JPH0645359U - レーザ発振器用放電電極 - Google Patents
レーザ発振器用放電電極Info
- Publication number
- JPH0645359U JPH0645359U JP8654892U JP8654892U JPH0645359U JP H0645359 U JPH0645359 U JP H0645359U JP 8654892 U JP8654892 U JP 8654892U JP 8654892 U JP8654892 U JP 8654892U JP H0645359 U JPH0645359 U JP H0645359U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- laser oscillator
- electrode
- inner dielectric
- discharge electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 33
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 20
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 20
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract description 20
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 8
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 3
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ発振器用放電電極において、内側誘電
体と金属電極の間の隙間における放電発生を防止して、
絶縁物や内側誘電体の劣化を無くし、信頼性を高める。 【構成】 金属電極５Ａ，５Ｂの放電面に接触している
内側誘電体４Ａ，４Ｂの接触面に銀ペースト８Ａ，８Ｂ
を焼成する。
体と金属電極の間の隙間における放電発生を防止して、
絶縁物や内側誘電体の劣化を無くし、信頼性を高める。 【構成】 金属電極５Ａ，５Ｂの放電面に接触している
内側誘電体４Ａ，４Ｂの接触面に銀ペースト８Ａ，８Ｂ
を焼成する。
Description
【０００１】
本考案は、レーザ発振器の放電電極、特に誘電体を介して高周波放電を行いレ ーザガスを励起するためのレーザ発振器用放電電極に関する。
【０００２】
図３は高周波放電によってレーザガスを励起してレーザ発振を行う三軸直交型 ＣＯ2 レーザ発振器の一例を示す断面図である。 真空容器１内は数十Ｔorr 程度のレーザガスが封入されている。 放電空間ａには器内に設けられたブロア７により矢印の方向にレーザガスが送 られる。放電空間ａにて安定したグロー放電が行われると、放電空間ａで励起さ れたＣＯ2 分子からの誘導放出によってレーザ光が紙面を貫く方向に発生する。 この放電によって発生するレーザガスの熱がレーザガスの流路内に設けられてい る熱交換器１２によって除去される。
【０００３】 図４は従来のレーザ発振器用放電電極の一例を示す断面図である。真空容器１ 内の放電空間ａを挟む両壁面に窓１ａが設けられており、この窓１ａに図示しな いシールを介して蓋２Ａ，２Ｂが気密的に固着されている。蓋２Ａ，２Ｂの内面 中央に石英材で成る外側誘電体３Ａ，３Ｂが放電空間ａを挟んで対称形に固着又 は接着されており、外側誘電体３Ａ，３Ｂの中央部には放電空間ａ側に開口する 凹部３ａが設けられている。凹部３ａの底面には外側誘電体３Ａ，３Ｂ及び蓋２ Ａ，２Ｂを貫通して外部に連通する貫通穴３ｂが穿設されている。凹部３ａの内 部には金属電極５Ａ，５Ｂがその放電面が石英材で成る内側誘電体４Ａ，４Ｂと 接着されることなく密着して覆われるように設けられている。凹部３ａは金属電 極５Ａ，５Ｂ及び内側誘電体４Ａ，４Ｂより大きく形成されているため、金属電 極５Ａ，５Ｂ及び内側誘電体４Ａ，４Ｂと外側誘電体３Ａ，３Ｂとの間に隙間が 生じる。この隙間には、内側誘電体４Ａ，４Ｂの表面が放電空間ａに露出するよ うに絶縁物であるシリコーンゴム１１が注入，充填されている。
【０００４】 金属電極５Ａ，５Ｂの背面に冷却水が通る銅パイプ製の冷却水管６Ａ，６Ｂが ろう付接着され、端部が穴３ｂ内に隙間を有して遊に挿通されて外部に引き出さ れている。冷却水管６Ａ，６Ｂを通じて金属電極５Ａ，５Ｂに図示していない高 周波電源より高周波電圧が印加され、また冷却水管６Ａ，６Ｂ内に冷却水が圧送 され、放電により発熱した金属電極５Ａ，５Ｂが冷却される。反射鏡９が放電空 間ａを挟んで紙面の奥と手前に対向設置され、光共振器を構成している。このよ うな構成において、図示しない高周波電源から金属電極５Ａ，５Ｂに高周波電圧 を印加して、放電空間ａでグロー放電を行なってレーザガスを励起し、紙面を貫 く方向にレーザ光を取り出している。
【０００５】
上述した従来のレーザ発振器用放電電極においては、微視的に見れば図５に示 すように金属電極５Ａ（Ｂ）と内側誘電体４Ａ（Ｂ）の間に隙間１０が多数存在 している。このような放電電極を用いて放電空間ａで放電を行うと、金属電極５ Ａ（Ｂ）と内側誘電体４Ａ（Ｂ）の隙間１０でも放電が起こり、金属電極５Ａ（ Ｂ）のみならず内側誘電体４Ａ（Ｂ）にも熱が発生する。このようにして発生す る熱は高いため冷却水では冷却しきれず、また局部的であるので、弾性を有する 絶縁物１１や内側誘電体４Ａ（Ｂ）の劣化を促進し、レーザ発振器用放電電極の 信頼性を低下させるという問題点があった。 本考案は上述した事情からなされたものであり、本考案の目的は、金属電極と 内側誘電体の間の隙間における放電発生を防止して、絶縁物や内側誘電体の劣化 を無くし、信頼性の高いレーザ発振器用放電電極を提供することにある。
【０００６】
方向案は、対向する一対の金属電極間で高周波放電を行ってレーザ出力を得る レーザ発振器用の放電電極に関するものであり、本考案の上記目的は、前記金属 電極の放電面に接触している内側誘電体の接触面に導電性材料を焼成することに よって達成される。
【０００７】
本考案にあっては、導電性材料である例えば銀ペーストが内側誘電体の金属電 極と接触する側の面に焼成されているために、焼成された銀ペーストと内側誘電 体の間には隙間がなく、放電空間でグロー放電を行っても焼成された銀ペースト と内側誘電体の間で放電が起こることはない。また、焼成された銀ペーストと金 属電極の間には微視的な隙間が多数存在するが、焼成された銀ペーストが導電性 を有するために放電空間でグロー放電を行っても、焼成された銀ペーストと金属 電極は同電位になり、焼成された銀ペーストと金属電極の間に存在する隙間で放 電が起こることもない。従って、金属電極と内側誘電体の間に熱が発生すること を防止することができ、内側誘電体や絶縁物の劣化を無くすことができる。
【０００８】
図１は本考案のレーザ発振器用放電電極の一例を図４に対応させて示す断面図 であり、同一構成箇所は同符号を付して説明を省略する。 凹部３ａ内には金属電極５Ａ，５Ｂとの接触面に導電性材料である例えば銀ペ ースト８Ａ，８Ｂを焼成した内側誘電体４Ａ，４Ｂが設置されている。 実験によれば内側誘電体４Ａ，４Ｂと金属電極５Ａ，５Ｂとを１ｋｇ／ｃｍ2 以下の圧力で押圧した状態で、シリコーンゴム１１を注入すれば、シリコーンゴ ム１１が金属電極５Ａ，５Ｂと焼成された銀ペースト８Ａ，８Ｂの間に侵入する ことなく、穴３ｂ及び凹部３ａの隙間に充填することが可能である。
【０００９】 続いて本考案の実施例の作用について説明する。 放電空間ａを挟んで対向する金属電極５Ａ，５Ｂを介して焼成された銀ペース ト８Ａ，８Ｂに高周波電圧が印加されて、内側誘電体４Ａ，４Ｂのバラスト効果 により放電空間ａに安定したグロー放電が維持される。この放電により発熱した 金属電極５Ａ，５Ｂ及び焼成された銀ペースト８Ａ，８Ｂは冷却水管６Ａ，６Ｂ 内を流れる冷却水により冷却される。
【００１０】 ここで、図２に示すように金属電極５Ａ（Ｂ）と焼成された銀ペースト８Ａ（ Ｂ）の間には両者の表面のうねりや表面粗さによって微視的な隙間１０が多数存 在するが、金属電極５Ａ（Ｂ）と焼成された銀ペースト８Ａ（Ｂ）は多数の点で 接触しており、焼成された銀ペースト８Ａ（Ｂ）は導電性を有するために、放電 空間ａでグロー放電を行っても、焼成された銀ペースト８Ａ（Ｂ）と金属電極５ Ａ（Ｂ）は同電位となり、焼成された銀ペースト８Ａ（Ｂ）と金属電極５Ａ（Ｂ ）の隙間１０に放電が生じることはない。また焼成された銀ペースト８Ａ（Ｂ） は内側誘電体４Ａ（Ｂ）に隙間なく焼成されているので、焼成された銀ペースト ８Ａ（Ｂ）と内側誘電体４Ａ（Ｂ）の間に放電が生じることもない。
【００１１】
以上のように本考案のレーザ発振器用放電電極によれば内側誘電体や絶縁物の 劣化を無くしてレーザ発振器用放電電極の信頼性を向上させることができるので メンテナンスに掛かる労力や費用を大幅に削減することができる。
【図１】本考案のレーザ発振器用放電電極の一例を示す
断面図である。
断面図である。
【図２】本考案のレーザ発振器用放電電極の金属電極と
内側誘電体付近の拡大図である。
内側誘電体付近の拡大図である。
【図３】一般的な三軸直交型ＣＯ2 レーザ発振器の一例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図４】従来のレーザ発振器用放電電極の一例を示す断
面図である。
面図である。
【図５】従来のレーザ発振器用放電電極の金属電極と内
側誘電体付近の拡大図である。
側誘電体付近の拡大図である。
８Ａ，８Ｂ 銀ペースト
Claims (1)
- 【請求項１】 対向する一対の金属電極間で高周波放電
を行ってレーザ出力を得るレーザ発振器用の放電電極に
おいて、前記金属電極の放電面に接触している内側誘電
体の接触面に導電性材料を焼成したことを特徴とするレ
ーザ発振器用放電電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8654892U JPH0645359U (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | レーザ発振器用放電電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8654892U JPH0645359U (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | レーザ発振器用放電電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0645359U true JPH0645359U (ja) | 1994-06-14 |
Family
ID=13890063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8654892U Pending JPH0645359U (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | レーザ発振器用放電電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0645359U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002185062A (ja) * | 2000-12-14 | 2002-06-28 | Amada Eng Center Co Ltd | 交流放電ガスレーザ発振器 |
| DE112011103110B4 (de) * | 2010-09-17 | 2016-12-01 | Mitsubishi Electric Corporation | Gaslaservorrichtung |
| JP2022069129A (ja) * | 2020-10-23 | 2022-05-11 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ装置 |
-
1992
- 1992-11-24 JP JP8654892U patent/JPH0645359U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002185062A (ja) * | 2000-12-14 | 2002-06-28 | Amada Eng Center Co Ltd | 交流放電ガスレーザ発振器 |
| DE112011103110B4 (de) * | 2010-09-17 | 2016-12-01 | Mitsubishi Electric Corporation | Gaslaservorrichtung |
| JP2022069129A (ja) * | 2020-10-23 | 2022-05-11 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4805182A (en) | RF-excited, all-metal gas laser | |
| US3753144A (en) | Gas laser structure | |
| US4703489A (en) | Waveguide laser | |
| JPH0645359U (ja) | レーザ発振器用放電電極 | |
| US3469207A (en) | Metal-ceramic gas laser discharge tube | |
| US3599107A (en) | Thermally compensated laser discharge structure | |
| JPS6026310B2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS58216481A (ja) | 高周波放電封じ切り型ガスレ−ザ | |
| CA1303196C (en) | Rf excited all metal gas laser | |
| JPH04211184A (ja) | 放電励起エキシマレーザ装置 | |
| JP2702202B2 (ja) | Ｒｆ励起式全金属型気体レーザ | |
| JPH02129977A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPH0341786A (ja) | 金属蒸気レーザ発振装置 | |
| JP2827680B2 (ja) | 金属蒸気レーザ装置 | |
| JP2880731B2 (ja) | レーザ発振装置 | |
| JPH02278777A (ja) | 内部ミラー型Ｈｅ―Ｎｅレーザ管 | |
| JPS62174985A (ja) | 高周波励起気体レ−ザ− | |
| JPH0593064U (ja) | レーザ装置の誘電体板 | |
| JPH0144026B2 (ja) | ||
| JP2633604B2 (ja) | 金属蒸気レーザ装置 | |
| JPH05327087A (ja) | レーザ装置の放電安定化構造 | |
| JP2566586B2 (ja) | 気体レーザ装置 | |
| JPH05299725A (ja) | レーザ発振器用放電電極 | |
| JPH079404Y2 (ja) | コロナ予備電離放電励起エキシマレーザ装置 | |
| JPH0225268B2 (ja) |