JPH0645259Y2

JPH0645259Y2 - プローブカード

Info

Publication number: JPH0645259Y2
Application number: JP7427889U
Authority: JP
Inventors: 憲二郎坂東
Original assignee: 武田産業株式会社
Priority date: 1989-06-22
Filing date: 1989-06-22
Publication date: 1994-11-16
Anticipated expiration: 2004-06-22
Also published as: JPH0312172U

Description

【考案の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本考案はプローブカード、特に着脱可能なカード基板に
複数の触針を可動調整自在に取付け、この触針により半
導体製品の電気的測定を行うプローブカードに関するも
のである。

〈従来の技術〉半導体製品の製作の際に導通状態などの電気的特性の測
定が行われており、例えば半導体製品のウエーハ状態で
のチェック、或いは抵抗アレイ、ダイオードアレイ、液
晶の表示板などの各種ICにおける電気的チェック等が行
われている。

この様な測定器として、各半導体製品毎に交換して使用
するカード状のプローブカードが知られており、これは
例えば、第11図に示されるように、カード基板ａが、そ
れと接続されるコネクタｂによりテスタｃに接続されて
いる。

このカード基板ａの中心部には複数の触針ｄが設けら
れ、この触針ｄの先端は下側に突出する構造となってい
る。

一方、半導体のウエーハチップｅは可動台ｆの所定位置
に載置されており、この可動台ｆを移動させてウエーハ
チップｅを順次触針ｄの下側位置にセッティングする。
そして、この触針ｄによりウエーハチップｅの電気的測
定が行われている。

〈考案が解決しようとする課題〉しかし乍ら上記機構のプローブカードでは、触針ｄがカ
ード基板ａに固定されている為に、各種の被測定物が測
定の時の微調整に対応することができないという問題が
あった。

即ち、カード基板ａの触針位置は被測定物に応じて作成
されており、被測定物が変わればカード基板ａも異なる
ことになる。従って、従来は測定端子位置に多少の相違
があってもカード基板ａを新たに作成しなければならな
かった。

又実際の測定に当たっては、触針位置に多少の変更を必
要とすることがあり、この様な場合にも従来装置では微
調整ができないという不便があった。

本考案では上記問題点を解消する為に、触針位置を微調
整可能とすることにより各種の被測定物に対応すること
ができるプローブカードを提供することを目的とするも
のである。

〈課題を解決するための手段〉本考案の上記目的は次の如き構成のプローブカードによ
って達成できる。即ちその要旨はテスタに着脱可能なコ
ネクタを備えたカード基板と、該カード基板に保持され
先端の触針が被測定物の測定端子に接触可能にカード基
板から突出し、上記カード基板のコネクタに電気的に接
続される少なくとも１個のプローブとを含むプローブカ
ードにおいて、上記プローブは上アームと下アームとを
含む断面コ字状の固定台と、上記上，下アーム間に介装
され先端に触針が取付けられ、かつ適宜個所にテーパー
部を有し、アームの長手方向一側に弾発付勢された可動
板と、先端周縁部が上記可動板のテーパー部を、カード
基板と平行な平面内で押圧可能に上記上アームに取付け
られた調整ネジとから構成され、該調整ネジの回動操作
により上記可動板をカード基板と平行な平面内で微調整
可能としたことを特徴とするプローブカード及び上記プ
ローブは上アームと下アームとを含む断面コ字状の固定
台と、上記上，下アーム間に介装され、先端に触針が取
付けられ、かつその略中央に長円孔、基端側に円孔が開
設された可動板と、底部周縁部付近に突起部を有し、上
記可動板の長円孔及び円孔に上記突起部がそれぞれ遊嵌
状に挿入されると共に、その偏心移動によって可動板を
カード基板と平行な平面内で移動可能に上記上アームに
取付けられた偏心調整カムから構成されたことを特徴と
するプローブカード並びに上記プローブは上アームと下
アーム及びそれを基端において連結する垂直片とを含む
断面コ字状の固定台と、上記上，下アーム間に介装され
先端に触針が取付けられ、かつその略中央に長円孔が開
設された可動板と、底部周縁部付近に突起部を有し、上
記長円孔内に上記突起部が遊嵌状に挿入されると共に、
その偏心移動によって可動板をカード基板と平行な平面
内で左右移動可能に上記上アームに取付けられた左右調
整偏心カムと、可動板基端側に枢着される雌螺子部内に
螺合し、該雌螺子部をカード基板と平行な平面内で前後
移動可能に上記垂直片に取付けられた前後調整ネジとか
ら構成されたことを特徴とするプローブカードである。

〈実施例並びに作用〉以下本考案に係るプローブカードを、その実施例を示す
図面を参酌し乍ら詳述する。

実施例１第１図（イ），（ロ）はそれぞれ本考案の実施例１に適
用されるプローブを示す側面説明図及び平面説明図、第
２図は同プローブが取付けられたカード基板の一例を示
す斜視図である。

即ち第２図において示すように、プローブ（１），
（１），…は、カード基板（２）に取付けられ、これら
プローブ（１）はエポキシ樹脂等から成るカード基板
（２）の中心位置に開設される中心孔（３）の外周の所
定位置に配置される。そして先端の触針（４）は被測定
物の測定端子に接触可能にカード基板（２）より突出さ
れる。

又上記カード基板（２）には、中心孔（３）の周りにプ
ローブ（１）を取付けるための取付けネジ挿入孔（５）
が所定の角度で複数個設けられ、測定する半導体製品に
合わせてプローブ（１）の位置を任意に選択できる構成
とされる。

更に上記カード基板（２）には、上記触針（４）とカー
ド基板（２）のコネクタ（６）とを電気的に接続するた
めに、差込式の着脱容易な接続端子（７）が設けられ、
同接続端子（７）の一方はコネクタ（６）に、又他方は
触針（４）から引き出されたリード線（８）に接続され
る。従って上記構成によりプローブ（１）の配置位置の
変化を容易に行うことができる。

そこで第１図（イ），（ロ）でそれぞれ示されるよう
に、プローブ（１）は、カード基板（２）に固定保持さ
れる固定台（９）と、同固定台（９）に摺動自在に嵌装
される可動板（10）、及び固定台（９）側に取付けられ
る調整ネジ（11），（11）′とから構成されるものであ
る。

即ち上記固定台（９）は、上アーム（12）と下アーム
（13）とが長手方向の一側端において垂直片（14）にて
一体状に結合され、更に上記上アーム（12）と下アーム
（13）間に形成される空隙部（15）に、上記可動板（1
0）が介装されるものである。

又上記可動板（10）と上記垂直片（14）間には、上下ア
ーム（12），（13）の長手方向に沿ってスプリング（1
6）が装着され、可動板（10）は同スプリング（16）に
よって、上記垂直片（14）側方向に付勢される。更に、
上記可動板（10）は上アーム（12）に装着される固定ネ
ジ（17）によって、下アーム（13）側に付勢される。

上記可動板（10）は、第３図に示すように、基端にＶ字
状の切欠き溝（18）が設けられ、先端は先細状に形成さ
れている。更にその中間部には長円孔（19）が開設され
る。又上記切欠き溝（18）の端縁にテーパー部（20）が
切欠形成され、上記長円孔（19）の一端側、即ち上記ス
プリング（16）の反対側にテーパー部（20）′が切欠形
成される。そして第４図に示すように上記テーパー部
（20），（20）′に、調整ネジ（11），（11）′の先端
周縁部（11a）、（11b）がそれぞれ接触するように構成
される。従って上記調整ネジ（11）の回動操作によって
切欠き溝（18）のテーパー部（20）は、先端周縁部（11
a）に押圧され、それに従って可動板（10）は、カード
基板（２）と平行な平面内で前，後摺動自在とされる。
又上記長円孔（19）は、調整ネジ（11）′径より充分大
きく形成される。即ち上記可動板（10）がスプリング
（16）により引張される場合、第１図（イ）のＡ矢印方
向に偶力のモーメントが生じ、このモーメントによる可
動板（10）の回動を阻止するため、調整ネジ（11）′の
先端周縁部（11b）が、長円孔（19）の一側端縁に形成
されるテーパー部（20）′に当接させるためであり、従
って上記調整ネジ（11）′を回動操作させることによ
り、上記テーパー部（20）′は、調整ネジ（11）′の先
端周縁部（11b）によって押圧され、可動板（10）は、
カード基板（２）と平行な平面内で左右に摺動移動自在
とされる。

一方上記可動板（10）の先端部には触針（４）が設けら
れるプローブヘッド（21）が取付けられている。このプ
ローブヘッド（21）は、一端が取付けネジ（22）によっ
て可動板（10）に固定され、他端が片持状に伸張された
支持アーム（23）と、同支持アーム（23）に固定保持さ
れる絶縁物からなる取付け板（24）と、この取付け板
（24）から突設される触針（４）から構成されている。
そして、上記取付け板（24）により触針（４）と可動板
（10）とは電気的に絶縁状態とされ、更に触針（４）は
可動板（10）に装着される高さ調整ネジ（25）によって
高さ方向の位置決めが自在に行われるように構成され
る。次に上記取付け板（24）の触針（４）取付け面側に
は配線パターンが布設され、この配線パターンからリー
ド線（26）の一端が半田付けされて引き出され、その他
端がカード基板（２）側に接続されている。

本考案の実施例１は以上の構成からなり、次にその作用
を説明する。

まず、被測定物の測定端子に合わせて決定されるカード
基板（２）の取付位置にプローブ（１）が取付けられ、
触針（４）からのリード線（26）を接続端子（７）によ
りコネクタ（６）と接続する。これにより触針（４）と
テスタ（27）との電気的接続が取られる。

そして、被測定物の測定端子に触針（４）を位置合わせ
し、高さ調整の必要がある場合は、高さ調節ネジ（25）
により、又触針（４）をカード基板（２）と平行な平面
内で前，後及び左，右移動調整を行う場合は、調整ネジ
（11），（11）′の回動操作によって調整を行う。

実施例２第５図（イ），（ロ）はそれぞれ本考案の実施例２に適
用されるプローブを示す側面説明図及び平面説明図であ
る。

即ち固定台（９）は、上アーム（12）と下アーム（13）
とが長手方向の一端側において垂直片（14）にて一体状
に結合され、更に上記上アーム（12）と下アーム（13）
間に形成される空隙部（15）に、可動板（10）が介装さ
れるものである。

又上記固定台（９）は、カード基板（２）の取付けネジ
挿入孔（５）より取付けネジ（22）によって固定保持さ
れ、更に上アーム（12）側には偏心調整カム（28），
（28）′及び固定ネジ（17）が設けられるものである。

そこで可動板（10）は、第６図に示すように、基部中央
に丸孔（29）が開設され、更にその中間部には長円孔
（19）が開設される。即ち第７図に示すように、偏心調
整カム（28），（28）′は、その底部周縁部付近に、突
起部（30），（30）′が突設される。この突起部（3
0），（30）′は、可動板（10）の丸孔（29）及び長円
孔（19）内に、それぞれ遊嵌状に挿入された状態とされ
る。

従って上記偏心調整カム（28）を回動することによっ
て、突起部（30）は、偏心調整カム（28）中心軸線を中
心として公転し、それと嵌合される丸孔（29）が円運動
により可動板（10）を、カード基板（２）と平行平面内
にての前後調整が可能となる。又上記可動板（10）の前
後摺動の際には、上記偏心調整カム（28）′の突起部
（30）′は、可動板（10）の長円孔（19）によって、前
後当接すること無く可動板（10）を摺動させることがで
きる。

そして偏心調整カム（28）′を回動させた場合には、そ
の突起部（30）′が公転することにより、上記長円孔
（19）の両側端部に当接摺動し乍ら左右方向に移動さ
せ、可動板（10）を、カード基板（２）と平行平面内に
ての左右調整が可能となる。

一方上記可動板（10）の先端部には触針（４）が設けら
れるプローブヘッド（21）が取付けられている。このプ
ローブヘッド（21）は、一端が取付けネジ（22）によっ
て可動板（10）に固定され、他端が片持状に伸張された
支持アーム（23）と、同支持アーム（23）に固定保持さ
れる絶縁物からなる取付け板（24）と、この取付け板
（24）から突設される触針（４）から構成されている。

そして、上記取付け板（24）により触針（４）と可動板
（10）とは電気的に絶縁状態とされ、更に触針（４）は
可動板（10）に装着される高さ調整ネジ（25）によって
高さ方向の位置決めが自在に行われるように構成されて
いる。

本考案の実施例２は以上の構成からなり、次にその作用
を説明する。

まず被測定物の測定端子に触針（４）を位置合わせし、
高さ調整の必要がある場合は、高さ調整ネジ（25）によ
り、又触針（４）をカード基板（２）と平行な平面内
で、前，後及び左，右移動調整を行う場合は、偏心調整
カム（28），（28）′の回動操作によって調整を行う。

実施例３第８図（イ），（ロ）はそれぞれ本考案の実施例３に適
用されるプローブを示す側面説明及び平面説明図であ
る。

又上記固定台（９）は、カード基板（２）の取付けネジ
挿入孔（５）より取付けネジ（22）によって固定保持さ
れ、更に上アーム（12）側には左右調整偏心カム（31）
と固定ネジ（17）が設けられ、垂直片（14）側には前後
調整ネジ（32）が設けられるものである。

そこで可動板（10）は、第９図（イ），（ロ）でそれぞ
れ示すように、基部底部が切欠され空間部（33）が形成
されると共に、基端側に丸穴（29）が開設され、更にそ
の中間部には長円孔（19）が開設されている。そして上
記空間部（33）内に、第10図に示すように、その外周壁
上に、係留用突起部（34）が突設された雌螺子部（35）
を、上記係留用突起部（34）が、可動板（10）の丸孔
（29）に挿入された状態で、上記雌螺子部（35）が収納
されるものである。更に雌螺子部（35）は、固定台
（９）の垂直片（14）に設けられる前後調整カム（32）
に螺合されるものであり、上記前後調整ネジ（32）は、
第10図に示すように、その中途より先端側に雄螺子部
（36）が周設され、上記垂直片（14）に貫設される挿通
孔（37）に挿通した場合に、同挿通孔（37）内にては、
上記雄螺子部（36）が位置せず、上記雌螺子部（35）内
に螺合された状態となる。そして長円孔（19）内には、
固定台（９）に設けられる左右調整偏心カム（31）の底
部周縁付近に突設される突起部（30）が遊嵌状に挿入さ
れるものである。

そして、上記取付け板（24）により触針（４）と可動板
（10）とは電気的に絶縁状態とされ、更に触針（４）は
可動板（10）に装着される高さ調整ネジ（25）によって
高さ方向の位置決めが自在に行われるように構成され
る。

本考案の実施例３は以上の構成からなり、次にその作用
を説明する。

まず被測定物の測定端子に触針（４）を位置合わせし、
高さ調整の必要がある場合は、高さ調整ネジ（25）の回
動操作によって調整を行う。そして触針（４）の前，後
調整を行う場合には、前後調整ネジ（32）を回動させる
ことにより、その先端側の雄螺子部（36）が雌螺子部
（35）内にて回動し、同雌螺子部（35）は係留用突起部
（34）と可動板（10）の丸穴（29）との係合によって、
前後方向へ摺動し、上記可動板（10）をカード基板
（２）と平行平面内にて前後動させることとなる。又触
針（４）の左，右調整を行う場合には、左右調整偏心ネ
ジ（31）を回動させることにより、可動板（10）の長円
孔（19）内に挿入される突起部（34）が、公転移動を行
い上記長円孔（19）の両端側に当接摺動し乍ら、可動板
（10）を、上記丸孔（29）を中心としてカード基板
（２）と平行平面内にて左右調整させることとなる。

以上本実施例１〜３によれば、測定端子位置の多少異な
る被測定物に対しても、プローブ（１）の取付位置を変
えることなく可動板（10）を調整することにより、触針
（４）の位置決めを行うことができる。

〈考案の効果〉（Ｉ）実施例１にあっては、可動板に対してテーパー部
を設けることで、それと当接させる調整ネジは、一般の
ネジにより調整を行うことができる為に、簡単な構成、
構造により組み立てが可能となるものである。

（II）次に実施例２にあっては、偏心カムによって前，
後及び左，右調整を行う機構の為に調整範囲が大きくな
り、更に可動板自体も小型化できることによって、カー
ド基板へのプローブの取り付け数の限界を大幅に向上さ
せることが可能となる。

（III）又実施例３にあっては、前後調整ネジによっ
て、カード板の直線的移動が可能となり、より一層触針
の微調整がスムーズに行えるものである。又偏心カムと
の組み合わせによってプローブの小型化が可能となり、
カード基板への取り付け数を大幅に向上できるものであ
る。

以上述べたように、本考案では触針の前後，左右，高低
の微調整がスムーズに行える等、種々の効果を奏するも
のである。

【図面の簡単な説明】

第１図（イ），（ロ）はそれぞれ本考案の実施例１に適
用されるプローブを示す断面図及び平面図、第２図は第
１図のプローブをカード基板に取付けた状態を示す斜視
図、第３図は可動板の形状を示す斜視図、第４図は調整
ネジと可動板との接触状態を示す説明図、第５図
（イ），（ロ）はそれぞれ本考案の実施例２に適用され
るプローブを示す側面図及び平面図、第６図は可動板の
形状を示す斜視図、第７図は偏心カムの外観図、第８図
（イ），（ロ）はそれぞれ本考案の実施例２に適用され
るプローブを示す側面図及び平面図、第９図（イ），
（ロ）はそれぞれ可動板の形状を示す側面図及び平面
図、第10図は雌螺子部及び前後調整ネジとの螺合状態の
外観を示す説明図、第11図はプローブカードの使用状態
を示す斜視図である。図中（１）：プローブ（２）：カード基板（４）：触針（９）：固定台（10）：可動板（11），（11）′：調整ネジ（12）：上アーム（13）：下アーム（14）：垂直片（16）：スプリング（18）：切欠き溝（19）：長円孔（20）：テーパー部（28），（28）′：偏心調整カム（29）：丸穴（31）：左右調整偏心カム（32）：前後調整ネジ

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】テスタに着脱可能なコネクタを備えたカー
ド基板と、該カード基板に保持され先端の触針が被測定
物の測定端子に接触可能にカード基板から突出し、上記
カード基板のコネクタに電気的に接続される少なくとも
１個のプローブとを含むプローブカードにおいて、上記
プローブは上アームと下アームとを含む断面コ字状の固
定台と、上記上，下アーム間に介装され先端に触針が取
付けられ、かつ適宜個所にテーパー部を有し、アームの
長手方向一側に弾発付勢された可動板と、先端周縁部が
上記可動板のテーパー部を、カード基板と平行な平面内
で押圧可能に上記上アームに取付けられた調整ネジとか
ら構成され、該調整ネジの回動操作により上記可動板を
カード基板と平行な平面内で微調整可能にしたことを特
徴とするプローブカード。
【請求項２】テスタに着脱可能なコネクタを備えたカー
ド基板と、該カード基板に保持され先端の触針が被測定
物の測定端子に接触可能にカード基板から突出し、上記
カード基板のコネクタに電気的に接続される少なくとも
１個のプローブとを含むプローブカードにおいて、上記
プローブは上アームと下アームとを含む断面コ字状の固
定台と、上記上，下アーム間に介装され、先端に触針が
取付けられ、かつその略中央に長円孔、基端側に円孔が
開設された可動板と、底部周縁部付近に突起部を有し、
上記可動板の長円孔及び円孔に上記突起部がそれぞれ遊
嵌状に挿入されると共に、その偏心移動によって可動板
をカード基板と平行な平面内で移動可能に上記上アーム
に取付けられた偏心調整カムから構成されたことを特徴
とするプローブカード。
【請求項３】テスタに着脱可能なコネクタを備えたカー
ド基板と、該カード基板に保持され先端の触針が被測定
物の測定端子に接触可能にカード基板から突出し、上記
カード基板のコネクタに電気的に接続される少なくとも
１個のプローブとを含むプローブカードにおいて、上記
プローブは上アームと下アーム及びそれを基端において
連結する垂直片とを含む断面コ字状の固定台と、上記
上，下アーム間に介装され先端に触針が取付けられ、か
つその略中央に長円孔が開設された可動板と、底部周縁
部付近に突起部を有し、上記長円孔内に上記突起部が遊
嵌状に挿入されると共に、その偏心移動によって可動板
をカード基板と平行な平面内で左右移動可能に上記上ア
ームに取付けられた左右調整偏心カムと、可動板基板側
に枢着される雌螺子部内に螺合し、該雌螺子部をカード
基板と平行な平面内で前後移動可能に上記垂直片に取付
けられた前後調整ネジとから構成されたことを特徴とす
るプローブカード。