JPH0645329Y2

JPH0645329Y2 - 研磨パッド用ドレッサー

Info

Publication number: JPH0645329Y2
Application number: JP1989151347U
Authority: JP
Inventors: 健一郎塩澤
Original assignee: 千代田株式会社
Priority date: 1989-12-29
Filing date: 1989-12-29
Publication date: 1994-11-24
Anticipated expiration: 2004-11-24
Also published as: JPH0393069U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この考案は研磨パッド用ドレッサーに関するものであ
る。

〔従来の技術〕

研磨パッドによって鏡面研磨を行う場合、時間の経過と
共にパット表面に研磨砥粒が沈降し目づまり状態を起こ
すので、ドレッシングする必要がある。

従って、従来は、分散突起のある樹脂板を回転させた
り、ナイロンブラシを使用するなどしてドレッシングを
行っている。

また、最近では、シーズニング用のダイヤペレット乃至
ダイヤ電着リングを使用してシーズニングによりドレッ
シングを行うことが試みられている。

〔考案が解決しようとする課題〕

上記のように分散突起のある樹脂板を回転させたり、ナ
イロンブラシを使用するなどしてドレッシングする方法
では、ドレッシング効果が十分に得られない上にパッド
表面を荒したりするという問題点があった。また、上記
のようにシーズニングによりドレッシングを行う方法で
は、パッドの表面を強制的に削り取るのでパッドの研磨
と共にパッドの物性を急激に変化せしめる恐れがあると
いう問題点があった。

この考案はかかる問題点を解消するためになされたもの
で、パッド面を荒すことなく効率的に目づまりを除去す
ることのできる研磨パッド用ドレッサーを得ることを目
的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この考案に係る研磨パッド用ドレッサーは、直径線上を
境にして互いに向き合う方向に傾斜する多数の断面山形
突条体をドレッシング面全面に設けたものである。

〔作用〕

この考案においては、回転時に、互いに向き合う方向に
傾斜する多数の断面山形突条体の向き合う一方でパッド
表面に沈降するスラリーをかき出し、他方でかき出した
スラリーを回転放物線上に流去させる。

〔実施例〕

この考案の一実施例を第１図〜第４図について説明す
る。第１図は平面図、第２図は正面図、第３図は側面
図、第４図は第１図の線IV−IVの断面図である。図にお
いて、（１）は高密度ポリオレフイン樹脂からなる円盤
で、中央の孔（２）により回転軸（図示せず）に装着さ
れる。（３）は円盤（１）の両面（1a）に形成したドレ
ッシング面、（4a），（4b）はドレッシング面（1a）の
全面に並設した多数の突条体で、直径線（4c）上を境に
（4a）と（4b）とが互いに向き合う方向に傾斜するよう
に断面山形に形成してある。

このようにドレッシング面（３）に互いに向き合う方向
に傾斜する突条体（4a），（4b）を設けておくと、回転
時に、突条体（4a），（4b）の一方（例えば4a）でパッ
ド表面に沈降するスラリーをかき出し、他方（4b）でか
き出したスラリーを回転放物線上に流去させるので、パ
ッド表面を荒すことなく効率的に目づまりを除去でき
る。また、材料として使用している高密度ポリオレフイ
ン樹脂の抜群のすべり特性と潤滑性によりパッド表面を
いためず、スムーズな回転が得られ、高度の耐摩耗性、
耐衝撃性、耐薬品性によりドレッサーの耐久力を大幅に
アップできる。さらに、この使用素材には次の如き優れ
た物性がある。

イ高度のすべり特性：低い摩擦係数によりフッ素並の優
れたすべり性を示す。

ロズバ抜けた耐摩耗性：プラスチックの中でも最も優
れ、ナイロンやフッ素樹脂と比較して格段の耐摩耗性を
有し、大幅に耐久力をアップする。

ハ抜群の耐衝撃性：ポリカーボネートやカイダッタ並の
耐衝撃強さをもち、使用中の安全性を保証する。

ニ非付着性と自己潤滑性：この特性により砥粒の付着を
防ぎ保守を容易にする。

ホ優れた耐薬品性と耐水性：耐アルカリ有機溶剤にも強
く、フッ酸、クロム酸にも使用でき、またプラスチック
中で最も耐水性に優れ吸水によるトラブルは殆どない。

ヘ軽量：比重が0.94〜1.00と軽くハンドリングを容易に
する。

上記実施例ではドレッシング面（３）の突条体（4a），
（4b）の向きを両面（1a），（1a）が同一のものを示し
たが、90度ずらせてもよい。また、ドレッシング面
（３）が片面の場合には突条体（4a），（4b）を片面の
ドレッシング面（３）に設ければよい。

なお、円盤（１）の材料としては、高密度ポリオレフイ
ン樹脂の他に、高分子ポリエチレン、ABS樹脂、４フッ
化エチレン、AS樹脂、ポリアミド（ナイロン）、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリイミド、（ハイデン）ポリエチレン
樹脂、ポリカーボネイト、ポリウレタン樹脂、ポリアセ
タールがある。

〔考案の効果〕

以上のように、この考案によればパッド面を荒すことな
く効率的に目づまりを除去できるという効果が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す平面図、第２図は正
面図、第３図は側面図、第４図は第１図の線IV−IVの断
面図である。図において、（１）は円盤、（３）はドレッシング面、
（4a），（4b）は突条体を示す。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ドレッシング面全面に、直径線上を境にし
て互いに向き合う方向に傾斜する多数の断面山形突条体
を設けたことを特徴とする研磨パッド用ドレッサー。