JPH0645571A - Ccd密閉容器 - Google Patents

Ccd密閉容器

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JPH0645571A
JPH0645571A JP4193785A JP19378592A JPH0645571A JP H0645571 A JPH0645571 A JP H0645571A JP 4193785 A JP4193785 A JP 4193785A JP 19378592 A JP19378592 A JP 19378592A JP H0645571 A JPH0645571 A JP H0645571A
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ccd
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container
valve
gas
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JP4193785A
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Osamu Inoue
修 井上
Satoshi Yoshizawa
聡 吉沢
Eiji Tsukagoshi
英治 塚越
Eisaku Maeda
栄作 前田
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Nikon Corp
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Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 CCD密閉容器内の少容量の雰囲気を入れ替
えることで、比較的小型の設備で気体の封入作業ができ
るようにすることを目的とする。また、CCD密閉容器
をイメージスキャナ等に取り付けたままで気体の再封入
ができるようにして、CCDのメンテナンス作業が容易
に行えるようにすることを目的とする。 【構成】 CCDを収納する密閉容器と、密閉容器の端
部に設けられたバルブと、密閉容器の端部に設けられた
開口と、開口を密封する密封プラグを具備するように構
成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、CCDを密閉収納する
CCD密閉容器に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、CCD(Charge Coupled Dev
ice)には、周囲温度に比例した暗電流が流れることが
知られている。CCDをイメージスキャナ等のイメージ
センサとして使用した場合には、この暗電流がノイズと
なるためにダイナミックレンジが狭められることにな
る。そこで、CCDを冷却することで暗電流を低減し、
ダイナミックレンジを広げることが行われている。
【0003】また、CCDを冷却する際には結露対策が
必要となることから、CCDを密閉容器に収納し、容器
内にドライ窒素等の気体を封入したり、容器内を真空に
したりすることが行われている。
【0004】従来のCCD密閉容器にドライ窒素等の気
体を封入する作業は、図4に示すようにして行われる。
【0005】図4において、CCD101はリジット基
板102に半田付けされ、CCD密閉容器103にネジ
止め固定されている。CCD密閉容器103の上部には
ガラス板104が取り付けられ、これによってCCD密
閉容器103内の雰囲気が保たれる。
【0006】CCD密閉容器103の外側には、CCD
密閉容器103全体を包むようにして容器105が設け
られる。容器105の下部に設けられた貫通孔105a
および105bは、バルブ106aまたはバルブ106
bを介して真空ポンプ107および気体ボンベ108に
それぞれ接続されている。
【0007】CCD密閉容器に気体を封入する作業は、
ガラス板104が開かれた状態で開始される。バルブ1
06aを開いてCCD密閉容器103内の空気を真空ポ
ンプ107に吸引し、一定の真空度に達したらバルブ1
06aを閉じる。バルブ106bを開いて気体ボンベ1
08から容器105内に気体が封入される。
【0008】容器105内に気体が封入されると、CC
D密閉容器103内も気体で満たされた状態となる。こ
の状態でCCD密閉容器103にガラス板104が取り
付けられ、CCD密閉容器に気体を封入する作業が終了
する。その後に、バルブ106bを閉じてから、CCD
密閉容器103が容器105の外に取り出され、イメー
ジスキャナ等に取り付けて使用される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のCCD
密閉容器に気体を封入する場合には、CCD密閉容器を
囲む比較的大容量の容器内の雰囲気全体を入れ替える必
要があり、容器内で気体雰囲気を保ちながら、CCD密
閉容器を組立てる手段が必要である。そのために、真空
ポンプや気体ボンベやCCD密閉容器を囲む容器は比較
的大型の設備が必要となり、コストアップになるという
問題点がある。
【0010】また、CCDのメンテナンスを行う場合に
は、イメージスキャナ等からCCD密閉容器を一旦取り
外してCCDのメンテナンスを行った後に、CCD密閉
容器を再度イメージスキャナ等に取り付け直すことが必
要となり、CCDの位置調整のやり直し等のメンテナン
ス作業が非常に煩雑になるという問題点がある。
【0011】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
もので、CCD密閉容器内の少容量の雰囲気を入れ替え
ることで、比較的小型の設備で気体の封入作業ができる
ようにすることを目的とする。また、CCD密閉容器を
イメージスキャナ等に取り付けたままで気体の再封入が
できるようにして、CCDのメンテナンス作業が容易に
行えるようにすることを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のCCD密閉容器は、CCDを収納する密閉
容器と、密閉容器の端部に設けられたバルブと、密閉容
器の端部に設けられた開口と、開口を密封する密封プラ
グを具備するように構成される。
【0013】また、好ましくは、密閉容器の端部に設け
られたバルブは、配管を接続したときに開き、配管を離
脱したときに閉じるバルブであるように構成される。
【0014】更に、好ましくは、密閉容器の端部に設け
られたバルブと密閉容器の端部に設けられた開口との距
離を長くするように構成される。
【0015】
【作用】上記構成のCCD密閉容器においては、バルブ
と開口と密封プラグを設け、バルブと密封プラグを操作
してCCD密閉容器内の少容量の雰囲気だけを入れ替え
るようにしたので、比較的小型の設備で気体の封入作業
ができるようになる。
【0016】また、バルブと密封プラグを設けたCCD
密閉容器をイメージスキャナ等に取り付け、イメージス
キャナ等に取り付けたままでバルブと密封プラグを操作
して気体の再封入ができるので、CCDのメンテナンス
作業を容易に行うことができる。
【0017】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0018】図1は、本発明によるCCD密閉容器の一
実施例を示す正面図である。
【0019】図1において、CCD1はFPC(Flexibl
e Print Circuit)基板2に載置され、前カバー5および
後カバー6内に収納される。FPC基板2は、CCD1
および後述するペルチエ素子3に対する電力供給と、C
CD1で得られるイメージ信号の出力に使用される。前
カバー5および後カバー6は、FPC基板2を上下方向
から挟んだ状態でネジ止め固定される。このときの外見
は、図2に斜視図で示すようになる。
【0020】前カバー5の下端部には、下辺を1周する
ようにしてオーリング7aが設けられている。また、後
カバー6の上端部には、下辺を1周するようにしてオー
リング7bが設けられている。このオーリング7aがF
PC基板2の上面と接触し、オーリング7bがFPC基
板2の下面と接触することで、前カバー5および後カバ
ー6内の気密性が確保される。オーリング7aおよび7
bは、シール部材として使用されているだけなので、ゴ
ム板等を組合せて使用することも可能である。また、接
着剤等で代用することも可能である。
【0021】前カバー5の上部中央には、ガラス板8が
図外の固定板によって前カバー5にビスで圧接固定され
ている。このガラス板8と前カバー5との間にはオーリ
ング9aが配置され、両者間の気密性を保っている。ま
た、後カバー6の下部中央には、ラジエーター10が図
外のビスによって後カバー6に圧接固定されている。こ
のラジエーター10と後カバー6との間にはオーリング
11aが配置され、両者間の気密性を保っている。
【0022】ラジエーター10の上部中央はペルチエ素
子3下面と接触し、ペルチエ素子3の上部はCCD1下
面と接触している。直方体状のペルチエ素子3のリード
線はFPC基板2に配線される。このペルチエ素子3を
CCD1とラジエーター10で挟むように構成すること
で、ペルチエ素子3は接触面積が最も大きい状態でCC
D1およびラジエーター10と接触する。これにより、
ペルチエ素子3とCCD1およびラジエーター10との
間の熱伝導度を向上させるようにしている。すなわち、
バネ4aおよび4bは、上方向からCCD1を押圧して
ペルチエ素子3がCCD1とラジエーター10に圧接す
るようにしている。なお、ペルチエ素子3の上面および
下面には、熱伝導度を向上させる目的で高熱伝導性のシ
リコン樹脂等が塗布される。
【0023】前カバー5の上部左端部には、カップリン
グ12が設けられている。このカップリング12には、
図3に示すように、バルブ25を介して気体ボンベ24
が接続される。また、前カバー5の上部右端部には排出
開口5aが形成されている。これらのカップリング12
および排出開口5aを利用して、ドライ窒素等の気体を
CCD密閉容器内に注入する作業が、次のようにして行
われる。
【0024】まず、バルブ25を開いて気体ボンベ24
からドライ窒素等の気体がCCD密閉容器内に所定時間
注入される。このとき、CCD密閉容器内の空気は注入
された気体によって排出開口5aから容器外に送り出さ
れる。なお、空気を容器外に送り出す場合に、CCD密
閉容器の角部分に空気が残留することがあるので、前カ
バー5および後カバー6の各隅部分は十分なアールを付
けて、残留分を極力避けるようにしてある。また、CC
D密閉容器内に空気を拡散させ易くする目的から、カッ
プリング12と排出開口5aの距離が長くなるように両
者の位置が設定されている。
【0025】更に、ドライ窒素のような空気よりも比重
の軽い気体をCCD密閉容器内に充満させる場合は、ド
ライ窒素が容器内の左上から右上に移動するだけで、C
CD密閉容器内に拡散しないことがある。このような状
態を避けるために、後カバー6の下部右端部に排出開口
5aを設けることもできる。
【0026】CCD密閉容器内が気体で満たされた時点
で、排出開口5aにプラグ13をネジ込むことによって
排出開口5aは密封される。その後にバルブ25が閉じ
られ、カップリング12の部分でバルブ25からの配管
を離脱すると、気体ボンベ24はCCD密閉容器から分
離される。なお、カップリング12はバルブ25からの
配管を接続したときに開き、配管を離脱したときに閉じ
るバルブとしての機能を持っているものとする。
【0027】このようにしてドライ窒素等の気体が満た
されたCCD密閉容器は、イメージスキャナ等に取り付
けて使用される。上述したように、ペルチエ素子3がC
CD1とラジエーター10に圧接した状態で、FPC基
板2を介してペルチエ素子3に電力を供給すると、ペル
チエ素子3はペルチエ効果によってCCD1を冷却し、
ラジエーター10を加熱することになる。このようにし
てCCD1を冷却することで、暗電流を低減してダイナ
ミックレンジを広げることができる。
【0028】以上、本発明を実施例により説明したが、
本発明の技術的思想によれば、種々の変形が可能であ
る。例えば、上述した実施例においては、カップリング
12はバルブ25からの配管を接続したときに開き、配
管を離脱したときに閉じるバルブとしての機能を有する
カップリングを想定しているが、このようなバルブ機能
を持っていないカップリングをカップリング12として
使用する場合は、バルブ25と気体ボンベ24の間で気
体ボンベ24とCCD密閉容器を分離することになる。
【0029】
【発明の効果】以上のように、本発明のCCD密閉容器
によれば、バルブと開口と密封プラグを設け、バルブと
密封プラグを操作してCCD密閉容器内の少容量の雰囲
気だけを入れ替えるようにしたので、比較的小型の設備
で気体の封入作業ができるようになる。
【0030】また、バルブと密封プラグを設けたCCD
密閉容器をイメージスキャナ等に取り付け、イメージス
キャナ等に取り付けたままでバルブと密封プラグを操作
して気体の再封入ができるので、CCDのメンテナンス
作業を容易に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるCCD密閉容器の一実施例を示す
正面図である。
【図2】本発明によるCCD密閉容器の一実施例を示す
斜視図である。
【図3】本発明によるCCD密閉容器の一実施例を示す
概略正面図である。
【図4】従来のCCD密閉容器の一例を示す正面図であ
る。
【符号の説明】 1 CCD 2 FPC基板 3 ペルチエ素子 4a バネ 4b バネ 5 前カバー 5a 排出開口 6 後カバー 7a オーリング 7b オーリング 8 ガラス板 9a オーリング 10 ラジエーター 11a オーリング 12 カップリング 13 プラグ
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 31/02 (72)発明者 前田 栄作 東京都品川区西大井1丁目6番3号 株式 会社ニコン大井製作所内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 CCDを収納する密閉容器と、前記密閉
    容器の端部に設けられたバルブと、前記密閉容器の端部
    に設けられた開口と、前記開口を密封する密封プラグを
    具備することを特徴とするCCD密閉容器。
  2. 【請求項2】 密閉容器の端部に設けられたバルブは、
    配管を接続したときに開き、配管を離脱したときに閉じ
    るバルブであることを特徴とする請求項1記載のCCD
    密閉容器。
  3. 【請求項3】 密閉容器の端部に設けられたバルブと密
    閉容器の端部に設けられた開口との距離を長くしたこと
    を特徴とする請求項1記載のCCD密閉容器。
JP19378592A 1992-07-21 1992-07-21 Ccd密閉容器 Expired - Lifetime JP3200983B2 (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001298104A (ja) * 2000-04-11 2001-10-26 Hamamatsu Photonics Kk 半導体受光装置
US7479986B2 (en) 2002-09-27 2009-01-20 Olympus Optical Co., Ltd. Imaging apparatus including a cooled imaging element which is shifted to perform high-definition imaging

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001298104A (ja) * 2000-04-11 2001-10-26 Hamamatsu Photonics Kk 半導体受光装置
US7479986B2 (en) 2002-09-27 2009-01-20 Olympus Optical Co., Ltd. Imaging apparatus including a cooled imaging element which is shifted to perform high-definition imaging
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