JPH0641886B2 - Ｓａｗフオ−スセンサ - Google Patents
Ｓａｗフオ−スセンサInfo
- Publication number
- JPH0641886B2 JPH0641886B2 JP22320785A JP22320785A JPH0641886B2 JP H0641886 B2 JPH0641886 B2 JP H0641886B2 JP 22320785 A JP22320785 A JP 22320785A JP 22320785 A JP22320785 A JP 22320785A JP H0641886 B2 JPH0641886 B2 JP H0641886B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- delay line
- acoustic wave
- saw
- surface acoustic
- oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003623 enhancer Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は応力、圧力、歪み、変位などの力学的な物理
量を測定したり、検出したりするために使用するフォー
スセンサに係り、特に固体物質の表面を伝搬する表面弾
性波（ＳＡＷ：Surface Acoustic Wave）を利用したＳ
ＡＷ遅延線の感圧機能を応用したＳＡＷフォースセンサ
に関する。
量を測定したり、検出したりするために使用するフォー
スセンサに係り、特に固体物質の表面を伝搬する表面弾
性波（ＳＡＷ：Surface Acoustic Wave）を利用したＳ
ＡＷ遅延線の感圧機能を応用したＳＡＷフォースセンサ
に関する。
応力、変位、歪み、圧力等の力学的な物理量を測定する
センサにおいては、抵抗値が加えた歪みにより変化する
歪みゲージが広く使用されている。この歪みゲージは一
般には、ばね材料に貼りつけて使用されている。力学的
な物理量を検出するには、歪みゲージと抵抗器でホイー
トストンブリッジを構成し、歪みゲージの抵抗値変化を
電圧変化に変換して出力するという方法が採られてい
る。
センサにおいては、抵抗値が加えた歪みにより変化する
歪みゲージが広く使用されている。この歪みゲージは一
般には、ばね材料に貼りつけて使用されている。力学的
な物理量を検出するには、歪みゲージと抵抗器でホイー
トストンブリッジを構成し、歪みゲージの抵抗値変化を
電圧変化に変換して出力するという方法が採られてい
る。
また、この他に、半導体に形成された拡散抵抗の応力に
よる抵抗値変化を利用したものもある。このタイプのセ
ンサは歪みゲージと同様にホイートストンブリッジを構
成し、抵抗値変化を電圧変化として出力する方法が採ら
れている。この種のセンサの大きな特徴はシリコン基板
を用いるため同一基板上に感圧部と信号検出用の電気回
路を集積化できる点にある。また、温度補償も半導体の
感温機能を利用して同一基板上で行っている。このよう
に半導体の拡散抵抗を利用したタイプのセンサはより実
用的なセンサであり、また小形化、量産化の進んだセン
サである。
よる抵抗値変化を利用したものもある。このタイプのセ
ンサは歪みゲージと同様にホイートストンブリッジを構
成し、抵抗値変化を電圧変化として出力する方法が採ら
れている。この種のセンサの大きな特徴はシリコン基板
を用いるため同一基板上に感圧部と信号検出用の電気回
路を集積化できる点にある。また、温度補償も半導体の
感温機能を利用して同一基板上で行っている。このよう
に半導体の拡散抵抗を利用したタイプのセンサはより実
用的なセンサであり、また小形化、量産化の進んだセン
サである。
また、その他にフォースセンサに属する技術としては、
ＳＡＷ遅延線の感圧機能を利用したものがある。ＳＡＷ
遅延線に用いる圧電性基板は、表面波の伝搬する部分に
応力を加えると、ＳＡＷの伝搬速度が力の大きさに比例
して変化し、その結果ＳＡＷ遅延線の遅延時間が変化す
るという性質を持っている。この特性を有するＳＡＷ遅
延線を用いて、発振器を構成すると、加えた力に比例し
た周波数変化量を出力するＳＡＷフォースセンサが実現
できる。このＳＡＷフォースセンサは分解能が良好であ
り、従来の抵抗値変化を利用した各種フォースセンサに
比べ精度の高いセンサにすることができる。また、セン
サを構成するＳＡＷ発振器は、センサ部を兼ねているＳ
ＡＷ遅延線と増振器とにより簡単に構成できるという大
きな特徴がある。
ＳＡＷ遅延線の感圧機能を利用したものがある。ＳＡＷ
遅延線に用いる圧電性基板は、表面波の伝搬する部分に
応力を加えると、ＳＡＷの伝搬速度が力の大きさに比例
して変化し、その結果ＳＡＷ遅延線の遅延時間が変化す
るという性質を持っている。この特性を有するＳＡＷ遅
延線を用いて、発振器を構成すると、加えた力に比例し
た周波数変化量を出力するＳＡＷフォースセンサが実現
できる。このＳＡＷフォースセンサは分解能が良好であ
り、従来の抵抗値変化を利用した各種フォースセンサに
比べ精度の高いセンサにすることができる。また、セン
サを構成するＳＡＷ発振器は、センサ部を兼ねているＳ
ＡＷ遅延線と増振器とにより簡単に構成できるという大
きな特徴がある。
ＳＡＷセンサは、フォースセンサに限らず、その大多数
がＳＡＷ発振回路を構成し、この発振回路の固有発振周
波数の変化によって測定量を表示する方式である。これ
は、ＳＡＷ遅延線自体が受動的なデバイスであり、自発
的にエネルギーを放出したり、被測定物の放出エネルギ
ーを他の形に変換して出力するタイプのデバイスではな
いためである。このため、ＳＡＷ遅延線をセンサに用い
る場合には、まず、ＳＡＷ遅延線が安定に動作する状
態、すなわち、ＳＡＷ遅延線と共働し、該ＳＡＷ遅延線
を発振素子として、その固有振動数で定常発振する状態
を作る必要がある。
がＳＡＷ発振回路を構成し、この発振回路の固有発振周
波数の変化によって測定量を表示する方式である。これ
は、ＳＡＷ遅延線自体が受動的なデバイスであり、自発
的にエネルギーを放出したり、被測定物の放出エネルギ
ーを他の形に変換して出力するタイプのデバイスではな
いためである。このため、ＳＡＷ遅延線をセンサに用い
る場合には、まず、ＳＡＷ遅延線が安定に動作する状
態、すなわち、ＳＡＷ遅延線と共働し、該ＳＡＷ遅延線
を発振素子として、その固有振動数で定常発振する状態
を作る必要がある。
しかしながら、ＳＡＷ遅延線に用いる圧電性基板はＳＡ
Ｗ速度の温度係数を持っているため、周囲温度に敏感に
反応し、発振器を構成した場合には固有発振周波数が変
動するという問題が生じる。この問題を解決するため、
周囲温度検出用のＳＡＷ発振器と固有発振周波数の変化
検出用ＳＡＷ発振器とを同一形状のＳＡＷ遅延線で構成
し、これら２つの発振器より出力される発振信号のうな
りを取り出して測定信号とし、温度特性の補償を行なっ
ている。このように２つの信号のうなりを取り出すこと
により温度補償は可能となるが、従来のＳＡＷフォース
センサはうなりを取り出す方式の利点を十分に生かした
構造のものではなかった。
Ｗ速度の温度係数を持っているため、周囲温度に敏感に
反応し、発振器を構成した場合には固有発振周波数が変
動するという問題が生じる。この問題を解決するため、
周囲温度検出用のＳＡＷ発振器と固有発振周波数の変化
検出用ＳＡＷ発振器とを同一形状のＳＡＷ遅延線で構成
し、これら２つの発振器より出力される発振信号のうな
りを取り出して測定信号とし、温度特性の補償を行なっ
ている。このように２つの信号のうなりを取り出すこと
により温度補償は可能となるが、従来のＳＡＷフォース
センサはうなりを取り出す方式の利点を十分に生かした
構造のものではなかった。
本発明は、感圧特性及び感温特性を示す圧電性基板を用
い、この基板上にＳＡＷを送信及び受信するための電極
（交差指形電極ともＩＤＴともいう。ＩＤＴはInterdig
ital Transducerの略）を設け、構造的には実質的に同
一もしくは対称（合同）な２つのＳＡＷ遅延線を形成す
る。この２つのＳＡＷ遅延線のどちらか一方のＳＡＷの
伝搬する部分には、外部より加えられた電力で発熱する
発熱抵抗体を設ける。これら２つのＳＡＷ遅延線を用い
２つのＳＡＷ発振器を形成し、一方を温度補償用、ま
た、他方を信号検出用の発振器とする。この２つの発振
器より出力される信号は混合器に入力され、うなりの信
号として出力されることにより温度補償された信号を得
ることができる。ここでＳＡＷ遅延線の一方に設けられ
た発熱抵抗体に外部より電力を供給すると、このＳＡＷ
遅延線を含むＳＡＷ発振器の発振周波数が変化し、混合
器より出力されるうなり信号の中心周波数が変化する。
こうして発熱抵抗体に加える電力をコントロールするこ
とにより、うなり信号の中心周波数を任意の周波数に変
えることができる。
い、この基板上にＳＡＷを送信及び受信するための電極
（交差指形電極ともＩＤＴともいう。ＩＤＴはInterdig
ital Transducerの略）を設け、構造的には実質的に同
一もしくは対称（合同）な２つのＳＡＷ遅延線を形成す
る。この２つのＳＡＷ遅延線のどちらか一方のＳＡＷの
伝搬する部分には、外部より加えられた電力で発熱する
発熱抵抗体を設ける。これら２つのＳＡＷ遅延線を用い
２つのＳＡＷ発振器を形成し、一方を温度補償用、ま
た、他方を信号検出用の発振器とする。この２つの発振
器より出力される信号は混合器に入力され、うなりの信
号として出力されることにより温度補償された信号を得
ることができる。ここでＳＡＷ遅延線の一方に設けられ
た発熱抵抗体に外部より電力を供給すると、このＳＡＷ
遅延線を含むＳＡＷ発振器の発振周波数が変化し、混合
器より出力されるうなり信号の中心周波数が変化する。
こうして発熱抵抗体に加える電力をコントロールするこ
とにより、うなり信号の中心周波数を任意の周波数に変
えることができる。
以上に述べたような構成、すなわちどちらか一方のＳＡ
Ｗ遅延線上に発熱抵抗体を設けて構成される信号検出用
のＳＡＷ発振器及び温度補償用のＳＡＷ発振器の発振周
波数のうなりを取ることにより、温度補償は可能にな
り、しかも外部より電力を加えることにより、うなりの
中心周波数は任意にコントロールできる。この周波数制
御機能により、例えば微小の力を検出する場合は、２つ
の発振器の発振周波数を近づけ、また一方大きな力を測
定する場合は２つの発振器の発振周波数を離すことによ
り適切な分解能を得ることが可能となる。また周波数カ
ウンタの性能に見合った最適な発振周波数を決めること
も可能になり、より実用性の高いＳＡＷフォースセンサ
を提供することができる。
Ｗ遅延線上に発熱抵抗体を設けて構成される信号検出用
のＳＡＷ発振器及び温度補償用のＳＡＷ発振器の発振周
波数のうなりを取ることにより、温度補償は可能にな
り、しかも外部より電力を加えることにより、うなりの
中心周波数は任意にコントロールできる。この周波数制
御機能により、例えば微小の力を検出する場合は、２つ
の発振器の発振周波数を近づけ、また一方大きな力を測
定する場合は２つの発振器の発振周波数を離すことによ
り適切な分解能を得ることが可能となる。また周波数カ
ウンタの性能に見合った最適な発振周波数を決めること
も可能になり、より実用性の高いＳＡＷフォースセンサ
を提供することができる。
〔実施例〕 第１図に本発明に使用するＳＡＷ遅延線の一実施例を示
す。圧電性基板1a及び1b上に、ＳＡＷを発射するための
送信用ＩＤＴ電極2a，2bとそれぞれの送信用ＩＤＴ電極
より発射されたＳＡＷを受信するための受信用ＩＤＴ電
極3a，3bを設ける。送信用ＩＤＴ電極2aと受信用ＩＤＴ
電極3a間のＳＡＷを伝搬する部分には入力された電力に
応じ発熱する発熱抵抗体４を設ける以上のように２つの
ＳＡＷ遅延線5a，5bを形成する。ここで２つのＳＡＷ遅
延線は構造的には実質的に同一、もしくは対称（合同）
の形状とする。送信用ＩＤＴ電極2a及び受信用ＩＤＴ電
極3aより形成されるＳＡＷ遅延線は温度補償機能を含
み、自由に温度を設定できるものとし（以下、温度補償
用と呼ぶ）、一方、送信用ＩＤＴ電極2b，及び受信用Ｉ
ＤＴ電極3bより形成されるＳＡＷ遅延線は力を検出する
検出用ＳＡＷ遅延線とする。送信用ＩＤＴ電極2a，2b、
受信用ＩＤＴ電極3a，3b及び発熱抵抗体４のそれぞれ一
方の側は接地電位に接続してある。また、送信用ＩＤＴ
電極2a及び受信用ＩＤＴ電極3aのそれぞれもう一方の側
は増幅器6aに接続し、温度補償も含めて温度を自由に可
変設定できるような発振器7aを形成する。この回路を以
下温度補償用発振器と呼ぶ。一方、送信用ＩＤＴ電極2b
及び受信用ＩＤＴ電極3bのそれぞれもう一方の側は増幅
器6bに接続し、検出用発振器7bを形成する。発熱抵抗体
４のもう一方の側は周波数コントロール端子８に接続さ
れている。また圧電性基板1a，1bは基板固定部材９に固
定されている。
す。圧電性基板1a及び1b上に、ＳＡＷを発射するための
送信用ＩＤＴ電極2a，2bとそれぞれの送信用ＩＤＴ電極
より発射されたＳＡＷを受信するための受信用ＩＤＴ電
極3a，3bを設ける。送信用ＩＤＴ電極2aと受信用ＩＤＴ
電極3a間のＳＡＷを伝搬する部分には入力された電力に
応じ発熱する発熱抵抗体４を設ける以上のように２つの
ＳＡＷ遅延線5a，5bを形成する。ここで２つのＳＡＷ遅
延線は構造的には実質的に同一、もしくは対称（合同）
の形状とする。送信用ＩＤＴ電極2a及び受信用ＩＤＴ電
極3aより形成されるＳＡＷ遅延線は温度補償機能を含
み、自由に温度を設定できるものとし（以下、温度補償
用と呼ぶ）、一方、送信用ＩＤＴ電極2b，及び受信用Ｉ
ＤＴ電極3bより形成されるＳＡＷ遅延線は力を検出する
検出用ＳＡＷ遅延線とする。送信用ＩＤＴ電極2a，2b、
受信用ＩＤＴ電極3a，3b及び発熱抵抗体４のそれぞれ一
方の側は接地電位に接続してある。また、送信用ＩＤＴ
電極2a及び受信用ＩＤＴ電極3aのそれぞれもう一方の側
は増幅器6aに接続し、温度補償も含めて温度を自由に可
変設定できるような発振器7aを形成する。この回路を以
下温度補償用発振器と呼ぶ。一方、送信用ＩＤＴ電極2b
及び受信用ＩＤＴ電極3bのそれぞれもう一方の側は増幅
器6bに接続し、検出用発振器7bを形成する。発熱抵抗体
４のもう一方の側は周波数コントロール端子８に接続さ
れている。また圧電性基板1a，1bは基板固定部材９に固
定されている。
第２図に本発明によるＳＡＷフォースセンサの一実施例
を示す。圧電性基板1a上に送信用ＩＤＴ電極2aと受信用
ＩＤＴ電極3a及び発熱抵抗体４を設け温度補償用のＳＡ
Ｗ遅延線5aを形成する。それぞれのＩＤＴ電極2a，3a及
び発熱抵抗体４の一方の側は接地電位に接続し、それぞ
れのＩＤＴ電極2a，3aのもう一方の側は増幅器6aに接続
し、温度補償用の発振器7aを形成する。この発振器7aの
信号は出力バッファ10aを介して出力する。次に、圧電
性基板1b上に送信用ＩＤＴ電極2b及び受信用ＩＤＴ電極
3bを配し、力の検出用ＳＡＷ遅延線5bを形成する。それ
ぞれのＩＤＴ電極2b，3bの一方の側は接地電位に接続
し、もう一方の側はそれぞれ増幅器6bに接続し、検出用
の発振器7bを形成する。この発振器7bの信号は出力バッ
ファ10bを介して出力する。こうして得られる２つの発
振器7a，7bの出力信号は混合器11に入力し、うなり信号
を得る。うなり信号はローパスフィルタ12を通過させ正
弦波として出力する。この信号は出力端子13で外部に取
り出す。このような構成で得られる信号は温度変動によ
るセンサのゆらぎを補償した信号である。また、温度補
償用のＳＡＷ遅延線上に設けられた発熱抵抗体４のもう
一方の側は周波数コントロール端子８に接続されてお
り、外部より電力を供給することによりうなりの中心周
波数を自由にコントロールすることができる。
を示す。圧電性基板1a上に送信用ＩＤＴ電極2aと受信用
ＩＤＴ電極3a及び発熱抵抗体４を設け温度補償用のＳＡ
Ｗ遅延線5aを形成する。それぞれのＩＤＴ電極2a，3a及
び発熱抵抗体４の一方の側は接地電位に接続し、それぞ
れのＩＤＴ電極2a，3aのもう一方の側は増幅器6aに接続
し、温度補償用の発振器7aを形成する。この発振器7aの
信号は出力バッファ10aを介して出力する。次に、圧電
性基板1b上に送信用ＩＤＴ電極2b及び受信用ＩＤＴ電極
3bを配し、力の検出用ＳＡＷ遅延線5bを形成する。それ
ぞれのＩＤＴ電極2b，3bの一方の側は接地電位に接続
し、もう一方の側はそれぞれ増幅器6bに接続し、検出用
の発振器7bを形成する。この発振器7bの信号は出力バッ
ファ10bを介して出力する。こうして得られる２つの発
振器7a，7bの出力信号は混合器11に入力し、うなり信号
を得る。うなり信号はローパスフィルタ12を通過させ正
弦波として出力する。この信号は出力端子13で外部に取
り出す。このような構成で得られる信号は温度変動によ
るセンサのゆらぎを補償した信号である。また、温度補
償用のＳＡＷ遅延線上に設けられた発熱抵抗体４のもう
一方の側は周波数コントロール端子８に接続されてお
り、外部より電力を供給することによりうなりの中心周
波数を自由にコントロールすることができる。
以上述べたように本発明によるＳＡＷフォースセンサ
は、測定対象に合せ任意に中心周波数を決めることがで
きる。例えば微小な力の測定には温度補償用信号の発振
周波数と検出用発振信号の発振周波数を接近させること
により、より高精度のセンサとすることができる。この
発振周波数コントロールは圧電性基板の有する精度と直
線性の良好な温度特性を利用するため、センサの力に対
する感度を損なわずに行なえる。また、このＳＡＷフォ
ースセンサは検出した力を周波数信号として出力するた
め周波数カウンタを必要とする。この周波数カウンタの
性能に合せ、本発明によるＳＡＷフォースセンサでは中
心周波数を変え、最適な周波数の信号を出力させること
もできる。
は、測定対象に合せ任意に中心周波数を決めることがで
きる。例えば微小な力の測定には温度補償用信号の発振
周波数と検出用発振信号の発振周波数を接近させること
により、より高精度のセンサとすることができる。この
発振周波数コントロールは圧電性基板の有する精度と直
線性の良好な温度特性を利用するため、センサの力に対
する感度を損なわずに行なえる。また、このＳＡＷフォ
ースセンサは検出した力を周波数信号として出力するた
め周波数カウンタを必要とする。この周波数カウンタの
性能に合せ、本発明によるＳＡＷフォースセンサでは中
心周波数を変え、最適な周波数の信号を出力させること
もできる。
また一方このセンサは出力信号でデジタル信号処理に適
した周波数信号であるため、マイクロコンピュータを用
いる信号処理に適合したタイプのセンサである。
した周波数信号であるため、マイクロコンピュータを用
いる信号処理に適合したタイプのセンサである。
このように本発明によるＳＡＷフォースセンサは産業上
利用価値の高いものである。
利用価値の高いものである。
第１図は、本発明のＳＡＷフォースセンサを構成するＳ
ＡＷ遅延線の一実施例を示す図である。 第２図は、本発明のＳＡＷフォースセンサの一実施例を
示す図である。 図において、1a，1bは圧電性基板、2a，2bは送信用ＩＤ
Ｔ電極、3a，3bは受信用ＩＤＴ電極、４は発熱抵抗体、
5a，5bはＳＡＷ遅延線、6a，6bは増幅器、7a，7bはＳＡ
Ｗ発振器、８は周波数コントロール端子、９は基板固定
部材、10a，10bは出力バッファ、11は混合器、12はロー
パスフィルタ、13は出力端子をそれぞれ示す。
ＡＷ遅延線の一実施例を示す図である。 第２図は、本発明のＳＡＷフォースセンサの一実施例を
示す図である。 図において、1a，1bは圧電性基板、2a，2bは送信用ＩＤ
Ｔ電極、3a，3bは受信用ＩＤＴ電極、４は発熱抵抗体、
5a，5bはＳＡＷ遅延線、6a，6bは増幅器、7a，7bはＳＡ
Ｗ発振器、８は周波数コントロール端子、９は基板固定
部材、10a，10bは出力バッファ、11は混合器、12はロー
パスフィルタ、13は出力端子をそれぞれ示す。
Claims (2)
- 【請求項１】外部からの電力を吸収して発熱する発熱抵
抗体(4)を表面に有し、該発熱抵抗体で熱せられる第１
の圧電性基板(1a)と，この第１の圧電性基板(1a)の上に
設けられた第１の表面弾性波を発射する第１の送信用電
極(2a)と，該発射された第１の表面弾性波を受信する第
１の受信用電極(3a)とを備えた第１の表面弾性波遅延線
(5a)と； この第１の表面弾性波遅延線(5a)と共働し、該第１の表
面弾性波遅延線(5a)の固有振動数で発振する第１の発振
器(7a)と； 第２の圧電性基板(1b)と； この第２の圧電性基板(1b)の表面に設けられた第２の表
面弾性波を発射する第２の送信用電極(2b)と，該発射さ
れた第２の表面弾性波を受信する第２の受信用電極(3b)
とを備え、該第１の表面弾性波遅延線とは隣接して置か
れ、かつ実質的に合同の形状をした第２の表面弾性波遅
延線(5b)と； この第２の表面弾性波遅延線(5b)と共働し、該第２の表
面弾性波遅延線(5b)の固有振動数で発振する第２の発振
器(7b)と； 前記第１の発振器の出力信号と，前記第２の発振器の出
力信号とを混合し、第１の表面弾性波遅延線または第２
の表面弾性波遅延線に外部から加えられた力に対応した
周波数のうなりを出力する混合器(11)とから成るＳＡＷ
フォースセンサ。 - 【請求項２】前記第１の圧電性基板と前記第２の圧電性
基板が同一の圧電性基板であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のＳＡＷフォースセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22320785A JPH0641886B2 (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Ｓａｗフオ−スセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22320785A JPH0641886B2 (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Ｓａｗフオ−スセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6282335A JPS6282335A (ja) | 1987-04-15 |
| JPH0641886B2 true JPH0641886B2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=16794469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22320785A Expired - Lifetime JPH0641886B2 (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Ｓａｗフオ−スセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641886B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2655959B2 (ja) * | 1991-10-30 | 1997-09-24 | 本田技研工業株式会社 | 樹脂製燃料タンク |
| CN100514854C (zh) | 2004-03-30 | 2009-07-15 | 中国科学院声学研究所 | 用于气体传感器的声表面波振荡器系统 |
| JP5018227B2 (ja) * | 2007-05-15 | 2012-09-05 | セイコーエプソン株式会社 | 力検知ユニット |
-
1985
- 1985-10-07 JP JP22320785A patent/JPH0641886B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6282335A (ja) | 1987-04-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5142912A (en) | Semiconductor pressure sensor | |
| US4546658A (en) | Piezoelectric force/pressure sensor | |
| JPS626174B2 (ja) | ||
| JPH08504512A (ja) | 結合力変換器および温度センサ | |
| US7053319B2 (en) | Electronic weighing apparatus utilizing surface acoustic waves using sensors operating at different frequencies, having temperature compensation, and a push oscillator | |
| US20260016297A1 (en) | Physical Quantity Detection Circuit And Physical Quantity Detection Device | |
| JPH0641886B2 (ja) | Ｓａｗフオ−スセンサ | |
| JPH0641888B2 (ja) | Ｓａｗフオ−スセンサ | |
| US7091451B2 (en) | Heating element induction of time-varying thermal gradient in elongated beam to cause one or more elongated beam oscillations | |
| Hoummady et al. | Acoustic wave thermal sensitivity: temperature sensors and temperature compensation in microsensors | |
| JPS62190905A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH01189583A (ja) | 振動子を利用した触覚センサー | |
| Dong et al. | Self-temperature-testing of the quartz resonant force sensor | |
| JPH0641887B2 (ja) | Ｓａｗフオ−スセンサ | |
| US6812413B1 (en) | Electronic weighing apparatus utilizing surface acoustic waves | |
| JPS60186725A (ja) | 圧力センサ | |
| JPH0548961B2 (ja) | ||
| JPH0455542B2 (ja) | ||
| JPH0454800A (ja) | 超音波センサ | |
| JPH08145614A (ja) | 物体の歪み測定方法 | |
| JPH0643928B2 (ja) | 応力センサ | |
| JP3191404B2 (ja) | 圧電振動子の温度検知方法 | |
| JPH05118933A (ja) | 歪センサー | |
| SU437918A1 (ru) | Микровесы | |
| JPH0473532B2 (ja) |