JPH0645640A - 固体映像変換素子 - Google Patents
固体映像変換素子Info
- Publication number
- JPH0645640A JPH0645640A JP21827092A JP21827092A JPH0645640A JP H0645640 A JPH0645640 A JP H0645640A JP 21827092 A JP21827092 A JP 21827092A JP 21827092 A JP21827092 A JP 21827092A JP H0645640 A JPH0645640 A JP H0645640A
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- JP
- Japan
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- layer
- back electrode
- electrode layer
- solid
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- Pending
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 背面電極層を容易に形成できて、しかも、近
赤外線を可視像に変換できる固体映像変換素子を提供す
る。 【構成】 本発明の固体映像変換素子は、透明基板上に
透明電極層、電場発光体層、誘電体層、光導電体層、樹
脂層及び背面電極層が順次積層され、前記電場発光体
層、誘電体層及び光導電体層が有機バインダをそれぞれ
用いて形成された積層体であり、上記樹脂層は光誘電体
層の有機バインダを溶解しない材質で形成されており、
この樹脂層上に形成された背面電極層が導電性材料粒子
を塗布されてなる。
赤外線を可視像に変換できる固体映像変換素子を提供す
る。 【構成】 本発明の固体映像変換素子は、透明基板上に
透明電極層、電場発光体層、誘電体層、光導電体層、樹
脂層及び背面電極層が順次積層され、前記電場発光体
層、誘電体層及び光導電体層が有機バインダをそれぞれ
用いて形成された積層体であり、上記樹脂層は光誘電体
層の有機バインダを溶解しない材質で形成されており、
この樹脂層上に形成された背面電極層が導電性材料粒子
を塗布されてなる。
Description
【００１】
【産業上の利用分野】本発明は、赤外線、とりわけ、近
赤外線を可視光に変換する固体映像変換素子に係り、特
に電場発光体層と光導電体層を分散形で積層した固体映
像変換素子の改良に関するものである。
赤外線を可視光に変換する固体映像変換素子に係り、特
に電場発光体層と光導電体層を分散形で積層した固体映
像変換素子の改良に関するものである。
【００２】
【従来の技術】電場発光体層（以下、ＥＬ層という）と
光導電体層（以下、ＰＣ層という）を組み合わせた光増
幅器の原理は古くから知られており、これをＸ線域に適
用したＸ線ー可視変換素子も多くの研究者により研究さ
れて実用化されている。
光導電体層（以下、ＰＣ層という）を組み合わせた光増
幅器の原理は古くから知られており、これをＸ線域に適
用したＸ線ー可視変換素子も多くの研究者により研究さ
れて実用化されている。
【００３】しかしながら、Ｘ線−可視変換素子では、背
面電極層をアルミニウム蒸着膜で形成するので、高価な
真空蒸着装置と多大な時間と労力を必要とするという問
題があった。
面電極層をアルミニウム蒸着膜で形成するので、高価な
真空蒸着装置と多大な時間と労力を必要とするという問
題があった。
【００４】この発明の目的は、背面電極層を容易に形成
できて、しかも、近赤外線を可視像に変換できる固体映
像変換素子を提供することにある。
できて、しかも、近赤外線を可視像に変換できる固体映
像変換素子を提供することにある。
【００５】上述の目的は、透明基板上に透明電極層、Ｅ
Ｌ層、誘電体層、ＰＣ層、樹脂層及び背面電極層が順次
積層され、前記ＥＬ層、誘電体層及びＰＣ層が有機バイ
ンダをそれぞれ用いて形成された積層体であり、樹脂層
は光導電体層の有機バインダを溶解しない材質で形成さ
れており、この樹脂層上に形成された背面電極層が導電
性材料粒子を塗布されてなる固体映像変換素子により、
解決される。
Ｌ層、誘電体層、ＰＣ層、樹脂層及び背面電極層が順次
積層され、前記ＥＬ層、誘電体層及びＰＣ層が有機バイ
ンダをそれぞれ用いて形成された積層体であり、樹脂層
は光導電体層の有機バインダを溶解しない材質で形成さ
れており、この樹脂層上に形成された背面電極層が導電
性材料粒子を塗布されてなる固体映像変換素子により、
解決される。
【００６】好適には、背面電極層の導電性材料粒子が、
ＩＴＯ（酸化錫・インジウム）、酸化錫、酸化錫・アン
チモン、酸化インジウム、ＡＺＯ（酸化アルミニウム・
亜鉛）、酸化チタン及び酸化カドミウムからなる群より
選ばれた微粉をペースト状にして形成されたものである
か、又は、銀、アルミニウム、ニッケル、銅、金及びカ
ーボンからなる群より選ばれた微粉をペースト状にして
形成されたものである。
ＩＴＯ（酸化錫・インジウム）、酸化錫、酸化錫・アン
チモン、酸化インジウム、ＡＺＯ（酸化アルミニウム・
亜鉛）、酸化チタン及び酸化カドミウムからなる群より
選ばれた微粉をペースト状にして形成されたものである
か、又は、銀、アルミニウム、ニッケル、銅、金及びカ
ーボンからなる群より選ばれた微粉をペースト状にして
形成されたものである。
【００７】
【作用】まず、透明基板上に透明電極層、ＥＬ層、誘電
体層、ＰＣ層及び背面電極層が順次積層され、且つ、電
場発光体層、誘電体層及び光導電体層が有機バインダを
それぞれ用いて形成された構成により、透明電極層と背
面電極層との間に交流電圧を印加して透明電極層側から
近赤外線が入射すると、その部位のＰＣ層のインピーダ
ンスが低下し、これに対応したＥＬ層の部位での印加電
圧が大きくなり、ＥＬ層が発光し、透明基板を介してＥ
Ｌ層での可視像を視ることができる。
体層、ＰＣ層及び背面電極層が順次積層され、且つ、電
場発光体層、誘電体層及び光導電体層が有機バインダを
それぞれ用いて形成された構成により、透明電極層と背
面電極層との間に交流電圧を印加して透明電極層側から
近赤外線が入射すると、その部位のＰＣ層のインピーダ
ンスが低下し、これに対応したＥＬ層の部位での印加電
圧が大きくなり、ＥＬ層が発光し、透明基板を介してＥ
Ｌ層での可視像を視ることができる。
【００８】樹脂層が光導電体層の有機結合剤を溶かさな
い材質で形成されることにより、ＰＣ層を溶かすことが
無い。そして、この樹脂層上に、スクリーン印刷法、ブ
レード印刷法等によって背面電極層を導電性材料粒子で
塗布することができる。
い材質で形成されることにより、ＰＣ層を溶かすことが
無い。そして、この樹脂層上に、スクリーン印刷法、ブ
レード印刷法等によって背面電極層を導電性材料粒子で
塗布することができる。
【００９】背面電極層の導電性材料粒子が、銀、アルミ
ニウム、ニッケル、銅、金及びカーボンからなる群より
選ばれた微粉をペースト状にして形成されたものである
場合、近赤外線を透明電極層側から入射するが、導電性
材料粒子がＩＴＯ（酸化錫・インジウム）、酸化錫、酸
化インジウム、ＡＺＯ（酸化アルミニウム・亜鉛）、酸
化チタン及び酸化カドミウムからなる群より選ばれた微
粉をペースト状にして形成されたものである場合、背面
電極層側から入射する近赤外線像をＰＣ層で電気的に変
換し、ＥＬ層で発光する可視像を透明電極側から視るこ
とができる。
ニウム、ニッケル、銅、金及びカーボンからなる群より
選ばれた微粉をペースト状にして形成されたものである
場合、近赤外線を透明電極層側から入射するが、導電性
材料粒子がＩＴＯ（酸化錫・インジウム）、酸化錫、酸
化インジウム、ＡＺＯ（酸化アルミニウム・亜鉛）、酸
化チタン及び酸化カドミウムからなる群より選ばれた微
粉をペースト状にして形成されたものである場合、背面
電極層側から入射する近赤外線像をＰＣ層で電気的に変
換し、ＥＬ層で発光する可視像を透明電極側から視るこ
とができる。
【０１０】
【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明の実施例
について説明する。
について説明する。
【０１１】（実施例１）図１には、本発明の固体映像変
換素子の断面図が示されており、この固体映像変換素子
は、透明基板２、透明電極層４、ＥＬ層６、誘電体層
８、ＰＣ層１０、樹脂層１２及び背面電極層１４が順次
積層されたものである。
換素子の断面図が示されており、この固体映像変換素子
は、透明基板２、透明電極層４、ＥＬ層６、誘電体層
８、ＰＣ層１０、樹脂層１２及び背面電極層１４が順次
積層されたものである。
【０１２】この固体映像変換素子を具体的な製造方法に
基づいて説明すると、透明基板２（コーニング社製ガラ
ス基板７０５９）上に、酸化インジウム・錫（ＩＴＯ）
からなる透明電極層４を形成し、この透明電極４上に、
シアノエチル化プルランを結合剤としジメチルホルムア
ミドを有機溶剤とする有機バインダにて、平均粒径１３
μｍのＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ粉末を分散して構成した膜厚
３０μｍのＥＬ層６、平均粒径１．４μｍのチタン酸バ
リウム粒子を分散させてなる膜厚７μｍの誘電体層８を
それぞれ形成する。次に、シアノエチル化セルロースを
結合剤としジエチレン・グリコール・モノエチルエーテ
ルを有機溶剤とする有機バインダにて粒径を６〜８μｍ
とするＣｄＳｅ：Ｃｕ，Ｃｌからなる膜厚１００μｍの
ＰＣ層１０をスクリーン印刷により積層し、その上に樹
脂層１２として、ジメチルホルムアミドを溶剤としてシ
アノエチル化プルランを１μｍ積層し、この樹脂層１２
上に、導電性材料として藤倉化成製ＡｇペーストＦＡ３
１２を塗布することにより、背面電極層１４を形成し
た。周縁部を封止すると共に、透明電極層２及び背面電
極層１４を好適な交流電源に接続する。
基づいて説明すると、透明基板２（コーニング社製ガラ
ス基板７０５９）上に、酸化インジウム・錫（ＩＴＯ）
からなる透明電極層４を形成し、この透明電極４上に、
シアノエチル化プルランを結合剤としジメチルホルムア
ミドを有機溶剤とする有機バインダにて、平均粒径１３
μｍのＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ粉末を分散して構成した膜厚
３０μｍのＥＬ層６、平均粒径１．４μｍのチタン酸バ
リウム粒子を分散させてなる膜厚７μｍの誘電体層８を
それぞれ形成する。次に、シアノエチル化セルロースを
結合剤としジエチレン・グリコール・モノエチルエーテ
ルを有機溶剤とする有機バインダにて粒径を６〜８μｍ
とするＣｄＳｅ：Ｃｕ，Ｃｌからなる膜厚１００μｍの
ＰＣ層１０をスクリーン印刷により積層し、その上に樹
脂層１２として、ジメチルホルムアミドを溶剤としてシ
アノエチル化プルランを１μｍ積層し、この樹脂層１２
上に、導電性材料として藤倉化成製ＡｇペーストＦＡ３
１２を塗布することにより、背面電極層１４を形成し
た。周縁部を封止すると共に、透明電極層２及び背面電
極層１４を好適な交流電源に接続する。
【０１３】このように構成された固体映像変換素子で
は、１ｋＨｚ、１００Ｖの交流電圧を印加する場合、波
長７８０ｎｍ、１００μＷ／ｃｍ2 の近赤外線を透明基
板２側より図１中符号Ａのように照射して、被照射領域
におけるＥＬ層６の発光（図１中符号Ｘ）が１０Ｃｄ／
ｍ2 であった。
は、１ｋＨｚ、１００Ｖの交流電圧を印加する場合、波
長７８０ｎｍ、１００μＷ／ｃｍ2 の近赤外線を透明基
板２側より図１中符号Ａのように照射して、被照射領域
におけるＥＬ層６の発光（図１中符号Ｘ）が１０Ｃｄ／
ｍ2 であった。
【０１４】（実施例２）図２に示されるように、透明電
極層４’及び背面電極層１４’を導電性材料として触媒
化成工業製ＩＴＯペーストＥＬＣＯＭ ｐ１２１０をそ
れぞれ塗布すること以外、実施例１と同様に形成して、
固体映像変換素子を得た。
極層４’及び背面電極層１４’を導電性材料として触媒
化成工業製ＩＴＯペーストＥＬＣＯＭ ｐ１２１０をそ
れぞれ塗布すること以外、実施例１と同様に形成して、
固体映像変換素子を得た。
【０１５】得られた固体映像変換素子では、図２中符号
Ａ及びＢで示されるように、透明基板２側及び背面電極
層１４’側の両方から、近赤外線を入射させてもよい
が、ＥＬ層４の発光は、図２中符号Ｘとして示されるよ
うに、透明基板２側から可視像として視ることができ、
発光輝度も１０Ｃｄ／ｍ2 を示した。
Ａ及びＢで示されるように、透明基板２側及び背面電極
層１４’側の両方から、近赤外線を入射させてもよい
が、ＥＬ層４の発光は、図２中符号Ｘとして示されるよ
うに、透明基板２側から可視像として視ることができ、
発光輝度も１０Ｃｄ／ｍ2 を示した。
【０１６】従来のように背面電極をアルミニウム蒸着膜
で形成した場合、ＰＣ層１０の大きな粒子によりＰＣ層
１０の表面に凹凸があるため、高々１μｍ程度しかない
アルミニウム蒸着膜で凹凸のあるＰＣ層１０の全体を覆
うことは難しく、全体として、膜抵抗が上がり、発熱の
恐れがある。これに対し、上述の実施例のように、ＰＣ
層１０と背面電極層１４、１４’との間に、樹脂層１２
を形成したので、背面電極層１４、１４’を均一な樹脂
層１２上に導電性材料粒子を容易に、例えば実施例で示
されたスクリーン印刷法とか、ブレード印刷法等で塗布
することができる。
で形成した場合、ＰＣ層１０の大きな粒子によりＰＣ層
１０の表面に凹凸があるため、高々１μｍ程度しかない
アルミニウム蒸着膜で凹凸のあるＰＣ層１０の全体を覆
うことは難しく、全体として、膜抵抗が上がり、発熱の
恐れがある。これに対し、上述の実施例のように、ＰＣ
層１０と背面電極層１４、１４’との間に、樹脂層１２
を形成したので、背面電極層１４、１４’を均一な樹脂
層１２上に導電性材料粒子を容易に、例えば実施例で示
されたスクリーン印刷法とか、ブレード印刷法等で塗布
することができる。
【０１７】ＰＣ層１０がシアノエチル化セルロースを結
合剤としジエチル・グリコール・モノエチルエーテルを
溶剤とし、一方、樹脂層１２がジメチルホルムアミドを
溶剤としてシアノエチル化プルランを成分としているの
で、樹脂層１２の形成時にＰＣ層１０を溶解したりし
て、ＰＣ層１０における解像度の低下を招いたりするこ
とが無い。しかも、樹脂層１２を形成することなく、Ｐ
Ｃ層１０上に背面電極層１４、１４’を直接形成する
と、背面電極層１４、１４’の導電性材料粒子がＰＣ層
１０に入ってしまうことが考えられるが、ＰＣ１０と背
面電極層１４、１４’との間に樹脂層１２を０．１〜１
０μｍ程度の厚さで形成することにより、導電性材料粒
子で背面電極層１４、１４’を形成することが可能とな
った。
合剤としジエチル・グリコール・モノエチルエーテルを
溶剤とし、一方、樹脂層１２がジメチルホルムアミドを
溶剤としてシアノエチル化プルランを成分としているの
で、樹脂層１２の形成時にＰＣ層１０を溶解したりし
て、ＰＣ層１０における解像度の低下を招いたりするこ
とが無い。しかも、樹脂層１２を形成することなく、Ｐ
Ｃ層１０上に背面電極層１４、１４’を直接形成する
と、背面電極層１４、１４’の導電性材料粒子がＰＣ層
１０に入ってしまうことが考えられるが、ＰＣ１０と背
面電極層１４、１４’との間に樹脂層１２を０．１〜１
０μｍ程度の厚さで形成することにより、導電性材料粒
子で背面電極層１４、１４’を形成することが可能とな
った。
【０１８】上述の実施例では、樹脂層１２が、ジメチル
ホルムアミドを溶剤としてシアノエチル化プルランから
なっているが、ＰＣ層１０を溶かさないため、ＰＣ層１
０に使用した結合剤を溶解しない有機溶剤と結合剤とか
らなる有機バインダ材料であって、高誘電率の材料であ
ればよい。また、樹脂層１２がＰＣ層１０の表面の光導
電体粒子間の隙間を埋めて背面電極層１４、１４’を形
成するので、樹脂層１２の厚さについては、薄い方が望
ましく、ＰＣ層１０への導電性材料の影響、即ち、侵入
を完全に防ぐために、０．０５〜１０μｍが好ましく、
特に０．１〜５μｍがより好ましい。
ホルムアミドを溶剤としてシアノエチル化プルランから
なっているが、ＰＣ層１０を溶かさないため、ＰＣ層１
０に使用した結合剤を溶解しない有機溶剤と結合剤とか
らなる有機バインダ材料であって、高誘電率の材料であ
ればよい。また、樹脂層１２がＰＣ層１０の表面の光導
電体粒子間の隙間を埋めて背面電極層１４、１４’を形
成するので、樹脂層１２の厚さについては、薄い方が望
ましく、ＰＣ層１０への導電性材料の影響、即ち、侵入
を完全に防ぐために、０．０５〜１０μｍが好ましく、
特に０．１〜５μｍがより好ましい。
【０１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
背面電極層を容易に形成できて、しかも、近赤外線を可
視像に変換できる固体映像変換素子を提供できた。
背面電極層を容易に形成できて、しかも、近赤外線を可
視像に変換できる固体映像変換素子を提供できた。
【図１】図１は、本発明の一実施例による固体映像変換
素子を示す断面図である。
素子を示す断面図である。
【図２】図１は、本発明の他の実施例による固体映像変
換素子を示す断面図である。
換素子を示す断面図である。
２ 透明基板 ４ 透明電極層 ６ 電場発光層（ＥＬ層） ８ 誘電体層 １０ 光導電体層（ＰＣ層） １２ 樹脂層 １４，１４’ 背面電極層
Claims (3)
- 【請求項１】 透明基板上に透明電極層、電場発光体
層、誘電体層、光導電体層、樹脂層及び背面電極層が順
次積層され、前記電場発光体層、誘電体層及び光導電体
層が有機バインダをそれぞれ用いて形成された積層体で
あり、上記樹脂層は光誘電体層の有機バインダを溶解し
ない材質で形成されており、この樹脂層上に形成された
背面電極層が導電性材料粒子を塗布されてなることを特
徴とする固体映像変換素子。 - 【請求項２】 前記背面電極層の導電性材料粒子が、Ｉ
ＴＯ（酸化錫・インジウム）、酸化錫・アンチモン、酸
化インジウム、ＡＺＯ（酸化亜鉛・アルミニウム）、酸
化チタン及び酸化カドミウムからなる群より選ばれた微
粉をペースト状にして形成されたものであることを特徴
とする請求項１に記載の固体映像変換素子。 - 【請求項３】 前記背面電極層の導電性材料粒子が、
銀、アルミニウム、ニッケル、銅、金及びカーボンから
なる群より選ばれた微粉をペースト状にして形成された
ものであることを特徴とする請求項１に記載の固体映像
変換素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21827092A JPH0645640A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 固体映像変換素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21827092A JPH0645640A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 固体映像変換素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0645640A true JPH0645640A (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=16717242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21827092A Pending JPH0645640A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 固体映像変換素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0645640A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5438198A (en) * | 1993-05-12 | 1995-08-01 | Nichia Chemical Industries, Ltd. | Infrared-to-visible converter |
-
1992
- 1992-07-24 JP JP21827092A patent/JPH0645640A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5438198A (en) * | 1993-05-12 | 1995-08-01 | Nichia Chemical Industries, Ltd. | Infrared-to-visible converter |
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