JPH02129977A - ガスレーザ発振器 - Google Patents
ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH02129977A JPH02129977A JP28248488A JP28248488A JPH02129977A JP H02129977 A JPH02129977 A JP H02129977A JP 28248488 A JP28248488 A JP 28248488A JP 28248488 A JP28248488 A JP 28248488A JP H02129977 A JPH02129977 A JP H02129977A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge electrode
- insulation plate
- discharge
- laser oscillator
- laser gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、とくに高３周波電圧を放電電極間に印加して
発振させるガスレーザ発振器に関する。
発振させるガスレーザ発振器に関する。
（従来の技術）
高周波電源を使った従来のガスレーザ発振器の一例を示
す第４図において、断面長方形の鋼板製の外部風洞１内
には、内部が外気に通じた断面Ｕ形の鋼板製の内部風洞
２が設けられ、外部風洞１の上部中央は石英ガラスなど
の絶縁板７Ａが気密に取付られ、内部風洞２の上部にも
同じ絶縁板７Ｂが気密に取付られて、この二つの風洞間
には約６０１ｏｒｒの圧力で封入されたレーザガスが下
部左側の送風機４で矢印３Ａ、 ３Ｂのように時計方向
に循環され下部右側の冷却器５で冷やされている。
す第４図において、断面長方形の鋼板製の外部風洞１内
には、内部が外気に通じた断面Ｕ形の鋼板製の内部風洞
２が設けられ、外部風洞１の上部中央は石英ガラスなど
の絶縁板７Ａが気密に取付られ、内部風洞２の上部にも
同じ絶縁板７Ｂが気密に取付られて、この二つの風洞間
には約６０１ｏｒｒの圧力で封入されたレーザガスが下
部左側の送風機４で矢印３Ａ、 ３Ｂのように時計方向
に循環され下部右側の冷却器５で冷やされている。
又、絶縁板７Ａの中央上面には放電電極板６Ａが、絶縁
板７Ｂの中央下面には放電電極板６Ｂが取付られ、放電
電極６Ａは高周波電源８の片側に、放電電極６Ｂは接地
された高周波電源の他側に接続されて絶縁板７Ａ、 ７
Ｂの内面間で放電させて紙面直交方向にレーザ光１０を
発生させている。
板７Ｂの中央下面には放電電極板６Ｂが取付られ、放電
電極６Ａは高周波電源８の片側に、放電電極６Ｂは接地
された高周波電源の他側に接続されて絶縁板７Ａ、 ７
Ｂの内面間で放電させて紙面直交方向にレーザ光１０を
発生させている。
（発明が解決しようとする課題）
このように構成された高周波ガスレーザ発振器では、絶
縁板６＾、６Ｂは内外の圧力差に耐える厚い材料が使わ
れており、それだけ放電電極６Ａ、 ６８間に印加され
る電圧も高い電圧が要る。すると、放電電極６Ｂと内部
風洞２との所要沿面距離が増えて絶縁板７Ｂの幅も増え
るので、内部風洞２が大形となるだけでなく、耐圧上絶
縁板７Ａ、 ７Ｂの材料もより誘電率の高いものが要る
。
縁板６＾、６Ｂは内外の圧力差に耐える厚い材料が使わ
れており、それだけ放電電極６Ａ、 ６８間に印加され
る電圧も高い電圧が要る。すると、放電電極６Ｂと内部
風洞２との所要沿面距離が増えて絶縁板７Ｂの幅も増え
るので、内部風洞２が大形となるだけでなく、耐圧上絶
縁板７Ａ、 ７Ｂの材料もより誘電率の高いものが要る
。
更に第５図に示すように絶縁板７Ｂと放電電極６Ｂ間に
できた微小な隙間Ｇで放電しレーザ発振器の効率を落と
す。
できた微小な隙間Ｇで放電しレーザ発振器の効率を落と
す。
そこで本発明の目的は、小形で効率のよい高周波放電の
ガスレーザ発振器を得ることである。
ガスレーザ発振器を得ることである。
（課題を解決するための手段と作用）
本発明は、対向面に低圧のレーザガスが循環され高周波
電源に接続された電極板が外面に取付られ両側が風洞壁
に取付けられた平行な一対の絶縁板間で放電電極させて
レーザガスを励起させる高周波ガスレーザ発振器におい
て、少くとも一側の放電電極を風洞内に設け、少くとも
一側の絶縁板の放電電極取付面に導電性の金属層を設け
ることで、外形が小形で発振器の効率をあげた高周波放
電のガスレーザ発振器である。
電源に接続された電極板が外面に取付られ両側が風洞壁
に取付けられた平行な一対の絶縁板間で放電電極させて
レーザガスを励起させる高周波ガスレーザ発振器におい
て、少くとも一側の放電電極を風洞内に設け、少くとも
一側の絶縁板の放電電極取付面に導電性の金属層を設け
ることで、外形が小形で発振器の効率をあげた高周波放
電のガスレーザ発振器である。
（実施例）
以下、本発明の高周波放電のガスレーザ発振器の一実施
例を図面を参照して説明する。但し、第４図と重複する
部分は省く。
例を図面を参照して説明する。但し、第４図と重複する
部分は省く。
第１図において、絶縁板７Ｂの左右端の下面には、送風
機４間に鋼板製の仕切壁１２Ａが、冷却器５間に仕切壁
１２Ｂが設けられてこの仕切壁１２Ａ、 １２Ｂ間は冷
却器５で冷やされ送風機４で矢印３Ａ、 ３Ｂで示す時
計方向に循環されるレーザガスの流路の一部となってい
る。
機４間に鋼板製の仕切壁１２Ａが、冷却器５間に仕切壁
１２Ｂが設けられてこの仕切壁１２Ａ、 １２Ｂ間は冷
却器５で冷やされ送風機４で矢印３Ａ、 ３Ｂで示す時
計方向に循環されるレーザガスの流路の一部となってい
る。
又、絶縁板７Ｂの放電電極６Ｂが接する面には、その部
分拡大図の第２図に示すように、アルミニウムの溶射層
１１が予め形成されて放電電極６Ｂとは微小な空隙１２
間にできた微小な突起部６Ｂ１で接しており、放電電極
６Ｂには冷却水を流す図示しない貫通穴が設けられてい
る。
分拡大図の第２図に示すように、アルミニウムの溶射層
１１が予め形成されて放電電極６Ｂとは微小な空隙１２
間にできた微小な突起部６Ｂ１で接しており、放電電極
６Ｂには冷却水を流す図示しない貫通穴が設けられてい
る。
このような構成のガスレーザ発振器では、絶縁板ＩＢの
上下の面はいづれも外部風洞１内のレーザガス圧の同一
圧力面となるので、板厚を薄くすることができる。する
と、高周波電源８で放電電極６Ａ、 ６Ｂ間に印加され
る電圧の周波数を落とす（例えば従来の数十ＭＨ２から
１００Ｍ ＨＺを数ＭＨ２に）ことができるだけでなく
、誘電率の高い材質でなくても仕切板１２Ａ、 １２Ｂ
との耐電圧を保てるので、絶縁板７Ｂの材料の選定が容
易となり、幅を狭くできるので外部風洞１を小形にする
ことができる。
上下の面はいづれも外部風洞１内のレーザガス圧の同一
圧力面となるので、板厚を薄くすることができる。する
と、高周波電源８で放電電極６Ａ、 ６Ｂ間に印加され
る電圧の周波数を落とす（例えば従来の数十ＭＨ２から
１００Ｍ ＨＺを数ＭＨ２に）ことができるだけでなく
、誘電率の高い材質でなくても仕切板１２Ａ、 １２Ｂ
との耐電圧を保てるので、絶縁板７Ｂの材料の選定が容
易となり、幅を狭くできるので外部風洞１を小形にする
ことができる。
同様に、放電電極６Ａ、６８間に印加される高周波電圧
の周波数を落とすことで、電源から電極までの配線のり
アクタンスが減るので、電圧降下が減るだけでなく配線
が容易となる。
の周波数を落とすことで、電源から電極までの配線のり
アクタンスが減るので、電圧降下が減るだけでなく配線
が容易となる。
更に、絶縁板７Ｂと放電電極６８間の放電がなくなるの
で、レーザ発振器の効率を上げることができる。
で、レーザ発振器の効率を上げることができる。
なお、上記実施例において、放Ｎ電極６Ａの外側に間隙
を介して絶縁板ＩＡを覆う外壁を設けて放電電極６Ａと
絶縁板７Ａの外面もレーザガス内に入れてもよい。これ
により、絶縁板７Ａの幅を狭くできレーザ発振器の外形
を更に小形化することができる。
を介して絶縁板ＩＡを覆う外壁を設けて放電電極６Ａと
絶縁板７Ａの外面もレーザガス内に入れてもよい。これ
により、絶縁板７Ａの幅を狭くできレーザ発振器の外形
を更に小形化することができる。
第３図は本発明の高周波放電のガスレーザ発振器の他の
実施例を示す。
実施例を示す。
第３図においては、レーザ電源の接地例はアルミニウム
の溶射層１１に直接接続されており、その外側に冷却部
１３が取付られている。そして冷却部１３には冷却水を
流す図示しない貫通穴が設けられている。
の溶射層１１に直接接続されており、その外側に冷却部
１３が取付られている。そして冷却部１３には冷却水を
流す図示しない貫通穴が設けられている。
〔発明の効果〕
以上、本発明によれば、平行に設けられた一対の絶縁板
の外面に高周波電圧が印加される放電電極板が取付られ
、絶縁板間に循環される低圧のレーザガスを励起して放
電させ、る高周波ガスレーザ発振器において、少なくと
も一側の絶縁板の放電電極をレーザガス室中に設け、少
なくとも一側の絶縁板の放電電極取付面に導電性の金属
層を設けたので、小形で効率のよい高周波放電のガスレ
ーザ発振器を得ることができる。
の外面に高周波電圧が印加される放電電極板が取付られ
、絶縁板間に循環される低圧のレーザガスを励起して放
電させ、る高周波ガスレーザ発振器において、少なくと
も一側の絶縁板の放電電極をレーザガス室中に設け、少
なくとも一側の絶縁板の放電電極取付面に導電性の金属
層を設けたので、小形で効率のよい高周波放電のガスレ
ーザ発振器を得ることができる。
第１図は本発明の高周波放電のガスレーザ発娠器の一実
施例を示す図、第２図は第１図の部分拡大図、第３図は
本発明の高周波放電のガスレーザ発振器の他の実施例を
示す図、第４図は従来の１周波放電のガスレーザ発振器
の一例を示す図、第５図は第４図の部分拡大図である。 １・・・外部風洞 ６Ａ、 ６１３・・・放電電極 ７Ａ、 ７Ｂ・・・絶縁板 ８・・・高周波電源 １１・・・金属溶射層 （８７３３） 代理人 弁理士 猪 股 祥 晃（ほ
か１名） 第 図 第 図
施例を示す図、第２図は第１図の部分拡大図、第３図は
本発明の高周波放電のガスレーザ発振器の他の実施例を
示す図、第４図は従来の１周波放電のガスレーザ発振器
の一例を示す図、第５図は第４図の部分拡大図である。 １・・・外部風洞 ６Ａ、 ６１３・・・放電電極 ７Ａ、 ７Ｂ・・・絶縁板 ８・・・高周波電源 １１・・・金属溶射層 （８７３３） 代理人 弁理士 猪 股 祥 晃（ほ
か１名） 第 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 外周が風洞壁に気密に取付られ平行に設けられた一対
の絶縁板の外面中央部に高周波電圧が印加される放電電
極板が密着して取付られ、前記放電電極板間の高周波放
電で前記一対の絶縁板間を流れる低圧のレーザガスを励
起させるガスレーザ発振器において、 前記一対の絶縁板の少なくとも片側の前記放電電極取付
側を前記レーザガスが密封された前記風洞内に設け、前
記一対の絶縁板の少なくとも片側の前記放電電極取付面
に導電層を形成したことを特徴とするガスレーザ発振器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28248488A JPH02129977A (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28248488A JPH02129977A (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129977A true JPH02129977A (ja) | 1990-05-18 |
Family
ID=17653038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28248488A Pending JPH02129977A (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02129977A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06120591A (ja) * | 1992-10-05 | 1994-04-28 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
| JP2002185062A (ja) * | 2000-12-14 | 2002-06-28 | Amada Eng Center Co Ltd | 交流放電ガスレーザ発振器 |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP28248488A patent/JPH02129977A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06120591A (ja) * | 1992-10-05 | 1994-04-28 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
| JP2002185062A (ja) * | 2000-12-14 | 2002-06-28 | Amada Eng Center Co Ltd | 交流放電ガスレーザ発振器 |
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