JPH0645736Y2 - 予備容器を有する処理装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は真空炉、加熱炉、減圧プラズマ溶射設備などの
各種処理容器の内部に外部の影響を及ぼさないで処理物
の搬入出および処理を実施するための予備容器を備えた
処理装置に関する。

〔従来の技術〕

近年、高付加価値型の素材開発、部品処理が隆盛とな
り、その製造工程の一環として処理容器を設け内部を所
要の雰囲気、圧力、温度などの条件にし、例えば、真空
処理、加熱処理、減圧プラズマ溶射などを実施する技術
が注目を浴びている。こうした処理では、品質を高める
ため処理容器内のアクチュエーターによって処理物の姿
勢、位置を変化させることが多い。アクチュエーターへ
の処理物の装着には、主に、処理容器を毎回大気開放、
すなわち内部に外気を入れて一度大気圧に戻して処理物
を内部挿入する方法と、第５図に示すような、処理容器
４に開口と仕切り材５を介した予備容器３を併設して、
仕切り材５で接合部９の口を閉じた状態でまず予備容器
３の蓋２のみを開いて処理物１を予備容器３内部で待機
しているアクチュエーター６に装着した後予備容器３の
蓋２を閉じ予備容器３内条件を処理容器４内部と適合
（例えば圧力を同一にするなど）させた後、仕切り材５
を開放して処理容器４内に挿入する方法がある。

特に生産用設備では処理容器の大気開放から処理のため
の雰囲気再設定までに要する時間損失を無くすことや、
大気開放時に処理容器内部への大気中水分の混入や逆に
処理容器から粉塵、有害物質などが外に流出するなどの
弊害を回避する観点から後者を採用することが多い。ま
た、生産性向上のために一つの処理容器に予備容器を配
置し、予備容器に予備加熱の機能を付加することも行わ
れている。

〔考案が解決しようとする課題〕

前述のような予備容器に予備加熱機能を付加する場合に
は、処理物を処理容器内に挿入している間は処理容器と
予備容器が常時連通するので例えば処理容器内で多量の
粉塵が発生する減圧プラズマ溶射設備などでは溶射粉が
予備容器側に多量に侵入し予備容器内の予備加熱ヒータ
ー、絶縁物および付属配管に付着するなどして、ヒータ
ーの素材や特性の劣化、絶縁不良、弁などの配管部品の
故障を起こしたり、蓄積した粉が流動して予備容器内で
の搬入出時に処理物に付着し品質低下を招くなどの問題
があった。また、処理物が挿入方向に長いために挿入ス
トロークを長くとる必要がある場合にはアクチュエータ
ーの片持ち部分が長くなるためたわみが増すので、アク
チュエーターの断面を太くするなどして剛性を増す必要
がある。特に処理物に挿入方向の軸回りの回転を与える
場合には処理物のアクチュエーター軸中心に対する重心
のずれによる遠心力が発生して振動が発生するなどの問
題もあった。本考案はこれらの問題点を解決するもので
ある。

〔課題を解決するための手段〕

上記の問題点を解決し本考案の目的を達成するための構
成を説明すると、本考案は、処理物１を外部と出し入れ
するための蓋２を備えた予備容器３を併設した処理容器
４と、前記容器間を隔絶または連通するための仕切り材
５を取り付けた開口を通して処理物１の着脱と保持の機
構を有し、かつ該容器間の処理物１の移動を可能ならし
めるアクチュエーター６を装備した予備容器を有する処
理装置において、該アクチュエーター６に、その移動部
分７と相互に摺動可能かつ摺動部の気密性を維持可能に
嵌合してなるシール板８を取り付けるとともに前記予備
容器３にガス導入弁10およびガス排出弁11を設けたこと
を特徴とする予備容器を有する処理装置である。

〔作用〕

本考案は、上述のような構成であるので、仕切り材にて
接合部の開口を開いて容器間を連通させた直後に予備容
器内のシール板とアクチュエーターを速やかに一体的に
移動させ前記接合部にシール板を接触させた後、処理容
器内よりも予備容器内の圧力を高めることで同シール板
を接合面に押さえ付けて停留させたまま容器間のシール
を維持しながらもアクチュエーターによる処理容器内で
の処理物の往復移動が実施できる。またシール板に加わ
る押し付け力は接合面との間で静止摩擦力を生ぜしめる
ので、シール板がアクチュエーターの往復方向とは直交
する方向へのたわみや振れを拘束し、すなわちアクチュ
エーターの剛性を補足する作用も合わせ持つ。

〔実施例〕

以下、本考案の第１の実施例を図面に基づいて説明する
と、第１図において、予備容器３と処理容器４の間を連
通または隔絶するために仕切り材５を設ける。この仕切
り材５によって接合部９の口を開放してアクチュエータ
ー６によって処理物１を予備容器３と処理容器４間で往
復移動させる。また予備容器３内にアクチュエーターを
後退させかつ仕切り材５で口を閉じることで、処理容器
４内条件に影響を与えず処理物１のアクチュエーター６
への授受を行う。アクチュエーター６は、その移動部７
が予備容器３と処理容器４の両方を往復可能な長さを持
ち、予備容器３の貫通部分と気密性を保持しかつ摺動可
能に嵌合されたシール板８が取り付けられる。処理物１
は、アクチュエーター６の先端部で着脱、保持され移動
せしめられる。処理物１の搬入出は蓋２を介して行われ
る。予備容器３には、内部にガスを導入し昇圧するため
のガス導入弁10を備えた配管とガスを排出するためのガ
ス排出弁11が備えられる。第２図は、予備容器３と処理
容器４間におけるシール板８と接合部９の第２の実施例
を示すもので、シール板８と接合部９にそれぞれ凹凸を
設けて、圧力の押し付け力による摩擦力に加えて接合部
９からの反力による支持機能を合わせ持たせたものであ
る。

第３図は、予備容器３と処理容器４間におけるシール板
８と接合部９の第３の実施例を示すもので、シール板８
の、アクチュエーター６および接合部９のそれぞれに接
触する部分にシール部品12、例えばＯリング、を設けて
気密性を高めたものである。第４図は、予備容器３と処
理容器４間におけるシール板８と接合部９の第４の実施
例を示すもので、シール板８の断面を湾曲した形状とす
ることで、圧力に抗する強度を高め、シール板８の肉厚
を薄くしてその軽量化を可能にしたものである。

〔考案の効果〕

本考案は、以上説明したように、予備容器と処理容器の
間を移動するアクチュエーターに対し気密性を持つ摺動
可能なシール板を設け、容器間の仕切り材で接合部の口
を開いた直後に接合部にシール板を接触させて両容器間
の気密性を保持するので処理容器からの例えば粉塵、ガ
ス、熱などの影響を予備容器側に及ぼさない効果があ
る。よって処理容器内で粉塵が発生する場合でも、上述
の作用により、処理容器側で発生する粉塵が予備容器側
のヒーター、絶縁物および付属配管に付着するなどして
ヒーターの素材や特性の劣化、絶縁不良、弁などの配管
部品の故障を起こしたり、蓄積した粉が流動して予備容
器内で処理物に付着し品質低下を招くなどの問題が生じ
るのを防止できる。さらに、シール板が、圧力による押
し付け力で接合部に固着できるので、アクチュエーター
のたわみ、振動などの剛性に関わる現象を抑制する効果
もある。

【図面の簡単な説明】 第１図は本考案の実施例を示す断面図、第２図、第３図
及び第４図はシール板と接合部の実施例を示す断面図、
第５図は従来の技術例を示す説明図である。 １……処理物、２……蓋、３……予備容器、４……処理
容器、５……仕切り材、６……アクチュエーター、７…
…アクチュエーター移動部、８……シール板、９……接
合部、10……ガス導入弁、11……ガス排出弁、12……シ
ール部品。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】処理物を外部と出し入れするための蓋を備
   えた予備容器を併設した処理容器と、前記容器間を隔絶
   または連通するための仕切り材を取り付けた開口を通し
   て処理物の着脱と保持の機構を有し、かつ該容器間の処
   理物の移動を可能ならしめるアクチュエーターを装備し
   た予備容器を有する処理装置において、該アクチュエー
   ターに、その移動部分と相互に摺動可能かつ摺動部の気
   密性を維持可能に嵌合してなるシール板を取り付けると
   ともに、前記予備容器にガス導入弁およびガス排出弁を
   設けたことを特徴とする予備容器を有する処理装置。