するが、周知のよう
に、この密着巻渦巻きばね22は２段のばね特性を有する
ため、上記測定圧はスタイラス17の変位に伴って第６図
に示されるように変化する。
すなわち、スタイラス17および移動プレート12の変位が
極めて微小な範囲では、その変位に伴って測定圧が急激
に上昇するが、この測定圧がP1となり、スタイラス17の
変位がL1となった時点からは、スタイラス17の変位が増
大しても測定圧はほとんど上昇しなくなる。つまり、上
記密着巻渦巻きばね22は、スタイラス17の変位が微小変
位L1以下である範囲では、大きなばね定数k1を有し、ス
タイラス17の変位がL1を越える範囲では、極めて微小な
ばね定数k2を有している。
極めて微小な範囲では、その変位に伴って測定圧が急激
に上昇するが、この測定圧がP1となり、スタイラス17の
変位がL1となった時点からは、スタイラス17の変位が増
大しても測定圧はほとんど上昇しなくなる。つまり、上
記密着巻渦巻きばね22は、スタイラス17の変位が微小変
位L1以下である範囲では、大きなばね定数k1を有し、ス
タイラス17の変位がL1を越える範囲では、極めて微小な
ばね定数k2を有している。
従って、スタイラス17の変位がL1を超えた後は、測定圧
の上昇をほとんど伴わずにスタイラス17の変位が進行す
る。そして、このスタイラス17の変位がＬとなった時点
でプローブの駆動停止信号が出力されるとともに、その
時点での座標が読取られる。測定後は、スタイラス17を
被測定物から離間させることにより、上記密着巻渦巻き
ばね22の弾性力でスタイラス17および移動プレート12が
確実に中立位置に復帰する。
の上昇をほとんど伴わずにスタイラス17の変位が進行す
る。そして、このスタイラス17の変位がＬとなった時点
でプローブの駆動停止信号が出力されるとともに、その
時点での座標が読取られる。測定後は、スタイラス17を
被測定物から離間させることにより、上記密着巻渦巻き
ばね22の弾性力でスタイラス17および移動プレート12が
確実に中立位置に復帰する。
以上のように、この測定プローブでは、密着巻渦巻きば
ね22が高いばね定数k1をもつ範囲でスタイラス17の中立
位置への復帰力を確保することができ、かつ、極めて低
いばね定数k2をもつ範囲でスタイラス17の変位に伴う測
定圧の上昇を微小に抑えることができる。しかも、一対
の密着巻渦巻きばね22のみでスタイラス17の中立位置を
保持しているので、構造は非常に簡単であり、また、従
来のように２種のスプリング等を用いる構造に比べ、ス
タイラス17が大きく変位する範囲でのばね定数k2を極め
て微小なものにすることができる。
ね22が高いばね定数k1をもつ範囲でスタイラス17の中立
位置への復帰力を確保することができ、かつ、極めて低
いばね定数k2をもつ範囲でスタイラス17の変位に伴う測
定圧の上昇を微小に抑えることができる。しかも、一対
の密着巻渦巻きばね22のみでスタイラス17の中立位置を
保持しているので、構造は非常に簡単であり、また、従
来のように２種のスプリング等を用いる構造に比べ、ス
タイラス17が大きく変位する範囲でのばね定数k2を極め
て微小なものにすることができる。
なお、本考案はこのような実施例に限定されず、例とし
て次のような態様をとることも可能である。
て次のような態様をとることも可能である。
（１）本考案において、固定部材および移動部材の具体
的な形状、およびこれらの連結構造は特に問わず、固定
部材に対して移動部材が一方向に移動可能であれば上記
効果を得ることができる。また、固定突出部や移動突出
部の形状も、移動突出部が中立位置にある状態で両突出
部の側面に密着巻渦巻きばねが圧接可能であればよく、
例えば上記実施例のプローブにおいて、固定ブロック18
側に凹部を設け、移動ブロック20側に凸部を設けるよう
にしてもよいし、両者を円柱状等に形成してもよい。
的な形状、およびこれらの連結構造は特に問わず、固定
部材に対して移動部材が一方向に移動可能であれば上記
効果を得ることができる。また、固定突出部や移動突出
部の形状も、移動突出部が中立位置にある状態で両突出
部の側面に密着巻渦巻きばねが圧接可能であればよく、
例えば上記実施例のプローブにおいて、固定ブロック18
側に凹部を設け、移動ブロック20側に凸部を設けるよう
にしてもよいし、両者を円柱状等に形成してもよい。
（２）上記実施例では一対の密着巻渦巻きばね22を単一
の薄板24で形成したものを用いたが、各密着巻渦巻きば
ね22は別個の薄板等により形成されたものでもよい。ま
た、密着巻渦巻きばねを移動部材側に取付けるようにし
てもよく、例えば一方の密着巻渦巻きばねは固定部材側
に、他方の密着巻渦巻きばねは移動部材側に固定するよ
うにしても同様の効果を得ることができる。
の薄板24で形成したものを用いたが、各密着巻渦巻きば
ね22は別個の薄板等により形成されたものでもよい。ま
た、密着巻渦巻きばねを移動部材側に取付けるようにし
てもよく、例えば一方の密着巻渦巻きばねは固定部材側
に、他方の密着巻渦巻きばねは移動部材側に固定するよ
うにしても同様の効果を得ることができる。
（３）上記実施例では、スタイラス17がＸ軸方向に変位
するものを示したが、Ｙ軸、Ｚ軸方向に変位するものに
ついても上記実施例と同様にして適用することができ
る。
するものを示したが、Ｙ軸、Ｚ軸方向に変位するものに
ついても上記実施例と同様にして適用することができ
る。
第７図は、上記構造を３段に組合せることにより、スタ
イラス17が３方向に変位するようにした測定プローブを
示したものである。
イラス17が３方向に変位するようにした測定プローブを
示したものである。
図において、鉛直方向に延びるプレート（固定部材）40
の上端が測定機本体に固定され、このプレート40に対し
てプレート（第１の移動部材）42がＺ軸方向（上下方
向；第１の方向）に移動可能に連結されており、このプ
レート42の下端に水平方向に広がるプレート（第１の移
動部材）44が固定されている。このプレート44には該プ
レート44に対してＹ軸方向（第２の方向）に移動可能に
プレート（第２の移動部材）46が連結され、このプレー
ト46に対してＸ軸方向（第３の方向）に移動可能にプレ
ート（第３の移動部材）48が連結されており、このプレ
ート48の下面にスタイラス17が固定されている。また、
プレート40とプレート44の間にはスプリング50が介設さ
れており、このスプリング50がプレート42以下の部材を
引上げることにより、プローブの自重がプレート42の変
位に影響することが防がれている。
の上端が測定機本体に固定され、このプレート40に対し
てプレート（第１の移動部材）42がＺ軸方向（上下方
向；第１の方向）に移動可能に連結されており、このプ
レート42の下端に水平方向に広がるプレート（第１の移
動部材）44が固定されている。このプレート44には該プ
レート44に対してＹ軸方向（第２の方向）に移動可能に
プレート（第２の移動部材）46が連結され、このプレー
ト46に対してＸ軸方向（第３の方向）に移動可能にプレ
ート（第３の移動部材）48が連結されており、このプレ
ート48の下面にスタイラス17が固定されている。また、
プレート40とプレート44の間にはスプリング50が介設さ
れており、このスプリング50がプレート42以下の部材を
引上げることにより、プローブの自重がプレート42の変
位に影響することが防がれている。
プレート40とプレート42が互いに対向する面には上記固
定ブロック18や移動ブロック20と同様のブロック（第１
の固定突出部）401およびブロック（第１の移動突出
部）421が各々固定されており、同様にプレート44とプ
レート46が互いに対向する面にはブロック（第２の固定
突出部）441およびブロック（第２の移動突出部）461
が、プレート46とプレート48が互いに対向する面にはブ
ロック（第３の固定突出部）462およびブロック（第３
の移動突出部）481が各々固定されている。
定ブロック18や移動ブロック20と同様のブロック（第１
の固定突出部）401およびブロック（第１の移動突出
部）421が各々固定されており、同様にプレート44とプ
レート46が互いに対向する面にはブロック（第２の固定
突出部）441およびブロック（第２の移動突出部）461
が、プレート46とプレート48が互いに対向する面にはブ
ロック（第３の固定突出部）462およびブロック（第３
の移動突出部）481が各々固定されている。
また、上記ブロック401,421に対してＺ軸方向の両側か
ら圧接するように第１の密着巻渦巻きばね51が取付けら
れており、同様に、ブロック441,461に対してＹ軸方向
の両側から圧接するように第２の密着巻渦巻きばね52
が、ブロック462,481に対してＸ軸方向の両側から圧接
するように第３の密着巻渦巻きばね53が取付けられてい
る。そして、これらの密着巻渦巻きばね51〜53によって
各プレトー42,46,48が中立位置に保持されている。
ら圧接するように第１の密着巻渦巻きばね51が取付けら
れており、同様に、ブロック441,461に対してＹ軸方向
の両側から圧接するように第２の密着巻渦巻きばね52
が、ブロック462,481に対してＸ軸方向の両側から圧接
するように第３の密着巻渦巻きばね53が取付けられてい
る。そして、これらの密着巻渦巻きばね51〜53によって
各プレトー42,46,48が中立位置に保持されている。
このような構造では、Ｚ軸方向に関してはプレート40が
固定側（請求項１における固定部材）となり、プレート
42以下の部材が移動側（請求項１における移動部材）と
なる。同様に、Ｙ軸方向に関しては、プレート40からプ
レート44に至るまでの部材が固定側、プレート46以下の
部材が移動部側となり、Ｘ軸方向に関しては、プレート
40からプレート46に至るまでの部材が固定側、プレート
48が移動側となる。このような３段構造の測定プローブ
では、一方向の変位に関する構造にのみ本考案を適用
し、他の部分を従来の構造にするようにしてもよい。ま
た、この測定プローブにおいて、プレート40,42の連結
構造、プレート44,46の連結構造、プレート46,48の連結
構造のいずれか一つを省略することにより、２次元座標
測定用プローブとなることはいうまでもない（請求項２
記載の測定プローブに対応）。
固定側（請求項１における固定部材）となり、プレート
42以下の部材が移動側（請求項１における移動部材）と
なる。同様に、Ｙ軸方向に関しては、プレート40からプ
レート44に至るまでの部材が固定側、プレート46以下の
部材が移動部側となり、Ｘ軸方向に関しては、プレート
40からプレート46に至るまでの部材が固定側、プレート
48が移動側となる。このような３段構造の測定プローブ
では、一方向の変位に関する構造にのみ本考案を適用
し、他の部分を従来の構造にするようにしてもよい。ま
た、この測定プローブにおいて、プレート40,42の連結
構造、プレート44,46の連結構造、プレート46,48の連結
構造のいずれか一つを省略することにより、２次元座標
測定用プローブとなることはいうまでもない（請求項２
記載の測定プローブに対応）。
以上記載したように、本考案によれば次のような効果を
得ることができる。
得ることができる。
まず、請求項１記載のプローブは、固定部材および移動
部材において互いに対向する面に固定突出部および移動
突出部を固定し、両突出部に圧接するように密着巻渦巻
きばねを配置して、この密着巻渦巻きばねにより移動部
材およびスタイラスを中立位置に保持するようにしたも
のであるので、密着巻渦巻きばねを用いるだけの簡単な
構造で、そのばね特性を利用することにより、スタイラ
スを中立位置に復帰させるための測定圧を確保し、これ
によって高い測定精度を維持するとともに、スタイラス
の変位が一定値を超えた範囲では該変位に伴う測定圧の
上昇を極めて微小に抑え、これによってプローブの充分
な保護を図ることができる効果がある。
部材において互いに対向する面に固定突出部および移動
突出部を固定し、両突出部に圧接するように密着巻渦巻
きばねを配置して、この密着巻渦巻きばねにより移動部
材およびスタイラスを中立位置に保持するようにしたも
のであるので、密着巻渦巻きばねを用いるだけの簡単な
構造で、そのばね特性を利用することにより、スタイラ
スを中立位置に復帰させるための測定圧を確保し、これ
によって高い測定精度を維持するとともに、スタイラス
の変位が一定値を超えた範囲では該変位に伴う測定圧の
上昇を極めて微小に抑え、これによってプローブの充分
な保護を図ることができる効果がある。
さらに、請求項2,3記載のプローブは、上記構造を上記
第１の方向と異なる第２の方向、さらには第３の方向の
変位について適用したものであるので、２次元座標測定
機や３次元座標測定機用の測定プローブとして、上記の
優れた効果をもつものを提供することができる。
第１の方向と異なる第２の方向、さらには第３の方向の
変位について適用したものであるので、２次元座標測定
機や３次元座標測定機用の測定プローブとして、上記の
優れた効果をもつものを提供することができる。
第１図は本考案の一実施例にかかる測定プローブにおい
て移動プレートおよびスタイラスが中立位置にある状態
を示した正面断面図、第２図は第１図のII-II線断面
図、第３図は上記測定プローブにおいて移動プレートお
よびスタイラスが所定量変位した状態を示す正面断面
図、第４図は第３図のIV-IV線断面図、第５図は上記測
定プローブにおける固定ブロックおよび移動ブロックの
要部を示す破断斜視図、第６図は同測定プローブに設け
られる密着巻渦巻きばねのばね特性を示すグラフ、第７
図はスタイラスが３方向に変位可能な測定プローブを示
す斜視図である。 10……固定プレート（固定部材）、12……移動プレート
（移動部材）、17……スタイラス、18……固定ブロック
（固定突出部）、20……移動ブロック（移動突出部）、
22……密着巻渦巻きばね、40……プレート（固定部
材）、42……プレート（第１の移動部材）、44……プレ
ート（第１の移動部材）、46……プレート（第２の移動
部材）、48……プレート（第３の移動部材）、401……
ブロック（第１の固定突出部）、421……ブロック（第
１の移動突出部）、441……ブロック（第２の固定突出
部）、461……ブロック（第２の移動突出部）、462……
ブロック（第３の固定突出部）、481……ブロック（第
３の移動突出部）、51……第１の密着巻渦巻きばね、52
……第２の密着巻渦巻きばね、53……第３の密着巻渦巻
きばね。
て移動プレートおよびスタイラスが中立位置にある状態
を示した正面断面図、第２図は第１図のII-II線断面
図、第３図は上記測定プローブにおいて移動プレートお
よびスタイラスが所定量変位した状態を示す正面断面
図、第４図は第３図のIV-IV線断面図、第５図は上記測
定プローブにおける固定ブロックおよび移動ブロックの
要部を示す破断斜視図、第６図は同測定プローブに設け
られる密着巻渦巻きばねのばね特性を示すグラフ、第７
図はスタイラスが３方向に変位可能な測定プローブを示
す斜視図である。 10……固定プレート（固定部材）、12……移動プレート
（移動部材）、17……スタイラス、18……固定ブロック
（固定突出部）、20……移動ブロック（移動突出部）、
22……密着巻渦巻きばね、40……プレート（固定部
材）、42……プレート（第１の移動部材）、44……プレ
ート（第１の移動部材）、46……プレート（第２の移動
部材）、48……プレート（第３の移動部材）、401……
ブロック（第１の固定突出部）、421……ブロック（第
１の移動突出部）、441……ブロック（第２の固定突出
部）、461……ブロック（第２の移動突出部）、462……
ブロック（第３の固定突出部）、481……ブロック（第
３の移動突出部）、51……第１の密着巻渦巻きばね、52
……第２の密着巻渦巻きばね、53……第３の密着巻渦巻
きばね。
Claims (3)
- 【請求項１】測定機本体に固定された固定部材と、この
固定部材に対して予め設定された相対移動方向に移動可
能に連結された移動部材と、この移動部材に取付けら
れ、該移動部材とともに移動するスタイラスとを備えた
測定プローブにおいて、上記固定部材に設けられ、上記
移動部材に向かって突出する固定突出部と、上記移動部
材に設けられ、上記固定部材に向かって突出する移動突
出部と、上記固定部材側または移動部材側に固定され、
互いに等しいばね定数を有する一対の密着巻渦巻きばね
とを備え、上記固定突出部、移動突出部のいずれか一方
を他方の上記相対移動方向と直交する方向の両側に隙間
をおいて設け、各突出部の上記相対移動方向の寸法を等
しく設定するとともに、各密着巻渦巻きばねの周面が上
記固定突出部における上記相対移動方向の両端面および
中立位置にある移動突出部における上記相対移動方向の
両端面に対して上記相対移動方向の両側から同時に圧接
するようにこの密着巻渦巻きばねを配設し、これらの密
着巻渦巻きばねがその弾性力で上記固定突出部と移動突
出部とを上記相対移動方向両側から同時に挾むことによ
り上記移動部材を中立位置に復帰させ、保持するように
したことを特徴とする測定プローブ。 - 【請求項２】測定機本体に固定された固定部材と、この
固定部材に対して第１の方向に移動可能に連結された第
１の移動部材と、この第１の移動部材に対して上記第１
の方向と異なる第２の方向に移動可能に連結された第２
の移動部材と、この第２の移動部材に取付けられ、該第
２の移動部材とともに移動するスタイラスとを備えた測
定プローブにおいて、上記固定部材に設けられ、上記第
１の移動部材に向かって突出する第１の固定突出部と、
上記第１の移動部材に設けられ、上記固定部材に向かっ
て突出する第１の移動突出部と、上記第１の移動部材に
設けられ、上記第２の移動部材に向かって突出する第２
の固定突出部と、上記第２の移動部材に設けられ、上記
第１の移動部材に向かって突出する第２の移動突出部
と、上記固定部材側または第１の移動部材側に固定さ
れ、互いに等しいばね定数を有する一対の第１の密着巻
渦巻きばねと、上記第１の移動部材側または第２の移動
部材側に固定され、互いに等しいばね定数を有する一対
の第２の密着巻渦巻きばねとを備え、上記第１の固定突
出部、第１の移動突出部のいずれか一方を他方の上記第
１の方向と直交する方向の両側に隙間をおいて設け、こ
れら第１の固定突出部及び第１の移動突出部の上記第１
の方向の寸法を等しく設定するとともに、各密着巻渦巻
きばねの周面が上記第１の固定突出部における上記第１
の方向の両端面および中立位置にある第１の移動突出部
における上記第１の方向の両端面に対して上記第１の方
向の両側から同時に圧接するようにこれら第１の密着巻
渦巻きばねを配設し、上記第２の固定突出部、第２の移
動突出部のいずれか一方を他方の上記第２の方向と直交
する方向の両側に隙間をおいて設け、これら第２の固定
突出部及び第２の移動突出部の上記第２の方向の寸法を
等しく設定するとともに、各第２の密着巻渦巻きばねの
周面が上記第２の固定突出部における上記第２の方向の
両端面および中立位置にある第２の移動突出部における
上記第２の方向の両端面に対して上記第２の方向の両側
から同時に圧接するようにこれら第２の密着巻渦巻きば
ねを配設し、上記第１の密着巻渦巻きばねがその弾性力
で上記第１の固定突出部と第１の移動突出部とを上記第
１の方向両側から同時に挾むことにより上記第１の移動
部材を中立位置に復帰させ、保持し、上記第２の密着巻
渦巻きばねがその弾性力で上記第２の固定突出部と第２
の移動突出部とを上記第２の方向両側から同時に挾むこ
とにより上記第２の移動部材を中立位置に復帰させ、保
持するようにしたことを特徴とする測定プローブ - 【請求項３】測定機本体に固定された固定部材と、この
固定部材に対して第１の方向に移動可能に連結された第
１の移動部材と、この第１の移動部材に対して上記第１
の方向と異なる第２の方向に移動可能に連結された第２
の移動部材と、この第２の移動部材に対して上記第１の
方向および第２の方向と異なる第３の方向に移動可能に
連結された第３の移動部材と、この第３の移動部材に取
付けられ、該第３の移動部材とともに移動するスタイラ
スとを備えた測定プローブにおいて、上記固定部材に設
けられ、上記第１の移動部材に向かって突出する第１の
固定突出部と、上記第１の移動部材に設けられ、上記固
定部材に向かって突出する第１の移動突出部と、上記第
１の移動部材に設けられ、上記第２の移動部材に向かっ
て突出する第２の固定突出部と、上記第２の移動部材に
設けられ、上記第１の移動部材に向かって突出する第２
の移動突出部と、上記第２の移動部材に設けられ、上記
第３の移動部材に向かって突出する第３の固定突出部
と、上記第３の移動部材に設けられ、上記第２の移動部
材に向かって突出する第３の移動突出部と、上記固定部
材側または第１の移動部材側に固定され、互いに等しい
ばね定数を有する一対の第１の密着巻渦巻きばねと、上
記第１の移動部材側または第２の移動部材側に固定さ
れ、互いに等しいばね定数を有する一対の第２の密着巻
渦巻きばねと、上記第２の移動部材側または第３の移動
部材側に固定され、互いに等しいばね定数を有する一対
の第３の密着巻渦巻きばねとを備え、上記第１の固定突
出部、第１の移動突出部のいずれか一方を他方の上記第
１の方向と直交する方向の両側に隙間をおいて設け、こ
れら第１の固定突出部及び第１の移動突出部の上記第１
の方向の寸法を等しく設定するとともに、各第１の密着
巻渦巻きばねの周面が上記第１の固定突出部における上
記第１の方向の両端面および中立位置にある第１の移動
突出部における上記第１の方向の両端面に対して上記第
１の方向の両側から同時に圧接するようにこれら第１の
密着巻渦巻きばねを配設し、上記第２の固定突出部、第
２の移動突出部のいずれか一方を他方の上記第２の方向
と直交する方向の両側に隙間をおいて設け、これら第２
の固定突出部及び第２の移動突出部の上記第２の方向の
寸法を等しく設定するとともに、各第２の密着巻渦巻き
ばねの周面が上記第２の固定突出部における上記第２の
方向の両端面および中立位置にある第２の移動突出部に
おける上記第２の方向の両端面に対して上記第２の方向
の両側から同時に圧接するようにこれら第２の密着巻渦
巻きばねを配設し、上記第３の固定突出部、第３の移動
突出部のいずれか一方を他方の上記第３の方向と直交す
る方向の両側に隙間をおいて設け、これら第３の固定突
出部及び第３の移動突出部の上記第３の方向の寸法を等
しく設定するとともに、各第３の密着巻渦巻きばねの周
面が上記第３の固定突出部における上記第３の方向の両
端面および中立位置にある第３の移動突出部における上
記第３の方向の両端面に対して上記第３の方向の両側か
ら同時に圧接するようにこれら第３の密着巻渦巻きばね
を配設し、上記第１の密着巻渦巻きばねがその弾性力で
上記第１の固定突出部と第１の移動突出部とを上記第１
の方向両側から同時に挾むことにより上記第１の移動部
材を中立位置に復帰させ、保持し、上記第２の密着巻渦
巻きばねがその弾性力で上記第２の固定突出部と第２の
移動突出部とを上記第２の方向両側から同時に挾むこと
により上記第２の移動部材を中立位置に復帰させ、保持
し、上記第３の密着巻渦巻きばねがその弾性力で上記第
３の固定突出部と第３の移動突出部とを上記第３の方向
両側から同時に挾むことにより上記第３の移動部材を中
立位置に復帰させ、保持するようにしたことを特徴とす
る測定プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1389389U JPH0641121Y2 (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | 測定プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1389389U JPH0641121Y2 (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | 測定プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02105103U JPH02105103U (ja) | 1990-08-21 |
| JPH0641121Y2 true JPH0641121Y2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=31224595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1389389U Expired - Fee Related JPH0641121Y2 (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | 測定プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641121Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115950353A (zh) * | 2022-12-05 | 2023-04-11 | 广东兴发铝业有限公司 | 一种铝型材模具精度检测设备 |
-
1989
- 1989-02-08 JP JP1389389U patent/JPH0641121Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02105103U (ja) | 1990-08-21 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |