JPH0646246B2 - 微動移動機構 - Google Patents
微動移動機構Info
- Publication number
- JPH0646246B2 JPH0646246B2 JP59208335A JP20833584A JPH0646246B2 JP H0646246 B2 JPH0646246 B2 JP H0646246B2 JP 59208335 A JP59208335 A JP 59208335A JP 20833584 A JP20833584 A JP 20833584A JP H0646246 B2 JPH0646246 B2 JP H0646246B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leaf springs
- parallel leaf
- axis
- actuator
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
- G02B6/4226—Positioning means for moving the elements into alignment, e.g. alignment screws, deformation of the mount
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/255—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding
- G02B6/2555—Alignment or adjustment devices for aligning prior to splicing
- G02B6/2557—Alignment or adjustment devices for aligning prior to splicing using deformable flexure members, flexible hinges or pivotal arms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
- G02B6/3801—Permanent connections, i.e. wherein fibres are kept aligned by mechanical means
- G02B6/3803—Adjustment or alignment devices for alignment prior to splicing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、光フアイバの心合せ等を用いる微動移動機
構に関するものである。
構に関するものである。
従来のこの種の装置の一例を第４図に示す。この装置は
下部テーブル１，中間テーブル２、上部テーブル３より
なる。図では説明をわかり易くするため３者を分離して
描いてある。下部テーブル１には鋼球４の案内用のＶ字
形の溝５，６が、中間テーブル２の裏面には、Ｖ字形の
溝５，６と対向する位置にＶ字形の溝７，８が、またそ
の表面にはやはり鋼球４の案内用のＶ字形の溝９，１０
が、上部テーブル３の裏面には、Ｖ字形の溝９，１０と
対向する位置にＶ字形の溝１１，１２がそれぞれ設けら
れている。従つて、下部テーブル１に対し、中間テーブ
ル２はＹ方向に滑らかに移動可能であり、中間テーブル
２に対し上部テーブル３はＸ方向に滑らかに移動可能と
なつている。
下部テーブル１，中間テーブル２、上部テーブル３より
なる。図では説明をわかり易くするため３者を分離して
描いてある。下部テーブル１には鋼球４の案内用のＶ字
形の溝５，６が、中間テーブル２の裏面には、Ｖ字形の
溝５，６と対向する位置にＶ字形の溝７，８が、またそ
の表面にはやはり鋼球４の案内用のＶ字形の溝９，１０
が、上部テーブル３の裏面には、Ｖ字形の溝９，１０と
対向する位置にＶ字形の溝１１，１２がそれぞれ設けら
れている。従つて、下部テーブル１に対し、中間テーブ
ル２はＹ方向に滑らかに移動可能であり、中間テーブル
２に対し上部テーブル３はＸ方向に滑らかに移動可能と
なつている。
一方、下部テーブル１にはアクチユエータ固定台１３
が、中間テーブル２にはアクチユエータ固定台１４，１
５が、上部テーブル３にはアクチユエータ固定台１６が
それぞれ設けられており、アクチユエータ固定台１３と
１４の中間にはＹ軸リニアアクチユエータ１７が、アク
チユエータ固定台１５，１６の中間にはＸ軸リニアアク
チユエータ１８がそれぞれ固定されている。
が、中間テーブル２にはアクチユエータ固定台１４，１
５が、上部テーブル３にはアクチユエータ固定台１６が
それぞれ設けられており、アクチユエータ固定台１３と
１４の中間にはＹ軸リニアアクチユエータ１７が、アク
チユエータ固定台１５，１６の中間にはＸ軸リニアアク
チユエータ１８がそれぞれ固定されている。
従つて、Ｘ軸リニアアクチユエータ１８およびＹ軸リニ
アアクチユエータ１７を伸縮させることにより上部テー
ブル３を下部テーブル１に対し、Ｘ軸，Ｙ軸方向に任意
に動かすことができる。
アアクチユエータ１７を伸縮させることにより上部テー
ブル３を下部テーブル１に対し、Ｘ軸，Ｙ軸方向に任意
に動かすことができる。
このように、構成された従来のＸ−Ｙ移動機構において
は、Ｙ軸リニアアクチユエータ１７は中間テーブル２を
介して上部テーブル３を動かすため慣性負荷が大きくな
り高速起動停止動作が困難となる問題点があつた。
は、Ｙ軸リニアアクチユエータ１７は中間テーブル２を
介して上部テーブル３を動かすため慣性負荷が大きくな
り高速起動停止動作が困難となる問題点があつた。
この発明は、上記問題点を解決するためになされたもの
で、慣性負荷の小さい、高速動作が可能な微動移動機構
を得ることを目的とする。
で、慣性負荷の小さい、高速動作が可能な微動移動機構
を得ることを目的とする。
この発明にかかる微動移動機構は、移動台を互に直角を
なし、かつ同一平面にある２対の平行板ばねで支持する
とともに、移動方向と直角な一対の平行板ばねを変位さ
せ移動方向と平行な一対の平行板ばねを介して２軸方向
にそれぞれ移動させるアクチユエータを具備したもので
ある。
なし、かつ同一平面にある２対の平行板ばねで支持する
とともに、移動方向と直角な一対の平行板ばねを変位さ
せ移動方向と平行な一対の平行板ばねを介して２軸方向
にそれぞれ移動させるアクチユエータを具備したもので
ある。
この発明においては、移動台の移動方向と一致するアク
チユエータを駆動すると、移動方向と直角方向の１対の
平行板ばねが変位し、他方の１対の平行板ばねは変位す
ることなくアクチユエータの駆動力を移動台に伝え移動
台を目的とする方向に移動させる。
チユエータを駆動すると、移動方向と直角方向の１対の
平行板ばねが変位し、他方の１対の平行板ばねは変位す
ることなくアクチユエータの駆動力を移動台に伝え移動
台を目的とする方向に移動させる。
第２図，第３図はこの発明の原理を説明するための図で
ある。
ある。
これらの図において、２１，２２は平行板ばねであり、
ばね支持体２３，２４に接着等の手段により固定されて
いる。この構造体において、ばね支持体２４をばね支持
体２３に対しほぼ平行方向に力Ｆを加えると平行板ばね
２１，２２は点線のように変形し、ばね支持体２４はば
ね支持体２３に対しδだけ平行移動する。これは平行板
ばね２１，２２は曲がり易いが、伸縮しにくいという性
質を利用したもので、第３図に示すように一体構造にし
ても同じ機能をもち、荷重計等に数多く利用されてい
る。
ばね支持体２３，２４に接着等の手段により固定されて
いる。この構造体において、ばね支持体２４をばね支持
体２３に対しほぼ平行方向に力Ｆを加えると平行板ばね
２１，２２は点線のように変形し、ばね支持体２４はば
ね支持体２３に対しδだけ平行移動する。これは平行板
ばね２１，２２は曲がり易いが、伸縮しにくいという性
質を利用したもので、第３図に示すように一体構造にし
ても同じ機能をもち、荷重計等に数多く利用されてい
る。
第１図はこの発明の一実施例であつて、移動台３１は２
対の平行板ばね３２，３３と３４，３５に支えられてい
る。平行板ばね３２，３３の他端は支持体３６を介して
Ｙ軸アクチユエータ３８に接続され、平行板ばね３４，
３５の他端は支持体３７を介してＸ軸アクチユエータ３
９に接続されている。
対の平行板ばね３２，３３と３４，３５に支えられてい
る。平行板ばね３２，３３の他端は支持体３６を介して
Ｙ軸アクチユエータ３８に接続され、平行板ばね３４，
３５の他端は支持体３７を介してＸ軸アクチユエータ３
９に接続されている。
支持体３６は平行板ばね３２，３３のほか、それと直角
方向の平行板ばね４０，４１に支持され、支持体３７は
平行板ばね３４，３５のほか、それと直角方向の平行板
ばね４２，４３に支持されている。平行板ばね４０，４
１および平行板ばね４２，４３の他端，Ｙ軸アクチユエ
ータ３８およびＸ軸アクチユエータ３９の他端はいずれ
も基板４４に接続されている。
方向の平行板ばね４０，４１に支持され、支持体３７は
平行板ばね３４，３５のほか、それと直角方向の平行板
ばね４２，４３に支持されている。平行板ばね４０，４
１および平行板ばね４２，４３の他端，Ｙ軸アクチユエ
ータ３８およびＸ軸アクチユエータ３９の他端はいずれ
も基板４４に接続されている。
さて、このような構造体においてＹ軸アクチユエータ３
８が伸びる場合を考えると、移動台３１と支持体３６は
それぞれ平行板ばね３４，３５と４０，４１に支持され
ているのでＹ軸方向に平行に移動する。一方、平行板ば
ね３２，３３はＹ軸方向には剛性が高いので両者は一体
となつて動く。同様に移動台３１はＸ軸アクチユエータ
３９の伸縮に従つて、Ｘ軸方向に一体となつて動く。
８が伸びる場合を考えると、移動台３１と支持体３６は
それぞれ平行板ばね３４，３５と４０，４１に支持され
ているのでＹ軸方向に平行に移動する。一方、平行板ば
ね３２，３３はＹ軸方向には剛性が高いので両者は一体
となつて動く。同様に移動台３１はＸ軸アクチユエータ
３９の伸縮に従つて、Ｘ軸方向に一体となつて動く。
すなわち、移動台３１はそれぞれＹ軸アクチユエータ３
８，Ｘ軸アクチユエータ３９の動きに忠実に従い、互に
相手の動きに干渉されないことがわかる。
８，Ｘ軸アクチユエータ３９の動きに忠実に従い、互に
相手の動きに干渉されないことがわかる。
このように、移動台３１はＸ軸，Ｙ軸アクチユエータ３
９，３８によりＸ軸，Ｙ軸方向に任意に動かすことがで
きるので、たとえば、この移動台３１にハンド４５を固
定し、それに光フアイバケーブル４６をつかませ、固定
台４７に支持される光フアイバケーブル４８と対向させ
れば、両光フアイバケーブル４６，４８の心合せを正確
に行うことができる。
９，３８によりＸ軸，Ｙ軸方向に任意に動かすことがで
きるので、たとえば、この移動台３１にハンド４５を固
定し、それに光フアイバケーブル４６をつかませ、固定
台４７に支持される光フアイバケーブル４８と対向させ
れば、両光フアイバケーブル４６，４８の心合せを正確
に行うことができる。
ここで、使用するＸ軸，Ｙ軸アクチユエータ３９，３８
は軸方向に変位するリニアアクチユエータであればよ
く、電歪素子を利用したものや磁歪素子を利用したもの
に限定されることなく、動電形のリニアアクチユエータ
であつてもよい。
は軸方向に変位するリニアアクチユエータであればよ
く、電歪素子を利用したものや磁歪素子を利用したもの
に限定されることなく、動電形のリニアアクチユエータ
であつてもよい。
また、ここで用いる平行板ばね３２〜３５，４０〜４３
は一体化構造をなす形状で説明したが、第２図の原理で
説明したように平行板ばねを接着剤等により組合せたも
のでもよいことは言うまでもない。
は一体化構造をなす形状で説明したが、第２図の原理で
説明したように平行板ばねを接着剤等により組合せたも
のでもよいことは言うまでもない。
以上説明したように、この発明の微動移動機構は移動台
を互に直角をなし、かつ同一平面にある２対の平行板ば
ねで支持するとともに、移動方向と直角な一対の平行板
ばねを変位させ移動方向と平行な一対の平行板ばねを介
して２軸方向にそれぞれ移動させるアクチユエータを具
備させたので、アクチユエータに作用する慣性負荷を小
さくすることができ高速動作が可能な利点がある。ま
た、すべて平行板ばね支持としたため摺動する個所がな
いので、慣性摩擦力は作用せず微少位置決めが可能な利
点を有する。さらに、２対の平行板ばねは同一平面にあ
るため、２軸方向に正確な位置決めが可能であるばかり
でなく、全体を一体化するのが容易である利点がある。
を互に直角をなし、かつ同一平面にある２対の平行板ば
ねで支持するとともに、移動方向と直角な一対の平行板
ばねを変位させ移動方向と平行な一対の平行板ばねを介
して２軸方向にそれぞれ移動させるアクチユエータを具
備させたので、アクチユエータに作用する慣性負荷を小
さくすることができ高速動作が可能な利点がある。ま
た、すべて平行板ばね支持としたため摺動する個所がな
いので、慣性摩擦力は作用せず微少位置決めが可能な利
点を有する。さらに、２対の平行板ばねは同一平面にあ
るため、２軸方向に正確な位置決めが可能であるばかり
でなく、全体を一体化するのが容易である利点がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図、第
３図はこの発明の原理を示す図、第４図は従来の微動移
動機構の斜視図である。 図中、３１は移動台、３２，３３，３４，３５，４０，
４１，４２，４３は平行板ばね、３６，３７は支持体、
３８はＹ軸アクチユエータ、３９はＸ軸アクチユエー
タ、４４は基板、４５はハンド、４６，４８は光フアイ
バケーブル、４７は固定台である。
３図はこの発明の原理を示す図、第４図は従来の微動移
動機構の斜視図である。 図中、３１は移動台、３２，３３，３４，３５，４０，
４１，４２，４３は平行板ばね、３６，３７は支持体、
３８はＹ軸アクチユエータ、３９はＸ軸アクチユエー
タ、４４は基板、４５はハンド、４６，４８は光フアイ
バケーブル、４７は固定台である。
Claims (1)
- 【請求項１】移動台を互に直角をなし、かつ同一平面に
ある２対の平行板ばねで支持するとともに、移動方向と
直角な一対の平行板ばねを変位させ移動方向と平行な一
対の平行板ばねを介して２軸方向にそれぞれ移動させる
アクチユエータを具備させたことを特徴とする微動移動
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59208335A JPH0646246B2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 微動移動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59208335A JPH0646246B2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 微動移動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6187110A JPS6187110A (ja) | 1986-05-02 |
| JPH0646246B2 true JPH0646246B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=16554564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59208335A Expired - Lifetime JPH0646246B2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 微動移動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0646246B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6385605A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 線材心合わせ装置 |
| JPH0773830B2 (ja) * | 1989-04-06 | 1995-08-09 | プリマハム株式会社 | マイクロマニピュレータ |
| JPH0698584B2 (ja) * | 1989-11-24 | 1994-12-07 | 俊郎 樋口 | マイクロマニピュレータの微小移動装置 |
| KR100418788B1 (ko) * | 2001-06-15 | 2004-02-19 | 현대자동차주식회사 | 로봇 엥커링 플레이트 구조 |
| JP5771732B1 (ja) * | 2014-10-24 | 2015-09-02 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ融着接続器及びそれを備える光ファイバ融着接続装置 |
| CN106881726B (zh) * | 2017-04-11 | 2019-04-23 | 大连理工大学 | 一种平动式机器人柔性手爪 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56156812A (en) * | 1980-05-09 | 1981-12-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Aligning device for optical fiber |
| FR2553200B1 (fr) * | 1983-10-05 | 1985-12-06 | Cabloptic Sa | Procede pour positionner une fibre optique par rapport a un autre composant optique, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede |
-
1984
- 1984-10-05 JP JP59208335A patent/JPH0646246B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6187110A (ja) | 1986-05-02 |
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