JPH0645951Y2 - 露光装置の焼枠 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は１台の焼枠によって小形寸法のマスクフィルム
をも使用できる露光装置の焼枠に関する。

〔従来の技術〕

従来の露光装置用焼枠は、第３図に示すように、真空吸
引口106、107がそれぞれ形成された上枠101と下枠104
と、マスクフィルム102と、ワーク103と、上枠101の周
縁に固着されて下枠104との空間を真空可能とするゴム
部材からなるガスケット105から構成される。上枠101と
しては透明な樹脂板やガラス板を用い、この上枠101の
ガスケットの内側にマスクフィルム102を吸引するため
の字溝106aを形成し、この字溝を真空引口106に連
通し、真空引口106から図示しない真空ポンプなどによ
って吸引して、マスクフィルム102を上枠101に密着させ
ている。次いで、下枠104上に搬送されたワーク103を載
置し、次に下枠104の表面に上枠101を下降させて密着す
る。次に、真空引口107からの吸引によって、真空形成
用ガスケット105に囲まれたワーク103とマスクフィルム
102を密着させるものであった。また、上枠，下枠両面
を同時に露光する装置においても、上記と同様に下枠へ
のマスクフィルムの取付保持が行われていた。

また、他の種類の露光装置の焼枠では、マスクフィルム
を焼枠に取り付けるのに、前述の方式と異なり、テープ
状のものでその周辺を上枠または下枠に固定していた。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来の真空ポンプを用いる露光装置の焼
枠では、上枠101に形成した字溝106aがマスクフィル
ム102を吸着できる場合には、このマスクフィルムを使
用できるものの、マスクフィルム102の寸法が字溝106
aによって真空吸着できない程度に小形である場合に
は、この字溝106aを有する焼枠は使用に適さない。こ
の解決策としては２種類が提案されている。その１つ
は、小形マスクフィルム102を真空吸引できる字溝を
別途製作した上枠101に加工して使用するものである
が、この方式は余分の上枠の作成が必要である外に、小
形マスクフィルムの使用毎に、上枠を交換する必要があ
った。残りの方法は、小形マスクフィルム102に空白フ
ィルムを附加して通常の大きさのマスクフィルムを作成
して使用するもので、手数のかかるものであった。

また、テープ状のものでマスクフィルムを固定する方式
では、ガラスとフィルムとの繰返し接着によって、マス
クフィルムの固定位置にずれが生じ、ワークの大量生産
向きでなかった。

本考案は前記問題の解決のために創案されたもので、複
数の種類の寸法を有するマスクフィルムに対しても使用
できる露光装置の焼枠を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本考案は前記の問題を解決するために、真空引口がそれ
ぞれに形成された下枠および上枠と、マスクフィルムを
真空引きによって吸着するために前記上枠の下面に形成
された前記真空引口に連通する溝部と、前記上枠の周縁
に固着されてこの上枠と前記下枠との間の閉鎖空間を形
成し前記下枠の真空引口からの真空引きによりこの閉鎖
空間を真空可能にするガスケットを備えたものにおい
て、小型のために前記上枠の溝部で吸着できないマスク
フィルムを吸着可能とするために、上面には前記上枠の
溝部に対向する位置に溝部が形成され、その下面には前
記上面に形成された溝部に連通して小型マスクフィルム
を吸着可能な複数の真空引き穴が形成されたアクリル補
助板を前記上枠と、吸着すべきマスクフィルムとの間に
介装する構成とするものである。

〔作用〕

本考案は前記構成を備えることによって、例えば小形寸
法のマスクフィルムを使用する場合には、従来の大型寸
法のマスクフィルムの位置にアクリル補助板を配置し、
このアクリル補助板の背面に小形寸法のマスクフィルム
を配設するだけで、従来の大型寸法用の上枠をそのまま
使用できる。

〔実施例〕

本考案の一実施例を図面を参照して説明する。第１図は
本実施例の縦切断正面図であり、第２図は第１図におけ
るＡ−Ａ線の断面図である。本実施例は同図に示すよう
に、上枠１の内側（アクリル補助板６側）表面の縁部に
沿った周囲にはゴム部材からなるガスケット５の内側の
周囲には、字形溝２が開口部をアクリル補助板６の表
面に向けて形成され、この溝２の曲がり角部分から上枠
１の外側表面まで真空引き穴４が貫挿されている。アク
リル補助板６には、その上枠１側表面に沿って上枠１の
字形溝２と対面して溝線９が形成されていると共に、
このアクリル補助板６の小形マスクフィルム７側面の中
央部には、この小型マスクフィルム７を吸引するための
真空引き穴6a〜6dが設けられている。この真空引き穴6a
〜6dからアクリル補助板６の厚み方向に通路穴8a,8b,8
c,8dが形成され、これら通路穴の先端は前記溝線９に連
通している。なお、10は下枠11上に載置したプリント基
板などのワークであって、小形マスクフィルム７の画像
を焼き付けるものである。

本実施例は上記のように構成したので、ワーク10および
マスクフィルム７が小形でなく通常寸法の場合には、ア
クリル補助板６を使用することなく、字形溝２を形成
した側の上枠１の面上にマスクフィルム７を位置合わせ
をしながらテープで仮り止めする。他方、下枠11上に位
置合わせしながら載置されたワーク10の表面に下枠11を
垂下させる。次に、真空引き穴４に図示しない真空ポン
プを接続し、真空引き穴４を介した真空吸引によってマ
スクフィルム７を上枠１に密着させる。引き続いて、下
枠11に設けた真空引き穴12を介して上枠１下枠11間を真
空に吸引してマスクフィルム７とワーク10の間を堅固に
密着させ、焼き付け作業をする。

小形寸法のワーク10およびマスクフィルム７を使用する
場合には、大形マスクフイルム使用時におけるマスクフ
ィルム７を上枠１に固定する手順の代りに、字形溝２
を形成した側の上枠１の面上に溝線９を対向させながら
アクリル樹脂板６をテープで仮止めし、さらに、この樹
脂板６の真空引き穴6a〜6d側にマスクフィルム７を位置
合わせしながらテープで仮り止めする。次いで、上枠１
の真空引き穴４に図示しない真空ポンプを接続し、真空
穴8,溝線9,真空引き穴４を介して小形マスクフィルム７
をアクリル補助板６を介して上枠１に固着する。これ以
外の作用は、大型マスクフィルムを使用する場合と同様
である。

〔考案の効果〕

本考案は以上説明のように、使用したい小形寸法のマス
クフィルムに応じて、このマスクフィルムを真空吸引で
きる真空引き穴を、上枠に設けた真空ポンプを接続する
真穴引き穴と連通可能にアクリル補助板に設け、このア
クリル補助板を焼枠の附加部品として添加するものであ
る。従って、本考案は、１台の焼枠によって異なる寸法
のマスクフィルムを使用することができるので、従来方
式のように大形寸法の無色フィルムを切り抜いてこの切
り抜いた部分に使用すべき小形マスクフィルムを貼り付
けるとか、使用すべき小形マスクフィルムを吸引できる
上枠を特別に準備しておく等の必要がないため、手数も
かからないし、経済的である。

【図面の簡単な説明】 第１図は本考案実施例の縦切断正面図、第２図は第１図
におけるＡ−Ａ線の断面図、第３図は従来の露光装置用
焼枠の縦断面図である。 １…上枠、２…字形溝、 ４…真空引き口、５…ガスケット、 ６…アクリル補助板、 6a,6b,6c…真空引き穴、 ７…マスクフィルム、８…真空穴、 8a,8b,8c…通路穴、 ９…溝縁、10…ワーク、 11…下枠。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】真空引口がそれぞれに形成された下枠およ
   び上枠と、マスクフィルムを真空引きによって吸着する
   ために前記上枠の下面に形成された前記真空引口に連通
   する溝部と、前記上枠の周縁に固着されてこの上枠と前
   記下枠との間に閉鎖空間を形成し前記下枠の真空引口か
   らの真空引きによりこの閉鎖空間を真空可能にするガス
   ケットを備えたものにおいて、 小型のために前記上枠の溝部で吸着できないマスクフィ
   ルムを吸着可能とするために、上面には前記上枠の溝部
   に対向する位置に溝部が形成され、その下面には前記上
   面に形成された溝部に連通して小型マスクフィルムを吸
   着可能な複数の真空引き穴が形成されたアクリル補助板
   を前記上枠と、吸着すべきマスクフィルムとの間に介装
   するようにしたことを特徴とする露光装置の焼枠。