JPH0641745A - 帯状基板へのアルミニウム両面蒸着方法 - Google Patents
帯状基板へのアルミニウム両面蒸着方法Info
- Publication number
- JPH0641745A JPH0641745A JP19733592A JP19733592A JPH0641745A JP H0641745 A JPH0641745 A JP H0641745A JP 19733592 A JP19733592 A JP 19733592A JP 19733592 A JP19733592 A JP 19733592A JP H0641745 A JPH0641745 A JP H0641745A
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- Japan
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- vapor deposition
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 蒸着作業時間を大幅に短縮して効率よく両面
の蒸着を行う。 【構成】 送りテーパーローラー18から、帯状基板12を
４５度傾斜した状態で、加熱蒸発されるターゲット６上
方の蒸着経路に送り出して帯状基板12の表面に蒸着した
後、途中で帯状基板１２をねじり部の中央が垂直となる
ように９０度ねじって反対に４５度傾斜した状態で、帯
状基板12の裏面12ｂに蒸着して受けテーパーローラー19
に受け取り、帯状基板12の両面を一度に蒸着する。
の蒸着を行う。 【構成】 送りテーパーローラー18から、帯状基板12を
４５度傾斜した状態で、加熱蒸発されるターゲット６上
方の蒸着経路に送り出して帯状基板12の表面に蒸着した
後、途中で帯状基板１２をねじり部の中央が垂直となる
ように９０度ねじって反対に４５度傾斜した状態で、帯
状基板12の裏面12ｂに蒸着して受けテーパーローラー19
に受け取り、帯状基板12の両面を一度に蒸着する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コイル状に巻回された
帯状基板の両面にアルミニウムを蒸着させる方法に関す
る。
帯状基板の両面にアルミニウムを蒸着させる方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、コイル状に巻回された帯状基板
（薄板コイル材）にアルミニウムを蒸着させる方法は、
図５に示すように、送り出しコイル４１から帯状基板４
２を繰り出して、タングステンボード４３上で通電加熱
されて蒸発されるアルミニウムターゲット４４上方の蒸
着経路を通過させ、巻取りリール４５に巻取ることによ
り、アルミニウムターゲット４４に臨む片面にアルミニ
ウムを蒸着させるものであり、帯状基板４２の両面にア
ルミニウムを蒸着させる場合には、片面の蒸着作業終了
後、残った片面をアルミニウムターゲット４４に臨むよ
うに蒸着経路を繰り出して移動させ蒸着作業を繰り返し
ていた。
（薄板コイル材）にアルミニウムを蒸着させる方法は、
図５に示すように、送り出しコイル４１から帯状基板４
２を繰り出して、タングステンボード４３上で通電加熱
されて蒸発されるアルミニウムターゲット４４上方の蒸
着経路を通過させ、巻取りリール４５に巻取ることによ
り、アルミニウムターゲット４４に臨む片面にアルミニ
ウムを蒸着させるものであり、帯状基板４２の両面にア
ルミニウムを蒸着させる場合には、片面の蒸着作業終了
後、残った片面をアルミニウムターゲット４４に臨むよ
うに蒸着経路を繰り出して移動させ蒸着作業を繰り返し
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記蒸着方法
では、両面を蒸着させる場合に時間と手間がかかり、作
業効率の悪いものであった。
では、両面を蒸着させる場合に時間と手間がかかり、作
業効率の悪いものであった。
【０００４】本発明は、上記問題点を解決して、短時間
に両面を蒸着させることができて、蒸着作業時間を大幅
に短縮でき両面が効率よく蒸着が行える帯状基板へのア
ルミニウム両面蒸着方法を提供することをを目的とす
る。
に両面を蒸着させることができて、蒸着作業時間を大幅
に短縮でき両面が効率よく蒸着が行える帯状基板へのア
ルミニウム両面蒸着方法を提供することをを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の帯状基板へのアルミニウム両面蒸着方法
は、加熱蒸発されるターゲット上方の蒸着経路上で帯状
基板を長さ方向に送り出すに際し、帯状基板を９０度か
ら１８０度の範囲でねじって両面がターゲット側に向く
ようにするものである。
めに本発明の帯状基板へのアルミニウム両面蒸着方法
は、加熱蒸発されるターゲット上方の蒸着経路上で帯状
基板を長さ方向に送り出すに際し、帯状基板を９０度か
ら１８０度の範囲でねじって両面がターゲット側に向く
ようにするものである。
【０００６】
【作用】上記構成によれば、蒸着経路上で、たとえば進
行方向に向かって左上から右下に４５度に傾けておいた
帯状基板を、途中で時計方向に９０度ねじって右上から
左下に４５度に傾けることにより、ターゲットに向く面
を反転させることができ、一度に帯状基板の両面に蒸着
させることができる。また、水平面に沿う帯状基板を途
中で１８０度ねじってターゲット側の面を反転させるこ
とにより、一度で帯状基板の両面に両面に蒸着させるこ
とができる。
行方向に向かって左上から右下に４５度に傾けておいた
帯状基板を、途中で時計方向に９０度ねじって右上から
左下に４５度に傾けることにより、ターゲットに向く面
を反転させることができ、一度に帯状基板の両面に蒸着
させることができる。また、水平面に沿う帯状基板を途
中で１８０度ねじってターゲット側の面を反転させるこ
とにより、一度で帯状基板の両面に両面に蒸着させるこ
とができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明に係るアルミニウム両面蒸着装
置の第１実施例を図１および図２に基づいて説明する。
置の第１実施例を図１および図２に基づいて説明する。
【０００８】図１において、１は上下に排気口２を有す
る蒸着容器で、区画壁３により下部の蒸発室４と上部の
素材室５に区画され、蒸着容器１の内部は１０-4〜１０
-5torrの真空雰囲気に保持されている。
る蒸着容器で、区画壁３により下部の蒸発室４と上部の
素材室５に区画され、蒸着容器１の内部は１０-4〜１０
-5torrの真空雰囲気に保持されている。
【０００９】前記蒸発室４内には、ターゲット６である
アルミニウムを入れて加熱ヒーター７により加熱蒸発さ
せるターゲット容器８が配置されるとともに、ターゲッ
ト容器８の上方にアルミニウム蒸気を遮断可能なシャッ
ター９が開閉自在に配置されている。
アルミニウムを入れて加熱ヒーター７により加熱蒸発さ
せるターゲット容器８が配置されるとともに、ターゲッ
ト容器８の上方にアルミニウム蒸気を遮断可能なシャッ
ター９が開閉自在に配置されている。
【００１０】前記素材室５内には、回転装置（図示せ
ず）により矢印Ａ方向に回転されてロール状に巻回され
た素材ロール１１から帯状基板１２を送り出す素材送り
出し装置１３と、素材送り出し装置１３から区画壁３に
形成された蒸着窓１４に沿って蒸着経路を通って両面が
蒸着された帯状基板１２を、回転装置（図示せず）によ
り矢印Ｂ方向に回転されて製品ロール１５を形成する製
品巻取り装置１６が配設されている。前記素材送り出し
装置１３には、素材ロール１１から繰り出された帯状基
板１２を案内するガイドローラー１７と送りテーパーロ
ーラー１８が水平軸心回りに回転自在に支持され、また
製品巻取り装置１６には蒸着窓１４から送られてくる帯
状基板１５を受け取る受けテーパーローラー１９とガイ
ドローラー２０が水平軸心回りに回転自在に支持されて
いる。
ず）により矢印Ａ方向に回転されてロール状に巻回され
た素材ロール１１から帯状基板１２を送り出す素材送り
出し装置１３と、素材送り出し装置１３から区画壁３に
形成された蒸着窓１４に沿って蒸着経路を通って両面が
蒸着された帯状基板１２を、回転装置（図示せず）によ
り矢印Ｂ方向に回転されて製品ロール１５を形成する製
品巻取り装置１６が配設されている。前記素材送り出し
装置１３には、素材ロール１１から繰り出された帯状基
板１２を案内するガイドローラー１７と送りテーパーロ
ーラー１８が水平軸心回りに回転自在に支持され、また
製品巻取り装置１６には蒸着窓１４から送られてくる帯
状基板１５を受け取る受けテーパーローラー１９とガイ
ドローラー２０が水平軸心回りに回転自在に支持されて
いる。
【００１１】そして、前記送りテーパーローラー１８と
受けテーパーローラー１９は、テーパー角が４５度に設
定されて大径部が逆位置となる点対称に配置され、さら
に送りテーパーローラー１８側と受けテーパーローラー
１９では帯状基板１２が中央で垂直となるように帯状基
板１２が９０度ねじられている。たとえば図２（ａ）に
示すように送りテーパーローラー１８により進行方向に
向かって左上から右下にα＝４５度に傾けた帯状基板１
２を、図２（ｂ）に示すように途中で垂直となるように
時計方向に９０度ねじって、図２（ｃ）に示すように右
上から左下にβ＝４５度に傾けることにより、アルミニ
ウム蒸気に晒される下面を反転させることができる。
受けテーパーローラー１９は、テーパー角が４５度に設
定されて大径部が逆位置となる点対称に配置され、さら
に送りテーパーローラー１８側と受けテーパーローラー
１９では帯状基板１２が中央で垂直となるように帯状基
板１２が９０度ねじられている。たとえば図２（ａ）に
示すように送りテーパーローラー１８により進行方向に
向かって左上から右下にα＝４５度に傾けた帯状基板１
２を、図２（ｂ）に示すように途中で垂直となるように
時計方向に９０度ねじって、図２（ｃ）に示すように右
上から左下にβ＝４５度に傾けることにより、アルミニ
ウム蒸気に晒される下面を反転させることができる。
【００１２】上記構成において、素材送り出し装置１３
により素材ロール１１からガイドローラー１７と送りテ
ーパーローラー１８を介して矢印Ｃ方向に繰り出された
傾斜状態の帯状基板１２は、蒸着窓１４に沿う蒸着経路
で前半部で表面１２ａが下方に向いてターゲット容器８
から蒸発されたアルミニウム蒸気に晒され、表面１２ａ
にアルミニウム層Al1 が蒸着され、さらに中央部で９０
度捩じられることにより、今度は帯状基板１２の裏面１
２ｂがアルミニウム蒸気に晒されてアルミニウム層Al2
が蒸着される。そして受けテーパーローラー１９とガイ
ドローラー２０に案内されて製品ロール１５に巻き取ら
れる。
により素材ロール１１からガイドローラー１７と送りテ
ーパーローラー１８を介して矢印Ｃ方向に繰り出された
傾斜状態の帯状基板１２は、蒸着窓１４に沿う蒸着経路
で前半部で表面１２ａが下方に向いてターゲット容器８
から蒸発されたアルミニウム蒸気に晒され、表面１２ａ
にアルミニウム層Al1 が蒸着され、さらに中央部で９０
度捩じられることにより、今度は帯状基板１２の裏面１
２ｂがアルミニウム蒸気に晒されてアルミニウム層Al2
が蒸着される。そして受けテーパーローラー１９とガイ
ドローラー２０に案内されて製品ロール１５に巻き取ら
れる。
【００１３】上記構成によれば、一度の蒸着作業で帯状
基板１２の表面１２ａおよび裏面１２ｂにアルミニウム
蒸気をそれぞれ蒸着させることができ、しかもねじる角
度が９０度と少ないので、伸縮性の小さい帯状基板１２
にも適用できる。なお、帯状基板１２のねじり角が９０
度以下でも両面の蒸着は可能であるが、アルミニウム蒸
気に晒される帯状基板１２の傾斜角α，βが大きくなる
ので蒸着効率が低くなる。
基板１２の表面１２ａおよび裏面１２ｂにアルミニウム
蒸気をそれぞれ蒸着させることができ、しかもねじる角
度が９０度と少ないので、伸縮性の小さい帯状基板１２
にも適用できる。なお、帯状基板１２のねじり角が９０
度以下でも両面の蒸着は可能であるが、アルミニウム蒸
気に晒される帯状基板１２の傾斜角α，βが大きくなる
ので蒸着効率が低くなる。
【００１４】図３，図４はアルミニウム両面蒸着装置の
第２実施例を示し、第１実施例と同一部材は同一の符号
を付し説明は省略する。この第２実施例は、帯状基板１
２を１８０度ねじるもので、帯状素材１２が水平状態で
アルミニウム蒸気に晒されるため、極めて効率よく蒸着
を行えるものである。すなわち、第１実施例の素材送り
出し装置１３の送りテーパーローラー１８と製品巻取り
装置１６の受けテーパーローラー１９が、それぞれ送り
平行ローラー３１と受け平行ローラー３２に変更され、
図４に示すように、受けテーパーローラー１９から繰り
出された帯状基板１２は、蒸着窓１４に沿う蒸着経路の
前半部で水平に保持されてその表面１２ａにアルミニウ
ム層Al1 が蒸着され、さらに中央部で１８０度捩じられ
ることにより帯状基板１２が反転され、水平に保持され
た帯状基板１２の裏面１２ｂにアルミニウム層Al2 が蒸
着されるように構成される。
第２実施例を示し、第１実施例と同一部材は同一の符号
を付し説明は省略する。この第２実施例は、帯状基板１
２を１８０度ねじるもので、帯状素材１２が水平状態で
アルミニウム蒸気に晒されるため、極めて効率よく蒸着
を行えるものである。すなわち、第１実施例の素材送り
出し装置１３の送りテーパーローラー１８と製品巻取り
装置１６の受けテーパーローラー１９が、それぞれ送り
平行ローラー３１と受け平行ローラー３２に変更され、
図４に示すように、受けテーパーローラー１９から繰り
出された帯状基板１２は、蒸着窓１４に沿う蒸着経路の
前半部で水平に保持されてその表面１２ａにアルミニウ
ム層Al1 が蒸着され、さらに中央部で１８０度捩じられ
ることにより帯状基板１２が反転され、水平に保持され
た帯状基板１２の裏面１２ｂにアルミニウム層Al2 が蒸
着されるように構成される。
【００１５】したがって、この第２実施例によれば、タ
ーゲット容器８容器の上方の蒸着経路で帯状基板１２が
表面１２ａおよび裏面１２ｂともに水平状態でアルミニ
ウム蒸気に晒されるので、効果的に両面の蒸着を行うこ
とができる。
ーゲット容器８容器の上方の蒸着経路で帯状基板１２が
表面１２ａおよび裏面１２ｂともに水平状態でアルミニ
ウム蒸気に晒されるので、効果的に両面の蒸着を行うこ
とができる。
【００１６】
【発明の効果】以上に述べたごとく本発明によれば、蒸
着経路上で帯状基板を９０度から１８０度の範囲でねじ
って両面をターゲット側に晒すので、一度に帯状基板の
両面を蒸着する事ができ、蒸着作業時間を大幅に短縮し
て効率よく蒸着が行うことができる。
着経路上で帯状基板を９０度から１８０度の範囲でねじ
って両面をターゲット側に晒すので、一度に帯状基板の
両面を蒸着する事ができ、蒸着作業時間を大幅に短縮し
て効率よく蒸着が行うことができる。
【図１】本発明に係るアルミニウム両面蒸着装置の第１
実施例の構成を示す正面断面図である。
実施例の構成を示す正面断面図である。
【図２】同アルミニウム両面蒸着装置における蒸着経路
上の帯状基板の姿勢を示し、（ａ）は図１に示すＩ−Ｉ
端面図、（ｂ）は図１に示すII−II端面図、（ｃ）は図
１に示すIII −III 端面図である。
上の帯状基板の姿勢を示し、（ａ）は図１に示すＩ−Ｉ
端面図、（ｂ）は図１に示すII−II端面図、（ｃ）は図
１に示すIII −III 端面図である。
【図３】本発明に係るアルミニウム両面蒸着装置の第２
実施例の構成を示す正面断面図である。
実施例の構成を示す正面断面図である。
【図４】同アルミニウム両面蒸着装置における蒸着経路
上の帯状基板の姿勢を示し、（ａ）は図３に示すIV−IV
端面図、（ｂ）は図３に示すＶ−Ｖ端面図、（ｃ）は図
３に示すVI−VI端面図である。
上の帯状基板の姿勢を示し、（ａ）は図３に示すIV−IV
端面図、（ｂ）は図３に示すＶ−Ｖ端面図、（ｃ）は図
３に示すVI−VI端面図である。
【図５】従来の蒸着方法を説明する概略構成図である。
１ 蒸着容器 ４ 蒸発室 ５ 素材室 ６ ターゲット ７ 加熱ヒーター ８ ターゲット容器 ９ シャッター 11 素材ロール 12 帯状基板 13 素材送り出し装置 14 蒸着窓 15 製品ロール 16 製品巻取り装置 17 ガイドローラー 18 送りテーパーローラー 19 受けテーパーローラー 20 ガイドローラー 31 送り平行ローラー 32 受け平行ローラー
Claims (1)
- 【請求項１】 加熱蒸発されるターゲット上方の蒸着経
路上で帯状基板を長さ方向に送り出すに際し、帯状基板
を９０度から１８０度の範囲でねじって両面がターゲッ
ト側に向くようにすることを特徴とする帯状基板へのア
ルミニウム両面蒸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19733592A JPH0641745A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 帯状基板へのアルミニウム両面蒸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19733592A JPH0641745A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 帯状基板へのアルミニウム両面蒸着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0641745A true JPH0641745A (ja) | 1994-02-15 |
Family
ID=16372762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19733592A Pending JPH0641745A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 帯状基板へのアルミニウム両面蒸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641745A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6547817B1 (en) | 1994-02-25 | 2003-04-15 | Cordis Corporation | Stent having a multiplicity of undulating longitudinals |
| US6896696B2 (en) | 1998-11-20 | 2005-05-24 | Scimed Life Systems, Inc. | Flexible and expandable stent |
| US8092512B2 (en) | 1994-08-12 | 2012-01-10 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Nested stent |
| US8409446B2 (en) | 2009-08-21 | 2013-04-02 | Cummins Filtration Ip, Inc. | Automatic draining system to drain fluid from a filter |
-
1992
- 1992-07-24 JP JP19733592A patent/JPH0641745A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6547817B1 (en) | 1994-02-25 | 2003-04-15 | Cordis Corporation | Stent having a multiplicity of undulating longitudinals |
| US6716240B2 (en) | 1994-02-25 | 2004-04-06 | Cordis Corporation | Stent having a multiplicity of undulating longitudinals |
| US8157856B2 (en) | 1994-02-25 | 2012-04-17 | Fischell Robert | Stent having a multiplicity of undulating longitudinals |
| US8747452B2 (en) | 1994-02-25 | 2014-06-10 | Robert E. Fischell | Stent having a multiplicity of undulating longitudinals |
| US8092512B2 (en) | 1994-08-12 | 2012-01-10 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Nested stent |
| US6896696B2 (en) | 1998-11-20 | 2005-05-24 | Scimed Life Systems, Inc. | Flexible and expandable stent |
| US8409446B2 (en) | 2009-08-21 | 2013-04-02 | Cummins Filtration Ip, Inc. | Automatic draining system to drain fluid from a filter |
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