JPH0643644Y2

JPH0643644Y2 - ヘリウム圧縮装置

Info

Publication number: JPH0643644Y2
Application number: JP1986065583U
Authority: JP
Inventors: 和雄野村; 勝治吉川; 徳二西場
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1986-04-30
Filing date: 1986-04-30
Publication date: 1994-11-14
Anticipated expiration: 2001-04-30
Also published as: JPS62176665U

Description

【考案の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野この考案は極低温冷凍機やクライオポンプなどに使用さ
れるヘリウム圧縮装置に関する。

（ロ）従来の技術上述した極低温冷凍機では低温工学ハンドブック（昭和
57年９月15日内田老鶴圃新社発行P103〜P107）に開示さ
れているように、圧縮装置で圧縮したヘリウムガス等の
作動ガスを膨張装置に供給して極低温状態に冷却するも
のが知られている。

第２図及び第３図はそれぞれ従来のヘリウム圧縮装置の
１例を示すものである。これらの図において、圧縮機１
の吐出口1Aがヘリウムクーラ２、オイルフィルター３及
び吸着器４を順次介してガス供給口５に配管接続され、
ガス戻り口６が逆止弁７を介して圧縮機１の吸入口1Bに
配管接続されている。また、第３図のものでは圧縮機１
の吸入口1B近傍の配管８にバッファータンク９が配設さ
れている。オイルフィルター３及び吸着器４の間の配管
10と逆止弁７及び圧縮機１の吸入口1Bの間の配管８とは
設定圧力以上で開となる圧力調整弁11を備えたバイパス
管12にて接続されている。また、オイルフィルター３と
配管８とがキャピラリーチューブ13を備えたバイパス管
14にて接続されている。また、圧縮機１には連絡回路15
を介してオイルクーラ16が接続されている。

上述した圧縮装置は圧縮機１の吐出口1Aから吐出された
高温高圧のヘリウムガスがまずヘリウムクーラ２に供給
される。そして、ヘリウムクーラ２にて常温に冷却され
たヘリウムガスはオイルフィルター３に入り、ここでヘ
リウムガスに含まれるオイルが分離される。そして、オ
イルフィルター３を通過したヘリウムガスは吸着器４に
入り、オイルフィルター３で除去されなかったガス状の
オイルやヘリウムガスに含まれる不純物が吸着剤に吸着
される。このようにしてオイルや不純物が除去された常
温高圧のヘリウムガスはガス供給口５から膨張装置（図
示せず）に送られる。一方、膨張装置の低圧のヘリウム
ガスはガス戻り口６及び逆止弁７（第３図のものではさ
らにバッファータンク９）を介して圧縮機１の吸入口1B
に戻される。

圧縮機１の運転開始当初は膨張装置のガス温度が高いた
め、圧縮機１の吐出側のガス圧力が高くなり、圧力調整
弁11の設定圧力以上となる。このとき、圧力調整弁11は
高圧側の配管10のヘリウムガスの一部をバイパス管12を
通して低圧側の配管８に逃がし、高圧圧力の異常上昇を
防止する。その後、膨張装置のガス温度が低下し、高圧
圧力が設定圧力より低くなると、圧力調整弁11が閉とな
る。

オイルフィルター３により分離されたオイルはキャピラ
リーチューブ13を有するバイパス管14及び圧縮機１の吸
入側の配管８を通って圧縮機１に回収される。また、圧
縮機１のオイルは連絡回路15を通ってオイルクーラ16に
循環供給され、過熱が防止される。

（ハ）考案が解決しようとする問題点上述したヘリウム圧縮装置はオイルフィルター３のオイ
ルが逆止弁７及び圧縮機１の吸入口1Bの間の配管８に戻
される。このため、逆止弁７に逆方向の漏れが僅かでも
あると、オイルが逆止弁７及びガス戻り口６を通って膨
張装置へと流れ、膨張装置がオイルで汚染する心配があ
った。また、オイルフィルター３が圧力調整弁11を有す
るバイパス管12の上流側に位置しているため、圧縮機１
の運転開始当初、膨張装置に供給されることのないヘリ
ウムガスについても、オイルフィルター３にてオイルの
分離が行なわれ、オイルフィルター３が早期に目詰まり
し、オイルフィルター３の寿命が短くなる問題があっ
た。

この考案は上述した事実に鑑みてなされたものであり、
膨張装置へのオイルの漏洩を防止するとともに、オイル
フィルターに無駄なオイル分離をさせないようにし、オ
イルフィルターの寿命を長くすることを目的とする。

（ニ）問題点を解決するための手段この考案は圧縮機の吐出口をヘリウムクーラ、オイルフ
ィルター及び吸着器を順次介してガス供給口に配管接続
し、ガス戻り口を逆止弁を介して圧縮機の吸入口に配管
接続し、オイルフィルターを逆止弁と圧縮機の吸入口と
の間の配管にキャピラリーチューブを有するバイパス管
にて接続してなるヘリウム圧縮装置を改良するものであ
る。この考案では、ヘリウムクーラとオイルフィルター
との間の配管を逆止弁と圧縮機の吸入口との間の配管に
設定圧力以上で開となる圧力調節弁を有するバイパス管
にて接続し、且つガス戻り口と逆止弁との間の配管の途
中にバッファータンクを設けた構成である。

（ホ）作用このように構成すると、ヘリウム圧縮装置の運転停止時
に逆止弁に逆方向の漏れがある場合でも、逆流したオイ
ルはバッファータンクに吸収され、膨張装置に流れ込む
ことがない。また、圧力調整弁を備えたバイパス管がオ
イルフィルターの上流側の配管に接続されているので、
圧力調整弁が開のとき、圧力調整弁を備えたバイパス管
を流れるヘリウムガスはオイルフィルターを通ることが
なく、オイルフィルターに無駄なオイル分離をさせる心
配がない。

（ヘ）実施例以下、この考案を図面に示す実施例について説明する。
第１図において、圧縮機17の吐出口17Aはヘリウムクー
ラ18、オイルフィルター19及び吸着器20を順次介してガ
ス供給口21に配管接続され、ガス戻り口22はバッファー
タンク23及び逆止弁24を順次介して圧縮機17の吸入口17
Bに接続されている。オイルフィルター19下部のオイル
戻し口19Aはキャピラリーチューブ25を有するバイパス
管26を介して逆止弁24及び圧縮機17の吸入口17Bの間の
配管27に接続されている。また、ヘリウムクーラ18及び
オイルフィルター19の間の配管28と逆止弁24及び圧縮機
17の吸入口17Bの間の配管27とが設定圧力以上で開とな
る圧力調整弁29を備えたバイパス管30にて接続されてい
る。また、圧縮機17とオイルクーラ31とが連絡回路32を
介して接続されている。

本実施例によれば、ガス戻り口22と逆止弁24との間の配
管33にバッファータンク23を設けたので、逆止弁24に逆
方向の漏れがある場合でも、逆止弁24を逆流したオイル
はバッファータンク23に吸収され、ガス戻り口22から膨
張装置へ流出する心配がない。また、圧力調整弁29を有
するバイパス管30がオイルフィルター19上流側の配管28
に接続されているので、圧縮機17の運転開始当初の高圧
圧力の上昇によりバイパス管30を流れるヘリウムガスは
オイルフィルター19を流れることがない。このため、オ
イルフィルター19には膨張装置に供給されるヘリウムガ
スのみを通過させることができ、無駄なオイル分離が行
なわれないようにできる。

（ト）考案の効果この考案は以上のように構成されているので、逆止弁に
逆方向の漏れがある場合でも、逆止弁から漏れたオイル
はバッファータンクに吸収されてオイルの膨張装置側へ
の流出が確実に防止され、膨張装置がオイルで汚れない
ようにできるとともに、圧力調節弁が開いたときにはオ
イルがオイルフィルターに流れずにバイパス管に流れ、
オイルフィルターに無駄なオイル分離をさせないように
でき、オイルフィルターの寿命を長くすることができる
など、信頼性の大幅な向上が図れるものである。

【図面の簡単な説明】第１図はこの考案の一実施例を示すヘリウム圧縮装置の
配管図、第２図及び第３図はそれぞれ従来装置の一例を
示す配管図である。 17……圧縮機、17A……吐出口、17B……吸入口、18……
ヘリウムクーラ、19……オイルフィルター、20……吸着
器、21……ガス供給口、22……ガス戻り口、23……バッ
ファータンク、24……逆止弁、25……キャピラリーチュ
ーブ、26……バイパス管、27、28、33……配管、29……
圧力調整弁、30……バイパス管。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】圧縮機の吐出口をヘリウムクーラ、オイル
フィルター及び吸着器を順次介してガス供給口に配管接
続し、ガス戻り口を逆止弁を介して圧縮機に吸入口に配
管接続し、オイルフィルターを逆止弁と圧縮機の吸入口
との間の配管にキャピラリーチューブを有するバイパス
管にて接続してなるヘリウム圧縮装置において、ヘリウ
ムクーラとオイルフィルターとの間の配管を逆止弁と圧
縮機の吸入口との間の配管に設定圧力以上で開となる圧
力調節弁を有するバイパス管にて接続し、且つガス戻り
口と逆止弁との間の配管の途中にバッファータンクを設
けたことを特徴するヘリウム圧縮装置。