JPH0645665Y2 - 気泡分離機能付薬液用ポンプ - Google Patents
気泡分離機能付薬液用ポンプInfo
- Publication number
- JPH0645665Y2 JPH0645665Y2 JP1986179250U JP17925086U JPH0645665Y2 JP H0645665 Y2 JPH0645665 Y2 JP H0645665Y2 JP 1986179250 U JP1986179250 U JP 1986179250U JP 17925086 U JP17925086 U JP 17925086U JP H0645665 Y2 JPH0645665 Y2 JP H0645665Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chemical liquid
- pump
- drug solution
- bubble separation
- chemical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔概要〕 発泡性薬液を循環濾過する場合に発泡性薬液中に発生す
る気泡を除去するために、気泡が混入した薬液を送り込
む薬液吐出管と、送り込まれた薬液が衝突して気泡を分
離する気泡分離壁と、気泡のみを透過させる撥水性フィ
ルタを設けた気泡分離室を持つ気泡分離機能付薬液用ポ
ンプ。
る気泡を除去するために、気泡が混入した薬液を送り込
む薬液吐出管と、送り込まれた薬液が衝突して気泡を分
離する気泡分離壁と、気泡のみを透過させる撥水性フィ
ルタを設けた気泡分離室を持つ気泡分離機能付薬液用ポ
ンプ。
本考案は、薬液用ポンプに係り、特に発泡性薬液を圧送
する薬液用ポンプに関するものである。
する薬液用ポンプに関するものである。
薬液用ポンプを用いて発泡性薬液例えば、半導体装置の
製造工程で使用する150℃に加熱した過酸化水素と硫酸
の混液を循環濾過して圧送する場合には、薬液中に気泡
が発生して気泡の圧縮、膨張の影響で吐出量が著しく減
少する。
製造工程で使用する150℃に加熱した過酸化水素と硫酸
の混液を循環濾過して圧送する場合には、薬液中に気泡
が発生して気泡の圧縮、膨張の影響で吐出量が著しく減
少する。
このような場合にも何等かの手段で気泡を除去しながら
圧送して、吐出量を維持した循環濾過を継続することが
可能な気泡分離機能付薬液用ポンプが特に要求されてい
る。
圧送して、吐出量を維持した循環濾過を継続することが
可能な気泡分離機能付薬液用ポンプが特に要求されてい
る。
従来は発泡性薬液は循環濾過せずに使用の都度廃棄して
いたが、薬液の使用量削減のために再使用するので循環
濾過するようになった。
いたが、薬液の使用量削減のために再使用するので循環
濾過するようになった。
しかしながら、発泡性薬液を圧送する薬液用ポンプはそ
の形式の如何を問わず、薬液液中に発生する気泡によ
り、その機能に障害を受けている。
の形式の如何を問わず、薬液液中に発生する気泡によ
り、その機能に障害を受けている。
例えば第２図に示すようなダイアフラムポンプで発泡性
薬液を循環して圧送する場合には、薬液中に発生した気
泡の圧縮、膨張の影響で吐出量が著しく減少する。
薬液を循環して圧送する場合には、薬液中に発生した気
泡の圧縮、膨張の影響で吐出量が著しく減少する。
このために、発泡性薬液の圧送の場合は、ポンプの吐出
口から直ちに下方に配管することができず、吐出口から
フィルタ入口までの配管には上向きの勾配をつけなけれ
ばならない。
口から直ちに下方に配管することができず、吐出口から
フィルタ入口までの配管には上向きの勾配をつけなけれ
ばならない。
本考案は以上のような状況から簡単且つ安価に設けるこ
とが可能な気泡分離室を持つ気泡分離機能付薬液用ポン
プの提供を目的としたものである。
とが可能な気泡分離室を持つ気泡分離機能付薬液用ポン
プの提供を目的としたものである。
上記目的を達成する本考案の気泡分離機能付ポンプは、
発泡性薬液を圧送するポンプにおいて、薬液吸入口から
前記発泡性薬液を吸入し薬液吐出管から吐出するポンプ
と、該薬液吐出管から吐出された薬液が注入され薬液吐
出口から排出する気泡分離室とからなり、前記気泡分離
室には、前記吐出管から注入された薬液が当たるように
前記吐出管の出口に対向するように配置された気泡分離
壁と、前記気泡分離壁に当たった前記薬液から分離した
気泡が移動する方向に対向するように配置され、気体の
みを透過させる性質を有し、且つ収集された気体が排出
される管が接続された撥水性フィルタとを備えたもので
ある。
発泡性薬液を圧送するポンプにおいて、薬液吸入口から
前記発泡性薬液を吸入し薬液吐出管から吐出するポンプ
と、該薬液吐出管から吐出された薬液が注入され薬液吐
出口から排出する気泡分離室とからなり、前記気泡分離
室には、前記吐出管から注入された薬液が当たるように
前記吐出管の出口に対向するように配置された気泡分離
壁と、前記気泡分離壁に当たった前記薬液から分離した
気泡が移動する方向に対向するように配置され、気体の
みを透過させる性質を有し、且つ収集された気体が排出
される管が接続された撥水性フィルタとを備えたもので
ある。
即ち本考案においては、薬液用ポンプから吐出された薬
液は気泡分離壁の側壁に設けた薬液吐出管から送り込ま
れ、反対側の側壁に当たり、90°方向を変えて、前記薬
液吐出管より大きい断面積を有する筒状の気泡分離壁の
上部開口端部より気泡分離室の上方に減速されて流出す
る。
液は気泡分離壁の側壁に設けた薬液吐出管から送り込ま
れ、反対側の側壁に当たり、90°方向を変えて、前記薬
液吐出管より大きい断面積を有する筒状の気泡分離壁の
上部開口端部より気泡分離室の上方に減速されて流出す
る。
この方向変換と減速の効果により、薬液中の気泡は気泡
分離室の上部に集まり、逐次送り込まれる薬液の圧力に
よって、そこに設けられた撥水性フィルタの撥水性のPT
FE膜を透過して外部に放出され、気泡が分離された薬液
は順調に薬液吐出口から吐出される。
分離室の上部に集まり、逐次送り込まれる薬液の圧力に
よって、そこに設けられた撥水性フィルタの撥水性のPT
FE膜を透過して外部に放出され、気泡が分離された薬液
は順調に薬液吐出口から吐出される。
また、気泡分離室の上部の気泡部分の圧縮、膨張により
ポンプの脈動が緩和されるので、薬液の円滑な圧送が可
能となる。
ポンプの脈動が緩和されるので、薬液の円滑な圧送が可
能となる。
〔実施例〕 以下第１図について本考案の一実施例をダイアフラムポ
ンプの場合について説明する。
ンプの場合について説明する。
本考案の気泡分離機能付薬液用ダイアフラムポンプは第
１図に示すような構造をしており、従来のダイアフラム
ポンプの上に気泡分離室３を備え、気泡分離室３の上部
に撥水性フィルタ２を、下部には薬液吐出管1a及び薬液
吐出管1bが接続された耐薬品性の合成樹脂例えば、PFA
からなる円筒形の気泡分離壁１を設けてある。
１図に示すような構造をしており、従来のダイアフラム
ポンプの上に気泡分離室３を備え、気泡分離室３の上部
に撥水性フィルタ２を、下部には薬液吐出管1a及び薬液
吐出管1bが接続された耐薬品性の合成樹脂例えば、PFA
からなる円筒形の気泡分離壁１を設けてある。
図示の左側のエア室（Ａ）６にエアが供給され、右側の
エア室（Ｂ）７からエアが排出されると、センターロッ
ド９が左方に移動し、薬液室（Ａ）４にあった薬液が上
方に吐出されて気泡分離壁１の一方の側壁に設けた薬液
吐出管1aを通して送り込まれる。この場合には右側の薬
液室（Ｂ）５には薬液吸入口10から薬液が新たに吸入さ
れる。
エア室（Ｂ）７からエアが排出されると、センターロッ
ド９が左方に移動し、薬液室（Ａ）４にあった薬液が上
方に吐出されて気泡分離壁１の一方の側壁に設けた薬液
吐出管1aを通して送り込まれる。この場合には右側の薬
液室（Ｂ）５には薬液吸入口10から薬液が新たに吸入さ
れる。
次いで、右側のエア室（Ｂ）７にエアが供給され、左側
のエア室（Ａ）６からエアが排出されると、センターロ
ッド９が右方に移動し、薬液室（Ｂ）５にあった薬液が
上方に吐出されて気泡分離壁１のもう一方の側壁に設け
た薬液吐出管1bを通して送り込まれる。この場合は左側
の薬液室（Ａ）４には吸入口10から薬液が新たに吸入さ
れる。
のエア室（Ａ）６からエアが排出されると、センターロ
ッド９が右方に移動し、薬液室（Ｂ）５にあった薬液が
上方に吐出されて気泡分離壁１のもう一方の側壁に設け
た薬液吐出管1bを通して送り込まれる。この場合は左側
の薬液室（Ａ）４には吸入口10から薬液が新たに吸入さ
れる。
上記のいずれの場合でも、Ａ−Ａ断面図に示すように薬
液が薬液吐出管1bから気泡分離壁１の内部に入ると、流
路の断面積が急に大きくなるので減速される。この際、
気泡は上方に浮上し、薬液と分離して気泡分離室３の上
部の気泡部分と合体し、逐次送り込まれてくる薬液の圧
力によって、気泡分離室３の側壁に設けられている撥水
性フィルタ２の撥水性のPTFE膜を透過して外部に放出さ
れる。気泡が分離された薬液は順調に薬液吐出口11から
吐出される。
液が薬液吐出管1bから気泡分離壁１の内部に入ると、流
路の断面積が急に大きくなるので減速される。この際、
気泡は上方に浮上し、薬液と分離して気泡分離室３の上
部の気泡部分と合体し、逐次送り込まれてくる薬液の圧
力によって、気泡分離室３の側壁に設けられている撥水
性フィルタ２の撥水性のPTFE膜を透過して外部に放出さ
れる。気泡が分離された薬液は順調に薬液吐出口11から
吐出される。
また、気泡分離室の上部の気泡部分の圧縮、膨張により
ポンプの脈動が緩和されるので、薬液の円滑な圧送が可
能となる。
ポンプの脈動が緩和されるので、薬液の円滑な圧送が可
能となる。
なお、他の方式のポンプ例えば、複動ベローズポンプ等
のポンプの場合においても、本考案の気泡分離機能は有
効であり、適用が可能である。
のポンプの場合においても、本考案の気泡分離機能は有
効であり、適用が可能である。
このように薬液用ポンプから吐出された薬液を薬液吐出
管1a,1bを通して気泡分離壁１に送り込むことにより、
薬液中の気泡を分離して撥水性フィルタ２を透して外部
に放出できるから、吐出直後の配管を立ち下げることが
できるので配管をコンパクトに構成することができる。
管1a,1bを通して気泡分離壁１に送り込むことにより、
薬液中の気泡を分離して撥水性フィルタ２を透して外部
に放出できるから、吐出直後の配管を立ち下げることが
できるので配管をコンパクトに構成することができる。
さらに気泡分離室３の上部の気泡の圧縮、膨張の効果に
よりポンプの脈動も緩和されるので、薬液用ポンプから
吐出した薬液を順調に圧送することが可能となる。
よりポンプの脈動も緩和されるので、薬液用ポンプから
吐出した薬液を順調に圧送することが可能となる。
以上説明したように本考案によれば、極めて簡単な構成
の気泡分離室を薬液用ポンプに設けることにより、薬液
用ポンプから吐出された薬液中の気泡を分離して外部に
放出できるから、吐出直後の配管の立ち下げが可能とな
るので配管をコンパクトに構成することができる。
の気泡分離室を薬液用ポンプに設けることにより、薬液
用ポンプから吐出された薬液中の気泡を分離して外部に
放出できるから、吐出直後の配管の立ち下げが可能とな
るので配管をコンパクトに構成することができる。
さらに気泡分離室の上部の気泡の効果によりポンプの脈
動も緩和されるので、薬液用ポンプから吐出した薬液を
順調に圧送することが可能となる。
動も緩和されるので、薬液用ポンプから吐出した薬液を
順調に圧送することが可能となる。
第１図は本考案による一実施例の気泡分離機能付薬液用
ポンプの側断面図、 第２図は従来の薬液用ポンプの側断面図、である。 図において、 １は気泡分離壁、1aは薬液吐出管、 1bは薬液吐出管、２は撥水性フィルタ、 ３は気泡分離室、４は薬液室（Ａ）、 ５は薬液室（Ｂ）、６はエア室（Ａ）、 ７はエア室（Ｂ）、８はダイアフラム、 ９はセンターロッド、10は薬液吸入口、 11は薬液吐出口、 である。
ポンプの側断面図、 第２図は従来の薬液用ポンプの側断面図、である。 図において、 １は気泡分離壁、1aは薬液吐出管、 1bは薬液吐出管、２は撥水性フィルタ、 ３は気泡分離室、４は薬液室（Ａ）、 ５は薬液室（Ｂ）、６はエア室（Ａ）、 ７はエア室（Ｂ）、８はダイアフラム、 ９はセンターロッド、10は薬液吸入口、 11は薬液吐出口、 である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 押田 祐 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)考案者 藤江 信夫 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 実開 昭51−137101（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭46−36315（ＪＰ，Ｂ１) 実公 昭57−45404（ＪＰ，Ｙ１) 実公 昭43−15903（ＪＰ，Ｙ１) 実公 昭48−35376（ＪＰ，Ｙ２)
Claims (1)
- 【請求項１】発泡性薬液を圧送するポンプにおいて、 薬液吸入口から前記発泡性薬液を吸入し薬液吐出管から
吐出するポンプと、該薬液吐出管から吐出された薬液が
注入され薬液吐出口から排出する気泡分離室とからな
り、 前記気泡分離室内には、 前記吐出管から注入された薬液が当たるように前記吐出
管の出口に対向するように配置された気泡分離壁と、 前記気泡分離壁に当たった前記薬液から分離した気泡が
移動する方向に対向するように配置され、気体のみを透
過させる性質を有し、且つ収集された気体が排出される
管が接続された撥水性フィルタとを有することを特徴と
する気泡分離機能付薬液用ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986179250U JPH0645665Y2 (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | 気泡分離機能付薬液用ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986179250U JPH0645665Y2 (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | 気泡分離機能付薬液用ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6383473U JPS6383473U (ja) | 1988-06-01 |
| JPH0645665Y2 true JPH0645665Y2 (ja) | 1994-11-24 |
Family
ID=31122146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986179250U Expired - Lifetime JPH0645665Y2 (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | 気泡分離機能付薬液用ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0645665Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2649042B2 (ja) * | 1987-04-24 | 1997-09-03 | 日本フイ−ダ−工業株式会社 | ポンプのガス抜き機構 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4315903Y1 (ja) * | 1966-04-16 | 1968-07-02 | ||
| JPS4835372U (ja) * | 1971-09-01 | 1973-04-27 | ||
| JPS51137101U (ja) * | 1975-04-28 | 1976-11-05 | ||
| JPS5745404U (ja) * | 1980-08-29 | 1982-03-12 |
-
1986
- 1986-11-20 JP JP1986179250U patent/JPH0645665Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6383473U (ja) | 1988-06-01 |
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