JPH0645259Y2

JPH0645259Y2 - Probe card

Info

Publication number: JPH0645259Y2
Application number: JP7427889U
Authority: JP
Inventors: 憲二郎坂東
Original assignee: 武田産業株式会社
Priority date: 1989-06-22
Filing date: 1989-06-22
Publication date: 1994-11-16
Anticipated expiration: 2004-06-22
Also published as: JPH0312172U

Description

【考案の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本考案はプローブカード、特に着脱可能なカード基板に
複数の触針を可動調整自在に取付け、この触針により半
導体製品の電気的測定を行うプローブカードに関するも
のである。[Detailed Description of the Invention] <Industrial field of application> The present invention attaches a plurality of stylus to a probe card, especially a detachable card substrate, so that the stylus can be adjusted, and the stylus is used to electrically measure semiconductor products. It relates to a probe card.

〈従来の技術〉半導体製品の製作の際に導通状態などの電気的特性の測
定が行われており、例えば半導体製品のウエーハ状態で
のチェック、或いは抵抗アレイ、ダイオードアレイ、液
晶の表示板などの各種ICにおける電気的チェック等が行
われている。<Prior Art> When manufacturing semiconductor products, electrical characteristics such as electrical continuity are measured. For example, semiconductor devices are checked in a wafer state, or resistance arrays, diode arrays, liquid crystal display boards, etc. Electrical checks, etc. on various ICs are performed.

この様な測定器として、各半導体製品毎に交換して使用
するカード状のプローブカードが知られており、これは
例えば、第11図に示されるように、カード基板ａが、そ
れと接続されるコネクタｂによりテスタｃに接続されて
いる。As such a measuring device, a card-shaped probe card which is used by exchanging it for each semiconductor product is known. For example, as shown in FIG. 11, a card substrate a is connected to it. It is connected to the tester c by the connector b.

このカード基板ａの中心部には複数の触針ｄが設けら
れ、この触針ｄの先端は下側に突出する構造となってい
る。A plurality of stylus d is provided at the center of the card board a, and the tip of the stylus d has a structure protruding downward.

一方、半導体のウエーハチップｅは可動台ｆの所定位置
に載置されており、この可動台ｆを移動させてウエーハ
チップｅを順次触針ｄの下側位置にセッティングする。
そして、この触針ｄによりウエーハチップｅの電気的測
定が行われている。On the other hand, the semiconductor wafer chip e is placed at a predetermined position on the movable table f, and the movable table f is moved to sequentially set the wafer chips e to the lower position of the stylus d.
The probe tip d is used to electrically measure the wafer chip e.

〈考案が解決しようとする課題〉しかし乍ら上記機構のプローブカードでは、触針ｄがカ
ード基板ａに固定されている為に、各種の被測定物が測
定の時の微調整に対応することができないという問題が
あった。<Problems to be solved by the invention> However, in the probe card having the above-mentioned mechanism, since the stylus d is fixed to the card substrate a, it is necessary for various measured objects to perform fine adjustment at the time of measurement. There was a problem that I could not do it.

即ち、カード基板ａの触針位置は被測定物に応じて作成
されており、被測定物が変わればカード基板ａも異なる
ことになる。従って、従来は測定端子位置に多少の相違
があってもカード基板ａを新たに作成しなければならな
かった。That is, the position of the stylus on the card substrate a is created according to the object to be measured, and if the object to be measured changes, the card substrate a also changes. Therefore, conventionally, the card substrate a had to be newly formed even if there were some differences in the positions of the measurement terminals.

又実際の測定に当たっては、触針位置に多少の変更を必
要とすることがあり、この様な場合にも従来装置では微
調整ができないという不便があった。In actual measurement, the position of the stylus may need to be slightly changed, and even in such a case, there is an inconvenience that the conventional device cannot make fine adjustments.

本考案では上記問題点を解消する為に、触針位置を微調
整可能とすることにより各種の被測定物に対応すること
ができるプローブカードを提供することを目的とするも
のである。In order to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a probe card that can deal with various objects to be measured by finely adjusting the position of the stylus.

〈課題を解決するための手段〉本考案の上記目的は次の如き構成のプローブカードによ
って達成できる。即ちその要旨はテスタに着脱可能なコ
ネクタを備えたカード基板と、該カード基板に保持され
先端の触針が被測定物の測定端子に接触可能にカード基
板から突出し、上記カード基板のコネクタに電気的に接
続される少なくとも１個のプローブとを含むプローブカ
ードにおいて、上記プローブは上アームと下アームとを
含む断面コ字状の固定台と、上記上，下アーム間に介装
され先端に触針が取付けられ、かつ適宜個所にテーパー
部を有し、アームの長手方向一側に弾発付勢された可動
板と、先端周縁部が上記可動板のテーパー部を、カード
基板と平行な平面内で押圧可能に上記上アームに取付け
られた調整ネジとから構成され、該調整ネジの回動操作
により上記可動板をカード基板と平行な平面内で微調整
可能としたことを特徴とするプローブカード及び上記プ
ローブは上アームと下アームとを含む断面コ字状の固定
台と、上記上，下アーム間に介装され、先端に触針が取
付けられ、かつその略中央に長円孔、基端側に円孔が開
設された可動板と、底部周縁部付近に突起部を有し、上
記可動板の長円孔及び円孔に上記突起部がそれぞれ遊嵌
状に挿入されると共に、その偏心移動によって可動板を
カード基板と平行な平面内で移動可能に上記上アームに
取付けられた偏心調整カムから構成されたことを特徴と
するプローブカード並びに上記プローブは上アームと下
アーム及びそれを基端において連結する垂直片とを含む
断面コ字状の固定台と、上記上，下アーム間に介装され
先端に触針が取付けられ、かつその略中央に長円孔が開
設された可動板と、底部周縁部付近に突起部を有し、上
記長円孔内に上記突起部が遊嵌状に挿入されると共に、
その偏心移動によって可動板をカード基板と平行な平面
内で左右移動可能に上記上アームに取付けられた左右調
整偏心カムと、可動板基端側に枢着される雌螺子部内に
螺合し、該雌螺子部をカード基板と平行な平面内で前後
移動可能に上記垂直片に取付けられた前後調整ネジとか
ら構成されたことを特徴とするプローブカードである。<Means for Solving the Problems> The above object of the present invention can be achieved by a probe card having the following configuration. That is, the gist thereof is that a card board provided with a connector attachable to and detachable from a tester, and a stylus held at the card board and protruding from the card board so as to come into contact with a measurement terminal of a device under test are electrically connected to the connector of the card board. In a probe card including at least one probe that is electrically connected, the probe is a fixed base having a U-shaped cross section including an upper arm and a lower arm, and the probe is interposed between the upper and lower arms and touches the tip. A needle is attached to the movable plate which has a tapered portion at an appropriate position and is elastically urged to one side in the longitudinal direction of the arm, and a distal end peripheral portion of the movable plate is a flat surface parallel to the card substrate. And a adjusting screw attached to the upper arm so that the movable plate can be pressed inside the movable plate, and the movable plate can be finely adjusted in a plane parallel to the card substrate by rotating the adjusting screw. The card and the probe are interposed between a fixed base having a U-shaped cross section including an upper arm and a lower arm, the upper arm and the lower arm, a stylus is attached to the tip, and an elliptical hole is formed substantially at the center thereof. A movable plate having a circular hole on the base end side, and a protrusion in the vicinity of the peripheral edge of the bottom portion, and the protrusions are inserted into the elliptical hole and the circular hole of the movable plate respectively in a loose fitting manner, The eccentric movement allows the movable plate to move in a plane parallel to the card substrate, and the probe card comprises an eccentricity adjustment cam attached to the upper arm. A fixed base having a U-shaped cross section including a vertical piece connecting at the base end, a stylus attached to the tip interposed between the upper and lower arms, and an elliptical hole formed substantially in the center thereof. Having a movable plate and a protrusion near the peripheral edge of the bottom, Together with the protruding portion is inserted into the loosely fitted into the serial oblong hole,
By the eccentric movement, the movable plate is screwed into the left and right adjusting eccentric cam attached to the upper arm so that the movable plate can be moved left and right in a plane parallel to the card substrate, and in the female screw portion pivotally attached to the base end side of the movable plate, The probe card is characterized in that the female screw portion is constituted by a front and rear adjusting screw attached to the vertical piece so as to be movable back and forth within a plane parallel to the card substrate.

〈実施例並びに作用〉以下本考案に係るプローブカードを、その実施例を示す
図面を参酌し乍ら詳述する。<Embodiment and Action> The probe card according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings showing the embodiment.

実施例１第１図（イ），（ロ）はそれぞれ本考案の実施例１に適
用されるプローブを示す側面説明図及び平面説明図、第
２図は同プローブが取付けられたカード基板の一例を示
す斜視図である。Embodiment 1 FIGS. 1 (a) and 1 (b) are side and plan views showing a probe applied to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is an example of a card substrate to which the probe is attached. FIG.

即ち第２図において示すように、プローブ（１），
（１），…は、カード基板（２）に取付けられ、これら
プローブ（１）はエポキシ樹脂等から成るカード基板
（２）の中心位置に開設される中心孔（３）の外周の所
定位置に配置される。そして先端の触針（４）は被測定
物の測定端子に接触可能にカード基板（２）より突出さ
れる。That is, as shown in FIG. 2, the probe (1),
, (1), ... Are attached to a card substrate (2), and these probes (1) are provided at predetermined positions on the outer periphery of a central hole (3) opened at the central position of the card substrate (2) made of epoxy resin or the like. Will be placed. Then, the stylus (4) at the tip is projected from the card substrate (2) so that it can come into contact with the measurement terminal of the object to be measured.

又上記カード基板（２）には、中心孔（３）の周りにプ
ローブ（１）を取付けるための取付けネジ挿入孔（５）
が所定の角度で複数個設けられ、測定する半導体製品に
合わせてプローブ（１）の位置を任意に選択できる構成
とされる。Further, in the card board (2), a mounting screw insertion hole (5) for mounting the probe (1) around the central hole (3).
Are provided at a predetermined angle, and the position of the probe (1) can be arbitrarily selected according to the semiconductor product to be measured.

更に上記カード基板（２）には、上記触針（４）とカー
ド基板（２）のコネクタ（６）とを電気的に接続するた
めに、差込式の着脱容易な接続端子（７）が設けられ、
同接続端子（７）の一方はコネクタ（６）に、又他方は
触針（４）から引き出されたリード線（８）に接続され
る。従って上記構成によりプローブ（１）の配置位置の
変化を容易に行うことができる。Furthermore, in order to electrically connect the stylus (4) and the connector (6) of the card board (2) to the card board (2), a plug-in type easy-to-detach connection terminal (7) is provided. Is provided,
One of the connection terminals (7) is connected to the connector (6) and the other is connected to the lead wire (8) drawn from the stylus (4). Therefore, with the above configuration, the arrangement position of the probe (1) can be easily changed.

そこで第１図（イ），（ロ）でそれぞれ示されるよう
に、プローブ（１）は、カード基板（２）に固定保持さ
れる固定台（９）と、同固定台（９）に摺動自在に嵌装
される可動板（10）、及び固定台（９）側に取付けられ
る調整ネジ（11），（11）′とから構成されるものであ
る。Therefore, as shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), the probe (1) slides on the fixed base (9) fixedly held on the card substrate (2) and the fixed base (9). The movable plate (10) is freely fitted, and the adjusting screws (11) and (11) 'are attached to the fixed base (9) side.

即ち上記固定台（９）は、上アーム（12）と下アーム
（13）とが長手方向の一側端において垂直片（14）にて
一体状に結合され、更に上記上アーム（12）と下アーム
（13）間に形成される空隙部（15）に、上記可動板（1
0）が介装されるものである。That is, in the fixing base (9), the upper arm (12) and the lower arm (13) are integrally connected to each other by the vertical piece (14) at one side end in the longitudinal direction. In the space (15) formed between the lower arms (13), the movable plate (1
0) is installed.

又上記可動板（10）と上記垂直片（14）間には、上下ア
ーム（12），（13）の長手方向に沿ってスプリング（1
6）が装着され、可動板（10）は同スプリング（16）に
よって、上記垂直片（14）側方向に付勢される。更に、
上記可動板（10）は上アーム（12）に装着される固定ネ
ジ（17）によって、下アーム（13）側に付勢される。A spring (1) is provided between the movable plate (10) and the vertical piece (14) along the longitudinal direction of the upper and lower arms (12), (13).
6) is mounted, and the movable plate (10) is urged toward the vertical piece (14) by the spring (16). Furthermore,
The movable plate (10) is urged toward the lower arm (13) by a fixing screw (17) attached to the upper arm (12).

上記可動板（10）は、第３図に示すように、基端にＶ字
状の切欠き溝（18）が設けられ、先端は先細状に形成さ
れている。更にその中間部には長円孔（19）が開設され
る。又上記切欠き溝（18）の端縁にテーパー部（20）が
切欠形成され、上記長円孔（19）の一端側、即ち上記ス
プリング（16）の反対側にテーパー部（20）′が切欠形
成される。そして第４図に示すように上記テーパー部
（20），（20）′に、調整ネジ（11），（11）′の先端
周縁部（11a）、（11b）がそれぞれ接触するように構成
される。従って上記調整ネジ（11）の回動操作によって
切欠き溝（18）のテーパー部（20）は、先端周縁部（11
a）に押圧され、それに従って可動板（10）は、カード
基板（２）と平行な平面内で前，後摺動自在とされる。
又上記長円孔（19）は、調整ネジ（11）′径より充分大
きく形成される。即ち上記可動板（10）がスプリング
（16）により引張される場合、第１図（イ）のＡ矢印方
向に偶力のモーメントが生じ、このモーメントによる可
動板（10）の回動を阻止するため、調整ネジ（11）′の
先端周縁部（11b）が、長円孔（19）の一側端縁に形成
されるテーパー部（20）′に当接させるためであり、従
って上記調整ネジ（11）′を回動操作させることによ
り、上記テーパー部（20）′は、調整ネジ（11）′の先
端周縁部（11b）によって押圧され、可動板（10）は、
カード基板（２）と平行な平面内で左右に摺動移動自在
とされる。As shown in FIG. 3, the movable plate (10) is provided with a V-shaped notch groove (18) at its base end, and its tip is tapered. Further, an elliptical hole (19) is opened in the middle part. Further, a taper portion (20) is formed on the end edge of the notch groove (18), and a taper portion (20) 'is formed on one end side of the oval hole (19), that is, on the opposite side of the spring (16). Notched. As shown in FIG. 4, the taper parts (20), (20) 'are configured to come into contact with the tip peripheral parts (11a), (11b) of the adjusting screws (11), (11)', respectively. It Therefore, when the adjusting screw (11) is rotated, the taper portion (20) of the notch groove (18) becomes
The movable plate (10) is pushed by a), and accordingly, the movable plate (10) can be slid forward and backward in a plane parallel to the card substrate (2).
The elliptical hole (19) is formed sufficiently larger than the diameter of the adjusting screw (11) '. That is, when the movable plate (10) is pulled by the spring (16), a moment of a couple is generated in the direction of arrow A in FIG. 1 (a), and the rotation of the movable plate (10) due to this moment is prevented. Therefore, the tip peripheral edge portion (11b) of the adjusting screw (11) 'is brought into contact with the taper portion (20)' formed on the one side edge of the oval hole (19), and thus the adjusting screw (11) is formed. By rotating (11) ', the taper portion (20)' is pressed by the tip peripheral edge portion (11b) of the adjusting screw (11) ', and the movable plate (10) is
It is slidable left and right in a plane parallel to the card board (2).

一方上記可動板（10）の先端部には触針（４）が設けら
れるプローブヘッド（21）が取付けられている。このプ
ローブヘッド（21）は、一端が取付けネジ（22）によっ
て可動板（10）に固定され、他端が片持状に伸張された
支持アーム（23）と、同支持アーム（23）に固定保持さ
れる絶縁物からなる取付け板（24）と、この取付け板
（24）から突設される触針（４）から構成されている。
そして、上記取付け板（24）により触針（４）と可動板
（10）とは電気的に絶縁状態とされ、更に触針（４）は
可動板（10）に装着される高さ調整ネジ（25）によって
高さ方向の位置決めが自在に行われるように構成され
る。次に上記取付け板（24）の触針（４）取付け面側に
は配線パターンが布設され、この配線パターンからリー
ド線（26）の一端が半田付けされて引き出され、その他
端がカード基板（２）側に接続されている。On the other hand, a probe head (21) provided with a stylus (4) is attached to the tip of the movable plate (10). The probe head (21) has one end fixed to the movable plate (10) by a mounting screw (22) and the other end fixed to the support arm (23) extended in a cantilever manner. It is composed of a mounting plate (24) made of an insulating material to be held and a stylus (4) protruding from the mounting plate (24).
The attachment plate (24) electrically insulates the stylus (4) from the movable plate (10), and the stylus (4) is attached to the movable plate (10) with a height adjusting screw. (25) is configured to be freely positioned in the height direction. Next, a wiring pattern is laid on the stylus (4) mounting surface side of the mounting plate (24), one end of the lead wire (26) is soldered and pulled out from this wiring pattern, and the other end is card board ( 2) side is connected.

本考案の実施例１は以上の構成からなり、次にその作用
を説明する。The first embodiment of the present invention is constructed as described above, and its operation will be described below.

まず、被測定物の測定端子に合わせて決定されるカード
基板（２）の取付位置にプローブ（１）が取付けられ、
触針（４）からのリード線（26）を接続端子（７）によ
りコネクタ（６）と接続する。これにより触針（４）と
テスタ（27）との電気的接続が取られる。First, the probe (1) is attached to the attachment position of the card substrate (2) that is determined according to the measurement terminals of the object to be measured,
The lead wire (26) from the stylus (4) is connected to the connector (6) by the connection terminal (7). As a result, the stylus (4) and the tester (27) are electrically connected.

そして、被測定物の測定端子に触針（４）を位置合わせ
し、高さ調整の必要がある場合は、高さ調節ネジ（25）
により、又触針（４）をカード基板（２）と平行な平面
内で前，後及び左，右移動調整を行う場合は、調整ネジ
（11），（11）′の回動操作によって調整を行う。Then, align the stylus (4) with the measuring terminal of the object to be measured, and if height adjustment is necessary, adjust the height adjustment screw (25).
In addition, when the stylus (4) is to be moved forward, backward, left, and right in a plane parallel to the card substrate (2), it is adjusted by rotating the adjusting screws (11), (11) '. I do.

実施例２第５図（イ），（ロ）はそれぞれ本考案の実施例２に適
用されるプローブを示す側面説明図及び平面説明図であ
る。Embodiment 2 FIGS. 5 (a) and 5 (b) are a side view and a plan view showing a probe applied to a second embodiment of the present invention.

即ち固定台（９）は、上アーム（12）と下アーム（13）
とが長手方向の一端側において垂直片（14）にて一体状
に結合され、更に上記上アーム（12）と下アーム（13）
間に形成される空隙部（15）に、可動板（10）が介装さ
れるものである。That is, the fixed base (9) includes an upper arm (12) and a lower arm (13).
And one end side in the longitudinal direction are integrally connected by a vertical piece (14), and the upper arm (12) and the lower arm (13) are further connected.
A movable plate (10) is interposed in a space (15) formed between them.

又上記固定台（９）は、カード基板（２）の取付けネジ
挿入孔（５）より取付けネジ（22）によって固定保持さ
れ、更に上アーム（12）側には偏心調整カム（28），
（28）′及び固定ネジ（17）が設けられるものである。The fixed base (9) is fixed and held by the mounting screw (22) through the mounting screw insertion hole (5) of the card board (2), and further the eccentricity adjustment cam (28) is provided on the upper arm (12) side.
(28) 'and a fixing screw (17) are provided.

そこで可動板（10）は、第６図に示すように、基部中央
に丸孔（29）が開設され、更にその中間部には長円孔
（19）が開設される。即ち第７図に示すように、偏心調
整カム（28），（28）′は、その底部周縁部付近に、突
起部（30），（30）′が突設される。この突起部（3
0），（30）′は、可動板（10）の丸孔（29）及び長円
孔（19）内に、それぞれ遊嵌状に挿入された状態とされ
る。Therefore, as shown in FIG. 6, the movable plate (10) is provided with a round hole (29) at the center of the base and an oval hole (19) at the middle thereof. That is, as shown in FIG. 7, the eccentricity adjusting cams (28), (28) 'are provided with protrusions (30), (30)' in the vicinity of the bottom peripheral edge thereof. This protrusion (3
0) and (30) 'are inserted into the round hole (29) and the oval hole (19) of the movable plate (10) in a loosely fitted state.

従って上記偏心調整カム（28）を回動することによっ
て、突起部（30）は、偏心調整カム（28）中心軸線を中
心として公転し、それと嵌合される丸孔（29）が円運動
により可動板（10）を、カード基板（２）と平行平面内
にての前後調整が可能となる。又上記可動板（10）の前
後摺動の際には、上記偏心調整カム（28）′の突起部
（30）′は、可動板（10）の長円孔（19）によって、前
後当接すること無く可動板（10）を摺動させることがで
きる。Therefore, by rotating the eccentricity adjustment cam (28), the protrusion (30) revolves around the center axis of the eccentricity adjustment cam (28), and the round hole (29) fitted therein is circularly moved. The movable plate (10) can be adjusted back and forth in a plane parallel to the card substrate (2). When the movable plate (10) slides back and forth, the projection (30) 'of the eccentricity adjusting cam (28)' comes into front and back contact by the oval hole (19) of the movable plate (10). The movable plate (10) can be slid without moving.

そして偏心調整カム（28）′を回動させた場合には、そ
の突起部（30）′が公転することにより、上記長円孔
（19）の両側端部に当接摺動し乍ら左右方向に移動さ
せ、可動板（10）を、カード基板（２）と平行平面内に
ての左右調整が可能となる。When the eccentricity adjustment cam (28) 'is rotated, its protrusion (30)' revolves so as to contact and slide on both side ends of the oval hole (19). By moving the movable plate (10) in the direction, the movable plate (10) can be adjusted left and right in a plane parallel to the card substrate (2).

一方上記可動板（10）の先端部には触針（４）が設けら
れるプローブヘッド（21）が取付けられている。このプ
ローブヘッド（21）は、一端が取付けネジ（22）によっ
て可動板（10）に固定され、他端が片持状に伸張された
支持アーム（23）と、同支持アーム（23）に固定保持さ
れる絶縁物からなる取付け板（24）と、この取付け板
（24）から突設される触針（４）から構成されている。On the other hand, a probe head (21) provided with a stylus (4) is attached to the tip of the movable plate (10). The probe head (21) has one end fixed to the movable plate (10) by a mounting screw (22) and the other end fixed to the support arm (23) extended in a cantilever manner. It is composed of a mounting plate (24) made of an insulating material to be held and a stylus (4) protruding from the mounting plate (24).

そして、上記取付け板（24）により触針（４）と可動板
（10）とは電気的に絶縁状態とされ、更に触針（４）は
可動板（10）に装着される高さ調整ネジ（25）によって
高さ方向の位置決めが自在に行われるように構成されて
いる。The attachment plate (24) electrically insulates the stylus (4) from the movable plate (10), and the stylus (4) is attached to the movable plate (10) with a height adjusting screw. (25) is configured to be freely positioned in the height direction.

本考案の実施例２は以上の構成からなり、次にその作用
を説明する。The second embodiment of the present invention is constructed as described above, and its operation will be described below.

まず被測定物の測定端子に触針（４）を位置合わせし、
高さ調整の必要がある場合は、高さ調整ネジ（25）によ
り、又触針（４）をカード基板（２）と平行な平面内
で、前，後及び左，右移動調整を行う場合は、偏心調整
カム（28），（28）′の回動操作によって調整を行う。First, align the stylus (4) with the measurement terminal of the DUT,
When height adjustment is required, use the height adjustment screw (25) to move the stylus (4) forward, backward, left, and right in the plane parallel to the card board (2). Is adjusted by rotating the eccentricity adjustment cams (28) and (28) '.

実施例３第８図（イ），（ロ）はそれぞれ本考案の実施例３に適
用されるプローブを示す側面説明及び平面説明図であ
る。Example 3 FIGS. 8 (a) and 8 (b) are a side view and a plan view showing a probe applied to Example 3 of the present invention.

又上記固定台（９）は、カード基板（２）の取付けネジ
挿入孔（５）より取付けネジ（22）によって固定保持さ
れ、更に上アーム（12）側には左右調整偏心カム（31）
と固定ネジ（17）が設けられ、垂直片（14）側には前後
調整ネジ（32）が設けられるものである。The fixed base (9) is fixed and held by the mounting screw (22) through the mounting screw insertion hole (5) of the card board (2), and the left and right adjusting eccentric cams (31) are further provided on the upper arm (12) side.
And a fixing screw (17) and a vertical adjustment screw (32) on the vertical piece (14) side.

そこで可動板（10）は、第９図（イ），（ロ）でそれぞ
れ示すように、基部底部が切欠され空間部（33）が形成
されると共に、基端側に丸穴（29）が開設され、更にそ
の中間部には長円孔（19）が開設されている。そして上
記空間部（33）内に、第10図に示すように、その外周壁
上に、係留用突起部（34）が突設された雌螺子部（35）
を、上記係留用突起部（34）が、可動板（10）の丸孔
（29）に挿入された状態で、上記雌螺子部（35）が収納
されるものである。更に雌螺子部（35）は、固定台
（９）の垂直片（14）に設けられる前後調整カム（32）
に螺合されるものであり、上記前後調整ネジ（32）は、
第10図に示すように、その中途より先端側に雄螺子部
（36）が周設され、上記垂直片（14）に貫設される挿通
孔（37）に挿通した場合に、同挿通孔（37）内にては、
上記雄螺子部（36）が位置せず、上記雌螺子部（35）内
に螺合された状態となる。そして長円孔（19）内には、
固定台（９）に設けられる左右調整偏心カム（31）の底
部周縁付近に突設される突起部（30）が遊嵌状に挿入さ
れるものである。Therefore, in the movable plate (10), as shown in FIGS. 9 (a) and 9 (b), respectively, the bottom of the base is cut out to form a space (33), and the round hole (29) is formed on the base end side. It was opened, and an elliptical hole (19) was opened in the middle part. Then, as shown in FIG. 10, in the space portion (33), a female screw portion (35) having a mooring protrusion portion (34) projectingly provided on the outer peripheral wall thereof.
The female screw portion (35) is stored with the mooring protrusion (34) inserted in the round hole (29) of the movable plate (10). Further, the female screw portion (35) is provided with the front-rear adjustment cam (32) provided on the vertical piece (14) of the fixed base (9).
The front and rear adjustment screws (32) are
As shown in FIG. 10, a male screw portion (36) is provided around the middle of the insertion hole (37) and is inserted into the insertion hole (37) penetrating the vertical piece (14). In (37),
The male screw part (36) is not positioned and is screwed into the female screw part (35). And in the oval hole (19),
The right and left adjusting eccentric cams (31) provided on the fixing base (9) are loosely fitted with protrusions (30) protruding near the bottom peripheral edge.

そして、上記取付け板（24）により触針（４）と可動板
（10）とは電気的に絶縁状態とされ、更に触針（４）は
可動板（10）に装着される高さ調整ネジ（25）によって
高さ方向の位置決めが自在に行われるように構成され
る。The attachment plate (24) electrically insulates the stylus (4) from the movable plate (10), and the stylus (4) is attached to the movable plate (10) with a height adjusting screw. (25) is configured to be freely positioned in the height direction.

本考案の実施例３は以上の構成からなり、次にその作用
を説明する。The third embodiment of the present invention is constructed as described above, and its operation will be described below.

まず被測定物の測定端子に触針（４）を位置合わせし、
高さ調整の必要がある場合は、高さ調整ネジ（25）の回
動操作によって調整を行う。そして触針（４）の前，後
調整を行う場合には、前後調整ネジ（32）を回動させる
ことにより、その先端側の雄螺子部（36）が雌螺子部
（35）内にて回動し、同雌螺子部（35）は係留用突起部
（34）と可動板（10）の丸穴（29）との係合によって、
前後方向へ摺動し、上記可動板（10）をカード基板
（２）と平行平面内にて前後動させることとなる。又触
針（４）の左，右調整を行う場合には、左右調整偏心ネ
ジ（31）を回動させることにより、可動板（10）の長円
孔（19）内に挿入される突起部（34）が、公転移動を行
い上記長円孔（19）の両端側に当接摺動し乍ら、可動板
（10）を、上記丸孔（29）を中心としてカード基板
（２）と平行平面内にて左右調整させることとなる。First, align the stylus (4) with the measurement terminal of the DUT,
If it is necessary to adjust the height, turn the height adjustment screw (25) to make the adjustment. When adjusting the front and rear of the stylus (4), the front-rear adjustment screw (32) is rotated so that the male screw portion (36) on the tip side thereof is inside the female screw portion (35). The female screw portion (35) is rotated, and the engagement of the mooring protrusion (34) with the round hole (29) of the movable plate (10)
By sliding in the front-back direction, the movable plate (10) is moved back and forth in a plane parallel to the card substrate (2). When adjusting the left and right of the stylus (4), the left and right adjusting eccentric screws (31) are rotated to insert the protrusions into the oval holes (19) of the movable plate (10). When the (34) revolves and abuts and slides on both ends of the oval hole (19), the movable plate (10) is connected to the card substrate (2) about the round hole (29). It will be adjusted left and right in the parallel plane.

以上本実施例１〜３によれば、測定端子位置の多少異な
る被測定物に対しても、プローブ（１）の取付位置を変
えることなく可動板（10）を調整することにより、触針
（４）の位置決めを行うことができる。As described above, according to the first to third embodiments, even with respect to the DUT whose measurement terminal position is slightly different, the stylus (10) can be adjusted by adjusting the movable plate (10) without changing the mounting position of the probe (1). Positioning of 4) can be performed.

〈考案の効果〉（Ｉ）実施例１にあっては、可動板に対してテーパー部
を設けることで、それと当接させる調整ネジは、一般の
ネジにより調整を行うことができる為に、簡単な構成、
構造により組み立てが可能となるものである。<Advantages of the Invention> (I) In the first embodiment, since the taper portion is provided on the movable plate, the adjustment screw to be brought into contact with the taper portion can be adjusted by a general screw, which is simple. Composition,
The structure allows assembly.

（II）次に実施例２にあっては、偏心カムによって前，
後及び左，右調整を行う機構の為に調整範囲が大きくな
り、更に可動板自体も小型化できることによって、カー
ド基板へのプローブの取り付け数の限界を大幅に向上さ
せることが可能となる。(II) Next, in the second embodiment, the eccentric cam is used to
The rear, left, and right adjustment mechanisms increase the adjustment range, and the movable plate itself can be downsized, thereby significantly improving the limit of the number of probes to be attached to the card substrate.

（III）又実施例３にあっては、前後調整ネジによっ
て、カード板の直線的移動が可能となり、より一層触針
の微調整がスムーズに行えるものである。又偏心カムと
の組み合わせによってプローブの小型化が可能となり、
カード基板への取り付け数を大幅に向上できるものであ
る。(III) In the third embodiment, the front and rear adjustment screws allow the card plate to move linearly, and the fine adjustment of the stylus can be performed more smoothly. In addition, the probe can be downsized by combining with an eccentric cam.
The number of attachments to the card board can be greatly improved.

以上述べたように、本考案では触針の前後，左右，高低
の微調整がスムーズに行える等、種々の効果を奏するも
のである。As described above, the present invention has various effects such as smooth fine adjustment of front and rear, left and right, and height of the stylus.

[Brief description of drawings]

第１図（イ），（ロ）はそれぞれ本考案の実施例１に適
用されるプローブを示す断面図及び平面図、第２図は第
１図のプローブをカード基板に取付けた状態を示す斜視
図、第３図は可動板の形状を示す斜視図、第４図は調整
ネジと可動板との接触状態を示す説明図、第５図
（イ），（ロ）はそれぞれ本考案の実施例２に適用され
るプローブを示す側面図及び平面図、第６図は可動板の
形状を示す斜視図、第７図は偏心カムの外観図、第８図
（イ），（ロ）はそれぞれ本考案の実施例２に適用され
るプローブを示す側面図及び平面図、第９図（イ），
（ロ）はそれぞれ可動板の形状を示す側面図及び平面
図、第10図は雌螺子部及び前後調整ネジとの螺合状態の
外観を示す説明図、第11図はプローブカードの使用状態
を示す斜視図である。図中（１）：プローブ（２）：カード基板（４）：触針（９）：固定台（10）：可動板（11），（11）′：調整ネジ（12）：上アーム（13）：下アーム（14）：垂直片（16）：スプリング（18）：切欠き溝（19）：長円孔（20）：テーパー部（28），（28）′：偏心調整カム（29）：丸穴（31）：左右調整偏心カム（32）：前後調整ネジ1 (a) and 1 (b) are a cross-sectional view and a plan view showing a probe applied to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a state where the probe of FIG. 1 is attached to a card substrate. 3 and 4 are perspective views showing the shape of the movable plate, FIG. 4 is an explanatory view showing the contact state between the adjusting screw and the movable plate, and FIGS. 5 (a) and 5 (b) are the embodiments of the present invention. 2 is a side view and a plan view showing the probe applied to No. 2, FIG. 6 is a perspective view showing the shape of the movable plate, FIG. 7 is an external view of the eccentric cam, and FIGS. A side view and a plan view showing a probe applied to a second embodiment of the invention, FIG. 9 (a),
(B) is a side view and a plan view showing the shape of the movable plate, FIG. 10 is an explanatory view showing the external appearance of the screwed state with the female screw portion and the front-back adjustment screw, and FIG. 11 shows the usage state of the probe card. It is a perspective view shown. In the figure (1): probe (2): card substrate (4): stylus (9): fixed base (10): movable plate (11), (11) ': adjustment screw (12): upper arm (13) ): Lower arm (14): Vertical piece (16): Spring (18): Notch groove (19): Oval hole (20): Tapered part (28), (28) ': Eccentricity adjustment cam (29) : Round hole (31): Left / right adjustment eccentric cam (32): Front / rear adjustment screw

Claims

[Scope of utility model registration request]

1. A card substrate having a connector attachable to and detachable from a tester, and a stylus held at the card substrate and protruding from the card substrate so as to come into contact with a measurement terminal of a device under test. In a probe card including at least one probe electrically connected, the probe is a fixed base having a U-shaped cross section including an upper arm and a lower arm, and the probe is interposed between the upper and lower arms and is attached to the tip. A movable plate that is attached with a stylus and has a tapered portion at an appropriate position and is elastically urged to one side in the longitudinal direction of the arm, and the peripheral edge of the tip is the tapered portion of the movable plate parallel to the card substrate. It is comprised of an adjusting screw attached to the upper arm so as to be able to be pressed in a plane, and the movable plate can be finely adjusted in a plane parallel to the card substrate by rotating the adjusting screw. probe Over de.

2. A card substrate having a connector attachable to and detachable from a tester, and a stylus held at the card substrate and protruding from the card substrate so as to come into contact with a measurement terminal of a DUT, and to be connected to the connector of the card substrate. In a probe card including at least one probe electrically connected, the probe is interposed between a fixed base having a U-shaped cross section including an upper arm and a lower arm and the upper and lower arms, and has a tip. Has a movable plate with a stylus attached to it, and an elliptical hole in its approximate center, and a circular hole in the base end side, and a protrusion near the bottom peripheral edge,
The protrusions are inserted into the elliptical holes and the circular holes of the movable plate in a loosely fitting manner, and the movable plate is attached to the upper arm so as to be movable in a plane parallel to the card substrate by eccentric movement thereof. A probe card comprising an eccentricity adjustment cam.

3. A card board provided with a connector attachable to and detachable from a tester, and a stylus held at the card board and protruding from the card board so as to come into contact with a measurement terminal of a device under test. In a probe card including at least one probe electrically connected, the probe includes a fixed base having a U-shaped cross section including an upper arm, a lower arm, and a vertical piece connecting the lower arm and a base end thereof. , A movable plate which is interposed between the lower arms and has a stylus attached to the tip thereof, and has an elliptical hole formed at the substantially center thereof, and a protrusion near the peripheral edge of the bottom, and the movable plate is provided in the elliptical hole. The protrusion is inserted in a loose fit, and the eccentric movement of the protrusion allows the movable plate to move left and right within a plane parallel to the card board. Female screw worn Probe card, characterized in that screwed, which is composed of a longitudinal adjusting screw mounted on the movable the vertical piece before and after the female thread portion in the card parallel to the substrate plane within.