JPH0641329B2 - 搬 送 装 置 - Google Patents
搬 送 装 置Info
- Publication number
- JPH0641329B2 JPH0641329B2 JP25331884A JP25331884A JPH0641329B2 JP H0641329 B2 JPH0641329 B2 JP H0641329B2 JP 25331884 A JP25331884 A JP 25331884A JP 25331884 A JP25331884 A JP 25331884A JP H0641329 B2 JPH0641329 B2 JP H0641329B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- side member
- cassette
- opening
- lid
- reticle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H1/00—Supports or magazines for piles from which articles are to be separated
- B65H1/26—Supports or magazines for piles from which articles are to be separated with auxiliary supports to facilitate introduction or renewal of the pile
- B65H1/266—Support fully or partially removable from the handling machine, e.g. cassette, drawer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2402/00—Constructional details of the handling apparatus
- B65H2402/30—Supports; Subassemblies; Mountings thereof
- B65H2402/32—Sliding support means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、レチクル等の基板を載置する載置側部材（収
納箱）と蓋側部材（カセット蓋）を有するカセットから
載置側部材に載置されている基板を取出して搬送するた
めの搬送装置に関するものである。
納箱）と蓋側部材（カセット蓋）を有するカセットから
載置側部材に載置されている基板を取出して搬送するた
めの搬送装置に関するものである。
（従来技術） 従来、この種の装置としては、レチクル等の基板のみを
カセットより直接引き出して搬送するものが知られてい
る。しかしながら、このような装置では、搬送途中で基
板に傷やゴミ等が付き易いという不都合があった。ま
た、他の従来例にかかわる装置としては、カセット全体
を引き出して所定位置まで搬送し、その後カセット内か
らレチクル等の基板を取り出す構成のものもある。しか
し、このような構成では、カセットの載置側部材（収納
箱）と蓋側部材（カセット蓋）を分離するための機構を
カセットの搬送路中に設ける必要があるので、基板をカ
セットから取り出して所定の位置まで搬送するのに時間
がかかるという不都合があった。
カセットより直接引き出して搬送するものが知られてい
る。しかしながら、このような装置では、搬送途中で基
板に傷やゴミ等が付き易いという不都合があった。ま
た、他の従来例にかかわる装置としては、カセット全体
を引き出して所定位置まで搬送し、その後カセット内か
らレチクル等の基板を取り出す構成のものもある。しか
し、このような構成では、カセットの載置側部材（収納
箱）と蓋側部材（カセット蓋）を分離するための機構を
カセットの搬送路中に設ける必要があるので、基板をカ
セットから取り出して所定の位置まで搬送するのに時間
がかかるという不都合があった。
（目的） 本発明は、上述した事情に鑑みなされたもので、その目
的は、レチクル等の基板を載置する載置側部材と蓋側部
材を有するカセットから載置側部材に載置されている基
板を高速に、且つ傷等を付けることなく取出して搬送す
ることを可能にする搬送装置を提供することにある。
的は、レチクル等の基板を載置する載置側部材と蓋側部
材を有するカセットから載置側部材に載置されている基
板を高速に、且つ傷等を付けることなく取出して搬送す
ることを可能にする搬送装置を提供することにある。
（目的を達成するための手段） 本発明の搬送装置は、上記目的を達成するために、基板
（レチクル等）が載置される載置側部材（収納箱）と、
この載置側部材と共同して前記基板を収納する収納室を
形成する蓋側部材（蓋）と、開位置から閉位置に移動さ
れることにより前記蓋側部材を前記載置側部材に対して
密着させ、前記閉位置から前記開位置に移動されること
により前記蓋側部材と前記載置側部材の密着を解除させ
る開閉レバーを有するカセットから前記基板を取り出し
て搬送する搬送装置であって、前記カセットに対して引
き出し方向に進退自在に移動し、前記載置側部材を支持
して前記引き出し方向に沿って移動することにより前記
蓋側部材に対して前記載置側部材を引き出す引き出し部
材と、前記引き出し方向に関しては前記引き出し部材と
一体的に移動し、前記引き出し部材が前記載置側部材を
支持することにより前記開閉レバーに干渉する位置から
干渉しない位置に退避し、前記開閉レバーに干渉する位
置にある際には、前記引き出し部材の前記カセット側へ
の進入に応じて前記開閉レバーを前記閉位置から前記開
位置に移動させ、前記引き出し部材の前記カセット側か
らの退避に応じて前記開閉レバーを前記開位置から前記
閉位置に移動させる操作レバーと、前記引き出し部材に
支持されて前記蓋側部材に対して引き出し方向に沿って
引き出された前記載置側部材から前記基板を取り出す取
り出し手段（位置決め機構、送り込みハンド）とを有す
ることを特徴としている。
（レチクル等）が載置される載置側部材（収納箱）と、
この載置側部材と共同して前記基板を収納する収納室を
形成する蓋側部材（蓋）と、開位置から閉位置に移動さ
れることにより前記蓋側部材を前記載置側部材に対して
密着させ、前記閉位置から前記開位置に移動されること
により前記蓋側部材と前記載置側部材の密着を解除させ
る開閉レバーを有するカセットから前記基板を取り出し
て搬送する搬送装置であって、前記カセットに対して引
き出し方向に進退自在に移動し、前記載置側部材を支持
して前記引き出し方向に沿って移動することにより前記
蓋側部材に対して前記載置側部材を引き出す引き出し部
材と、前記引き出し方向に関しては前記引き出し部材と
一体的に移動し、前記引き出し部材が前記載置側部材を
支持することにより前記開閉レバーに干渉する位置から
干渉しない位置に退避し、前記開閉レバーに干渉する位
置にある際には、前記引き出し部材の前記カセット側へ
の進入に応じて前記開閉レバーを前記閉位置から前記開
位置に移動させ、前記引き出し部材の前記カセット側か
らの退避に応じて前記開閉レバーを前記開位置から前記
閉位置に移動させる操作レバーと、前記引き出し部材に
支持されて前記蓋側部材に対して引き出し方向に沿って
引き出された前記載置側部材から前記基板を取り出す取
り出し手段（位置決め機構、送り込みハンド）とを有す
ることを特徴としている。
（実施例） 第１図は本発明に係わるカセツトを示す。
１はレチクル、２は収納箱、３は蓋、４は弾性板、５は
開閉レバー、６はフレーム、７はベルト、８はカセツト
である。
開閉レバー、６はフレーム、７はベルト、８はカセツト
である。
ここで開閉レバー５を開方向に回動するとその中央部が
固定された弾性板４で支持された蓋３が全体的にほぼ水
平に上方に浮き、逆に開閉レバーを閉方向に動かすと弾
性板４の弾性力に抗して蓋３を閉じる。なおベルト７は
開閉レバー５に一端を固定され開閉レバー５による蓋３
の密着の際の浮き上がりを防止するために設けられてい
る。
固定された弾性板４で支持された蓋３が全体的にほぼ水
平に上方に浮き、逆に開閉レバーを閉方向に動かすと弾
性板４の弾性力に抗して蓋３を閉じる。なおベルト７は
開閉レバー５に一端を固定され開閉レバー５による蓋３
の密着の際の浮き上がりを防止するために設けられてい
る。
第２図はレチクル１が収納された収納箱２をカセツト８
より取り出した図を示す。
より取り出した図を示す。
第３図は収納箱をカセツトより水平方向に移動させる水
平移動機構１０を示す。
平移動機構１０を示す。
第３図で１１は引き出し部材、１１ａは操作レバー、１
１ｂは回転コロ、１１ｃは回転支点、１１ｄは弾性部
材、１１ｅは固定レバー、１１ｆは引っかけピンであ
る。
１ｂは回転コロ、１１ｃは回転支点、１１ｄは弾性部
材、１１ｅは固定レバー、１１ｆは引っかけピンであ
る。
ここで回転支点１１ｃを中心に操作レバー１１ａ，回転
コロ１１ｂが一体で回転可能に設けられる。
コロ１１ｂが一体で回転可能に設けられる。
なお固定レバー１１ｅは引き出される収納箱を位置決め
するためのものである。
するためのものである。
次に第４図(A)(B)でレチクル１が収納された収納箱２を
水平方向に引き出すことを説明する。
水平方向に引き出すことを説明する。
第４図(A)で先ず引き出し部材１１を含む水平移動機構
１０は収納箱２の側部に係合して図中左側へ移動する。
１０は収納箱２の側部に係合して図中左側へ移動する。
そのとき操作レバー１１ａが開閉レバー５に突き当た
り、開閉レバー５を時計方向に回動させ、これにより蓋
６を全体的に上方に浮かせる。
り、開閉レバー５を時計方向に回動させ、これにより蓋
６を全体的に上方に浮かせる。
そして操作レバー１１ａが弾性作用で開位置の開閉レバ
ー５を乗り越え、更に水平移動機構１０は左側に移動
し、収納箱２に設けられる不図示の引っかけ部材により
停止する。
ー５を乗り越え、更に水平移動機構１０は左側に移動
し、収納箱２に設けられる不図示の引っかけ部材により
停止する。
さてこの引っかけ部材位置で停止させた後、水平移動機
構１０を図中上方に微か変位する。すると収納箱２の側
面に設けられる不図示の部材が回転コロ１１ｂを下方に
押して、回転コロ１１ｂ及び操作レバー１１ａは回転支
点１１ｃを中心に反時計方向に回動される。
構１０を図中上方に微か変位する。すると収納箱２の側
面に設けられる不図示の部材が回転コロ１１ｂを下方に
押して、回転コロ１１ｂ及び操作レバー１１ａは回転支
点１１ｃを中心に反時計方向に回動される。
これにより操作レバー１１ａと開閉レバー５は互いに干
渉しない高さ関係となる。
渉しない高さ関係となる。
第４図(B)は引き出し部材１１がレチクル１を含む収納
箱２を引き出して図中、右側方向へ搬送する図を示す。
箱２を引き出して図中、右側方向へ搬送する図を示す。
操作レバー１１ａと開閉レバー５は前述した如く干渉し
ないため、操作レバー１１ａが右側へ移動している際、
開閉レバー５を変化させず蓋６は開状態を保つ。
ないため、操作レバー１１ａが右側へ移動している際、
開閉レバー５を変化させず蓋６は開状態を保つ。
このようにして水平移動機構１０は水平方向の基準位置
へ垂直方向に微か上昇した状態で戻る。
へ垂直方向に微か上昇した状態で戻る。
なお、使用後のレチクルをカセット８に収納する場合
は、前述したフローと逆のフローとなる。
は、前述したフローと逆のフローとなる。
すなわち水平移動機構１０をカセット８の方向に水平移
動し、その後下方に微か変位させ回転コロ１ｂ及び操作
レバー１１ａを上方に復帰させてから、逆方向に水平移
動させる。その際、操作レバー１１ａのフツク部が開閉
レバー５を引っかけ、開閉レバー５を逆に回動させて自
動的に閉状態として退去する。
動し、その後下方に微か変位させ回転コロ１ｂ及び操作
レバー１１ａを上方に復帰させてから、逆方向に水平移
動させる。その際、操作レバー１１ａのフツク部が開閉
レバー５を引っかけ、開閉レバー５を逆に回動させて自
動的に閉状態として退去する。
次に第５図で水平移動機構１０で水平移動されたレチク
ルをレチクルステージへ搬送する系を示す。
ルをレチクルステージへ搬送する系を示す。
レチクルを収納した収納箱２を水平方向に取り出した水
平移動機構１０は水平方向の基準位置から垂直移動機構
１２により上昇し、送り込みハンド１７の水平移動面内
の位置に達する。その後、送り込みハンド１７の水平移
動面内の位置より上方に設けられた不図示のレチクル吸
着体が下降しレチクルを吸着した後、元の位置まで上昇
する。
平移動機構１０は水平方向の基準位置から垂直移動機構
１２により上昇し、送り込みハンド１７の水平移動面内
の位置に達する。その後、送り込みハンド１７の水平移
動面内の位置より上方に設けられた不図示のレチクル吸
着体が下降しレチクルを吸着した後、元の位置まで上昇
する。
これと同時に水平移動機構１０は下降し、送り込みハン
ド１７の水平移動面より所定量下方の待機位置で停止す
る。該停止を確認後、送り込みハンドが水平面内に９０
°回転される。
ド１７の水平移動面より所定量下方の待機位置で停止す
る。該停止を確認後、送り込みハンドが水平面内に９０
°回転される。
その後、前述のレチクル吸着体がレチクルを吸着したま
ま、下降し送り込みハンド１７の上面にレチクルを載置
する。
ま、下降し送り込みハンド１７の上面にレチクルを載置
する。
次に前述のレチクル吸着体とほぼ同じ高さに設けられて
いる位置決め機構１５が下降する。
いる位置決め機構１５が下降する。
そして送り込みハンド１７の上面に載置されたレチクル
を位置決め機構１５の位置決め部材１５ａ，１５ｂ及び
プツシヤ部材１５ｃ，１５ｄで位置決めする。
を位置決め機構１５の位置決め部材１５ａ，１５ｂ及び
プツシヤ部材１５ｃ，１５ｄで位置決めする。
なお位置決め部材１５ａ，１５ｂはレチクルの直交する
側端部から各々所定量隔った位置から基準位置へ変位す
るようにしてレチクルに傷が付くのを防止している。
側端部から各々所定量隔った位置から基準位置へ変位す
るようにしてレチクルに傷が付くのを防止している。
又、プツシヤ部材１５ｃ，１５ｄもレチクルから外れた
位置を始点にして位置決め基準位置の位置決め部材１５
ａ，１５ｂにレチクルが突き当たるようレチクルを押し
つける。
位置を始点にして位置決め基準位置の位置決め部材１５
ａ，１５ｂにレチクルが突き当たるようレチクルを押し
つける。
なお位置決めされる間、送り込みハンド１７はレチクル
の吸着を解除しているが、位置決めが完了するとレチク
ルを吸着する。そして位置決め後、位置決め部材１５
ａ，１５ｂ及びプツシヤ部材１５ｃ，１５ｄを含む位置
決め機構１５はレチクルから離れ各々始点位置へ戻る。
の吸着を解除しているが、位置決めが完了するとレチク
ルを吸着する。そして位置決め後、位置決め部材１５
ａ，１５ｂ及びプツシヤ部材１５ｃ，１５ｄを含む位置
決め機構１５はレチクルから離れ各々始点位置へ戻る。
その後、送り込みハンド１７は逆方向に９０°回転して
レチクルステージへレチクルを搬送する。なおインデツ
クス板１６の凹凸はカセツトの各収納高さ位置に対応
し、又フオトスイツチ１４はインデツクス板１６の凹凸
に応じて光が透過するか遮蔽されるかにより水平移動機
構１０の上下方向の位置を精度良く制御する。
レチクルステージへレチクルを搬送する。なおインデツ
クス板１６の凹凸はカセツトの各収納高さ位置に対応
し、又フオトスイツチ１４はインデツクス板１６の凹凸
に応じて光が透過するか遮蔽されるかにより水平移動機
構１０の上下方向の位置を精度良く制御する。
又、駆動部１３と同軸に不図示のポテンシヨメータが設
けられ、水平移動機構１０の絶対高さ位置を概略制御す
る。
けられ、水平移動機構１０の絶対高さ位置を概略制御す
る。
ここで、第６図(a)〜(e)に垂直方向の移動機構のフロー
を概略示す。
を概略示す。
なお本発明において基板はレチクルの他、マスク，ウエ
ハ等であっても良い。
ハ等であっても良い。
（効果） 以上本発明によれば、レチクル等の基板に傷が付きにく
く、また、ゴミの付着についても相当改良される。更に
は、本願発明によれば、載置側部材と蓋側部材間の密着
と密着解除をカセットの保持位置で行なうことが可能に
なると共に、また、その密着と密着解除を載置側部材を
蓋側部材に対して引き出すための引き出し部材のカセッ
トに対する進退により行なうことが可能になるので、レ
チクル等の基板のカセツトからの取り出しに要する時間
も相当短縮される。
く、また、ゴミの付着についても相当改良される。更に
は、本願発明によれば、載置側部材と蓋側部材間の密着
と密着解除をカセットの保持位置で行なうことが可能に
なると共に、また、その密着と密着解除を載置側部材を
蓋側部材に対して引き出すための引き出し部材のカセッ
トに対する進退により行なうことが可能になるので、レ
チクル等の基板のカセツトからの取り出しに要する時間
も相当短縮される。
第１図はカセツトの説明図、 第２図はカセツトより引き出された収納箱を示す図、 第３図は水平移動機構の説明図、 第４図(A)(B)は収納箱をカセツトより引き出す作動の説
明図、 第５図はレチクルをレチクルステージへ搬送する系の説
明図、 第６図(a)〜(e)は垂直方向の移動方向のフローの説明
図、 図中、１はレチクル（基板）、２は収納箱（載置側部
材）、３は蓋（蓋側部材）、５は開閉レバー、８はカセ
ット、１１は引き出し部材、１１ａは操作レバー、１１
ｂは回転コロ（接触部）、１５は位置決め機構、１７は
送り込みハンドである。
明図、 第５図はレチクルをレチクルステージへ搬送する系の説
明図、 第６図(a)〜(e)は垂直方向の移動方向のフローの説明
図、 図中、１はレチクル（基板）、２は収納箱（載置側部
材）、３は蓋（蓋側部材）、５は開閉レバー、８はカセ
ット、１１は引き出し部材、１１ａは操作レバー、１１
ｂは回転コロ（接触部）、１５は位置決め機構、１７は
送り込みハンドである。
Claims (1)
- 【請求項１】基板が載置される載置側部材と、この載置
側部材と共同して前記基板を収納する収納室を形成する
蓋側部材と、開位置から閉位置に移動されることにより
前記蓋側部材を前記載置側部材に対して密着させ、前記
閉位置から前記開位置に移動されることにより前記蓋側
部材と前記載置側部材の密着を解除させる開閉レバーを
有するカセットから前記基板を取り出して搬送する搬送
装置であって、 前記カセットに対して引き出し方向に進退自在に移動
し、前記載置側部材を支持して前記引き出し方向に沿っ
て移動することにより前記蓋側部材に対して前記載置側
部材を引き出す引き出し部材と、 前記引き出し方向に関しては前記引き出し部材と一体的
に移動し、前記引き出し部材が前記載置側部材を支持す
ることにより前記開閉レバーに干渉する位置から干渉し
ない位置に退避し、前記開閉レバーに干渉する位置にあ
る際には、前記引き出し部材の前記カセット側への進入
に応じて前記開閉レバーを前記閉位置から前記開位置に
移動させ、前記引き出し部材の前記カセット側からの退
避に応じて前記開閉レバーを前記開位置から前記閉位置
に移動させる操作レバーと、 前記引き出し部材に支持されて前記蓋側部材に対して前
記引き出し方向に沿って引き出された前記載置側部材か
ら前記基板を取り出す取り出し手段と、 を有することを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25331884A JPH0641329B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 搬 送 装 置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25331884A JPH0641329B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 搬 送 装 置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61130124A JPS61130124A (ja) | 1986-06-18 |
| JPH0641329B2 true JPH0641329B2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=17249632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25331884A Expired - Lifetime JPH0641329B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 搬 送 装 置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641329B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63280434A (ja) * | 1987-05-12 | 1988-11-17 | Tokyo Electron Ltd | ウエハプロ−バ |
| JP2789198B2 (ja) * | 1988-09-06 | 1998-08-20 | キヤノン株式会社 | マスクローディング機構 |
| JP2665886B2 (ja) * | 1994-10-24 | 1997-10-22 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
| TWI685711B (zh) * | 2018-08-27 | 2020-02-21 | 家登精密工業股份有限公司 | 光罩盒及其作動方法 |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP25331884A patent/JPH0641329B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61130124A (ja) | 1986-06-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |