JPS6282335A - Ｓａｗフオ−スセンサ - Google Patents
Ｓａｗフオ−スセンサInfo
- Publication number
- JPS6282335A JPS6282335A JP22320785A JP22320785A JPS6282335A JP S6282335 A JPS6282335 A JP S6282335A JP 22320785 A JP22320785 A JP 22320785A JP 22320785 A JP22320785 A JP 22320785A JP S6282335 A JPS6282335 A JP S6282335A
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- Japan
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims abstract description 66
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000872 buffer Substances 0.000 abstract description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009412 basement excavation Methods 0.000 description 1
- 238000010009 beating Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は応力、圧力、歪み、変位などの力学的な物理
量を測定したシ、検出したりするために使用するフォー
スセン丈に係り、特に固体物質の表面全伝搬する表面弾
性波（Ｓ ＡＷ ： ５ｕｒｆａｃｅＡｃｏｕｓｔｉｃ
Ｗａｖｅ ）を利用したＳＡＷ遅延線の感圧機能全応
用したＳｋＷフォースセンサに関する。
量を測定したシ、検出したりするために使用するフォー
スセン丈に係り、特に固体物質の表面全伝搬する表面弾
性波（Ｓ ＡＷ ： ５ｕｒｆａｃｅＡｃｏｕｓｔｉｃ
Ｗａｖｅ ）を利用したＳＡＷ遅延線の感圧機能全応
用したＳｋＷフォースセンサに関する。
応力、変位、歪み、圧力等の力学的な物理ｔ を測定す
るセンサにおいては、抵抗値が加えた歪みにより変化す
る歪みゲージが広く使用されている。
るセンサにおいては、抵抗値が加えた歪みにより変化す
る歪みゲージが広く使用されている。
この歪みゲージは一般には、ばね材料に貼りつけて使用
されでいる。力学的な物理量全検出するには、歪みゲー
ジと抵抗器でホイートストンブリッジ（ ジを構イし、歪みゲージの抵抗値変化を電圧変化に変換
して出力するという方法が採られている。
されでいる。力学的な物理量全検出するには、歪みゲー
ジと抵抗器でホイートストンブリッジ（ ジを構イし、歪みゲージの抵抗値変化を電圧変化に変換
して出力するという方法が採られている。
また、この他に、半導体に形成された拡散抵抗の応力に
よる抵抗値変化を利用したものもある。
よる抵抗値変化を利用したものもある。
このタイプのセンサは歪みゲージと同様にホイートスト
ンブリッジを組成し、抵抗値変化を電圧変化として出力
する方法が採られている。この種のセンサの大きな特徴
はシリコン基板を用いるため同一基板上に感圧部と信号
検出用の電気回路を集積化できる点にある。また、温度
補償も半導体の感温機能を利用して同一基板上で行って
いる。このように半導体の拡散抵抗を利用したタイプの
センサはよ）実用的なセンサであり、また小形化、量産
化の進んだセンナである。
ンブリッジを組成し、抵抗値変化を電圧変化として出力
する方法が採られている。この種のセンサの大きな特徴
はシリコン基板を用いるため同一基板上に感圧部と信号
検出用の電気回路を集積化できる点にある。また、温度
補償も半導体の感温機能を利用して同一基板上で行って
いる。このように半導体の拡散抵抗を利用したタイプの
センサはよ）実用的なセンサであり、また小形化、量産
化の進んだセンナである。
また、その他にフォースセンサに属する技術としては、
ＳＡＷ遅延線の感圧機能を利用したものがある。ＳＡＷ
遅延線に用いる圧電性基板は、表面波の伝搬する部分に
応力を加えると、５ＡＷＯ伝搬速度が力の大きさに比例
して変化し、その結果ＳＡＷＭ延線の遅延時間が変化す
るという性質を持っている。この特性を有するＳＡＷ遅
延線を用いて、発振器を構成すると、加えた力に比例し
た周波数変化量を出力するＳＡＷフォースセンサが実現
できる。このＳＡＷフォースセンサは分解能が良好でお
り、従来の抵抗値変化を利用し′ｆｃ谷ｆｍ ７オース
センザに比べ精度の高いセンサニスルことができる。ま
た、センサを構成するＳＡＷ発振器は、セ／す部を兼ね
ているＳＡＷ遅延線と増幅器とにより簡単に構成できる
という大きな特徴がある。
ＳＡＷ遅延線の感圧機能を利用したものがある。ＳＡＷ
遅延線に用いる圧電性基板は、表面波の伝搬する部分に
応力を加えると、５ＡＷＯ伝搬速度が力の大きさに比例
して変化し、その結果ＳＡＷＭ延線の遅延時間が変化す
るという性質を持っている。この特性を有するＳＡＷ遅
延線を用いて、発振器を構成すると、加えた力に比例し
た周波数変化量を出力するＳＡＷフォースセンサが実現
できる。このＳＡＷフォースセンサは分解能が良好でお
り、従来の抵抗値変化を利用し′ｆｃ谷ｆｍ ７オース
センザに比べ精度の高いセンサニスルことができる。ま
た、センサを構成するＳＡＷ発振器は、セ／す部を兼ね
ているＳＡＷ遅延線と増幅器とにより簡単に構成できる
という大きな特徴がある。
ＳＡＷセンサは、フォースセンサに限らず、その大多数
がＳＡＷ発振回路を構成し、この発振回路の固有発振周
波数の変化によって測定量全表示する方式である。これ
は、ＳＡＷ遅延線自体が受動的なデバイスであジ、自発
的にエネルギーを放出したり、被測定物の放出エネルギ
ーを他の形に変換して出力するタイプのデバイスではな
いためである。このため、ＳＡＷ遅延線をセンサに用い
る場合には、まず、ＳＡＷ遅延線が安定に動作する状態
、すなわち、ＳＡＷ遅延線と共働し、該ＳＡＷ遅延線全
発振素子として、その固有振動数で定常発振する状態を
作る必要がある。
がＳＡＷ発振回路を構成し、この発振回路の固有発振周
波数の変化によって測定量全表示する方式である。これ
は、ＳＡＷ遅延線自体が受動的なデバイスであジ、自発
的にエネルギーを放出したり、被測定物の放出エネルギ
ーを他の形に変換して出力するタイプのデバイスではな
いためである。このため、ＳＡＷ遅延線をセンサに用い
る場合には、まず、ＳＡＷ遅延線が安定に動作する状態
、すなわち、ＳＡＷ遅延線と共働し、該ＳＡＷ遅延線全
発振素子として、その固有振動数で定常発振する状態を
作る必要がある。
しかしながら、ＳＡＷ遅延線に用いる圧電性基板ｆｉＳ
ＡＷ速度の温度係数を持っているため、周囲温度に敏感
に反応し、発振器を構成した場合には固有発振周波数が
変動するという問題が生じる。
ＡＷ速度の温度係数を持っているため、周囲温度に敏感
に反応し、発振器を構成した場合には固有発振周波数が
変動するという問題が生じる。
この問題を解決するため、周囲温度検出用のＳＡＷ発損
器と固有発振周波数の変化検出用のＳＡＷ発振器とを同
一形状のＳＡＷ遅延線で構成し、これら２つの発振器よ
り出力される発振信号のうなりを取り出して測定信号と
し、温度特性の補償を行なっている。このように２つの
信号のうなりを取り出すことにより温度補償は可能とな
るが、従来のＳＡＷフォースセンサではうなりを取り出
す方式の利点を十分に生かした構造のものではなかった
。
器と固有発振周波数の変化検出用のＳＡＷ発振器とを同
一形状のＳＡＷ遅延線で構成し、これら２つの発振器よ
り出力される発振信号のうなりを取り出して測定信号と
し、温度特性の補償を行なっている。このように２つの
信号のうなりを取り出すことにより温度補償は可能とな
るが、従来のＳＡＷフォースセンサではうなりを取り出
す方式の利点を十分に生かした構造のものではなかった
。
本発明では、感圧特性及び感温特性を示す圧電性基板を
用い、この基板上にＳＡＷを送信及び受信するだめの電
極（交差指形電極ともＩＤＴともいう０ＩＤＴはＩｎｔ
ｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒの略）を設
け、構造的には実質的に同一もしくは対称（合間）な２
つのＳＡＷ遅延線を形成する。この２つのＳＡＷ遅延線
のどちらか一万の５ＡＷＱ伝搬する部分には、外部より
加えられた電力で発熱する発熱抵抗体を設ける。これら
２つのＳＡＷ遅延線を用い２′）のＳＡＷ発振器を形成
し、一方を温度補償用、また、他方−ｉ（ぎ号検出用の
発振器とする。この２つの発振器よυ出力される信号は
混合器に入力され、うなりの信号として出力されること
により温度補償された信号を得ることができる。
用い、この基板上にＳＡＷを送信及び受信するだめの電
極（交差指形電極ともＩＤＴともいう０ＩＤＴはＩｎｔ
ｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒの略）を設
け、構造的には実質的に同一もしくは対称（合間）な２
つのＳＡＷ遅延線を形成する。この２つのＳＡＷ遅延線
のどちらか一万の５ＡＷＱ伝搬する部分には、外部より
加えられた電力で発熱する発熱抵抗体を設ける。これら
２つのＳＡＷ遅延線を用い２′）のＳＡＷ発振器を形成
し、一方を温度補償用、また、他方−ｉ（ぎ号検出用の
発振器とする。この２つの発振器よυ出力される信号は
混合器に入力され、うなりの信号として出力されること
により温度補償された信号を得ることができる。
ここでＳＡＷ遅延線の一方に設けられた発熱抵抗体に外
部より電力を供給すると、このＳＡＷ遅延Ｓを含むＳＡ
Ｗ発損器の発振周波数が変化し、混合器より出力される
うなり信号の中心周波数が変化する。こうして発熱抵抗
体に加える電力をコントロールすることにより、うなり
信号の中心周波数を任意の周波数に変えることができる
。
部より電力を供給すると、このＳＡＷ遅延Ｓを含むＳＡ
Ｗ発損器の発振周波数が変化し、混合器より出力される
うなり信号の中心周波数が変化する。こうして発熱抵抗
体に加える電力をコントロールすることにより、うなり
信号の中心周波数を任意の周波数に変えることができる
。
以上に述べたような構成、すなわちどちらか一方のＳＡ
Ｗ遅延線上に発熱抵抗体を設けて構成される信号検出用
のＳＡＷ発振器及び温度補償用のＳＡＷ発振器の発振周
波数のうなりヲ取ることにより、温度補償は可能になり
、しかも外部より電力を加えることにより、うなりの中
心周波数は任意にコントロールできる。この周波数制御
機能により、例えば微小の力を検出する場合は、２つの
発振器の発振周波数を近づけ、また一方大きな力を測定
する場合は２つの発振器の発振周波数金離すことにより
適切な分解能を得ることが可能となる。また周波数カウ
ンタの性能に見合った最適な発振周波数を決めることも
可能にン’ｚす、より実用性の高いＳＡＷフォースセン
サを提供することができる。
Ｗ遅延線上に発熱抵抗体を設けて構成される信号検出用
のＳＡＷ発振器及び温度補償用のＳＡＷ発振器の発振周
波数のうなりヲ取ることにより、温度補償は可能になり
、しかも外部より電力を加えることにより、うなりの中
心周波数は任意にコントロールできる。この周波数制御
機能により、例えば微小の力を検出する場合は、２つの
発振器の発振周波数を近づけ、また一方大きな力を測定
する場合は２つの発振器の発振周波数金離すことにより
適切な分解能を得ることが可能となる。また周波数カウ
ンタの性能に見合った最適な発振周波数を決めることも
可能にン’ｚす、より実用性の高いＳＡＷフォースセン
サを提供することができる。
第１図に本発明に使用するＳＡＷ遅延線の一実施例を示
す。圧電性基板１ａ及び１ｂ上に、ＳＡＷを発射するた
めの送信用■ＤＴｔ極２ａ、２ｂとそれぞれの送信用Ｉ
ＤＴ電極より発射されたＳＡＷを受信するだめの受信用
ＩＤＴｔ極３ａ、３ｂを設ける。
す。圧電性基板１ａ及び１ｂ上に、ＳＡＷを発射するた
めの送信用■ＤＴｔ極２ａ、２ｂとそれぞれの送信用Ｉ
ＤＴ電極より発射されたＳＡＷを受信するだめの受信用
ＩＤＴｔ極３ａ、３ｂを設ける。
送信用ＩＤＴｔ極２＆と受信用ＩＤＴ電極３ａ間のＳＡ
Ｗを伝搬する部分には入力された電力に応じ発熱する発
熱抵抗体４を設ける。以上のように２つのＳＡＷ遅延線
５ａ、５ｂ ｆ形成する。ここで２つのＳＡＷ遅延線は
構造的には実質的に同一、もしくは対称（合同）の形状
とする。送信用ＩＤＴ＊極２ａ及び受信用ＩＤＴｔ極３
ａより形成されるＳＡＷ遅延線は温度補償機能を含み、
自由に温度を設定できるものとしく以下、温度補償用と
呼ぶ）、−万、送信用■ＤＴｔ極２ｂ、及び受信用ＩＤ
Ｔ電極３ｂより形成されるＳＡＷ遅延線は力を検出する
それ一方の！極は接地電位に接続しである。また送信用
電極２ａ、及び受信用ＩＤＴｔ極３ａは増幅器６ａに接
続し温度補償も含めて温度を自由に可変設定できるよう
な発振器７ａを形成する。この回路を以下温度補償用発
振器と呼ぶ。一方送信用ＩＤＴ電極２ｂ 、及び受信用
よりＴ％Ｌ極３ｂは増幅器６ｂに接続し、検出用発振器
７ｂを形成する。発熱抵抗体４のもう一方の電極は周波
数コントロール端子８に接続されている。また圧電性基
板１ａ、１ｂは基板固定部材９に固定されている。
Ｗを伝搬する部分には入力された電力に応じ発熱する発
熱抵抗体４を設ける。以上のように２つのＳＡＷ遅延線
５ａ、５ｂ ｆ形成する。ここで２つのＳＡＷ遅延線は
構造的には実質的に同一、もしくは対称（合同）の形状
とする。送信用ＩＤＴ＊極２ａ及び受信用ＩＤＴｔ極３
ａより形成されるＳＡＷ遅延線は温度補償機能を含み、
自由に温度を設定できるものとしく以下、温度補償用と
呼ぶ）、−万、送信用■ＤＴｔ極２ｂ、及び受信用ＩＤ
Ｔ電極３ｂより形成されるＳＡＷ遅延線は力を検出する
それ一方の！極は接地電位に接続しである。また送信用
電極２ａ、及び受信用ＩＤＴｔ極３ａは増幅器６ａに接
続し温度補償も含めて温度を自由に可変設定できるよう
な発振器７ａを形成する。この回路を以下温度補償用発
振器と呼ぶ。一方送信用ＩＤＴ電極２ｂ 、及び受信用
よりＴ％Ｌ極３ｂは増幅器６ｂに接続し、検出用発振器
７ｂを形成する。発熱抵抗体４のもう一方の電極は周波
数コントロール端子８に接続されている。また圧電性基
板１ａ、１ｂは基板固定部材９に固定されている。
第２図に本発明によるＳＡＷフォースセンサの一実施例
を示す。圧電性基板１ａ上に送信用ＩＤＴ電極２ａと受
信用ＩＤＴ［極３ａ及び発熱抵抗体４全設は温度補償用
のＳＡＷ遅延線５ａを形成する。
を示す。圧電性基板１ａ上に送信用ＩＤＴ電極２ａと受
信用ＩＤＴ［極３ａ及び発熱抵抗体４全設は温度補償用
のＳＡＷ遅延線５ａを形成する。
それぞれのＩＤＴ電極及び発熱抵抗体の一方の電極は接
地電位に接続し、もう−万のそれぞれのよりＴｔ極は増
幅器６ａに接続し、温度補償用の発振器７ａを形成する
。この発振器の信号は出力バック７１０ａを介し外部に
出力する。次に圧電性基板１ｂ上に送信用ＩＤＴ電極２
ｂ及び受信用ＩＤＴ′電極３ｂを配し、力の検出用ＳＡ
Ｗ遅延ｉ５ｂを形成する。
地電位に接続し、もう−万のそれぞれのよりＴｔ極は増
幅器６ａに接続し、温度補償用の発振器７ａを形成する
。この発振器の信号は出力バック７１０ａを介し外部に
出力する。次に圧電性基板１ｂ上に送信用ＩＤＴ電極２
ｂ及び受信用ＩＤＴ′電極３ｂを配し、力の検出用ＳＡ
Ｗ遅延ｉ５ｂを形成する。
それぞれのＩＤＴ電極の一方の１と極は接地電位に接続
し、またもう一方のＩＤＴ電極はそれぞれ増幅器６ｂに
接続し、検出用のＳＡＷ発振器７ｂ′ｆｆ：構成する。
し、またもう一方のＩＤＴ電極はそれぞれ増幅器６ｂに
接続し、検出用のＳＡＷ発振器７ｂ′ｆｆ：構成する。
この発振器の信号は出力バッノア１０ｂ金介し外部に出
力する。こうして得られる２つの発振器の出力信号は混
合器１１に入力し、うなり１百号を得る。うなり信号は
ローパスフィルタ１２を通過させ正弦波として出力する
。この信号は出力端子１３で外部に取り出す。このよう
な構成で得られるイｇ号は温度変動によるセンサのゆら
き′を補償した信号である。また温度補償用のＳＡＷ遅
姑緑上に設けられた発熱抵抗体のもう一方の端子は周波
数コントロール端子８に接続されており、外部よυ電力
を供給することによりうなりの甲心周波数金目山にコン
トロールすることができる。
力する。こうして得られる２つの発振器の出力信号は混
合器１１に入力し、うなり１百号を得る。うなり信号は
ローパスフィルタ１２を通過させ正弦波として出力する
。この信号は出力端子１３で外部に取り出す。このよう
な構成で得られるイｇ号は温度変動によるセンサのゆら
き′を補償した信号である。また温度補償用のＳＡＷ遅
姑緑上に設けられた発熱抵抗体のもう一方の端子は周波
数コントロール端子８に接続されており、外部よυ電力
を供給することによりうなりの甲心周波数金目山にコン
トロールすることができる。
以上述べたように本発明によるＳＡＷフォースセンサは
、測定対象毎に合せ任意に中心周波数を決めることがで
きる。例えば微小な力の測定には温度補償用信号の発振
周波数と検出用発掘信号の発振周波数を接近させること
により、より高精度のセ／すとすることができる。この
発振周波数コントロールは圧電性基板の有する精度と直
線性の良好な温度特性を利用するため、センサの力に対
する感度を損なわずに行なえる。また、このＳＡＷフォ
ースセンサは検出した力を周波数信号として出力するた
め周波数カウンタを必要とする。この周波数カウンタの
性能に合せ、本発明によるＳＡＷフォースセンサでは中
心周波数を変え、より最適な周波数を出力させることも
できる。
、測定対象毎に合せ任意に中心周波数を決めることがで
きる。例えば微小な力の測定には温度補償用信号の発振
周波数と検出用発掘信号の発振周波数を接近させること
により、より高精度のセ／すとすることができる。この
発振周波数コントロールは圧電性基板の有する精度と直
線性の良好な温度特性を利用するため、センサの力に対
する感度を損なわずに行なえる。また、このＳＡＷフォ
ースセンサは検出した力を周波数信号として出力するた
め周波数カウンタを必要とする。この周波数カウンタの
性能に合せ、本発明によるＳＡＷフォースセンサでは中
心周波数を変え、より最適な周波数を出力させることも
できる。
また−万このセンサは出力信号がデジタル信号処理に適
した周波数信号であるため、マイクロコンビーータを用
いる信号処理に適合したタイプのセンサである。
した周波数信号であるため、マイクロコンビーータを用
いる信号処理に適合したタイプのセンサである。
このように本発明によるＳＡＷフォースセンサは産業上
利用価値の高いものである。
利用価値の高いものである。
第１図は、本発明のＳＡＷフォースセンプを構成するＳ
ＡＷ遅延線の一実施例を示す図でろる。 第２図は、本発明のＳＡＷフォースセンサの一実施例を
示す図である。 図において、１ａ、１ｂは圧電性基板、２ａ、２ｂは送
信用ＩＤＴ電極、３ａ、３ｂは受信用ＩＤＴｔ極、４は
発熱抵抗体、５ａ、５ｂはＳＡＷ遅延線、６ａ、６ｂは
増幅器、７ａ、７ｂはＳＡＷ発振器、８は周波数コント
ロール端子、９は基板固定部材、１０ａ、ｌＯｂは出カ
ハッファ、１１ハ混合器、１２はローパスフィルタ、１
３は出力端子をそれぞれ示す。
ＡＷ遅延線の一実施例を示す図でろる。 第２図は、本発明のＳＡＷフォースセンサの一実施例を
示す図である。 図において、１ａ、１ｂは圧電性基板、２ａ、２ｂは送
信用ＩＤＴ電極、３ａ、３ｂは受信用ＩＤＴｔ極、４は
発熱抵抗体、５ａ、５ｂはＳＡＷ遅延線、６ａ、６ｂは
増幅器、７ａ、７ｂはＳＡＷ発振器、８は周波数コント
ロール端子、９は基板固定部材、１０ａ、ｌＯｂは出カ
ハッファ、１１ハ混合器、１２はローパスフィルタ、１
３は出力端子をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）外部からの電力を吸収して発熱する発熱抵抗体（４
）を表面に有し、該発熱抵抗体で熱せられる第１の圧電
性基板（１ａ）と、この第１の圧電性基板（１ａ）の上
に設けられた第１の表面弾性波を発射する第１の送信用
電極（２ａ）と、該発射された第１の表面弾性波を受信
する第１の受信用電極（３ａ）とを備えた第１の表面弾
性波遅延線（５ａ）と；この第１の表面弾性波遅延線（
５ａ）と共働し、該第１の表面弾性波遅延線（５ａ）の
固有振動数で発振する第１の発振器（７ａ）と； 第２の圧電性基板（１ｂ）と； この第２の圧電性基板（１ｂ）の表面に設けられた第２
の表面弾性波を発射する第２の送信用電極（２ｂ）と、
該発射された第２の表面弾性波を受信する第２の受信用
電極（３ｂ）とを備え、該第１の表面弾性波遅延線とは
隣接して置かれ、かつ実質的に合同の形状をした第２の
表面弾性波遅延線（５ｂ）と；この第２の表面弾性波遅
延線（５ｂ）と共働し、該第２の表面弾性波遅延線（５
ｂ）の固有振動数で発振する第２の発振器（７ｂ）と； 前記第１の発振器の出力信号と、前記第２の発振器の出
力信号とを混合し、第１の表面弾性波遅延線または第２
の表面弾性波遅延線に外部から加えられた力に対応した
周波数のうなりを出力する混合器（１１）とから成るＳ
ＡＷフォースセンサ。 ２）前記第１の圧電性基板と前記第２の圧電性基板が同
一の圧電性基板であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のＳＡＷフォースセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22320785A JPH0641886B2 (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Ｓａｗフオ−スセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22320785A JPH0641886B2 (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Ｓａｗフオ−スセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6282335A true JPS6282335A (ja) | 1987-04-15 |
| JPH0641886B2 JPH0641886B2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=16794469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22320785A Expired - Lifetime JPH0641886B2 (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Ｓａｗフオ−スセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641886B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05116548A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-05-14 | Honda Motor Co Ltd | 樹脂製燃料タンク |
| JP2008286520A (ja) * | 2007-05-15 | 2008-11-27 | Epson Toyocom Corp | 力検知ユニット、圧電基板の製造方法及び加速度センサ |
| CN100514854C (zh) | 2004-03-30 | 2009-07-15 | 中国科学院声学研究所 | 用于气体传感器的声表面波振荡器系统 |
-
1985
- 1985-10-07 JP JP22320785A patent/JPH0641886B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05116548A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-05-14 | Honda Motor Co Ltd | 樹脂製燃料タンク |
| CN100514854C (zh) | 2004-03-30 | 2009-07-15 | 中国科学院声学研究所 | 用于气体传感器的声表面波振荡器系统 |
| JP2008286520A (ja) * | 2007-05-15 | 2008-11-27 | Epson Toyocom Corp | 力検知ユニット、圧電基板の製造方法及び加速度センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0641886B2 (ja) | 1994-06-01 |
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