JPH0643647Y2 - 極低温冷凍装置 - Google Patents
極低温冷凍装置Info
- Publication number
- JPH0643647Y2 JPH0643647Y2 JP1986169083U JP16908386U JPH0643647Y2 JP H0643647 Y2 JPH0643647 Y2 JP H0643647Y2 JP 1986169083 U JP1986169083 U JP 1986169083U JP 16908386 U JP16908386 U JP 16908386U JP H0643647 Y2 JPH0643647 Y2 JP H0643647Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compressor
- refrigerant
- return line
- temperature
- cryogenic refrigerator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は被冷却体の予冷，加温に長時間を要する極低温
冷凍システムの温度コントロールに好適な極低温冷凍装
置に関するものである。
冷凍システムの温度コントロールに好適な極低温冷凍装
置に関するものである。
ヘリウム冷凍装置等の極低温冷凍装置において、極低温
冷凍機の低圧戻り出口ガス温度は圧縮機吐出入口ガスと
熱交換され室温近辺となるよう設計されるが、蒸発ガス
が大量に戻る場合等設計条件から外れると低圧戻り温度
が低下し霜付，結露が生じることがある。
冷凍機の低圧戻り出口ガス温度は圧縮機吐出入口ガスと
熱交換され室温近辺となるよう設計されるが、蒸発ガス
が大量に戻る場合等設計条件から外れると低圧戻り温度
が低下し霜付，結露が生じることがある。
従来の装置は、特開昭57-108557号に記載のように極低
温冷凍機低圧戻りラインはそのまま圧縮機吸入側に接続
されており、低圧戻りラインの温度低下に関して考慮さ
れていなかった。
温冷凍機低圧戻りラインはそのまま圧縮機吸入側に接続
されており、低圧戻りラインの温度低下に関して考慮さ
れていなかった。
上記従来技術においては低圧戻りラインの温度低下につ
いて考慮されておらず、低圧戻りラインに霜付，結露し
やすいという問題があった。またこれを防ぐために、防
露等を施工した場合フランジ部のシール性が低下すると
いうおそれがある。
いて考慮されておらず、低圧戻りラインに霜付，結露し
やすいという問題があった。またこれを防ぐために、防
露等を施工した場合フランジ部のシール性が低下すると
いうおそれがある。
さらに予冷，加温時等定常運転条件と異なる場合は上記
を配慮しながら運転する必要がある。
を配慮しながら運転する必要がある。
本考案の目的は、上記問題を取り除き、簡単な構造で圧
縮機戻りラインの温度コントロールができる極低温冷凍
装置を提供することにある。
縮機戻りラインの温度コントロールができる極低温冷凍
装置を提供することにある。
上記目的は、極低温冷凍機の外に出た箇所に設置され圧
縮機戻りラインの冷媒温度を温度測定器で測定し、該冷
媒温度が所定値以下の場合に、極低温冷凍機の中で圧縮
機から供給される冷媒を圧縮機戻りラインの冷媒と熱交
換する前にバイパスさせ、圧縮機戻りラインの冷媒温度
を制御するように構成したことにより、達成される。
縮機戻りラインの冷媒温度を温度測定器で測定し、該冷
媒温度が所定値以下の場合に、極低温冷凍機の中で圧縮
機から供給される冷媒を圧縮機戻りラインの冷媒と熱交
換する前にバイパスさせ、圧縮機戻りラインの冷媒温度
を制御するように構成したことにより、達成される。
極低温冷凍機の外で圧縮機戻りラインに取付けられた温
度測定器と、極低温冷凍機の中で低圧戻り出口に取付け
られた圧縮機吐出ガスの混合用のバイパス配管およびバ
イパス弁とにより、圧縮機で吐出された常温のガスを低
温となった低圧戻り出口のガスに合流させ、これにより
低圧戻りガスは圧縮機吐出ガスと混合されて温度を回復
する。
度測定器と、極低温冷凍機の中で低圧戻り出口に取付け
られた圧縮機吐出ガスの混合用のバイパス配管およびバ
イパス弁とにより、圧縮機で吐出された常温のガスを低
温となった低圧戻り出口のガスに合流させ、これにより
低圧戻りガスは圧縮機吐出ガスと混合されて温度を回復
する。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。第１
図において１は圧縮機、２は極低温冷凍機、３は混合バ
イパス弁、４は第１熱交、５は第２熱交、６は第３熱
交、７は第４熱交、８は第５熱交、９はタービン入口
弁、10は第１膨張タービン、11は第２膨張タービン、12
はJT弁、13は被冷却体、14は中圧タンク、15は中圧ライ
ン圧力調整弁、16は低圧ライン圧力調整弁、17はバイパ
ス配管である。
図において１は圧縮機、２は極低温冷凍機、３は混合バ
イパス弁、４は第１熱交、５は第２熱交、６は第３熱
交、７は第４熱交、８は第５熱交、９はタービン入口
弁、10は第１膨張タービン、11は第２膨張タービン、12
はJT弁、13は被冷却体、14は中圧タンク、15は中圧ライ
ン圧力調整弁、16は低圧ライン圧力調整弁、17はバイパ
ス配管である。
上記のシステムにおいて、圧縮機１で圧縮された冷媒は
極低温冷凍機２に供給され、第１熱交４で冷却された
後、膨張タービンラインとJTラインに分岐する。膨張タ
ービンラインガスは第１膨張タービン10および第２膨張
タービン11で断熱膨張を行い寒冷を発生する。またJTラ
インガスは上記寒冷および低圧ラインの戻り寒冷を第１
熱交４から第５熱交８までの間で吸収し、最終的にはJT
弁12でジュールトムソン膨張を行ない、液化ガスとなっ
て被冷却体13を冷却する。
極低温冷凍機２に供給され、第１熱交４で冷却された
後、膨張タービンラインとJTラインに分岐する。膨張タ
ービンラインガスは第１膨張タービン10および第２膨張
タービン11で断熱膨張を行い寒冷を発生する。またJTラ
インガスは上記寒冷および低圧ラインの戻り寒冷を第１
熱交４から第５熱交８までの間で吸収し、最終的にはJT
弁12でジュールトムソン膨張を行ない、液化ガスとなっ
て被冷却体13を冷却する。
通常状態において、圧縮機１より吐出されるガスは一部
を中圧ライン圧力調整弁15、中圧タンク14、低圧ライン
圧力調整弁16を介して圧力調整されるだけであるが、被
冷却体の負荷が極端に増え、液化ガスが一度に蒸発し
て、極低温冷凍機２の低圧戻りラインが室温より極端に
低温と成ったような場合、バイパス配管17のバイパス弁
３を開け、圧縮機側からの常温の吐出ガスを分岐させ
て、一部のガスを低圧戻りラインに合流させることによ
り、低圧戻りラインの温度を上げることができる。
を中圧ライン圧力調整弁15、中圧タンク14、低圧ライン
圧力調整弁16を介して圧力調整されるだけであるが、被
冷却体の負荷が極端に増え、液化ガスが一度に蒸発し
て、極低温冷凍機２の低圧戻りラインが室温より極端に
低温と成ったような場合、バイパス配管17のバイパス弁
３を開け、圧縮機側からの常温の吐出ガスを分岐させ
て、一部のガスを低圧戻りラインに合流させることによ
り、低圧戻りラインの温度を上げることができる。
また、低圧戻りラインに温度測定器18を設け、所定の温
度以下になったら、制御装置19によりバイパス弁３を開
いて、圧縮機吐出側のガスを低圧戻りラインに合流さ
て、低圧戻りラインのガスを温度制御する。
度以下になったら、制御装置19によりバイパス弁３を開
いて、圧縮機吐出側のガスを低圧戻りラインに合流さ
て、低圧戻りラインのガスを温度制御する。
なお、本実施例ではバイパス配管17とバイパス弁３とを
極低温冷凍機２の中に入れているのは、極低温冷凍機２
の外に出た低圧戻りラインに霜付、結露が生じないよう
にするためである。
極低温冷凍機２の中に入れているのは、極低温冷凍機２
の外に出た低圧戻りラインに霜付、結露が生じないよう
にするためである。
以上、本実施例によれば、圧縮機に温度回復したガスが
戻るので、圧縮機から吐出されるガス温度が安定し、極
低温冷凍装置の運転が安定する。
戻るので、圧縮機から吐出されるガス温度が安定し、極
低温冷凍装置の運転が安定する。
本考案によれば、従来の装置に極低温冷凍機の外で圧縮
機戻りラインに取付けられた温度測定器と、極低温冷凍
機の中でバイパス配管およびバイパス弁とを加えること
により、簡単な構造で低圧戻りラインの温度低下に対応
でき、また被冷却体の加温時等、低圧戻りガスが大量と
なっても低圧戻り温度のコントロールができるので加温
時間の短縮が計れる。
機戻りラインに取付けられた温度測定器と、極低温冷凍
機の中でバイパス配管およびバイパス弁とを加えること
により、簡単な構造で低圧戻りラインの温度低下に対応
でき、また被冷却体の加温時等、低圧戻りガスが大量と
なっても低圧戻り温度のコントロールができるので加温
時間の短縮が計れる。
第１図は本考案の一実施例である極低温冷凍装置の構成
を示すブロック図である。 １……圧縮機、２……極低温冷凍機、３……バイパス
弁、17……バイパス配管
を示すブロック図である。 １……圧縮機、２……極低温冷凍機、３……バイパス
弁、17……バイパス配管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−108557（ＪＰ，Ａ) 特公 昭61−35459（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】冷媒を貯蔵する中圧タンクと、冷媒を圧縮
し循環する圧縮機と、該圧縮機により供給される冷媒か
ら液化ガスを生成し被冷却体を冷却する極低温冷凍機
と、前記被冷却体を冷却した冷媒を前記極低温冷凍機を
通り前記圧縮機に戻す戻りライン等とから構成される極
低温冷凍装置において、 前記極低温冷凍機の外に出た箇所に設置され圧縮機戻り
ラインの冷媒温度を測定する温度測定器と、前記圧縮機
から循環される冷媒を前記極低温冷凍機の中で圧縮機戻
りラインの冷媒と熱交換させる前に分岐させ、その冷媒
を圧縮機戻りラインに合流させるバイパス配管と、該バ
イパス配管上に設置されたバイパス弁と、前記温度測定
器で測定された圧縮機戻りラインの冷媒が所定の温度以
下の場合にバイパス弁を開き圧縮機戻りラインの冷媒温
度を制御する制御装置とを具備したことを特徴とする極
低温冷凍装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986169083U JPH0643647Y2 (ja) | 1986-11-05 | 1986-11-05 | 極低温冷凍装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986169083U JPH0643647Y2 (ja) | 1986-11-05 | 1986-11-05 | 極低温冷凍装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6375760U JPS6375760U (ja) | 1988-05-20 |
| JPH0643647Y2 true JPH0643647Y2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=31102565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986169083U Expired - Lifetime JPH0643647Y2 (ja) | 1986-11-05 | 1986-11-05 | 極低温冷凍装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0643647Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10156386B2 (en) | 2010-05-12 | 2018-12-18 | Brooks Automation, Inc. | System and method for cryogenic cooling |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57108557A (en) * | 1980-12-25 | 1982-07-06 | Maekawa Seisakusho Kk | Capacity control of compressor for liquifying refrigerating plant |
-
1986
- 1986-11-05 JP JP1986169083U patent/JPH0643647Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6375760U (ja) | 1988-05-20 |
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