JPH0645747A - リフロー装置 - Google Patents
リフロー装置Info
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- JPH0645747A JPH0645747A JP4196627A JP19662792A JPH0645747A JP H0645747 A JPH0645747 A JP H0645747A JP 4196627 A JP4196627 A JP 4196627A JP 19662792 A JP19662792 A JP 19662792A JP H0645747 A JPH0645747 A JP H0645747A
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- Japan
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- heating chamber
- conveyor
- guide rails
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 加熱室内を基板が搬送している間に、ヒータ
の熱により基板が変形して、基板が反ったりコンベアか
ら落下したりするのを防止できるリフロー装置を提供す
る。 【構成】 加熱室１内に設けられるコンベア１１を、基
板Ｓの両側端部を案内する左右一対のガイドレール１
３，１４と、上方から基板Ｓの両側端部をガイドレール
１３，１４に押圧する押圧手段１５と、基板Ｓをガイド
レール１３，１４上を摺動させて搬送する搬送手段１７
とから構成した。 【効果】 基板Ｓを押圧手段１５によりガイドレール１
３，１４により押し付けることにより、基板Ｓの熱変形
やコンベア１１からの落下を阻止できる。
の熱により基板が変形して、基板が反ったりコンベアか
ら落下したりするのを防止できるリフロー装置を提供す
る。 【構成】 加熱室１内に設けられるコンベア１１を、基
板Ｓの両側端部を案内する左右一対のガイドレール１
３，１４と、上方から基板Ｓの両側端部をガイドレール
１３，１４に押圧する押圧手段１５と、基板Ｓをガイド
レール１３，１４上を摺動させて搬送する搬送手段１７
とから構成した。 【効果】 基板Ｓを押圧手段１５によりガイドレール１
３，１４により押し付けることにより、基板Ｓの熱変形
やコンベア１１からの落下を阻止できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリフロー装置に係り、詳
しくは、加熱室内を基板を搬送している間に、ヒータの
熱により基板が変形して、この基板が反ったりコンベア
から落下したりするのを防止できるリフロー装置に関す
る。
しくは、加熱室内を基板を搬送している間に、ヒータの
熱により基板が変形して、この基板が反ったりコンベア
から落下したりするのを防止できるリフロー装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】チップマウンタなどにより基板にチップ
を搭載した後、基板はリフロー装置の加熱室へ送られ、
クリーム半田を加熱して溶融させた後、冷却して固化さ
せることにより、チップの電極は基板の電極に半田付け
される。次に、図５を参照しながら従来のリフロー装置
を説明する。
を搭載した後、基板はリフロー装置の加熱室へ送られ、
クリーム半田を加熱して溶融させた後、冷却して固化さ
せることにより、チップの電極は基板の電極に半田付け
される。次に、図５を参照しながら従来のリフロー装置
を説明する。
【０００３】図５はリフロー装置の断面図である。加熱
室１の内部には、チップＰが搭載された基板Ｓを入口２
から出口３へ搬送するコンベア４が設けられており、こ
のコンベア４の上方にはヒータ５とファン６が設けられ
ている。９はコンベア４の駆動用モータ、２９はファン
６の駆動用モータである。加熱室１の内部は、２枚の仕
切壁３０により予熱ゾーンＴ１、均熱ゾーンＴ２、リフ
ローゾーンＴ３に区画されており、また加熱室１の後部
には冷却室１０が設けられている。コンベア４は、図６
に示すように左右一対のチェーン７から成り、このチェ
ーン７には一定間隔ごとにアタッチメント８が設けら
れ、このアタッチメント８に基板Ｓの両側端部が載置さ
れる。
室１の内部には、チップＰが搭載された基板Ｓを入口２
から出口３へ搬送するコンベア４が設けられており、こ
のコンベア４の上方にはヒータ５とファン６が設けられ
ている。９はコンベア４の駆動用モータ、２９はファン
６の駆動用モータである。加熱室１の内部は、２枚の仕
切壁３０により予熱ゾーンＴ１、均熱ゾーンＴ２、リフ
ローゾーンＴ３に区画されており、また加熱室１の後部
には冷却室１０が設けられている。コンベア４は、図６
に示すように左右一対のチェーン７から成り、このチェ
ーン７には一定間隔ごとにアタッチメント８が設けら
れ、このアタッチメント８に基板Ｓの両側端部が載置さ
れる。
【０００４】このリフロー装置の作動を説明すると、図
５に示すようにチップＰが搭載された基板Ｓはコンベア
４により右方へ搬送される。その間に、基板Ｓは予熱ゾ
ーンＴ１、均熱ゾーンＴ２、リフローゾーンＴ３を順次
通過し、ゾーンＴ１，Ｔ２，Ｔ３においてヒータ５の熱
がファン６により基板Ｓの上面に吹き付けられて基板Ｓ
は加熱され、半田２８は溶融する。次に基板Ｓは冷却室
１０のファン６により冷却されて半田２８は固化し、チ
ップＰは基板Ｓの電極に半田付けされる。
５に示すようにチップＰが搭載された基板Ｓはコンベア
４により右方へ搬送される。その間に、基板Ｓは予熱ゾ
ーンＴ１、均熱ゾーンＴ２、リフローゾーンＴ３を順次
通過し、ゾーンＴ１，Ｔ２，Ｔ３においてヒータ５の熱
がファン６により基板Ｓの上面に吹き付けられて基板Ｓ
は加熱され、半田２８は溶融する。次に基板Ｓは冷却室
１０のファン６により冷却されて半田２８は固化し、チ
ップＰは基板Ｓの電極に半田付けされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ヒータ５の
熱により基板Ｓの温度は２３０℃前後の高温となるた
め、基板Ｓは搬送中に熱変形して、通常、図６鎖線に示
すように自重により下向きに反ってしまい、ファン６の
熱風にあおられることもあって、コンベア４から落下し
やすいという問題点があった。またこの熱変形のために
基板Ｓは永久変形し、不良基板になりやすいという問題
点があった。
熱により基板Ｓの温度は２３０℃前後の高温となるた
め、基板Ｓは搬送中に熱変形して、通常、図６鎖線に示
すように自重により下向きに反ってしまい、ファン６の
熱風にあおられることもあって、コンベア４から落下し
やすいという問題点があった。またこの熱変形のために
基板Ｓは永久変形し、不良基板になりやすいという問題
点があった。
【０００６】基板Ｓのコンベア４からの落下を防止する
手段として、アタッチメント８の長さＬを長くして基板
Ｓの支持幅を大きくすることが考えられる。しかし、リ
フロー装置へ送られる基板Ｓには、片面にチップＰが搭
載された片面実装の基板だけでなく、上面と下面にチッ
プＰが搭載された両面実装の基板があり、このような両
面実装基板の場合には、アタッチメント８を長くすると
アタッチメント８が基板Ｓの下面のチップＰに当たって
しまうため、アタッチメント８の長さＬにも限界があっ
た。
手段として、アタッチメント８の長さＬを長くして基板
Ｓの支持幅を大きくすることが考えられる。しかし、リ
フロー装置へ送られる基板Ｓには、片面にチップＰが搭
載された片面実装の基板だけでなく、上面と下面にチッ
プＰが搭載された両面実装の基板があり、このような両
面実装基板の場合には、アタッチメント８を長くすると
アタッチメント８が基板Ｓの下面のチップＰに当たって
しまうため、アタッチメント８の長さＬにも限界があっ
た。
【０００７】そこで本発明は、加熱室内を基板を搬送し
ている間に、ヒータの熱により基板が変形して反り返っ
たりコンベアから落下するのを解消できるリフロー装置
を提供することを目的とする。
ている間に、ヒータの熱により基板が変形して反り返っ
たりコンベアから落下するのを解消できるリフロー装置
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、加熱室内に設
けられるコンベアを、基板の両側端部を案内する左右一
対のガイドレールと、上方から基板の両側端部をこのガ
イドレールに押圧する押圧手段と、基板をこのガイドレ
ール上を摺動させて搬送する搬送手段とから構成した。
けられるコンベアを、基板の両側端部を案内する左右一
対のガイドレールと、上方から基板の両側端部をこのガ
イドレールに押圧する押圧手段と、基板をこのガイドレ
ール上を摺動させて搬送する搬送手段とから構成した。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、基板はその両側端部が押圧
手段によってガイドレールに押圧されて加熱室内を搬送
されるので、搬送中に基板がヒータの熱により変形して
反ったり、コンベアから落下するのを防止できる。
手段によってガイドレールに押圧されて加熱室内を搬送
されるので、搬送中に基板がヒータの熱により変形して
反ったり、コンベアから落下するのを防止できる。
【００１０】
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。図１はリフロー装置の断面図である。加熱室
１の内部には、チップＰが搭載された基板Ｓを入口２か
ら出口３へ搬送するコンベア１１が設けられており、こ
のコンベア１１の上方にはヒータ５とファン６が設けら
れている。２９はファン６の駆動用モータである。この
加熱室１の内部は、２枚の仕切壁３０により予熱ゾーン
Ｔ１、均熱ゾーンＴ２、リフローゾーンＴ３に区画され
ており、また加熱室１の後部には冷却室１０が設けられ
ている。また加熱室１の搬入側には前コンベア１２Ａが
設けられ、加熱室１の搬出側には後コンベア１２Ｂが設
けられている。次に、図１および図２を参照しながらコ
ンベア１１の構造を詳細に説明する。
説明する。図１はリフロー装置の断面図である。加熱室
１の内部には、チップＰが搭載された基板Ｓを入口２か
ら出口３へ搬送するコンベア１１が設けられており、こ
のコンベア１１の上方にはヒータ５とファン６が設けら
れている。２９はファン６の駆動用モータである。この
加熱室１の内部は、２枚の仕切壁３０により予熱ゾーン
Ｔ１、均熱ゾーンＴ２、リフローゾーンＴ３に区画され
ており、また加熱室１の後部には冷却室１０が設けられ
ている。また加熱室１の搬入側には前コンベア１２Ａが
設けられ、加熱室１の搬出側には後コンベア１２Ｂが設
けられている。次に、図１および図２を参照しながらコ
ンベア１１の構造を詳細に説明する。
【００１１】図２において、コンベア１１は、基板Ｓの
搬送路となる左右一対の固定ガイドレール１３と可動ガ
イドレール１４を主体としている。固定ガイドレール１
３と可動ガイドレール１４の断面はＬ字形であって、そ
の下部の上面には、基板Ｓの摺動面となる断熱材３１が
設けられている。この断熱材３１は基板Ｓが円滑に摺動
できるように、摩擦係数の小さな耐熱性合成樹脂から成
っている。このようにガイドレール１３，１４に断熱材
３１を設けるのは、ガイドレール１３，１４は、その強
度の確保のために、ステンレスやアルミニウムなどの比
熱の小さな金属から形成されるため、リフロー時にガイ
ドレール１３，１４がヒータ５の熱を吸収して極めて高
温になり、ガイドレール１３，１４の熱が過度に基板Ｓ
の両側端部に伝達されてこの両側端部が局所的に過度に
加熱されるのを防ぐためである。
搬送路となる左右一対の固定ガイドレール１３と可動ガ
イドレール１４を主体としている。固定ガイドレール１
３と可動ガイドレール１４の断面はＬ字形であって、そ
の下部の上面には、基板Ｓの摺動面となる断熱材３１が
設けられている。この断熱材３１は基板Ｓが円滑に摺動
できるように、摩擦係数の小さな耐熱性合成樹脂から成
っている。このようにガイドレール１３，１４に断熱材
３１を設けるのは、ガイドレール１３，１４は、その強
度の確保のために、ステンレスやアルミニウムなどの比
熱の小さな金属から形成されるため、リフロー時にガイ
ドレール１３，１４がヒータ５の熱を吸収して極めて高
温になり、ガイドレール１３，１４の熱が過度に基板Ｓ
の両側端部に伝達されてこの両側端部が局所的に過度に
加熱されるのを防ぐためである。
【００１２】固定ガイドレール１３と可動ガイドレール
１４の上面には、上方から基板Ｓの両側端部をガイドレ
ール１３，１４に押圧する押圧手段としての板ばね１５
が装着されている。板ばね１５は、基板Ｓが摺動できる
程度の押圧力で基板Ｓの両側端部をガイドレール１３，
１４に押し付けるものであり、下端部が基板Ｓの搬出方
向に向かって下方へ湾曲する形状を有している。この板
ばね１５は、ガイドレール１３，１４の対峙する位置に
一定間隔ごとにビス１６により固着されている。
１４の上面には、上方から基板Ｓの両側端部をガイドレ
ール１３，１４に押圧する押圧手段としての板ばね１５
が装着されている。板ばね１５は、基板Ｓが摺動できる
程度の押圧力で基板Ｓの両側端部をガイドレール１３，
１４に押し付けるものであり、下端部が基板Ｓの搬出方
向に向かって下方へ湾曲する形状を有している。この板
ばね１５は、ガイドレール１３，１４の対峙する位置に
一定間隔ごとにビス１６により固着されている。
【００１３】図１および図２において、固定ガイドレー
ル１３と可動ガイドレール１４の間の下方には、基板Ｓ
をガイドレール１３，１４に沿って搬送する搬送手段と
してのベルトコンベア１７が設けられている。このベル
トコンベア１７は、加熱室１の入口２の外方に設けられ
た駆動用のタイミングプーリ１８と、加熱室１の出口３
の外方に設けられた従動用のタイミングプーリ１９にタ
イミングベルト２０を調帯したものである。このタイミ
ングベルト２０は耐熱性材料から成るベルトであり、タ
イミングベルト２０の外周面には一定間隔ごとに基板Ｓ
を押送する送りピン２１が突設されている。モータ２２
の駆動によりタイミングベルト２０を回動させると、送
りピン２１がガイドレール１３，１４上に載置された基
板Ｓの後部に当接し、基板Ｓを右方へ押送する。次に、
図３を参照しながら、両ガイドレール１３，１４の間隔
調整手段を説明する。
ル１３と可動ガイドレール１４の間の下方には、基板Ｓ
をガイドレール１３，１４に沿って搬送する搬送手段と
してのベルトコンベア１７が設けられている。このベル
トコンベア１７は、加熱室１の入口２の外方に設けられ
た駆動用のタイミングプーリ１８と、加熱室１の出口３
の外方に設けられた従動用のタイミングプーリ１９にタ
イミングベルト２０を調帯したものである。このタイミ
ングベルト２０は耐熱性材料から成るベルトであり、タ
イミングベルト２０の外周面には一定間隔ごとに基板Ｓ
を押送する送りピン２１が突設されている。モータ２２
の駆動によりタイミングベルト２０を回動させると、送
りピン２１がガイドレール１３，１４上に載置された基
板Ｓの後部に当接し、基板Ｓを右方へ押送する。次に、
図３を参照しながら、両ガイドレール１３，１４の間隔
調整手段を説明する。
【００１４】図３は加熱室１の断面図である。可動ガイ
ドレール１４は、逆Ｌ字形のブラケット３２の上端部に
取り付けられており、ブラケット３２の下部にはスライ
ダ３３が設けられている。このスライダ３３は加熱室１
の下面に設けられたＹ方向レール３４に嵌合しており、
また加熱室１の両側面に設けられた軸受３５を介してボ
ールねじ３６が架け渡され、このボールねじ３６にブラ
ケット３２に装着されたナット３７が螺合されている。
モータ３８を駆動してボールねじ３６を回転させると、
ブラケット３２はＹ方向レール３４に沿って移動して可
動ガイドレール１４は横方向に摺動し、基板Ｓの横幅に
応じて固定ガイドレール１３と可動ガイドレール１４の
間隔が調整される。
ドレール１４は、逆Ｌ字形のブラケット３２の上端部に
取り付けられており、ブラケット３２の下部にはスライ
ダ３３が設けられている。このスライダ３３は加熱室１
の下面に設けられたＹ方向レール３４に嵌合しており、
また加熱室１の両側面に設けられた軸受３５を介してボ
ールねじ３６が架け渡され、このボールねじ３６にブラ
ケット３２に装着されたナット３７が螺合されている。
モータ３８を駆動してボールねじ３６を回転させると、
ブラケット３２はＹ方向レール３４に沿って移動して可
動ガイドレール１４は横方向に摺動し、基板Ｓの横幅に
応じて固定ガイドレール１３と可動ガイドレール１４の
間隔が調整される。
【００１５】次に、本リフロー装置の作動を説明する。
図１においてチップＰが搭載された基板Ｓは、前コンベ
ア１２Ａから加熱室１内のコンベア１１に搬入され、基
板Ｓは送りピン２１により加熱室１内を右方へ搬送され
る。その間に、基板Ｓは予熱ゾーンＴ１、均熱ゾーンＴ
２、リフローゾーンＴ３を順次通過し、これらのゾーン
Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３においてファン６により熱風が基板Ｓ
の上面に吹き付けられて基板Ｓは加熱され、半田２８は
溶融する。
図１においてチップＰが搭載された基板Ｓは、前コンベ
ア１２Ａから加熱室１内のコンベア１１に搬入され、基
板Ｓは送りピン２１により加熱室１内を右方へ搬送され
る。その間に、基板Ｓは予熱ゾーンＴ１、均熱ゾーンＴ
２、リフローゾーンＴ３を順次通過し、これらのゾーン
Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３においてファン６により熱風が基板Ｓ
の上面に吹き付けられて基板Ｓは加熱され、半田２８は
溶融する。
【００１６】このときの熱により基板Ｓは自重により下
方へ向かって反ろうとするが、基板Ｓの両側端部は板ば
ね１５により上方から断熱材３１の上面に押圧されてい
るので、その変形は阻止される。すなわち、基板Ｓは熱
変形に伴って、その両側端部が断熱材３１の上面より浮
き上がろうとするが、板ばね１５の押圧力によりこの浮
きは規制されて基板Ｓの変形は阻止され、従って搬送中
における基板Ｓの反りを防止できる。また基板Ｓの両側
端部を板ばね１５により断熱材３１に押し付けておくこ
とにより、基板Ｓがファン６の熱風にあおられてコンベ
ア４から落下するのも解消できる。次いで、基板Ｓは冷
却室１０のファン６により冷却されて半田２８は固化
し、チップＰは基板Ｓの電極に半田付けされる。
方へ向かって反ろうとするが、基板Ｓの両側端部は板ば
ね１５により上方から断熱材３１の上面に押圧されてい
るので、その変形は阻止される。すなわち、基板Ｓは熱
変形に伴って、その両側端部が断熱材３１の上面より浮
き上がろうとするが、板ばね１５の押圧力によりこの浮
きは規制されて基板Ｓの変形は阻止され、従って搬送中
における基板Ｓの反りを防止できる。また基板Ｓの両側
端部を板ばね１５により断熱材３１に押し付けておくこ
とにより、基板Ｓがファン６の熱風にあおられてコンベ
ア４から落下するのも解消できる。次いで、基板Ｓは冷
却室１０のファン６により冷却されて半田２８は固化
し、チップＰは基板Ｓの電極に半田付けされる。
【００１７】また、基板Ｓの品種変更にともない、基板
Ｓの横幅が変わる場合には、図３においてモータ３８の
駆動によりボールねじ３６を回転させ、可動ガイドレー
ル１４を横方向へ移動させて固定ガイドレール１３と可
動ガイドレール１４の間隔を調整する。
Ｓの横幅が変わる場合には、図３においてモータ３８の
駆動によりボールねじ３６を回転させ、可動ガイドレー
ル１４を横方向へ移動させて固定ガイドレール１３と可
動ガイドレール１４の間隔を調整する。
【００１８】本発明は上記実施例に限定されないのであ
って、例えば図４に示すように、ガイドレール１３，１
４の上端部にビス４１により横方向へ延びる板ばね４２
を取り付け、更にこの板ばね４２の先端部にアタッチメ
ント４３を固着し、このアタッチメント４３に押圧ロー
ラ４４を軸着して、板ばね４２のばね力により押圧ロー
ラ４４を基板Ｓの両側端部に押圧するようにしてもよ
い。また図３において、可動ガイドレール１４を摺動さ
せてガイドレール１３，１４の間隔調整を行う際には、
可動ガイドレール１４の摺動に連動して、タイミングベ
ルト２０を可動ガイドレール１４のストロークの２分の
１摺動させるようにしてもよく、このようにすれば、送
りピン２１で常に基板Ｓのセンターを押送できる。タイ
ミングベルト２０の摺動手段としては、可動ガイドレー
ル１４の場合と同様の摺動手段が適用できる。さらに
は、上記実施例はエアリフロー装置を例にとって説明し
たが、基板の回路パターンなどの金属部分の酸化を防止
するために、加熱室に不活性ガスであるチッソガスを供
給しながら不活性ガス雰囲気中で半田を加熱処理するチ
ッソリフロー装置にも適用できる。
って、例えば図４に示すように、ガイドレール１３，１
４の上端部にビス４１により横方向へ延びる板ばね４２
を取り付け、更にこの板ばね４２の先端部にアタッチメ
ント４３を固着し、このアタッチメント４３に押圧ロー
ラ４４を軸着して、板ばね４２のばね力により押圧ロー
ラ４４を基板Ｓの両側端部に押圧するようにしてもよ
い。また図３において、可動ガイドレール１４を摺動さ
せてガイドレール１３，１４の間隔調整を行う際には、
可動ガイドレール１４の摺動に連動して、タイミングベ
ルト２０を可動ガイドレール１４のストロークの２分の
１摺動させるようにしてもよく、このようにすれば、送
りピン２１で常に基板Ｓのセンターを押送できる。タイ
ミングベルト２０の摺動手段としては、可動ガイドレー
ル１４の場合と同様の摺動手段が適用できる。さらに
は、上記実施例はエアリフロー装置を例にとって説明し
たが、基板の回路パターンなどの金属部分の酸化を防止
するために、加熱室に不活性ガスであるチッソガスを供
給しながら不活性ガス雰囲気中で半田を加熱処理するチ
ッソリフロー装置にも適用できる。
【００１９】
【発明の効果】本発明は、基板を加熱室内を搬送するコ
ンベアを、基板の両側端部を案内する左右一対のガイド
レールと、上方から基板の両側端部をこのガイドレール
に押圧する押圧手段と、基板をこのガイドレール上を摺
動させて搬送する搬送手段とから構成したので、加熱室
内を基板を搬送している間にヒータの熱により基板が熱
変形して不良基板になったり、基板が反ってコンベアか
ら落下するのを解消できる。
ンベアを、基板の両側端部を案内する左右一対のガイド
レールと、上方から基板の両側端部をこのガイドレール
に押圧する押圧手段と、基板をこのガイドレール上を摺
動させて搬送する搬送手段とから構成したので、加熱室
内を基板を搬送している間にヒータの熱により基板が熱
変形して不良基板になったり、基板が反ってコンベアか
ら落下するのを解消できる。
【図１】本発明の一実施例に係るリフロー装置の断面図
【図２】本発明の一実施例に係るリフロー装置の加熱室
内の要部斜視図
内の要部斜視図
【図３】本発明の一実施例に係るリフロー装置の加熱室
の断面図
の断面図
【図４】本発明の他の実施例に係るリフロー装置の加熱
室の要部断面図
室の要部断面図
【図５】従来手段に係るリフロー装置の断面図
【図６】従来手段に係るリフロー装置のコンベアの断面
図
図
１ 加熱室 ５ ヒータ ６ ファン １１ コンベア １３，１４ ガイドレール １５，４２ 押圧手段（板ばね） １７ 搬送手段 ４３ 押圧手段（アタッチメント） ４４ 押圧手段（押圧ローラ） Ｓ 基板
Claims (2)
- 【請求項１】加熱室と、この加熱室内に設けられたヒー
タおよびファンと、この加熱室内に設けられて基板をこ
の加熱室の入口から出口へ搬送するコンベアとを備えた
リフロー装置において、上記コンベアを、基板の両側端
部を案内する左右一対のガイドレールと、上方から基板
の両側端部をこのガイドレールに押圧する押圧手段と、
基板をこのガイドレール上を摺動させて搬送する搬送手
段とから構成したことを特徴とするリフロー装置。 - 【請求項２】前記押圧手段がばね材であって、前記ガイ
ドレールに装着されていることを特徴とする請求項１記
載のリフロー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04196627A JP3084942B2 (ja) | 1992-07-23 | 1992-07-23 | リフロー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04196627A JP3084942B2 (ja) | 1992-07-23 | 1992-07-23 | リフロー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0645747A true JPH0645747A (ja) | 1994-02-18 |
| JP3084942B2 JP3084942B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=16360910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04196627A Expired - Fee Related JP3084942B2 (ja) | 1992-07-23 | 1992-07-23 | リフロー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3084942B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09183513A (ja) * | 1995-12-29 | 1997-07-15 | Hioki Ee Corp | 基板搬送機構 |
| WO2012067155A1 (ja) * | 2010-11-19 | 2012-05-24 | 千住金属工業株式会社 | 搬送装置 |
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- 1992-07-23 JP JP04196627A patent/JP3084942B2/ja not_active Expired - Fee Related
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