JPH064584Y2 - レ−ザマ−キング用ウエハ−搬送装置 - Google Patents
レ−ザマ−キング用ウエハ−搬送装置Info
- Publication number
- JPH064584Y2 JPH064584Y2 JP1987062211U JP6221187U JPH064584Y2 JP H064584 Y2 JPH064584 Y2 JP H064584Y2 JP 1987062211 U JP1987062211 U JP 1987062211U JP 6221187 U JP6221187 U JP 6221187U JP H064584 Y2 JPH064584 Y2 JP H064584Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- transfer device
- wafer transfer
- laser marking
- transfer arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 title claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 45
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はレーザ発振器を用いて半導体ウエハー上に製品
番号やロット番号を印字するレーザマーキング装置のウ
エハー搬送装置に関する。
番号やロット番号を印字するレーザマーキング装置のウ
エハー搬送装置に関する。
〔従来の技術〕 従来、この種のレーザマーカ搬送装置は、ウエハーが収
納されているキャリアからウエハーを出し入れする機構
部と、ウエハーのオリエンテーションフラット（以後Ｏ
Ｆと記す）を検出する機構部と、ＯＦの位置決め位置を
矯正するＯＦ矯正機構部と、ウエハーの中心出しをする
中心出し機構部とがそれぞれ独立に構成されていた。こ
のためアクチュエータ数は１０個以上必要であった。
納されているキャリアからウエハーを出し入れする機構
部と、ウエハーのオリエンテーションフラット（以後Ｏ
Ｆと記す）を検出する機構部と、ＯＦの位置決め位置を
矯正するＯＦ矯正機構部と、ウエハーの中心出しをする
中心出し機構部とがそれぞれ独立に構成されていた。こ
のためアクチュエータ数は１０個以上必要であった。
上述した従来のレーザマーキング用搬送装置では、多く
の機構部が独立しているので、２種以上のインチサイズ
のウエハーを別々に搬送する場合、インチサイズに応じ
て各機構部を交換しなければならない箇所や、検出位置
を移動するための機構部が約３つ以上必要となる。この
ため部品点数が多くなり、コスト高になったり、調整箇
所が増えることからメンテナンスの時間も長くかかると
いう欠点を持っている。
の機構部が独立しているので、２種以上のインチサイズ
のウエハーを別々に搬送する場合、インチサイズに応じ
て各機構部を交換しなければならない箇所や、検出位置
を移動するための機構部が約３つ以上必要となる。この
ため部品点数が多くなり、コスト高になったり、調整箇
所が増えることからメンテナンスの時間も長くかかると
いう欠点を持っている。
本考案の目的は従来のレーザマーカ用搬送装置のウエハ
ー搬送アームとＯＦ検出機構とＯＦ矯正機構部を統合し
て、装置のコストダウント，メンテナンスのし易さの向
上をはかることにある。
ー搬送アームとＯＦ検出機構とＯＦ矯正機構部を統合し
て、装置のコストダウント，メンテナンスのし易さの向
上をはかることにある。
本考案のウエハー搬送装置は、ウエハーを搬送する際に
ウエハーを支持するウエハー支持部と、ウエハーを吸着
するためのウエハー吸着部と、ウエハーのＯＦを検出す
るためのＯＦ検出センサー部と、ＯＦの端面に板を押し
当てることによりＯＦを機械的に位置決めするためのＯ
Ｆ押し当て板とから構成されている。
ウエハーを支持するウエハー支持部と、ウエハーを吸着
するためのウエハー吸着部と、ウエハーのＯＦを検出す
るためのＯＦ検出センサー部と、ＯＦの端面に板を押し
当てることによりＯＦを機械的に位置決めするためのＯ
Ｆ押し当て板とから構成されている。
次に本考案の実施例について図面を参照して説明する。
図は、本考案の一実施例の斜視図である。
図において、1aはエレベータであり、台１上にウェハー
収納キャリアを載せてパルスモータ２からの動力で１ａ
を上下ピッチ送りする機構部である。３，４，５，６か
ら構成される部分は、ウェハー搬送アームでありアーム
全体は支柱１４に沿って移動する。このうち３はウェハ
ー支持部で、ウエハーを収納キャリアから出し入れする
時に、ウェハーを支える役割を果たす。４はウェハー吸
着部で、ウェハーを真空吸着する部分である。５はウェ
ハーのＯＦ（オリエンテーションフラット）を検出する
センサー部である。６はＯＦ押し当て板であり、ＯＦ検
出部５でＯＦ検出後の停止位置を矯正する部分である。
７は中心出し機構部で開閉（開閉機構は省略）を行うこ
とにより、ウェハーの外周に接して、中心出しを行う部
分である。８は回転テーブルであり、ウェハーの中心出
し後にＯＦ検出を行う時にウェハーを吸着してパルスモ
ータ１０で回転を行う部分である。９は電磁クラッチで
あり、ＯＦ矯正を行う時に、駆動部であるパルスモータ
１０からの伝達力の切り離しを行う部分である。１１は
ウェハー搬送アームの駆動用パルスモータである。１２
は初期点センサーである。１３はマーキング部であり、
１４はその出射レーザビームである。
収納キャリアを載せてパルスモータ２からの動力で１ａ
を上下ピッチ送りする機構部である。３，４，５，６か
ら構成される部分は、ウェハー搬送アームでありアーム
全体は支柱１４に沿って移動する。このうち３はウェハ
ー支持部で、ウエハーを収納キャリアから出し入れする
時に、ウェハーを支える役割を果たす。４はウェハー吸
着部で、ウェハーを真空吸着する部分である。５はウェ
ハーのＯＦ（オリエンテーションフラット）を検出する
センサー部である。６はＯＦ押し当て板であり、ＯＦ検
出部５でＯＦ検出後の停止位置を矯正する部分である。
７は中心出し機構部で開閉（開閉機構は省略）を行うこ
とにより、ウェハーの外周に接して、中心出しを行う部
分である。８は回転テーブルであり、ウェハーの中心出
し後にＯＦ検出を行う時にウェハーを吸着してパルスモ
ータ１０で回転を行う部分である。９は電磁クラッチで
あり、ＯＦ矯正を行う時に、駆動部であるパルスモータ
１０からの伝達力の切り離しを行う部分である。１１は
ウェハー搬送アームの駆動用パルスモータである。１２
は初期点センサーである。１３はマーキング部であり、
１４はその出射レーザビームである。
エレベータ１でピッチ送りされてたウェハー搬送キャリ
アから、ウェハー搬送アームで引き出されたウェハー
は、ウェハー搬送アームにより回転テーブル８まで運ば
れる。回転テーブル８に運ばれたウェハーは、中心出し
機構部７により中心出しを行う。ウェハー搬送アーム
は、センサー１２で決められた初期原点位置から、搬送
するウェハーのインチサイズのＯＦ検出位置まで移動
し、この位置で回転テーブル８の回転のもとにＯＦ検出
を行う。ＯＦ検出後、ＯＦの停止位置をＯＦ押し当て板
６によって矯正するために、ウェハー搬送アームをＯＦ
押し当て板６がＯＦと接触する位置まで移動させる。こ
の時電磁クラッチ９により、駆動部からの伝達力は切り
はなしてある。ＯＦの位置決め終了後レーザマーキング
が行なわれ、マーキングが行なわれた後、再びウェハー
搬送アームによってウェハーはキャリアに収納される。
アから、ウェハー搬送アームで引き出されたウェハー
は、ウェハー搬送アームにより回転テーブル８まで運ば
れる。回転テーブル８に運ばれたウェハーは、中心出し
機構部７により中心出しを行う。ウェハー搬送アーム
は、センサー１２で決められた初期原点位置から、搬送
するウェハーのインチサイズのＯＦ検出位置まで移動
し、この位置で回転テーブル８の回転のもとにＯＦ検出
を行う。ＯＦ検出後、ＯＦの停止位置をＯＦ押し当て板
６によって矯正するために、ウェハー搬送アームをＯＦ
押し当て板６がＯＦと接触する位置まで移動させる。こ
の時電磁クラッチ９により、駆動部からの伝達力は切り
はなしてある。ＯＦの位置決め終了後レーザマーキング
が行なわれ、マーキングが行なわれた後、再びウェハー
搬送アームによってウェハーはキャリアに収納される。
以上説明したように本考案は、従来ウエハーを吸着して
ウェハーキャリアからの出し入れだけに用いられていた
ウエハー搬送アームにＯＦ検出機構部の機能と、ＯＦ矯
正機構部の機能を付加することにより、２種類以上のウ
ェハーを搬送する場合、搬送するウェハーのインササイ
ズの変更により、変換する箇所を少なくする効果があ
る。
ウェハーキャリアからの出し入れだけに用いられていた
ウエハー搬送アームにＯＦ検出機構部の機能と、ＯＦ矯
正機構部の機能を付加することにより、２種類以上のウ
ェハーを搬送する場合、搬送するウェハーのインササイ
ズの変更により、変換する箇所を少なくする効果があ
る。
また、パルスモータ１個で、ＯＦ検出センサの位置を切
り換えたり、ＯＦ押し当て板を移動させるので、アクチ
ュエータ数も従来の１０個から３個に大幅に減すことが
でき、メンテナンスの面でも、調整箇所を減すことがで
きる。
り換えたり、ＯＦ押し当て板を移動させるので、アクチ
ュエータ数も従来の１０個から３個に大幅に減すことが
でき、メンテナンスの面でも、調整箇所を減すことがで
きる。
図は本考案の実施例の斜視図である。 １……エレベータ、２……パルスモータ、３……ウェハ
ー支持部、４……ウェハー吸着部、５……ＯＦ検出部、
６……ＯＦ押し当て板、７……中心出し機構部、８……
回転テーブル、９……電磁クラッチ、１０……パルスモ
ータ、１１……パルスモータ、１２……初期点センサ
ー、１３……マーキング部、１４……レーザビーム。
ー支持部、４……ウェハー吸着部、５……ＯＦ検出部、
６……ＯＦ押し当て板、７……中心出し機構部、８……
回転テーブル、９……電磁クラッチ、１０……パルスモ
ータ、１１……パルスモータ、１２……初期点センサ
ー、１３……マーキング部、１４……レーザビーム。
Claims (1)
- 【請求項１】ウエハー収納キャリアを上下させるエレベ
ータと、ウエハーの中心出しを行う中心出し機構部と、
ウエハーを収納キャリアから出し入れする搬送アームと
から構成される搬送装置において、前記搬送アームが、
ウエハー吸着部と前記ウエハのオリエンテーションフラ
ットを検出する検出部と前記オリエンテーションフラッ
トを押圧てる押し当て板とを有することを特徴とするレ
ーザマーキング用ウエハー搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987062211U JPH064584Y2 (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | レ−ザマ−キング用ウエハ−搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987062211U JPH064584Y2 (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | レ−ザマ−キング用ウエハ−搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63167737U JPS63167737U (ja) | 1988-11-01 |
| JPH064584Y2 true JPH064584Y2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=30896267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987062211U Expired - Lifetime JPH064584Y2 (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | レ−ザマ−キング用ウエハ−搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH064584Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI607817B (zh) * | 2015-09-02 | 2017-12-11 | 鈦昇科技股份有限公司 | Laser printing apparatus and method |
-
1987
- 1987-04-23 JP JP1987062211U patent/JPH064584Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63167737U (ja) | 1988-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH064584Y2 (ja) | レ−ザマ−キング用ウエハ−搬送装置 | |
| JP2000103031A (ja) | ウェハ用半田印刷装置 | |
| JPH04272026A (ja) | ワーク反転移載装置 | |
| JPS61135833U (ja) | ||
| JPS61271835A (ja) | 整合装置 | |
| JPS6211001Y2 (ja) | ||
| JPH039950Y2 (ja) | ||
| JPH056662Y2 (ja) | ||
| JPH0533247Y2 (ja) | ||
| JP2570857Y2 (ja) | 位置決め保持装置 | |
| JPH0316283Y2 (ja) | ||
| JPH0330435U (ja) | ||
| JPH031165Y2 (ja) | ||
| JPS6172852U (ja) | ||
| JP2513761B2 (ja) | ウエハチャック | |
| JPS6110920Y2 (ja) | ||
| JPS6259654U (ja) | ||
| JPH0315227Y2 (ja) | ||
| JPS61222147A (ja) | ウエ−ハの位置合わせ機構 | |
| JPS6311285U (ja) | ||
| JPS60259350A (ja) | 把持装置 | |
| JPS6265142U (ja) | ||
| JPS62141731A (ja) | ウエハハンドリング装置 | |
| JPH02129007U (ja) | ||
| JPH01125536U (ja) |