JPH0645310A - 乾燥方法および乾燥装置 - Google Patents

乾燥方法および乾燥装置

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Publication number
JPH0645310A
JPH0645310A JP19946692A JP19946692A JPH0645310A JP H0645310 A JPH0645310 A JP H0645310A JP 19946692 A JP19946692 A JP 19946692A JP 19946692 A JP19946692 A JP 19946692A JP H0645310 A JPH0645310 A JP H0645310A
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JP
Japan
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air
air flow
drying
flow path
drying chamber
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Pending
Application number
JP19946692A
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English (en)
Inventor
Tetsuo Tsukada
哲夫 塚田
Sadao Oguchi
貞雄 小口
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TSUKADA FUAINESU KK
Original Assignee
TSUKADA FUAINESU KK
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Publication date
Application filed by TSUKADA FUAINESU KK filed Critical TSUKADA FUAINESU KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワークに付着した水系,アルコール系または
石油系溶剤などの洗浄液を効率よく除去して、短時間に
しかも均一に乾燥可能な乾燥方法および乾燥装置を実現
すること。 【構成】 乾燥装置10の乾燥室11においては、コン
プレッサー18から第1の空気流経路14を介して供給
された加熱空気をノズル141から噴射して洗浄後のワ
ークWに供給する。同時に、ブロアー20によって、洗
浄カゴ21の底面側では、空気がブロアー20によって
排出される。このため、乾燥室11では、ノズル141
から空気吸出し部191に向かって空気流が形成され、
この空気流の経路上にワークWを設置して、液切りおよ
び乾燥を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、洗浄後のワークから洗
浄液を除去するための乾燥方法および乾燥装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】機械部品や回路基板などのワークに対す
る洗浄には、塩素系溶剤やフッ素系溶剤が使用されてき
たが、環境に対する影響が問題視されていることから、
それらの使用が規制されつつある。この代替として、水
系洗浄剤,アルコール系または石油系溶剤などが考えら
れる。これらの洗浄剤や溶剤を使用して洗浄した後の乾
燥工程においては、最終の洗浄工程でワークに付着する
水,アルコール,石油系溶剤などが、いずれも、塩素系
溶剤やフッ素系溶剤に比して乾燥性に劣ることから、こ
れらの液をワークから除去し、乾燥させる手段として、
図10または図11に示す方法が知られている。それら
のうち、図10に示す方法は、洗浄済みのワークWが収
納された洗浄カゴ21に対して、コンプレッサー101
によってノズル102から空気流103を吹きつけ、そ
の物理力によってワークWから洗浄液を液切りするとと
もに、洗浄液を蒸発させる方法である。また、図11に
示す方法は、上方が開放端になっているホッパー状のワ
ーク保持室104に、洗浄済みのワークWを収納した洗
浄カゴ21を設置した状態で、ワーク保持室104の下
方側で開口する空気吸出し部105を介してブロアー1
06で空気を吸い込んで、ワークWから液切りする方法
である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図10
に示す従来の乾燥方法において、上方から吹きつけられ
た空気流103は、洗浄カゴ21の上方に位置するワー
クWに遮られて、その底面側に位置するワークWの周囲
には空気流103が到達しないため、乾燥速度が低く、
しかも、液切りが充分でないので、乾燥しても乾燥じみ
などが残りやすいという問題点もある。一方、図11に
示す従来の方法は、液切り方法としては比較的有効であ
るが、ワークに少量残った液を完全に乾燥する方法とし
ては、ワークにかかる空気流が常温であるため、液の蒸
発速度が低く、不向きである。
【0004】以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、
ワークに付着した水,アルコール,石油系溶剤などの洗
浄液を効率よく除去し、乾燥させる乾燥方法および乾燥
装置を実現することにあり、とくに、多量のワークを一
括して、短時間に、しかも、乾燥じみなどを発生させる
ことなく均一に乾燥可能な乾燥方法および乾燥装置を実
現することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明に係る乾燥方法において講じた第1の手段は、
乾燥室内において、空気吹き出し部から空気を吹き出し
ながら、この空気流の下流側の空気吸出し部から空気を
強制排出して空気流を形成するとともに、この空気流の
経路の途中位置にワークを保持してワークに付着してい
る液を除去する液切り工程を行うことである。このよう
な乾燥方法を実施可能とするために、本発明に係る乾燥
装置には、乾燥室内の一方側内壁面側で空気吹き出し部
として開口する第1の空気流経路に接続された空気流供
給源と、乾燥室内の一方側内壁面側に対向する他方側内
壁面側で空気吸出し部として開口する第2の空気流経路
に接続された第1の空気排出源と、乾燥室内において空
気吹き出し部と空気吸出し部との間にワークを保持可能
なワーク保持手段とを設ける。
【0006】ここで、液切り工程で液切りされたワーク
に対して真空乾燥を施す真空乾燥工程を同一乾燥室内で
行うことが好ましい。そのために、前述の乾燥装置に対
して、第1の空気排出源は第1の空気流経路が閉鎖状態
とされた乾燥室内からそこが真空状態になるまで空気を
排出可能な吸引力の大きな吸引手段を採用する。
【0007】または、空気排出源側において、第2の空
気流経路および第1の空気流排出源に対するバイパスと
される第3の空気流経路と、この第3の空気流経路上に
介挿された第2の空気排出源とを設けるとともに、一方
側の空気排出源には送風量の大きな送風手段を採用する
一方、他方側の空気排出源には、乾燥室内からそこが真
空状態になるまで空気を排出可能な吸引力の大きな吸引
手段を採用する。
【0008】つぎに、前述の課題を解決するために本発
明に係る乾燥方法において講じた第2の手段は、乾燥室
内において、空気吹き出し部から空気を吹き出しなが
ら、その下流側から空気を排出して空気流を形成すると
ともに、この空気流の経路の途中位置にワークを保持し
てワークに付着している液を液切りする液切り工程と、
この液切り工程で液切りしたワークに対して真空乾燥を
施す真空乾燥工程とを同一乾燥室内で行うことである。
このような乾燥方法を実施可能とするために、本発明に
係る乾燥装置には、空気流の下流側において、空気吸出
し部側と第1の空気排出源からの排気通路側とに連通可
能に接続されて第2の空気流経路および第1の空気排出
源に対するバイパスとされる第3の空気流経路と、この
第3の空気流経路上に介挿された第2の空気排出源と、
空気吸出し部側が第2の空気流経路に連通する状態と空
気吸出し部側が第3の空気流経路に連通する状態とに切
換する空気流経路切換手段と、第1の空気流経路を閉鎖
状態と開放状態とに切換する空気流経路開閉手段とを設
けるととも、一方側の空気排出源には送風量の大きな送
風手段を採用する一方、他方側の空気排出源には吸引力
の大きな吸引手段を採用する。
【0009】つぎに、前述の課題を解決するために本発
明の乾燥方法において講じた第3の手段は、空気吸い込
み部を備える乾燥室内の空気吸出し部から空気を吸引し
て、空気吸い込み部から空気吸出し部に向かう空気流を
形成するとともに、この空気流の経路の途中位置にワー
クを保持してワークに付着している液を液切りする液切
り工程と、この液切り工程で液切りされたワークに対し
て真空乾燥を施す真空乾燥工程とを同一乾燥室内で行う
ことである。このような乾燥方法を実施可能とするため
に、本発明に係る乾燥装置には、空気流供給源に代え
て、乾燥室内の一方側内壁面側で開口する空気吸い込み
部としての第1の空気流経路を設ける一方、乾燥室内の
一方側内壁面側に対向する他方側内壁面側で空気吸出し
部として開口する第2の空気流経路に接続された空気流
排出源を設け、この空気排出源には、乾燥室内からそこ
が真空状態になるまで空気を排出可能な吸引力の大きな
吸引手段を採用する。または、空気排出源側において、
第2の空気流経路および第1の空気流排出源に対するバ
イパスとされる第3の空気流経路と、この第3の空気流
経路上に介挿された第2の空気排出源とを設けるととも
に、一方側の空気排出源には送風量の大きな送風手段を
採用する一方、他方側の空気排出源には、乾燥室内から
そこが真空状態になるまで空気を排出可能な吸引力の大
きな吸引手段を採用する。
【0010】ここで、本発明に係る乾燥方法を、乾燥室
の上流側(空気吹き出し部または空気吸い込み部の上流
側)と、乾燥室の下流側(空気吸出し部の下流側)とを
連通させて空気流を循環しながら行うことが好ましい。
そのために、本発明に係る乾燥装置には、第1の空気流
経路と第2の空気流経路との間に、空気供給源および空
気排出源のうちの少なくとも一方が介挿されているとと
もに、それらを連通状態にする閉ループの空気流循環経
路を設けることが好ましい。
【0011】つぎに、前述の課題を解決するために本発
明の乾燥方法において講じた第4の手段は、ワークを回
転させて、その遠心力によってワークを液切りする液切
り工程と、この液切り工程で液切りされたワークに対し
て真空乾燥を施す真空乾燥工程とを同一乾燥室内で行う
ことである。このような乾燥方法を実施可能とするため
に、本発明に係る乾燥装置には、乾燥室内のワークに遠
心力を与えてワークに付着している液体を振り切りすべ
き遠心振り切り手段と、乾燥室内の内壁面側で空気吸い
込み部として開口する空気流経路に接続されて乾燥室内
からそこが真空状態になるまで空気を排出可能な吸引力
の大きな吸引手段とを設ける。
【0012】ここで、本発明に係る乾燥方法を、乾燥室
の下流側に対して空気流からミストや蒸気を除去する気
液分離手段を設けた状態で行うことが好ましい。そのた
めに、本発明に係る乾燥装置には、乾燥室の下流側に、
空気流からミストや蒸気を除去する気液分離手段を設け
ることが好ましい。
【0013】
【作用】上記第1の手段を講じた乾燥装置においては、
空気流供給源から供給された空気流は、第1の空気流経
路(空気吹き出し部)を介して乾燥室内に供給されて洗
浄後のワークに供給される一方、ワークに対する反対側
では、乾燥室内の空気が、真空ポンプやブロアーなどの
第1の空気排出源によって第2の空気流経路(空気吸出
し部)を介して強制的に排出されるため、いずれのワー
ク周囲においても、空気流が常に高く維持されるので、
液切りおよび乾燥が効率よく、かつ均一に行われる。そ
れ故、多量のワークを一括して乾燥しても、乾燥ムラが
発生しにくい。とくに、ワークに供給する空気流を加熱
した場合には、ワークおよび付着液の温度が上がるた
め、付着液の蒸発速度が上がり、短時間で乾燥できる。
ここで、空気流供給源および空気排出源の双方により形
成される風量の大きな空気流を利用して送風液切りを行
い、その後、真空乾燥を行った場合には、さらに効率的
で、短時間での乾燥が行なえる。すなわち、ワークに多
量に付着した洗浄液の液切りにおいては、熱風や真空を
利用して液を蒸発させる方法に比して、風量の大きな空
気流を利用して送風液切りを行った方が、液の除去効率
が高い一方、液切り後のように、少量の洗浄液が付着し
ているワークに対する完全乾燥には真空乾燥が適してい
るため、これらの組合せによる乾燥方法が最も効率的で
短時間での乾燥ができるからである。ここで、真空乾燥
は、ワークに付着した多量の洗浄液の除去には不向きで
ある。これは、液の蒸発にともなって、蒸発潜熱が奪わ
れるのに対して、熱の補給が追従できないため、ワーク
や洗浄液の温度が下がり、蒸発速度が低下するためであ
る。しかし、真空乾燥は、ワークに付着した少量の洗浄
液の除去には効果的である。これは、ワークに付着して
いる洗浄液が少なければ、蒸発速度が下がる前に、乾燥
が終了するので、熱風やエアーによる送風乾燥に比して
高い蒸発速度で乾燥できるからである。
【0014】また、本発明に係る乾燥装置においては、
液切りと真空乾燥とを同室で行うので、乾燥装置がコン
パクトであり、省スペース化を図ることができる。
【0015】さらに、ワークの付着液を熱乾燥や真空乾
燥のみによって乾燥させる場合に、付着液が汚れている
と、その汚れが濃縮されて、乾燥じみとして残るが、本
発明においては、充分な液切りを行った後に真空乾燥を
行うので、乾燥後のワークに乾燥じみが残らない。
【0016】また、第2の手段を講じた本発明に係る乾
燥方法および乾燥装置においては、空気吹き出し部から
空気を吹き出しながら、その下流側から空気を排出して
空気流を形成し、この空気流によってワークを液切りし
た後に真空乾燥を行い、第3の手段を講じた本発明に係
る乾燥方法および乾燥装置においては、乾燥室内の空気
吸出し部から空気を吸引して空気流を形成し、この空気
流によってワークを液切りした後に真空乾燥を行い、第
4の手段を講じた本発明に係る乾燥方法および乾燥装置
においては、遠心振り切りによってワークを液切りした
後に真空乾燥を行うため、第2ないし第4の手段を講じ
たいずれの乾燥方法および乾燥装置においても、短時間
に効率的に乾燥を行うことができ、しかも、乾燥後のワ
ークに乾燥じみが残らない。
【0017】また、第1ないし第3の手段を講じたいず
れの乾燥方法および乾燥装置においても、乾燥室の上流
側と下流側、すなわち、空気吹き出し部または空気吸い
込み部の上流側と空気吸出し部の下流側とを連通させ、
空気流を閉ループ内で循環させるようにすると、空気を
加熱して使用する場合には、循環使用によって加熱エネ
ルギーが少なくて済むとともに、アルコール系や石油系
溶剤のように可燃性の洗浄液を使用する場合において
も、そのミストや蒸気が外に出ないので、安全であり、
作業環境の汚染を防止できる。
【0018】また、第1ないし第4の手段を講じたいず
れの乾燥方法および乾燥装置においても、乾燥室の下流
側に空気流から洗浄液のミストや蒸気を除去する気液分
離手段を設ければ、アルコール系や石油系溶剤のような
可燃性の洗浄液を使用する場合でも、安全性が高くなる
とともに、作業環境の汚染も防止できる。
【0019】
【実施例】つぎに、添付図面を参照して、本発明の実施
例について説明する。
【0020】〔実施例1〕図1は本発明の実施例1に係
る乾燥装置の構成を示す概略構成図である。なお、本例
の乾燥装置は、本発明に係る第1の手段を講じた乾燥方
法を実施可能な乾燥装置、すなわち、乾燥室内におい
て、空気吹き出し部から空気を吹き出しながら、この空
気流の下流側の空気吸出し部から空気を強制排出して空
気流を形成するとともに、この空気流の経路の途中位置
にワークを保持してワークに付着している液を除去する
液切り工程を実施可能な乾燥装置に関する。
【0021】図において、本例の乾燥装置10の乾燥室
11は、下方側に向かって内径が窄まった乾燥室本体1
2と、その上面側開口を覆う蓋13とから構成され、こ
れらの乾燥室本体12と蓋13とは、それらのフランジ
部121,131を介して連結されている。ここで、フ
ランジ部121,131の間にはリング状のゴムパッキ
ン133が配置されて、それらの間の気密が保持されて
いる。また、蓋13は、ヒンジ機構132によって乾燥
室本体12の上面側に取りつけられており、乾燥室本体
12の上面側開口を開閉自在になっている。さらに、蓋
13には、蓋13の下面側(一方側内壁面)で複数のノ
ズル141(空気吹き出し部)として開口する第1の空
気流経路14が接続しており、この第1の空気流経路1
4の蓋13の側(下流側)には第1の空気流経路14を
開閉自在な電磁バルブ15(空気流通路開閉手段)を有
する一方、その上流側には、ヒータを備える加熱器16
およびフィルター17に加えて、吸気口18aから吸入
した空気を圧縮空気流として第1の空気流経路14を介
してノズル141に向けて供給するコンプレッサー18
(空気流供給源)を有する。これに対して、乾燥室11
の下方位置には、蓋13の内面に対向する乾燥室本体1
2の底面122において空気吸出し部191として開口
する第2の空気流経路19を有し、この第2の空気流経
路19の下流端側には、ブロアー20(第1の空気排出
源)が接続されている。ここで、ブロアー20には排気
通路22が接続されており、この排気通路22の下流端
側には、排気通路22を通過してくる空気流からミスト
(液体)を除去して洗浄液回収タンク23に回収するた
めのバルブ付きドレイン241および排気ダクト242
を備えるミストコレクター24(気液分離手段)が接続
されている。さらに、乾燥室11の内部において、乾燥
室本体12には、その内径が狭まるように形成された傾
斜部111(ワーク保持部)が形成されており、ワーク
Wを収納した洗浄カゴ21を乾燥室11の内部に収容す
ると、洗浄カゴ21の底面側縁部と傾斜部111とが干
渉し合って、ノズル141と空気吸出し部191との間
にワークWを保持可能になっている。
【0022】このような構成の乾燥装置10は、水系,
アルコール系または石油系の洗浄液などによって洗浄が
施されたワークを乾燥するために使用される。
【0023】まず、電磁バルブ15を閉鎖状態として、
ノズル141から空気が噴出されない状態とし、この状
態で、蓋13を開けて、乾燥室本体12の内部に対し
て、洗浄液が付着した状態のままのワークWを洗浄カゴ
21に収納した状態で収容する。
【0024】つぎに、蓋13を閉じた後に、蓋13と乾
燥室本体12とを固定し、この状態で、コンプレッサー
18を作動させるとともに、電磁バルブ15を開放状態
として、コンプレッサー18から加熱器16および第1
の空気流経路14を介して供給された加熱空気をノズル
141から噴射する。同時に、ブロアー20も作動させ
て、乾燥室11の内部の空気を空気吸出し部191,第
2の空気流経路19および排気通路22を介してミスト
コレクター24に送出する。その結果、ノズル141か
ら噴射された空気は、ワークWに吹きつけられる一方、
洗浄カゴ21の底面側では、空気がブロアー20によっ
て排出されるので、ノズル141から空気吸出し部19
1に向かって空気流が形成され、この空気流の経路上に
ワークWが設置された状態になって、ワークWに対して
送風液切りおよび温風乾燥が行われる。
【0025】以上のとおり、本例の乾燥装置10におい
ては、コンプレッサー18から供給された加熱空気流
が、第1の空気流経路14(ノズル141)を介して乾
燥室11の内部に供給されて、洗浄後のワークWに吹き
つけられる一方、ワークの反対側では、空気がブロアー
20によって強制的に排出されるため、空気流はワーク
Wによって跳ね返ることなく、ワークWの隙間を通っ
て、洗浄カゴ21の底面側にあるワークWにまで到達す
る。従って、いずれのワークWに対しても、空気流を常
に高速で大量に供給することができるので、ワークWに
対する液切りおよび乾燥が均一に行われる。それ故、多
量のワークWを一括して乾燥しても、乾燥ムラが発生し
にくい。また、空気排出源として、ブロアー20のよう
に、送風量の大きな送風機(送風手段)を使用している
ので、乾燥室11からの空気流の送出量が大きく、ワー
クWに多量の洗浄液が付着している場合であっても、液
切り不足や乾燥不足が発生しにくい。しかも、洗浄液自
身をワークWから空気流によって吹き飛ばして除去する
ため、ワークWに残滓などが残らないので、多量の洗浄
液が付着したワークに対する乾燥工程に適している。ま
た、本例の乾燥装置10を用いた場合における乾燥経過
時間とワークWに付着している付着液量との関係を図8
に実線1で示し、ワークWに向けて送風するだけの図1
0に示した従来の乾燥方法における乾燥経過時間と付着
液量との関係を図8に実線2で、ワークW側から吸引す
る図11に示した従来の乾燥方法における乾燥経過時間
と付着液量との関係を図8に実線3で示すように、同じ
乾燥時間が経過した時点における付着液量は、本例の乾
燥装置10を使用した方が、従来の乾燥方法に比較して
少ない。すなわち、同程度の液切り状態および乾燥状態
とするのに必要な乾燥時間は、本例の乾燥装置10の方
が短くて済むことが確認されている。
【0026】ここで、ブロアー20に代えて、真空ポン
プを使用することもできる。この場合には、真空ポンプ
によって、ノズル141から噴射された空気を乾燥室1
1から排出して、ワークWに対して送風液切り工程を行
った後に、バルブ15を閉じた状態で、真空ポンプによ
って乾燥室11から空気を排出し続けて、液切り後のワ
ークWに対して真空乾燥工程を行うこともできる。従っ
て、乾燥装置10の同じ乾燥室11の内部で、送風液切
り工程と真空乾燥工程とを行うことができるので、乾燥
工程の効率を高めることができる。すなわち、真空乾燥
は、その乾燥経過時間とワークWの付着液量との関係を
図8に実線4で示すように、ワークに付着した多量の洗
浄液の除去には送風液切りに比して劣る。これは、真空
乾燥における乾燥経過時間と蒸発速度との関係を図9に
実線5で示すように、真空乾燥を行うと、液の蒸発にと
もなって、蒸発潜熱が奪われるのに対して、熱の補給が
追従できないため、ワークや洗浄液の温度が下がり、蒸
発速度が低下するためである。比較のために、送風液切
りのうち、常温空気を送風した場合の乾燥経過時間と蒸
発速度との関係を図9に実線6で示し、加熱空気を送風
した場合の乾燥経過時間と蒸発速度との関係を図9に実
線7で示す。図9からわかるように、ワークに付着して
いる洗浄液が少なく、短時間で乾燥できる場合には、真
空乾燥は、蒸発速度が下がる前に乾燥が終了するので、
熱風乾燥に比べて蒸発速度が高く有利である。以上の結
果から、ワークに付着した多量の洗浄液を送風液切り工
程により除去し、その後に、ワークに残った少量の洗浄
液を真空乾燥工程で除去すれば、最も効果的な乾燥方法
を実現できる。
【0027】〔実施例2〕図2は本発明の実施例2に係
る乾燥装置の構成を示す概略構成図である。なお、本例
の乾燥装置は、実施例1に係る乾燥装置の改良例に相当
し、乾燥室から排出された空気流を循環して、再度、乾
燥室に戻すことに特徴を有する。ここで、本例の乾燥装
置においては、実施例1に係る乾燥装置と共通する構成
があるので、それらの構成部分には同符号を付してそれ
らの説明を省略する。
【0028】図2に示す本例の乾燥装置30において、
その乾燥室11を構成する乾燥室本体12と蓋13と
は、それらのフランジ部121,131を介して連結さ
れており、フランジ部121,131の間には、リング
状のゴムパッキン133が配置されている。また、蓋1
3は、ヒンジ機構132によって乾燥室本体12の上面
側開口を開閉自在になっている。さらに、実施例1に係
る乾燥装置と同様に、蓋13には、蓋13の下面(一方
側内壁面)で複数のノズル141(空気吹き出し部)と
して開口する第1の空気流経路14が接続しており、こ
の第1の空気流経路14の上流側には、加熱器16およ
びフィルター17を備える。これに対して、乾燥室11
の下方位置には、乾燥室本体12の底面122において
空気吸出し部191として開口する第2の空気流経路1
9を有し、この第2の空気流経路19の下流端側には、
ブロアー32(第1の空気排出源)が接続されている。
ここで、ブロアー32には排気通路22が接続されてお
り、この排気通路22の下流端側には、排気通路22を
通過してくる空気流からミスト(液体)を除去して洗浄
液回収タンク23に回収するミストコレクター24(気
液分離手段)が接続されている。一方、乾燥室12の内
部には、ワークWを収納した洗浄カゴ21を収容したと
きに、洗浄カゴ21の底面側縁部と干渉して、それを位
置決めし、ノズル141から空気吸出し部191までの
間にワークWを保持可能とする傾斜部111(ワーク保
持手段)を有する。
【0029】さらに、本例の乾燥装置30は、ミストコ
レクター24の下流側(排気通路31の側)と第1の空
気流経路14の側とを連通する空気流循環経路31を有
し、ブロアー32によって乾燥室11から排出された空
気は、排気通路22,ミストコレクター24および空気
流循環経路31を通って第1の空気流経路14に循環さ
れるようになっている。
【0030】ここで、空気循環経路31を設けるにあた
って、図2において、空気循環経路31と第1の空気流
経路14との間に破線で示すように、コンプレッサー1
8(空気流供給源)を配置してもよいが、本例の乾燥装
置1においては、コンプレッサー18を省略して、ブロ
アー32を、第1の空気流経路14を介して乾燥室11
の内部に空気流を供給するための空気流供給源としても
利用している。すなわち、ブロアー32によって乾燥室
11から排出された空気は、排気通路22,ミストコレ
クター24,空気流循環経路31および第1の空気流経
路14を通ってノズル141からワークWに向かって供
給されるようになっている。
【0031】このような構成の乾燥装置30において
は、ブロアー32によって圧送された空気流は、空気流
循環経路31を経由して、第1の空気流経路14(ノズ
ル141)から乾燥室11の内部に加熱空気として供給
されて、ワークWに向けて吹きつけられる一方、ワーク
の反対側では、空気が、ブロアー32によって強制的に
排出されるため、いずれのワークWに対しても、空気流
を常に高速で大量に供給することができるので、ワーク
Wに対する液切りおよび乾燥が均一に行われる。
【0032】それ故、多量のワークWを一括して乾燥し
ても、乾燥ムラが発生しにくい。また、空気流を循環し
て使用しているため、加熱エネルギーが少なくて済み、
また、アルコール系や石油系溶剤のような可燃性の洗浄
液を使用する場合でも、そのミストや蒸気が外に出ない
ので、安全であり、作業環境の汚染を防止できる。しか
も、ブロアー32を空気流供給源および空気排出源とし
て使用しているため、乾燥装置30をコンパクトに設計
できる。なお、本例の乾燥装置30においても、ブロア
ー32に代えて、真空ポンプを使用して、送風液切り工
程を行った後に、真空乾燥工程を同じ乾燥室11の内部
で行うことができる。
【0033】〔実施例3〕図3は本発明の実施例3に係
る乾燥装置の構成を示す概略構成図である。なお、本例
の乾燥装置は、本発明に係る第2の手段を講じた乾燥方
法を実施可能な乾燥装置、すなわち、乾燥室内におい
て、空気吹き出し部から空気を吹き出しながら、その下
流側から空気を自然排出して空気流を形成するととも
に、この空気流の経路の途中位置にワークを保持してワ
ークに付着している液を液切りする液切り工程と、この
液切り工程で液切りしたワークに対して真空乾燥を施す
真空乾燥工程とを同一乾燥室内で実施可能な乾燥装置で
ある。ここで、本例の乾燥装置は、実施例1に係る乾燥
装置と共通する構成部分があるので、それらの構成部分
には同符号を付してそれらの説明を省略する。
【0034】図において、本例の乾燥装置40の乾燥室
11は、実施例1に係る乾燥装置1と同様な構成になっ
ており、その蓋13には、その下面(一方側内壁面)で
複数のノズル141(空気吹き出し部)として開口する
第1の空気流経路14が接続しており、この第1の空気
流経路14の蓋13の側(下流側)には第1の空気流経
路14を開閉自在な電磁バルブ15(空気流通路開閉手
段)を有する一方、その上流側には、加熱器16および
フィルター17に加えて、吸気口18aから吸入した空
気を加熱した圧縮空気流として第1の空気流経路14を
介してノズル141に向けて供給するコンプレッサー1
8(空気流供給源)を有する。これに対して、乾燥室1
1の下方位置には、蓋13の内面に対向する乾燥室本体
12の底面122において空気吸出し部191として開
口する第2の空気流経路19と、この第2の空気流経路
19に接続された真空ポンプ43(第1の空気排出源)
とを有する。ここで、真空ポンプ43からの排気通路2
2の下流端側には、ミストコレクター24(気液分離手
段)が接続されている。一方、乾燥室12の内部には、
ワークWを収納した洗浄カゴ21を収容したときに、洗
浄カゴ21の底面側縁部と干渉して、それを位置決め
し、ノズル141から空気吸出し部191までの間にワ
ークWを保持可能とする傾斜部111を有する。
【0035】さらに、本例の乾燥装置40においては、
第2の空気流経路19の途中位置(空気吸出し部191
の側)と真空ポンプ43からの排気通路22の側とに連
通して、第2の空気流経路19および真空ポンプ43に
対するバイパスとされる第3の空気流経路41を有す
る。また、空気吸出し部191の側が第2の空気流経路
19に連通する状態と空気吸出し部191の側が第3の
空気流経路41に連通する状態とに切換するための空気
流経路切換機構42(空気流経路切換手段)として、第
2の空気流経路19には電磁バルブ421が介挿されて
おり、第3の空気流経路41には電磁バルブ422が介
挿されている。また、排気通路22にも真空ポンプ43
に対する空気流の逆流を防止するための電磁バルブ42
3を有する。
【0036】このような構成の乾燥装置40において
は、たとえば、乾燥室11の内部に、水系,アルコール
系または石油系などの洗浄液が付着したワークWが収納
された洗浄カゴ21を収容した状態で、電磁バルブ1
5,422を開放する一方、電磁バルブ421,423
を閉鎖すると、コンプレッサー18から第1の空気流経
路14を介して供給された加熱空気はノズル141から
噴射されて、ワークWに対して液切りを行ったあとに、
第3の通気流経路41を介してミストコレクター24に
送出される。
【0037】このようにして、送風液切り工程を行った
後に、電磁バルブ15,422を閉鎖する一方、電磁バ
ルブ421,423を開放して、真空ポンプ43によっ
て乾燥室11の空気を第2の空気流経路19を介して吸
引し、排気通路22を介してミストコレクター24に送
出する。ここで、電磁バルブ15を開放状態にしておけ
ば、コンプレッサー18から第1の空気流経路14を介
して供給された加熱空気はノズル141から噴射され
て、ワークWに対して送風液切りを継続するとともに、
乾燥室11の内部の空気は、第2の空気流経路19を介
して吸引し、排気通路22を介してミストコレクター2
4に送出するため、高い効率をもって、ワークWに対す
る第2回目の送風液切り工程を行なえる。
【0038】これに対して、第2回目の送風液切り工程
を行う必要がない場合には、電磁バルブ15を閉鎖状態
にしておけば、真空ポンプ43によって、乾燥室11の
内部は真空状態になって、ワークWに対する真空乾燥工
程が行われる。
【0039】以上のとおり、本例の乾燥装置40におい
ては、コンプレッサー18から供給された空気流が、第
1の空気流経路14(ノズル141)を介して乾燥室1
1の内部に供給されて、ワークWに吹きつけられる一
方、ワークの反対側では、第3の空気流経路41を介し
て空気を自然排出して、または、空気を真空ポンプ43
によって強制的に排出して、ワークWに対する均一な送
風液切りを行うことができる。加えて、空気流経路切換
機構42および電磁バルブ15を切り換えて、真空ポン
プ43を利用した真空乾燥工程をも行なえるため、たと
えば、洗浄後のワークWに多量の洗浄液が付着している
場合には、第3の空気流通路41を排気通路とした状態
での予備的な送風液切り工程を行っておき、その後に真
空ポンプ43を利用した送風液切りおよび真空乾燥を行
い、真空ポンプ43に多量の洗浄液が吸い込まれること
を防止することができる。また、洗浄後のワークWに少
量の洗浄液のみが付着している場合には、送風液切り工
程を行わずに真空乾燥工程を直接に行なえるなど、ワー
クWの状態に応じた乾燥工程を行うことができる。
【0040】〔実施例4〕図4は本発明の実施例4に係
る乾燥装置の構成を示す概略構成図である。なお、本例
の乾燥装置は、実施例1に係る乾燥装置および実施例3
に係る乾燥装置の改良例に相当し、乾燥室から空気流を
排出するための空気排出源として、真空ポンプに加え
て、ブロアーも有することに特徴を有する。ここで、本
例の乾燥装置においては、実施例1に係る乾燥装置また
は実施例3に係る乾燥装置と共通する構成があるので、
それらの構成部分には同符号を付してそれらの詳細な説
明を省略する。
【0041】図において、本例の乾燥装置50の乾燥室
11は、実施例1または実施例3に係る乾燥装置と同様
な構成になっており、その蓋13には、その下面(一方
側内壁面)で複数のノズル141(空気吹き出し部)と
して開口する第1の空気流経路14が接続しており、こ
の第1の空気流経路14の蓋13の側(下流側)には第
1の空気流経路14を開閉自在な電磁バルブ15(空気
流通路開閉手段)を有する一方、その上流側には、加熱
器16およびフィルター17に加えて、吸気口18aか
ら吸入した空気を加熱した圧縮空気流として第1の空気
流経路14を介してノズル141に向けて供給するコン
プレッサー18(空気流供給源)を有する。これに対し
て、乾燥室11の下方位置には、蓋13の内面に対向す
る乾燥室本体12の底面122において空気吸出し部1
91として開口する第2の空気流経路19と、この第2
の空気流経路19に接続されたブロアー53(第1の空
気排出源)とを有する。ここで、ブロアー53からの排
気通路22の下流端側には、ミストコレクター24(気
液分離手段)が接続されている。一方、乾燥室12の内
部には、洗浄カゴ21の底面側縁部と干渉して、それを
位置決めし、ノズル141から空気吸出し部191まで
の間にワークWを保持可能とする傾斜部111を有す
る。
【0042】さらに、本例の乾燥装置50においては、
第2の空気流経路19の途中位置(空気吸出し部191
の側)とブロアー53からの排気通路22の側とに連通
して第2の空気流経路19およびブロアー53に対する
バイパスとされる第3の空気流経路41を有する。ま
た、空気吸出し部191の側が第2の空気流経路19に
連通する状態と空気吸出し部191の側が第3の空気流
経路41に連通する状態とに切換するための空気流経路
切換機構42(空気流経路切換手段)として、第2の空
気流経路19には電磁バルブ421が介挿されており、
第3の空気流経路41には電磁バルブ422が介挿され
ている。また、第3の空気流経路41において、電磁バ
ルブ422の下流側には、真空ポンプ54が介挿され、
その下流側には、真空ポンプ54に対する空気流の逆流
を防止するための電磁バルブ424が介挿されている。
さらに、排気通路22にもブロアー53に対する空気流
の逆流を防止するための電磁バルブ423が介挿されて
いる。
【0043】このような構成の乾燥装置50において
は、乾燥室11の内部に、ワークWが収納された洗浄カ
ゴ21を収容した後に、電磁バルブ15,421,42
3を開放する一方、電磁バルブ422,424を閉鎖す
る状態とし、この状態で、コンプレッサー18とブロア
ー53とを作動すると、コンプレッサー18から第1の
空気流経路14を介して供給された加熱空気はノズル1
41から噴射されて、ワークWに対して液切りを行う一
方、乾燥室11の内部の空気は、ブロアー53によって
排出される。
【0044】このようにして、ワークWに対する均一な
送風液切り工程を行った後に、電磁バルブ15,42
1,423を閉鎖する一方、電磁バルブ422,424
を開放して、真空ポンプ54によって乾燥室11の空気
を第3の空気流経路41を介して排気し、排出した空気
をミストコレクター24に送出する。従って、乾燥室1
1の内部は真空状態になって、ワークWに対する真空乾
燥工程が行われる。
【0045】以上のとおり、本例の乾燥装置40におい
ては、コンプレッサー18から供給された空気流が、第
1の空気流経路14(ノズル141)を介して乾燥室1
1の内部に供給されて、洗浄後のワークWに吹きつけら
れる一方、ワークの反対側では、空気が、ブロアー53
によって強制的に排出されて、ワークWに対する均一な
液切りが可能である。加えて、第3の空気流通路41お
よび真空ポンプ54を利用して、真空乾燥工程を行なえ
るので、送風液切り工程後にワークWに残存している少
量の洗浄液を真空乾燥工程で短時間で均一に除去でき、
しかも、乾燥度の高い乾燥工程とを1つの乾燥室11の
内部で行なえる。
【0046】〔実施例5〕図5は本発明の実施例5に係
る乾燥装置の構成を示す概略構成図である。なお、本例
の乾燥装置は、本発明に係る第3の手段を講じた乾燥方
法を実施可能な乾燥装置、すなわち、空気吸い込み部を
備える乾燥室内の空気吸出し部から空気を吸引して、空
気吸い込み部から空気吸い込み部に向かう空気流を形成
するとともに、この空気流の経路の途中位置にワークを
保持してワークに付着している液を液切りする液切り工
程と、この液切り工程で液切りされたワークに対して真
空乾燥を施す真空乾燥工程とを同一乾燥室内で実施可能
な乾燥装置に関する。
【0047】図において、本例の乾燥装置60の乾燥室
61は、下方側に向かって内径が窄まった乾燥室本体6
2と、その上面側開口を覆う蓋63とから構成され、こ
れらの乾燥室本体62と蓋63との間にはリング状のゴ
ムパッキン633が配置されて、それらの間の気密が保
持されている。また、蓋63は、ヒンジ機構632によ
って乾燥室本体62の上面側に取りつけられて、その上
面側開口を開閉自在になっている。さらに、蓋63には
空気吸い込み部641として開口する第1の空気流経路
64が接続しており、この第1の空気流経路64の上端
には電磁バルブ642(空気流通路開閉手段)が取りつ
けられている。これに対して、乾燥室61の下方位置に
は、蓋63の内面に対向する乾燥室本体62の底面62
2において空気吸出し部691として開口する第2の空
気流経路69を有し、この第2の空気流経路69の下流
端側には、真空ポンプ66(第1の空気排出源)が接続
されている。ここで、真空ポンプ66には排気通路65
が接続されており、この排気通路65の下流端側には、
排気通路65を通過してくる空気流からミスト(液体)
を除去して洗浄液回収タンク67に回収するためのバル
ブ付きドレイン681および排気ダクト682を備える
ミストコレクター68(気液分離手段)が接続されてい
る。さらに、乾燥室61の内部において、乾燥室本体6
2には、その内径が狭まるように形成された傾斜部61
1(ワーク保持部)が形成されており、傾斜部611と
洗浄カゴ21の底面側縁部とは干渉し合って、空気吸い
込み部641から空気吸出し部691までの間にワーク
Wを保持可能になっている。
【0048】このような構成の乾燥装置60は、水系,
アルコール系または石油系の洗浄液などによって洗浄が
施されたワークWを乾燥するために使用される。
【0049】まず、乾燥室本体62の内部に、洗浄液が
付着したままのワークWが収納された洗浄カゴ21を収
容した状態で、電磁バルブ642を開放状態として、真
空ポンプ66によって、第2の空気流経路69を介して
乾燥室61の内部の空気を吸い出す。これによって、空
気が空気吸い込み部641から乾燥室61の内部に吸い
込まれ、ワークWに吹きつけられる。一方、乾燥室61
の底面側では、空気が真空ポンプ66によって強制的に
排出されるため、いずれのワークWに対しても、空気流
を常に高速で供給することができるので、ワークWに対
する送風液切り工程を行え、ワークWに付着している洗
浄液量を少なくできる。
【0050】このようにして、送風液切りを行って、少
量の洗浄液のみが付着しているワークWに対しては、真
空ポンプ66が第2の空気流経路69を介して乾燥室6
1の内部の空気を吸い出している状態のまま、電磁バル
ブ642を閉鎖状態にする。
【0051】これによって、乾燥室61の空気は排気さ
れて、乾燥室61の内部は真空状態になり、ワークWに
対する真空乾燥工程が行われる。
【0052】以上のとおり、本例の乾燥装置60におい
ては、乾燥室61の底部側から空気を真空ポンプ66に
よって強制的に排出することによって、ワークWに空気
流を供給して、ワークWに付着している洗浄液量を少な
くした後に、少量の洗浄液のみが付着しているワークW
に対する短時間乾燥に適している乾燥工程を行う。この
ため、短時間で確実な乾燥が行え、しかも、送風液切り
工程と真空乾燥工程とを1つの乾燥室61の内部で行な
える。
【0053】〔実施例6〕図6は本発明の実施例6に係
る乾燥装置の構成を示す概略構成図である。なお、本例
の乾燥装置は、本発明の第3の手段を講じた乾燥方法を
実施可能な乾燥装置であって、かつ、実施例4に係る乾
燥装置と実施例5に係る乾燥装置との複合型の乾燥装置
に相当する。
【0054】図において、本例の乾燥装置70の乾燥室
71は、下方側に向かって内径が窄まった乾燥室本体7
2と、その上面側開口を覆う蓋73とから構成され、こ
れらの乾燥室本体72と蓋73との間にはリング状のゴ
ムパッキン733が配置されて、それらの間の気密が保
持されている。また、蓋73は、ヒンジ機構732によ
って乾燥室本体72の上面側に取りつけられて、その上
面側開口を開閉自在になっている。さらに、蓋73に
は、空気吸い込み部741として開口する第1の空気流
経路74が接続しており、この第1の空気流経路74の
上端には電磁バルブ742(空気流通路開閉手段)が取
りつけられている。これに対して、乾燥室71の下方位
置には、蓋73の内面に対向する乾燥室本体72の底面
722において空気吸出し部791として開口する第2
の空気流経路79を有し、この第2の空気流経路79の
下流端側には、ブロアー76(第1の空気排出源)が接
続されている。ここで、ブロアー76には排気通路75
が接続されており、この排気通路75の下流端側には、
排気通路75を通過してくる空気流からミスト(液体)
を除去して洗浄液回収タンク77に回収するためのバル
ブ付きドレイン781および排気ダクト782を備える
ミストコレクター78(気液分離手段)が接続されてい
る。さらに、乾燥室71の内部において、乾燥室本体7
2には、その内径が狭まるように形成された傾斜部71
1(ワーク保持部)が形成されており、洗浄カゴ21の
底面側縁部と傾斜部711とが干渉し合って、空気吸い
込み部741から空気吸出し部791までの間にワーク
Wを保持可能になっている。
【0055】さらに、本例の乾燥装置70においては、
第2の空気流経路79の途中位置(空気吸出し部791
の側)とブロアー76からの排気通路75の側とに連通
して第2の空気流経路79およびブロアー76に対する
バイパスとされる第3の空気流経路80を有する。ま
た、空気吸出し部791の側が第2の空気流経路79に
連通する状態と空気吸出し部791の側が第3の空気流
経路80に連通する状態とに切換するための空気流経路
切換機構81(空気流経路切換手段)として、第2の空
気流経路79には電磁バルブ811が介挿されており、
第3の空気流経路80には電磁バルブ812が介挿され
ている。また、第3の空気流経路80において、電磁バ
ルブ812の下流側には、真空ポンプ82が介挿され、
その下流側には、真空ポンプ82に対する空気流の逆流
を防止するための電磁バルブ813が介挿されている。
さらに、排気通路75にも電磁バルブ814が介挿され
ている。
【0056】このような構成の乾燥装置70において、
乾燥室71の内部に、ワークWが収納された洗浄カゴ2
1を収容した後に、電磁バルブ742,811,814
を開放する一方、電磁バルブ812,813を閉鎖する
状態とし、この状態で、ブロアー76を作動すると、空
気が空気吸い込み部741から乾燥室71の内部に吸い
込まれ、ワークWに吹きつけられる。一方、乾燥室71
の底面側では、空気が強制的に排出されるため、いずれ
のワークWに対しても、空気流を常に高速で供給するこ
とができるので、ワークWに対する送風液切り工程を行
え、ワークWに付着している洗浄液量を少なくできる。
【0057】このようにして、液切り工程を行った後
に、電磁バルブ742,811,814を閉鎖する一
方、電磁バルブ812,813を開放して、真空ポンプ
82によって乾燥室71の空気を第3の空気流経路80
を介して排気すると、乾燥室71の内部は真空状態にな
って、ワークWに対する真空乾燥工程が行われる。
【0058】以上のとおり、本例の乾燥装置70におい
ては、乾燥室71の底部側から空気をブロアー76によ
って強制的に排出することによって、ワークWに大量の
空気流を吹きつけられるため、液切りが可能である。ま
たワークWに付着している洗浄液量を少なくした後に、
少量の洗浄液のみが付着しているワークWに対する短時
間乾燥に適している真空乾燥工程を行う。このため、短
時間で確実な乾燥が行え、しかも、送風液切り工程と真
空乾燥工程とを1つの乾燥室71の内部で行なえる。
【0059】〔実施例7〕図7は本発明の実施例7に係
る乾燥装置の構成を示す概略構成図である。なお、本例
の乾燥装置は、本発明に係る第4の手段を講じた乾燥方
法、すなわち、ワークを回転させて、その遠心力によっ
てワークを液切りする液切り工程と、この液切り工程で
液切りされたワークに対して真空乾燥を施す真空乾燥工
程とを同一乾燥室内で実施可能な乾燥装置に関する。
【0060】図において、本例の乾燥装置90の乾燥室
91は、円筒状の乾燥室本体92と、その上面側開口を
覆う蓋93とから構成され、これらの乾燥室本体92と
蓋93との間にはリング状のゴムパッキン933が配置
されて、それらの間の気密が保持されている。また、蓋
93は、ヒンジ機構932によって乾燥室本体92の上
面側に取りつけられて、その上面側開口を開閉自在にな
っている。これに対して、乾燥室91の下方位置には、
乾燥室本体92の底面922において空気吸出し部99
1として開口する空気流経路99を有し、この空気流経
路99の下流端側には、真空ポンプ97(第1の空気排
出源)が接続されている。ここで、真空ポンプ97には
排気通路98が接続されており、この排気通路98の下
流端側には、排気通路98を通過してくる空気流からミ
スト(液体)を除去して洗浄液回収タンク94に回収す
るためのバルブ付きドレイン951および排気ダクト9
52を備えるミストコレクター95(気液分離手段)が
接続されている。さらに、乾燥室91の外部には、駆動
モータ960が配置されており、その回転軸961の先
端側は、乾燥室本体92の底面922から乾燥室91の
内部に延びている。
【0061】その先端側に連結された回転カゴ962の
内側には、ワークWが収納された洗浄カゴ21が保持さ
れており、これらの駆動モータ960および回転カゴ9
62によって、洗浄カゴ21を回転させて、その遠心力
によって、ワークWから洗浄液を振り切る遠心振り切り
装置96が構成されている。
【0062】このような構成の乾燥装置90において
は、乾燥室91の内部に、ワークWが収納された洗浄カ
ゴ21を回転カゴ962の内部に保持させた状態で、駆
動モータ960を作動させる。これによって、ワークW
から洗浄液を振り切る液切り工程が行われる。なお、液
切り工程は、安全面を考慮して、乾燥室本体92の上面
側開口を蓋93で覆った状態で、それらを固定して行わ
れる。
【0063】このようにして液切り工程を行った後に、
真空ポンプ97によって乾燥室91の空気を空気流経路
99を介して排気すると、乾燥室91の内部は真空状態
になって、ワークWに対する真空乾燥工程が行われる。
【0064】以上のとおり、本例の乾燥装置90におい
ては、遠心振り切り装置96によって、ワークWから強
制的に洗浄液を除去するため、ワークWに付着している
洗浄液量を少なくした後に、少量の洗浄液のみが付着し
ているワークWに対する短時間乾燥に適している真空乾
燥工程を行うことができる。このため、短時間で確実な
乾燥が行え、しかも、遠心振り切り工程と真空乾燥工程
とを1つの乾燥室91の内部で行なえる。
【0065】なお、実施例1ないし実施例7に係る乾燥
装置を構成する各部分の大きさ、形状、配置数などにつ
いては、乾燥装置の用途などに応じて設定されるべき性
質のものであって、限定がない。また、実施例1ないし
実施例7に係る洗浄装置において、すべてのミストコレ
クターはブロアーや真空ポンプのなどの空気排出源の下
流側に配置されているが、それらの上流側に配置しても
よい。この場合には、空気流がブロアー内や真空ポンプ
内に入る前に、洗浄液のミスト(液体)が除去されるの
で、ブロアーや真空ポンプが汚れず、故障が少なくな
る。また、洗浄液がアルーコール系や石油系溶剤などの
ように可燃性の場合には、引火の危険性がなく、安全性
が高まるという効果を奏する。また、ミストコレクター
(気液分離手段)としては、フィルタータイプのものだ
けではなく、遠心セパレーター,ベーンセパレーターま
たはサイクロンセパレーターなどのミストセパレーター
を使用してもかまわない。
【0066】
【発明の効果】以上のとおり、本発明に係る第1の手段
を講じた乾燥装置においては、空気流供給源から供給さ
れた空気流を、乾燥室内において洗浄後のワークに吹き
つける一方、ワークに対する反対側では、乾燥室内の空
気を、真空ポンプやブロアーなどの空気排出源によって
強制的に排出するため、いずれのワーク周囲において
も、空気流が常に高く維持されるので、液切りおよび乾
燥が効率よく、かつ、均一に行われる。それ故、多量の
ワークを一括して乾燥しても、乾燥ムラが発生しにく
い。とくに、ワークに供給する空気流を加熱した場合に
は、ワークおよび付着液の温度が上がるため、付着液の
蒸発速度が上がり、短時間で乾燥できる。
【0067】ここで、空気流供給源および空気排出源の
双方により形成される風量の大きな空気流を利用して送
風液切りを行い、その後に、真空乾燥を行った場合に
は、さらに効率的で、短時間での乾燥が行なえる。
【0068】また、本発明に係る乾燥装置においては、
液切りと真空乾燥とを同室で行うので、乾燥装置がコン
パクトであり、省スペース化を図ることができる。
【0069】さらに、ワークの付着液を熱乾燥や真空乾
燥のみによって乾燥させる場合に、付着液が汚れている
と、その汚れが濃縮されて、乾燥じみとして残るが、本
発明においては、充分な液切りを行った後に真空乾燥を
行うので、乾燥後のワークに乾燥じみが残らない。
【0070】また、第2の手段を講じた本発明に係る乾
燥方法および乾燥装置においては、空気吹き出し部から
空気を吹き出しながら、その下流側から空気を排出して
空気流を形成し、この空気流によってワークを液切りし
た後に真空乾燥を行い、第3の手段を講じた本発明に係
る乾燥方法および乾燥装置においては、乾燥室内の空気
吸出し部から空気を吸引して空気流を形成し、この空気
流によってワークを液切りした後に真空乾燥を行い、第
4の手段を講じた本発明に係る乾燥方法および乾燥装置
においては、遠心振り切りによってワークを液切りした
後に真空乾燥を行うため、第2ないし第4の手段を講じ
たいずれの乾燥方法および乾燥装置においても、短時間
に効率的に乾燥を行うことができ、しかも、乾燥後のワ
ークに乾燥じみが残らない。
【0071】また、第1ないし第3の手段を講じたいず
れの乾燥方法および乾燥装置においても、乾燥室の上流
側と下流側とを連通させ、空気流を閉ループ内で循環さ
せるようにすると、空気を加熱して使用する場合には、
循環使用によって加熱エネルギーが節約されるととも
に、アルコール系や石油系溶剤のような可燃性の洗浄液
を使用する場合にも、そのミストや蒸気が外に出ないの
で、安全であり、作業環境の汚染を防止できる。
【0072】また、第1ないし第4の手段を講じたいず
れの乾燥方法および乾燥装置においても、乾燥室の下流
側に空気流から洗浄液のミストや蒸気を除去する気液分
離手段を設けることによって、アルコール系や石油系溶
剤のような可燃性の洗浄液を使用する場合にも、そのミ
ストや蒸気が外に出ないので、安全であり、作業環境の
汚染を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1に係る乾燥装置の構成を示す
概略構成図である。
【図2】本発明の実施例2に係る乾燥装置の構成を示す
概略構成図である。
【図3】本発明の実施例3に係る乾燥装置の構成を示す
概略構成図である。
【図4】本発明の実施例4に係る乾燥装置の構成を示す
概略構成図である。
【図5】本発明の実施例5に係る乾燥装置の構成を示す
概略構成図である。
【図6】本発明の実施例6に係る乾燥装置の構成を示す
概略構成図である。
【図7】本発明の実施例7に係る乾燥装置の構成を示す
概略構成図である。
【図8】送風乾燥および真空乾燥における乾燥経過時間
と付着液量との関係を示すグラフ図である。
【図9】送風乾燥および真空乾燥における乾燥経過時間
と蒸発速度との関係を示すグラフ図である。
【図10】従来の乾燥方法を示す説明図である。
【図11】別の従来の乾燥方法を示す説明図である。
【符号の説明】
10,30,40,50,60,70,90・・・乾燥
装置 11,61,71,91・・・乾燥室 12,62,72,92・・・乾燥室本体 13,63,73,93・・・蓋 14,64,74・・・第1の空気流経路 15,642,742・・・電磁バルブ(空気流通路開
閉手段) 16・・・加熱器 18・・・コンプレッサー(空気流供給源) 18a・・・吸気口 19,69,79,99・・・第2の空気流経路 20,32,53,76・・・ブロアー(第1の空気排
出源) 21・・・洗浄カゴ 22,65,75,98・・・排気通路 24,68,78,95・・・ミストコレクター(気液
分離手段) 41,80・・・第3の空気流経路 42,81・・・空気流経路切換機構(空気流経路切換
手段) 43,66・・・真空ポンプ(第1の空気排出源) 54,82・・・真空ポンプ(第2の空気排出源) 96・・・遠心振り切り装置 99・・・真空ポンプ(空気排出源) 111,611,711・・・傾斜部(ワーク保持部) 133,633,733,933・・・ゴムパッキン 132,632,732,932・・・ヒンジ機構 141・・・ノズル(空気吹き出し部) 191,691,791,991・・・空気吸出し部 421,422,423,424,811,812,8
13,814・・・電磁バルブ 641,741・・・空気吸い込み部 960・・・駆動モータ 961・・・回転軸 962・・・回転カゴ W・・・ワーク

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 乾燥室内において、空気吹き出し部から
    空気を吹き出しながら、この空気流の下流側の空気吸出
    し部から空気を強制排出して空気流を形成するととも
    に、この空気流の経路の途中位置にワークを保持してワ
    ークに付着している液を除去する液切り工程を有するこ
    とを特徴とする乾燥方法。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記液切り工程と同
    一乾燥室内で、前記液切り工程で液切りされたワークに
    対して真空乾燥を施す真空乾燥工程を行うことを特徴と
    する乾燥方法。
  3. 【請求項3】 乾燥室内において、空気吹き出し部から
    空気を吹き出しながら、その下流側から空気を排出して
    空気流を形成するとともに、この空気流の経路の途中位
    置にワークを保持してワークに付着している液を液切り
    する液切り工程と、この液切り工程で液切りしたワーク
    に対して真空乾燥を施す真空乾燥工程と、を同一乾燥室
    内で行うことを特徴とする乾燥方法。
  4. 【請求項4】 空気吸い込み部を備える乾燥室内の空気
    吸出し部から空気を吸引して、前記空気吸い込み部から
    前記空気吸出し部に向かう空気流を形成するとともに、
    この空気流の経路の途中位置にワークを保持してワーク
    に付着している液を液切りする液切り工程と、この液切
    り工程で液切りされたワークに対して真空乾燥を施す真
    空乾燥工程と、を同一乾燥室内で行うことを特徴とする
    乾燥方法。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし請求項4のいずれかの項
    に規定する乾燥方法を、前記乾燥室に対する空気流の上
    流側と下流側とを連通させて空気流を循環しながら行う
    ことを特徴とする乾燥方法。
  6. 【請求項6】 ワークを回転させて、その遠心力によっ
    てワークを液切りする液切り工程と、この液切り工程で
    液切りされたワークに対して真空乾燥を施す真空乾燥工
    程と、同一乾燥室内で行うことを特徴とする乾燥方法。
  7. 【請求項7】 請求項1ないし請求項6のいずれかの項
    に規定する乾燥方法を、前記乾燥室の下流側に空気流か
    ら洗浄液のミストや蒸気を除去する気液分離手段を設け
    た状態で行うことを特徴とする乾燥方法。
  8. 【請求項8】 請求項1に規定する乾燥方法の実施に使
    用可能な乾燥装置であって、前記乾燥室内の一方側内壁
    面側で空気吹き出し部として開口する第1の空気流経路
    に接続された空気流供給源と、前記乾燥室内の前記一方
    側内壁面側に対向する他方側内壁面側で空気吸出し部と
    して開口する第2の空気流経路に接続された第1の空気
    排出源と、前記乾燥室内において前記空気吹き出し部と
    前記空気吸出し部との間にワークを保持可能なワーク保
    持手段と、を有することを特徴とする乾燥装置。
  9. 【請求項9】 請求項2に規定する乾燥方法の実施に使
    用可能な乾燥装置であって、前記乾燥室内の一方側内壁
    面側で空気吹き出し部として開口する第1の空気流経路
    に接続された空気流供給源と、前記乾燥室内の前記一方
    側内壁面側に対向する他方側内壁面側で空気吸出し部と
    して開口する第2の空気流経路に接続された第1の空気
    排出源と、前記乾燥室内において前記空気吹き出し部と
    前記空気吸出し部との間にワークを保持可能なワーク保
    持手段と、を有し、前記第1の空気排出源は、前記第1
    の空気流経路が閉鎖状態とされた前記乾燥室内からそこ
    が真空状態になるまで空気を排出可能な吸引力の大きな
    吸引手段であることを特徴とする乾燥装置。
  10. 【請求項10】 請求項2に規定する乾燥方法の実施に
    使用可能な乾燥装置であって、前記乾燥室内の一方側内
    壁面側で空気吹き出し部として開口する第1の空気流経
    路に接続された空気流供給源と、前記乾燥室内の前記一
    方側内壁面側に対向する他方側内壁面側で空気吸出し部
    として開口する第2の空気流経路に接続された第1の空
    気排出源と、前記乾燥室内において前記空気吹き出し部
    と前記空気吸出し部との間にワークを保持可能なワーク
    保持手段と、前記空気吸出し部側と前記第1の空気排出
    源からの排気通路側とに連通可能に接続されて前記第2
    の空気流経路および前記第1の空気排出源に対するバイ
    パスとされる第3の空気流経路と、この第3の空気流経
    路上に介挿された第2の空気排出源と、前記空気吸出し
    部側が前記第2の空気流経路に連通する状態と前記空気
    吸出し部側が前記第3の空気流経路に連通する状態とに
    切換する空気流経路切換手段と、前記第1の空気流経路
    を閉鎖状態と開放状態とに切換する空気流経路開閉手段
    と、を有し、前記第1の空気排出源および前記第2の空
    気排出源のうちの一方側の空気排出源は、前記第1の空
    気流経路が開放状態とされて前記空気吹き出し部から前
    記乾燥室内に供給された空気をそこから排気通路側に送
    出して前記乾燥室内に空気流を形成する送風量の大きな
    送風手段であるのに対して、他方側の空気排出源は、前
    記第1の空気流経路が閉鎖状態とされた前記乾燥室内か
    らそこが真空状態になるまで空気を排出可能な吸引力の
    大きな吸引手段であることを特徴とする乾燥装置。
  11. 【請求項11】 請求項3に規定する乾燥方法の実施に
    使用可能な乾燥装置であって、前記乾燥室内の一方側内
    壁面側で空気吹き出し部として開口する第1の空気流経
    路に接続された空気流供給源と、前記乾燥室内の前記一
    方側内壁面側に対向する他方側内壁面側で空気吸出し部
    として開口する第2の空気流経路に接続された第1の空
    気排出源と、前記乾燥室内において前記空気吹き出し部
    と前記空気吸出し部との間にワークを保持可能なワーク
    保持手段と、前記空気吸出し部側と前記第1の空気排出
    源からの排気通路側とに連通可能に接続されて前記第2
    の空気流経路および前記第1の空気排出源に対するバイ
    パスとされる第3の空気流経路と、前記空気吸出し部側
    が前記第2の空気流経路に連通する状態と前記空気吸出
    し部側が前記第3の空気流経路に連通する状態とに切換
    する空気流経路切換手段と、前記第1の空気流経路を閉
    鎖状態と開放状態とに切換する空気流経路開閉手段と、
    を有し、前記第1の空気排出源は、前記第1の空気流経
    路が閉鎖状態とされた前記乾燥室内からそこが真空状態
    になるまで空気を排出可能な吸引力の大きな吸引手段で
    あることを特徴とする乾燥装置。
  12. 【請求項12】 請求項4に規定する乾燥方法の実施に
    使用可能な乾燥装置であって、前記乾燥室内の一方側内
    壁面側で開口する前記空気吸い込み部としての第1の空
    気流経路と、この第1の空気流経路を開放状態と閉鎖状
    態に切換する空気流経路開閉手段と、前記乾燥室内の前
    記一方側内壁面側に対向する他方側内壁面側で前記空気
    吸出し部として開口する第2の空気流経路に接続された
    空気流排出源と、前記乾燥室内において前記空気吹き出
    し部と前記空気流吸出し部との間にワークを保持可能な
    ワーク保持手段と、を有し、前記空気排出源は、前記第
    1の空気流経路が閉鎖状態とされた前記乾燥室内からそ
    こが真空状態になるまで空気を排出可能な吸引力の大き
    な吸引手段であることを特徴とする乾燥装置。
  13. 【請求項13】 請求項4に規定する乾燥方法の実施に
    使用可能な乾燥装置であって、前記乾燥室内の一方側内
    壁面側で開口する空気吸い込み部としての第1の空気流
    経路と、この第1の空気流経路を開放状態と閉鎖状態と
    に切換する空気流経路開閉手段と、前記乾燥室内の前記
    一方側内壁面側に対向する他方側内壁面側で空気吸出し
    部として開口する第2の空気流経路に接続された第1の
    空気流排出源と、前記空気吸出し部側と前記第1の空気
    流排出源からの排気通路側とに連通可能に接続されて前
    記第2の空気流経路および第1の空気流排出源に対する
    バイパスとされる第3の空気流経路と、この第3の空気
    流経路上に介挿された第2の空気排出源と、前記空気吸
    出し部側が前記第2の空気流経路に連通する状態と前記
    空気吸出し部側が前記第3の空気流経路に連通する状態
    とに切換する空気流経路切換手段と、前記乾燥室内にお
    いて前記空気吸い込み部と前記空気吸出し部との間にワ
    ークを保持可能なワーク保持手段と、を有し、前記第1
    の空気排出源および前記第2の空気排出源のうちの一方
    側の空気排出源は、前記第1の空気流経路が開放状態と
    された前記乾燥室内から空気を前記排気通路側に送出し
    て前記乾燥室内に前記空気吸い込み部から前記空気吸出
    し部に向かう空気流を形成する送風量の大きな送風手段
    であるのに対して、他方側の空気排出源は、前記第1の
    空気流経路が閉鎖状態とされた前記乾燥室内からそこが
    真空状態になるまで空気を排出可能な吸引力の大きな吸
    引手段であることを特徴とする乾燥装置。
  14. 【請求項14】 請求項8ないし請求項13のいずれか
    の項において、前記第1の空気流経路と前記第2の空気
    流経路との間に、空気供給源および空気排出源のうちの
    少なくとも一方が介挿されているとともに、それらを連
    通状態にする閉ループの空気流循環経路を有することを
    特徴とする乾燥装置。
  15. 【請求項15】 請求項6に規定する乾燥方法の実施に
    使用可能な乾燥装置であって、乾燥室内のワークに遠心
    力を与えてワークに付着している液体を振り切りすべき
    遠心振り切り手段と、前記乾燥室内の内壁面側で空気吸
    い込み部として開口する空気流経路に接続されて前記乾
    燥室内からそこが真空状態になるまで空気を排出可能な
    吸引力の大きな吸引手段と、を有することを特徴とする
    乾燥装置。
  16. 【請求項16】 請求項8ないし請求項15のいずれか
    の項において、前記乾燥室の下流側に、空気流から洗浄
    液のミストや蒸気を除去する気液分離手段を有すること
    を特徴とする乾燥装置。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10216786A1 (de) * 2002-04-15 2003-11-06 Ers Electronic Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden
JP2007085630A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Kida Seiko Kk 表面処理済みワークの乾燥装置
JP2012037128A (ja) * 2010-08-06 2012-02-23 Aichi Electric Co Ltd 小型乾燥機
KR102020960B1 (ko) * 2018-09-21 2019-09-11 홍승석 표면처리 부품 기능성 건조로
JP2020021447A (ja) * 2018-07-20 2020-02-06 ファナック株式会社 ワークの後処理方法、加工システムおよび管理システム
JP2020020534A (ja) * 2018-08-02 2020-02-06 高島産業株式会社 吸引乾燥装置
US11352221B2 (en) 2018-07-20 2022-06-07 Fanuc Corporation Post-processing method for workpiece, machining system, and management system
CN117381522A (zh) * 2023-12-12 2024-01-12 广东德玛士智能装备有限公司 一种切屑收集处理装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10216786A1 (de) * 2002-04-15 2003-11-06 Ers Electronic Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden
DE10216786B4 (de) * 2002-04-15 2004-07-15 Ers Electronic Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden
DE10216786C5 (de) * 2002-04-15 2009-10-15 Ers Electronic Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden
US7900373B2 (en) 2002-04-15 2011-03-08 Ers Electronic Gmbh Method for conditioning semiconductor wafers and/or hybrids
JP2007085630A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Kida Seiko Kk 表面処理済みワークの乾燥装置
JP2012037128A (ja) * 2010-08-06 2012-02-23 Aichi Electric Co Ltd 小型乾燥機
JP2020021447A (ja) * 2018-07-20 2020-02-06 ファナック株式会社 ワークの後処理方法、加工システムおよび管理システム
US11352221B2 (en) 2018-07-20 2022-06-07 Fanuc Corporation Post-processing method for workpiece, machining system, and management system
JP2020020534A (ja) * 2018-08-02 2020-02-06 高島産業株式会社 吸引乾燥装置
KR102020960B1 (ko) * 2018-09-21 2019-09-11 홍승석 표면처리 부품 기능성 건조로
CN117381522A (zh) * 2023-12-12 2024-01-12 广东德玛士智能装备有限公司 一种切屑收集处理装置
CN117381522B (zh) * 2023-12-12 2024-03-22 广东德玛士智能装备有限公司 一种切屑收集处理装置

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