JPH0644908A - ガス放電型表示パネル - Google Patents

ガス放電型表示パネル

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Publication number
JPH0644908A
JPH0644908A JP4017265A JP1726592A JPH0644908A JP H0644908 A JPH0644908 A JP H0644908A JP 4017265 A JP4017265 A JP 4017265A JP 1726592 A JP1726592 A JP 1726592A JP H0644908 A JPH0644908 A JP H0644908A
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JP
Japan
Prior art keywords
cathode
base electrode
dielectric layer
display panel
groove
Prior art date
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Pending
Application number
JP4017265A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroki Kono
野 宏 樹 河
Yoshio Watanabe
辺 由 雄 渡
Masaki Hirohashi
橋 正 樹 広
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPH0644908A publication Critical patent/JPH0644908A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ペロブスカイト型の酸化物導電体などで形成
された陰極の導電性を補うために使用するAgやNiな
どの下地電極のスパッタを防止する。 【構成】 背面基板11に誘電体層12を形成し、その
上に溝13を有する誘電体層14を形成し、その溝13
の中に陰極16の導電性を補うための下地電極15を埋
め込み、その上に陰極16を形成する。前面基板17に
は、陰極16と直交するように陽極18を形成し、放電
空間19でのクロストークを防ぐために隔壁20を介し
て背面基板11と前面基板17とを重ね合わせ、周囲を
フリットガラスで気密に封じ、放電空間19を真空にし
た後、Ne−Arなどのガスを数百torr注入する。
背面基板部と前面基板部の作製は、いずれも量産性が容
易なスクリーン印刷法を用いる。下地電極15が陰極1
6によって完全に覆い尽くされることによって下地電極
15のスパッタが防止される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス放電を利用して文
字や図を表示するガス放電型表示パネルに関する。
【0002】
【従来の技術】ガス放電型表示パネルは、対向した2枚
の平板ガラスの内面に陰極と陽極を設け、周囲を気密に
封じ、内部にNe等のガスを封入し、電極間に電圧を印
加することにより、密封されたガス特有の色をともなっ
て発光する放電現象を利用して、文字や図などを表示す
る装置である。このガス放電型表示パネルは、自発光形
のフラットパネルであり、構造が薄型で、ちらつきがな
い、表示コントラスト比が大きくとれる、他のパネル型
のディスプレイに比べて大きな画面にできる、応答速度
が速い、などの多くの特徴があり、将来的には壁掛け大
型テレビとして大きな期待が寄せられている。
【0003】従来から陰極材料としてNiが主に使用さ
れていたが、放電を開始する電圧や、放電を維持する電
圧が比較的高く、また、放電中のイオン衝撃により、陰
極材料がスパッタされ、放電セル内の絶縁性を低下する
ことにより、パネルの寿命の点で問題があった。この問
題を解決するために、Niに変わり新しくペロブスカイ
ト型の酸化物導電体の陰極が開発された。この陰極材料
は放電中のイオン衝撃によりスパッタされても、そのス
パッタ膜が高抵抗であるため、放電セル内の絶縁性を保
つことができる。そして、この陰極材料の導電性を補う
ために、下地電極としてAgやNiを使用するようにな
った。この結果、パネルの消費電力を低下させ、パネル
の寿命も大幅に向上することができた。
【0004】以下、従来例におけるガス放電型表示パネ
ルについて図面を参照して説明する。図4は従来例にお
けるガス放電型表示パネルの構造を示す部分拡大断面図
である。図4において、背面基板21上に誘電体層22
を形成し、その上に陰極の導電性を補うために、Agや
Niなどの良導電体を下地電極23としてあらかじめ形
成し、この下地電極の上にペロブスカイト型の酸化物導
電体などの陰極24を形成する。一方、前面基板27に
は、陰極24と直交するように、ITOやNiおよびA
gなどからなる陽極25が形成される。また、隣接する
放電空間28の間でのクロストークを防ぐために、隣り
の放電空間28との間に隔壁26が形成されている。背
面基板21と前面基板27とは、陰極24と陽極25と
が直交するように重ね合わせられ、周囲をフリットガラ
スで気密に封じ、その後、放電空間28を真空にして、
Ne−Arなどの放電ガスを数百torr封入し、ガス
放電型表示パネルを形成する。こうして作製されたパネ
ルの陰極24と陽極25との間に、所定の電圧を印加し
てプラズマ放電を発生させ、この時に生じるガス固有の
発光を利用して文字や図形を表示する。このようなガス
放電型表示パネルは、例えばオーム社発行の「電子ディ
スプレイデバイス」(p110〜p121)などの文献
にも開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなガス放電型表示パネルに対して、通常より大きな電
流を流して行なうライフ試験を行なった結果、輝度にば
らつきが見られた。その原因を調べた結果、下地電極2
3のAgやNiが陰極24に完全に覆われていないこと
が判明し、下地電極23までもがスパッタされ、放電セ
ル内の絶縁性を著しく低下させることが判った。Agや
Niは、金属中でも電気伝導性が非常に良いので、Ag
やNiのスッパタ膜が放電セル内に形成されると、その
絶縁性が急激に低下してしまい、パネルの寿命を急速に
低下させるのである。
【0006】本発明は、このような従来の問題を解決す
るものであり、下地電極のスパッタを防止して信頼性を
高めた放電型表示パネルを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、放電空間を構成する背面基板の内側に形
成された陰極と前面基板の内側に形成された陽極とを備
え、陰極の導電性を補うための下地電極を、背面基板上
の誘電体層に形成した溝内に配設するとともに、その上
を覆うように陰極を形成したことを特徴とする。
【0008】
【作用】したがって、本発明によれば、下地電極を誘電
体層と陰極によって覆い尽くすことができるので、良導
電体の下地電極がスパッタされることがなく、また、た
とえその上の陰極がスパッタされても、その陰極を形成
している酸化物導電体などによるスパッタ膜は高抵抗で
あるため、放電セル内の絶縁性が急激に落ちることはな
く、パネルの寿命の低下を防止してパネルの信頼性をよ
り高めることができる。
【0009】
【実施例】
(実施例1)以下、本発明の第1の実施例について説明
する。はじめに、ガス放電型表示パネルの基本的な構造
について説明する。図1はガス放電型表示パネルの拡大
部分断面図である。図1において、11はガラス製の背
面基板であり、この背面基板11の上に視認性を良くす
るための誘電体層12が形成され、さらにその上にスト
ライプ状の溝13を形成した誘電体層14が形成されて
いる。そしてこの溝13の中に、陰極の導電性を補うた
めにNiやAgなどの良導電体が下地電極15として形
成され、この下地電極15を覆うようにペロブスカイト
型の酸化物導電体である陰極16が形成されている。一
方、ガラス製の前面基板17には、陰極16と直交する
ようにITOやNi、Agなどからなる陽極18が形成
されており、背面基板11と前面ガラス基板17とが、
隣接する放電空間19の間でのクロストークを防ぐため
に、隔壁20を介して重ね合わせられている。
【0010】次に、上記ガス放電型表示パネルの作製方
法について説明する。まず最初に、陰極部分の製造方法
について図2を参照して説明する。図2において、まず
(a)に示すように、背面基板11の上に誘電体層12
を最高温度590℃で焼成し形成する。次に(b)に示
すように、誘電体層12の上にストライプ状の溝13を
有する誘電体層14を最高温度585℃で焼成し形成す
る。このとき、溝13は、下地電極15の幅より大きめ
にしてあり、下地電極15を埋め込みやすいようにして
いる。そして(c)に示すように、誘電体層14の溝1
3に下地電極15を最高温度580℃で焼成し形成す
る。ここで、下地電極15を埋め込むとき、その厚さが
誘電体層14の厚さより厚くならないように形成する。
そして(d)に示すように、最後に陰極16を下地電極
15の上に最高温度570℃で焼成し形成する。このと
き、陰極16は誘電体層14の溝13の幅より大きくな
るように形成する。
【0011】一方、前面基板17は、陰極16と直交す
るようにITOやNiおよびAgなどからなる陽極18
をストライプ状に最高温度585℃で焼成し形成する。
また、放電空間19でのクロストークを防ぐために、隔
壁20を陽極18と陽極16との間に陽極18と平行に
ストライプ状に最高温度580℃で焼成し形成する。ま
た陰極側の基板11と陽極側の基板17の作製は、量産
性が容易なスクリーン印刷法を用い、焼成はトンネル炉
などを用いて行なう。
【0012】こうして作製した背面基板11と前面基板
17とを重ね合わせ、周囲をフリットガラスで気密に封
じ、放電空間を真空にし、Ne−Arなどの放電ガスを
数百torr注入し、ガス放電パネルを作製する。この
ようにして作製されたパネルの陰極16と陽極18との
間に所定の電圧を印加して、プラズマ放電を発生させ、
このときに発生するガス固有の発光を利用して、文字や
図形などを表示する。
【0013】プラズマ放電中の陰極16の表面には、正
に帯電したNeやArなどのイオンが衝突し、陰極16
をスパッタして周囲に導電性のスパッタ膜をつくるが、
本実施例では、陰極16がLa0.5 St0.5 CoO3
La0.7 St0.3 MnO3 等のペロブスカイト型の酸化
物導電体などの材料で形成されているため、この材料自
体がスパッタされにくく、またたとえスパッタされて
も、そのスパッタ膜は高抵抗なので、放電セル内の絶縁
性を保つことができる。また、陰極16の導電性を補う
ための下地電極15が、誘電体層14の溝13の中に陰
極16によって完全に埋め込まれているので、下地電極
15がスパッタされることがない。
【0014】(実施例2)次に、本発明の第2の実施例
について、陰極部分の製造方法に関してのみ図3を参照
して説明する。図3において、まず(a)に示すよう
に、背面基板11の上に誘電体層12を最高温度590
℃で焼成し形成する。次に(b)に示すように、実施例
1とは異なり、誘電体層12の上に先に下地電極15を
最高温度585℃で焼成し形成する。そして(c)に示
すように、ストライプ状の溝13を有する誘電体層14
のその溝13に下地電極15が入り、しかも誘電体層1
4の厚さが下地電極15のそれより厚くなるようにし
て、誘電体層14を最高温度580℃で焼成し形成す
る。最後に(d)に示すように、陰極16を下地電極1
5の上に最高温度570℃で焼成し形成する。このと
き、陰極15は誘電体層14の溝の幅より大きくなるよ
うに形成する。
【0015】なお、上記各実施例においては、誘電体層
12の形成を省略して、背面基板11の上に溝13を有
する誘電体層14を直接形成し、下地電極15を溝13
の間の背面基板11上に直接形成することができる。
【0016】
【発明の効果】以上のように、本発明は、ガス放電型表
示パネルの陰極材料の導電性を補うための下地電極を、
誘電体層に形成した溝の中に配設するようにしたので、
その表面を陰極材料で完全に覆うことが可能となり、放
電セル内の絶縁性の低下を防止して、より信頼性の高い
ガス放電型表示パネルを実現することができ、その効果
は非常に大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例におけるガス放電型表示
パネルの部分拡大断面図
【図2】本発明の第1の実施例における陰極部分の製造
工程を模式的に示した断面図
【図3】本発明の第2の実施例における陰極部分の製造
工程を模式的に示した断面図
【図4】従来のガス放電型表示パネルの構造を示す部分
拡大断面図
【符号の説明】
11 背面基板 12 誘電体層 13 溝 14 誘電体層 15 下地電極 16 陰極 17 前面基板 18 陽極 19 放電空間 20 隔壁

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 放電空間を構成する背面基板の内側に形
    成された陰極と前面基板の内側に形成された陽極とを備
    え、前記陰極の導電性を補うための下地電極を、前記背
    面基板上の誘電体層に形成した溝内に配設するととも
    に、その上を覆うように前記陰極を形成したことを特徴
    とするガス放電型表示パネル。
  2. 【請求項2】 誘電体層に形成した溝の深さが下地電極
    の厚さより厚く、前記下地電極上に形成する陰極の幅が
    前記誘電体層の溝の幅より大きいことを特徴とする請求
    項1記載のガス放電型表示パネル。
JP4017265A 1992-02-03 1992-02-03 ガス放電型表示パネル Pending JPH0644908A (ja)

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JP4017265A JPH0644908A (ja) 1992-02-03 1992-02-03 ガス放電型表示パネル

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JP4017265A JPH0644908A (ja) 1992-02-03 1992-02-03 ガス放電型表示パネル

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JPH0644908A true JPH0644908A (ja) 1994-02-18

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ID=11939139

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JP4017265A Pending JPH0644908A (ja) 1992-02-03 1992-02-03 ガス放電型表示パネル

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0197349A (ja) * 1987-10-09 1989-04-14 Hitachi Ltd 気体放電表示パネル

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0197349A (ja) * 1987-10-09 1989-04-14 Hitachi Ltd 気体放電表示パネル

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