JPH0645211A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPH0645211A JPH0645211A JP4197329A JP19732992A JPH0645211A JP H0645211 A JPH0645211 A JP H0645211A JP 4197329 A JP4197329 A JP 4197329A JP 19732992 A JP19732992 A JP 19732992A JP H0645211 A JPH0645211 A JP H0645211A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box
- air volume
- filter device
- air
- processing unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
- Y02B30/70—Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Air Conditioning Control Device (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】例えば遠心脱水機が風量を一時的に増加するこ
とにより箱体内の気流のバランスがくずれて非定常流れ
となるような場合にも、これを防いで清浄度が低下する
ようなことがないようにする。 【構成】紙面に直角に隣接し遠心脱水機を含む複数の処
理ユニット１は、搬送空間２で連接して気密な箱体３を
形成し、清浄空気を供給するフィルタ装置４と排気ダク
ト５とが接続される。前記遠心脱水機の上方であって箱
体３と排気ダクト５の間に差圧計６を取付ける。電動送
風機４ｍはインバータ装置７で駆動され、差圧計６の変
化信号により遠心脱水機の上方のフィルタ装置４の風量
を増加させる。遠心脱水機が風量を一時的に増加するよ
うに動作する場合にも、箱体内の気流のバランスがくず
れて箱体３内の清浄度が低下するようなことがない。
とにより箱体内の気流のバランスがくずれて非定常流れ
となるような場合にも、これを防いで清浄度が低下する
ようなことがないようにする。 【構成】紙面に直角に隣接し遠心脱水機を含む複数の処
理ユニット１は、搬送空間２で連接して気密な箱体３を
形成し、清浄空気を供給するフィルタ装置４と排気ダク
ト５とが接続される。前記遠心脱水機の上方であって箱
体３と排気ダクト５の間に差圧計６を取付ける。電動送
風機４ｍはインバータ装置７で駆動され、差圧計６の変
化信号により遠心脱水機の上方のフィルタ装置４の風量
を増加させる。遠心脱水機が風量を一時的に増加するよ
うに動作する場合にも、箱体内の気流のバランスがくず
れて箱体３内の清浄度が低下するようなことがない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、清浄空気が供給され
る箱体に、半導体ウェハなどの被処理物を処理するため
の処理ユニットを収納する半導体製造装置に関する。
る箱体に、半導体ウェハなどの被処理物を処理するため
の処理ユニットを収納する半導体製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来例の透視縦断面図である。図
において、紙面に直角に隣接する複数の処理ユニット１
は、搬送空間２で連接して気密な箱体３を形成する。箱
体３には、清浄空気を供給する電動送風機４ａ付きのフ
ィルタ装置４と排気ダクト５とが接続される。複数の処
理ユニットは例えば、塩酸と過酸化水素水の処理槽、Ｑ
ＤＲ（Quick Dump Rinse）付きの純水処理槽、アンモニ
アと過酸化水素水の処理槽、ＱＤＲ付きの純水処理槽、
純水オーバフロー処理槽及び遠心脱水機が順次、連続す
るものであり、図には遠心脱水機が処理ユニット１とし
て現れている。フィルタ装置４及び排気ダクト５は各処
理ユニットに１対１で設けられることもあるが、隣接す
る処理ユニットの２〜３ユニットごとに設けられること
もある。電動送風機４ａ付きのフィルタ装置４はＨＥＰ
Ａ (High Efficiency Paticle AirFilter) などが使用
されて箱体３に清浄空気を供給し、各処理ユニットで化
学反応などで発生するパーティクルを排気ダクト５へ排
出する。箱体３はフィルタ装置４の空気圧が作用して外
気（クリーンルーム）より圧力が僅かに高い正圧を保っ
ている。
において、紙面に直角に隣接する複数の処理ユニット１
は、搬送空間２で連接して気密な箱体３を形成する。箱
体３には、清浄空気を供給する電動送風機４ａ付きのフ
ィルタ装置４と排気ダクト５とが接続される。複数の処
理ユニットは例えば、塩酸と過酸化水素水の処理槽、Ｑ
ＤＲ（Quick Dump Rinse）付きの純水処理槽、アンモニ
アと過酸化水素水の処理槽、ＱＤＲ付きの純水処理槽、
純水オーバフロー処理槽及び遠心脱水機が順次、連続す
るものであり、図には遠心脱水機が処理ユニット１とし
て現れている。フィルタ装置４及び排気ダクト５は各処
理ユニットに１対１で設けられることもあるが、隣接す
る処理ユニットの２〜３ユニットごとに設けられること
もある。電動送風機４ａ付きのフィルタ装置４はＨＥＰ
Ａ (High Efficiency Paticle AirFilter) などが使用
されて箱体３に清浄空気を供給し、各処理ユニットで化
学反応などで発生するパーティクルを排気ダクト５へ排
出する。箱体３はフィルタ装置４の空気圧が作用して外
気（クリーンルーム）より圧力が僅かに高い正圧を保っ
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記の従来例におい
て、前記処理ユニット１のいずれかが箱体内３の風量を
一時的に増加するように動作する特定の処理ユニットで
あるような場合、例えば特定の処理ユニットである遠心
脱水機が動作するとその排気が増加する。そうするとそ
の上方のフィルタ装置４からの清浄空気の供給が追いつ
かないために、搬送空間２で連接する気密な箱体３内の
気流の定常流れのバランスがくずれて非定常流れとな
る。このため、隣接する他の処理ユニット１からの化学
反応生成パーティクルなどが、特定の処理ユニットであ
る遠心脱水機などに流れ込んで箱体内の清浄度が低下
し、複数の処理ユニットで清浄度を高めてきた被処理物
が再汚染してしまう。
て、前記処理ユニット１のいずれかが箱体内３の風量を
一時的に増加するように動作する特定の処理ユニットで
あるような場合、例えば特定の処理ユニットである遠心
脱水機が動作するとその排気が増加する。そうするとそ
の上方のフィルタ装置４からの清浄空気の供給が追いつ
かないために、搬送空間２で連接する気密な箱体３内の
気流の定常流れのバランスがくずれて非定常流れとな
る。このため、隣接する他の処理ユニット１からの化学
反応生成パーティクルなどが、特定の処理ユニットであ
る遠心脱水機などに流れ込んで箱体内の清浄度が低下
し、複数の処理ユニットで清浄度を高めてきた被処理物
が再汚染してしまう。
【０００４】この発明の目的は、遠心脱水機のような処
理ユニットが風量を一時的に増加するように動作して箱
体内の気流のバランスがくずれて非定常流れとなる場合
にも、これを防いで箱体内の清浄度が低下するようなこ
とのない半導体製造装置を提供することにある。
理ユニットが風量を一時的に増加するように動作して箱
体内の気流のバランスがくずれて非定常流れとなる場合
にも、これを防いで箱体内の清浄度が低下するようなこ
とのない半導体製造装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の半導体製造装
置は、搬送空間で連接する複数の処理ユニットを収納す
る箱体に、清浄空気を供給する電動送風機付きのフィル
タ装置と排気ダクトとを接続し、前記処理ユニットのい
ずれかの特定の処理ユニットが前記箱体内の風量を一時
的に増加するように動作するものである半導体製造装置
において、前記特定の処理ユニットの上方であって前記
箱体と前記排気ダクト又は外気との間に設けられる差圧
計と、この差圧計の変化信号にもとづいて前記特定の処
理ユニットに最接近する前記フィルタ装置の風量を増加
させる方向に働く制御器を設けるものである。
置は、搬送空間で連接する複数の処理ユニットを収納す
る箱体に、清浄空気を供給する電動送風機付きのフィル
タ装置と排気ダクトとを接続し、前記処理ユニットのい
ずれかの特定の処理ユニットが前記箱体内の風量を一時
的に増加するように動作するものである半導体製造装置
において、前記特定の処理ユニットの上方であって前記
箱体と前記排気ダクト又は外気との間に設けられる差圧
計と、この差圧計の変化信号にもとづいて前記特定の処
理ユニットに最接近する前記フィルタ装置の風量を増加
させる方向に働く制御器を設けるものである。
【０００６】また、搬送空間で連接する複数の処理ユニ
ットを収納する箱体に、清浄空気を供給する電動送風機
付きのフィルタ装置と排気ダクトとを接続し、前記処理
ユニットのいずれかの特定の処理ユニットが前記箱体内
の風量を一時的に増加するように動作するものである半
導体製造装置において、前記特定の処理ユニットの動作
信号にもとづいて前記特定の処理ユニットに最接近する
前記フィルタ装置の風量を所望の値だけ増加させる制御
器を設けるものである。
ットを収納する箱体に、清浄空気を供給する電動送風機
付きのフィルタ装置と排気ダクトとを接続し、前記処理
ユニットのいずれかの特定の処理ユニットが前記箱体内
の風量を一時的に増加するように動作するものである半
導体製造装置において、前記特定の処理ユニットの動作
信号にもとづいて前記特定の処理ユニットに最接近する
前記フィルタ装置の風量を所望の値だけ増加させる制御
器を設けるものである。
【０００７】このとき、前記制御器を、交流電動機を備
える前記電動送風機の電源に設けられるインバータ装置
としてもよい。
える前記電動送風機の電源に設けられるインバータ装置
としてもよい。
【０００８】
【作用】これらの発明によれば、遠心脱水機のような処
理ユニットが風量を一時的に増加するように動作して箱
体内の気流のバランスがくずれて非定常流れとなるよう
な場合にも、これを防いで箱体内の清浄度が低下するよ
うなことがない。
理ユニットが風量を一時的に増加するように動作して箱
体内の気流のバランスがくずれて非定常流れとなるよう
な場合にも、これを防いで箱体内の清浄度が低下するよ
うなことがない。
【０００９】
【実施例】図１は実施例１の透視縦断面図、図２は実施
例２の透視縦断面図である。図１において、始めに従来
例と類似する部分についておよそ説明する。紙面に直角
に隣接する複数の処理ユニット１は、搬送空間２で連接
して気密な箱体３を形成する。箱体３には、清浄空気を
供給する電動送風機４ｍ付きのフィルタ装置４と排気ダ
クト５とが接続される。複数の処理ユニットは例えば、
前記従来例において説明したように遠心脱水機がなどで
あり、図には遠心脱水機が処理ユニット１として現れて
いる。フィルタ装置４及び排気ダクト５は各処理ユニッ
トに１対１で設けられることもあるが、隣接する処理ユ
ニットの２〜３ユニットごとに設けられることもある。
電動送風機４ｍ付きのフィルタ装置４はＨＥＰＡなどが
使用されて箱体３に清浄空気を供給し、各処理ユニット
で化学反応などで発生するパーティクルを排気ダクト５
へ排出する。箱体３はフィルタ装置４の空気圧が作用し
て外気（クリーンルーム）より圧力が僅かに高い正圧を
保っている。
例２の透視縦断面図である。図１において、始めに従来
例と類似する部分についておよそ説明する。紙面に直角
に隣接する複数の処理ユニット１は、搬送空間２で連接
して気密な箱体３を形成する。箱体３には、清浄空気を
供給する電動送風機４ｍ付きのフィルタ装置４と排気ダ
クト５とが接続される。複数の処理ユニットは例えば、
前記従来例において説明したように遠心脱水機がなどで
あり、図には遠心脱水機が処理ユニット１として現れて
いる。フィルタ装置４及び排気ダクト５は各処理ユニッ
トに１対１で設けられることもあるが、隣接する処理ユ
ニットの２〜３ユニットごとに設けられることもある。
電動送風機４ｍ付きのフィルタ装置４はＨＥＰＡなどが
使用されて箱体３に清浄空気を供給し、各処理ユニット
で化学反応などで発生するパーティクルを排気ダクト５
へ排出する。箱体３はフィルタ装置４の空気圧が作用し
て外気（クリーンルーム）より圧力が僅かに高い正圧を
保っている。
【００１０】実施例の特徴的な構造として、前記処理ユ
ニット１は箱体内３の風量を一時的に増加するように動
作する例えば遠心脱水機のような特定の処理ユニットで
ある。この特定の処理ユニット１の上方であって箱体３
と排気ダクト５との間に差圧計６が取付けられる。そし
て誘導電動機を持つ前記電動送風機４ｍの電源に制御
器、例えばインバータ装置７が設けられ、差圧計６の変
化信号にもとづいて前記特定の処理ユニット１に最接近
する前記フィルタ装置４の風量を増加させる。このた
め、遠心脱水機が風量を一時的に増加するように動作し
て箱体内の気流のバランスがくずれて非定常流れとなる
場合にも、これを防いで箱体内の清浄度が低下するよう
なことがない。遠心脱水機が動作すると最悪の場合、正
圧に保たれていた箱体３は負圧となって外気からパーテ
ィクルを吸い込む恐れもある。
ニット１は箱体内３の風量を一時的に増加するように動
作する例えば遠心脱水機のような特定の処理ユニットで
ある。この特定の処理ユニット１の上方であって箱体３
と排気ダクト５との間に差圧計６が取付けられる。そし
て誘導電動機を持つ前記電動送風機４ｍの電源に制御
器、例えばインバータ装置７が設けられ、差圧計６の変
化信号にもとづいて前記特定の処理ユニット１に最接近
する前記フィルタ装置４の風量を増加させる。このた
め、遠心脱水機が風量を一時的に増加するように動作し
て箱体内の気流のバランスがくずれて非定常流れとなる
場合にも、これを防いで箱体内の清浄度が低下するよう
なことがない。遠心脱水機が動作すると最悪の場合、正
圧に保たれていた箱体３は負圧となって外気からパーテ
ィクルを吸い込む恐れもある。
【００１１】なお、風量を増加させるフィルタ装置４
は、前記特定の処理ユニット１に１対１で設けられたも
のが望ましいが、隣接する処理ユニットとフィルタ装置
４を共用するときには、そのような最接近のフィルタ装
置４でもよい。前記差圧計６は箱体３と箱体３の外気と
の間でもよいし、フィルタ装置４の風量を増加させるに
は、常時はダンパで風量を抑制し、差圧計６の変化信号
にもとづいてフィルタ装置４の風量を増加させるように
制御器がダンパを駆動してもよい。また、図２に示す実
施例２のように、特定の処理ユニット１の動作信号にも
とづいて特定の処理ユニット１の上方にあるフィルタ装
置の風量を予め求められている所望の値だけインバータ
装置７のボリュウムを増加させるように制御器を設けて
もよい。箱体内３の風量を一時的に増加するように動作
する特定の処理ユニットは遠心脱水機に限らない。
は、前記特定の処理ユニット１に１対１で設けられたも
のが望ましいが、隣接する処理ユニットとフィルタ装置
４を共用するときには、そのような最接近のフィルタ装
置４でもよい。前記差圧計６は箱体３と箱体３の外気と
の間でもよいし、フィルタ装置４の風量を増加させるに
は、常時はダンパで風量を抑制し、差圧計６の変化信号
にもとづいてフィルタ装置４の風量を増加させるように
制御器がダンパを駆動してもよい。また、図２に示す実
施例２のように、特定の処理ユニット１の動作信号にも
とづいて特定の処理ユニット１の上方にあるフィルタ装
置の風量を予め求められている所望の値だけインバータ
装置７のボリュウムを増加させるように制御器を設けて
もよい。箱体内３の風量を一時的に増加するように動作
する特定の処理ユニットは遠心脱水機に限らない。
【００１２】
【発明の効果】以上の発明によれば、遠心脱水機のよう
な処理ユニットが風量を一時的に増加するように動作す
ることにより、箱体内の気流のバランスがくずれて非定
常流れとなるような場合にも、これを防いで箱体内の清
浄度が低下するようなことがなく、被処理物を極めて清
浄に処理するという効果がある。
な処理ユニットが風量を一時的に増加するように動作す
ることにより、箱体内の気流のバランスがくずれて非定
常流れとなるような場合にも、これを防いで箱体内の清
浄度が低下するようなことがなく、被処理物を極めて清
浄に処理するという効果がある。
【図１】実施例１の透視縦断面図
【図２】実施例２の透視縦断面図
【図３】従来例の透視縦断面図
１ 処理ユニット ２ 搬送空間 ３ 箱体 ４ フィルタ装置 ４ａ 電動送風機 ４ｍ 電動送風機 ５ 排気ダクト ６ 差圧計 ７ インバータ装置
Claims (3)
- 【請求項１】搬送空間で連接する複数の処理ユニットを
収納する箱体に、清浄空気を供給する電動送風機付きの
フィルタ装置と排気ダクトとを接続し、前記処理ユニッ
トのいずれかの特定の処理ユニットが前記箱体内の風量
を一時的に増加するように動作するものである半導体製
造装置において、前記特定の処理ユニットの上方であっ
て前記箱体と前記排気ダクト又は外気との間に設けられ
る差圧計と、この差圧計の変化信号にもとづいて前記特
定の処理ユニットに最接近する前記フィルタ装置の風量
を増加させる方向に働く制御器を設けることを特徴とす
る半導体製造装置。 - 【請求項２】搬送空間で連接する複数の処理ユニットを
収納する箱体に、清浄空気を供給する電動送風機付きの
フィルタ装置と排気ダクトとを接続し、前記処理ユニッ
トのいずれかの特定の処理ユニットが前記箱体内の風量
を一時的に増加するように動作するものである半導体製
造装置において、前記特定の処理ユニットの動作信号に
もとづいて前記特定の処理ユニットに最接近する前記フ
ィルタ装置の風量を所望の値だけ増加させる制御器を設
けることを特徴とする半導体製造装置。 - 【請求項３】請求項１又は２記載の半導体製造装置にお
いて、前記制御器を、交流電動機を備える前記電動送風
機の電源に設けられるインバータ装置とすることを特徴
とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4197329A JPH0645211A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4197329A JPH0645211A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0645211A true JPH0645211A (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=16372659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4197329A Pending JPH0645211A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0645211A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140370796A1 (en) * | 2012-01-25 | 2014-12-18 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Air-conditioning duct in passenger car and railcar |
-
1992
- 1992-07-24 JP JP4197329A patent/JPH0645211A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140370796A1 (en) * | 2012-01-25 | 2014-12-18 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Air-conditioning duct in passenger car and railcar |
| US9771086B2 (en) * | 2012-01-25 | 2017-09-26 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Air-conditioning duct in passenger car and railcar |
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