JPH0646391U - テストヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 位置決め用ピンの落下を防止するとともに、
コンタクトリングに設けられる位置決め用ピンをハンド
ラおよびプローバーの両方に適用できるテストヘッドを
実現することを目的にする。 【構成】 本考案は、コンタクトリングに貫通孔を設
け、この貫通孔に位置決め用ピンを挿入し、この位置決
め用ピンは、パフォーマンスボードに設けられた位置決
め用孔にも挿入されている構成になったテストヘッドに
改良を加えたものである。本装置の位置決め用ピンは、
貫通孔を貫通した部分に、貫通孔に対して交わる方向に
設けられた貫通穴と、この貫通穴に挿入し、ボールが位
置決め用ピンの側面より突出しているボールプランジャ
ーと、を具備し、ボールは貫通孔内にあるときはボール
プランジャー内に引っ込められ、位置決め用ピンが貫通
孔を貫通しているときは、位置決め用ピンの側面より突
出して位置決め用ピンの抜き止めを行っていることを特
徴とするテストヘッドである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ＬＳＩテスタのテストヘッドに関し、特に、ＬＳＩをテストヘッド に搬送するハンドラ、および、半導体ウェハーを検査するプローバーの両方に接 続できるテストヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

図７は従来のＬＳＩテスタのテストヘッドのハンドラ接続用の分解構成斜視図 である。 図において、１０はテストヘッド、２０はパフォーマンスボードで、固定リン グ２１により、コンタクトリング１１のコンタクトピン１１１に押しつけられ、 テストヘッド１０と電気的に接続する。

【０００３】 パフォーマンスボード２０は、被検査対象（ＤＵＴ）の種類に応じて交換され るようになっている。そして、ハンドラ（図示せず）から供給されるＤＵＴ（図 示せず）と信号の授受を行う。 なお、コンタクトピン１１１は、図中では一部のみが表されているが、実際は 、複数のコンタクトピンがコンタクトリング１１の周囲に沿って設けられている 。

【０００４】 １１２は位置決め用のピンで、パフォーマンスボード２０の位置決め用孔２０ １に挿入することにより、コンタクトピン１１１とパフォーマンスボード２０の 位置決めを行う。 固定リング２１は、パフォーマンスボード２０の挿入孔２０２に、固定リング ２１のアーム２１１を通して、位置決めされたパフォーマンスボード２０に搭載 される。

【０００５】 １２は回転リングで、コンタクトリング１１に沿って回転し、傾斜溝１２１に 挿入されているアーム２１１を引き下げて、固定リング２１を押し下げる。 このため、固定リング２１は、パフォーマンスボード２０をコンタクトピン１ １１に強く押しつける。

【０００６】 図８は、図７のＡ−Ａ’断面図で、ハンドラに位置合わせされたテストヘッド にパフォーマンスボードを取り付けるときの動作説明図である。なお、図は、パ フォーマンスボードをテストヘッドに取り付けやすいように、ハンドラがテスト ヘッドから上昇されている状態を示している。 パフォーボード２０は、矢印Ｒで示すように横方向から差し込まれ、位置決め 用孔２０１がコンタクトリング１１の位置決め用ピン１１２に合うように位置だ しされる。

【０００７】 パフォーマンスボード２０の位置だしがされてから、パフォーマンスボード２ ０上に固定リングが搭載される。 固定リングは、回転リング１２の回転によって押し下げられ、テストヘッド１ ０にパフォーマンスボード２０を押しつけて固定する。 パフォーマンスボード２０がテストヘッド１０に固定された後、ハンドラ３０ は、元の状態まで降下され、パフォーマンスボード２０に位置合わせされる。

【０００８】 ここで、位置決め用ピン１１２は貫通孔１１３に挿入されており、取り外し可 能である。位置決め用ピン１１２を貫通孔１１３より取り外すことにより、半導 体ウェハーを検査するプローバーに設けられた位置決めピンを挿入して、プロー バーの位置だしをする。そして、プローバーをコンタクトピン１１１に接続する 。

【０００９】

【考案が解決しようとする課題】

このような構成の場合、位置決め用ピン１１２を取り外さずに、プローバ接続 のためにテストヘッド１０を回転すると、位置決め用ピン１１２が下方向を向い たとき、位置決め用ピン１１２が落下してプローバ側部品を損傷させてしまうと いう問題点があった。

【００１０】 落下対策として、プローバーの位置決めピンを挿入する孔を別に設け、位置決 め用ピン１１２をコンタクトリング１１に固定する構成が考えられる。しかし、 位置決め用ピン１１２は、パフォーマンスボード２０がコンタクトピン１１１に 接触する前に位置決めできるようにコンタクトピン１１１の高さより、更に高さ ｈだけ高くなっている。このため、固定する構成にすると、プローバーが位置決 め用ピン１１２によりコンタクトピン１１１に接続できなくなるので、位置決め 用ピン１１２はコンタクトリング１１に固定できない。

【００１１】 本考案の目的は、位置決め用ピンの落下を防止するとともに、コンタクトリン グに設けられる位置決め用ピンをハンドラおよびプローバーの両方に適用できる テストヘッドを実現することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】

本考案は、 信号の授受を行うコンタクトピンが立てられたコンタクトリングに貫通孔を設 け、この貫通孔に位置決め用ピンを挿入し、この位置決め用ピンは、前記コンタ クトピンを介して、信号の授受を行うパフォーマンスボードに設けられた位置決 め用孔にも挿入されている構成になったテストヘッドにおいて、 前記位置決め用ピンは、 前記貫通孔を貫通した部分に、貫通孔に対して交わる方向に設けられた貫通穴 と、 この貫通穴に挿入し、ボールが前記位置決め用ピンの側面より突出しているボ ールプランジャーと、 を具備し、前記ボールは貫通孔内にあるときはボールプランジャー内に引っ込め られ、位置決め用ピンが貫通孔を貫通しているときは、位置決め用ピンの側面よ り突出して位置決め用ピンの抜き止めを行っていることを特徴とするものである 。

【００１３】 また、 信号の授受を行うコンタクトピンが立てられたコンタクトリングに位置決め用 ピンが設けられ、この位置決め用ピンはコンタクトピンと信号の授受を行うパフ ォーマンスボードに設けられた位置決め用孔に挿入された構成になったテストヘ ッドにおいて、 前記コンタクトリングと前記位置決め用ピンとの間に介在する弾性部材と、 前記コンタクトリングに固定し、前記位置決め用ピンをコンタクトリング内に 回避可能に保持する保持部材と、 を具備することを特徴とするものである。

【００１４】

【作用】

このような本考案では、位置決め用孔に挿入する位置決め用ピンにボールプラ ンジャーを設けたので、テストヘッドを回転しても落下しない。あるいは、コン タクトリングに固定する位置決め用ピンを弾性部材により、回避動作を行うよう にしたので、パフォーマンスボード装着時には、位置決め用ピンとして作用し、 それ以外の障害となるときは弾性部材により、コンタクトリング内に格納される 。

【００１５】

【実施例】

以下図面を用いて本考案を説明する。 図１は本考案の一実施例を示した要部構成図で、コンタクトリングの貫通孔に 挿入する位置決め用ピン４０を示している。この位置決め用ピン４０は、コンタ クトリングに設けられた貫通孔に挿入されるとともに、パフォーマンスボードに 設けられた位置決め用孔にも挿入される。

【００１６】 図において、４１はガイドピンで、位置決め用ピン４０の挿入孔４０１に取り 付けられていて、挿入孔４０１内に設けられたばね４２によって上方に押し上げ られている。 ４０２は挿入孔４０１内にバネ４２を保持する蓋部である。 ガイドピン４１は、挿入孔４０１から飛び出さないように下部にはストッパ４ １１が設けられていて、挿入孔４０１の上部に設けられている段付部４０３に接 続されている。 このガイドピン４１は、固定リングがパフォーマンスボードに搭載されると、 固定リングからの力を受けて、位置決め用ピン４０の挿入孔４０１内に格納され る。

【００１７】 蓋部４０２において、４２は、コンタクトリングの貫通孔を貫通した部分に、 貫通孔に対して交わる方向に設けられた貫通穴で、雌ねじになっている。４３は 外部が雄ねじであるボールプランジャーで、貫通穴４２に挿入し、ボール４３１ が位置決め用ピン４０の側面より突出している。ボールプランジャー４３は、内 部に弾性部材であるばねと、このばねと接続し、内部より外部ヘ飛び出している ボール４３１とで構成されている。

【００１８】 ４４はナットで、ボールプランジャー４３をネジ締めすることにより、ボール プランジャー４３を蓋部４０２に固定する。 ４０４は位置決め用ピン４０に設けられたつば部で、位置決め用ピン４０をコ ンタクトリングの貫通孔に挿入したときに、位置決め用ピン４０の位置止め行う 。

【００１９】 このような装置の動作を以下で説明する。 図２，図３は、図１の装置の動作説明図である。以下図７と同一のものは同一 符号を付す。 図において、（Ａ）は、コンタクトリングに位置決め用ピンを取り付ける状態 、（Ｂ）は、パフォーマンスボードをコンタクトリングに取り付ける状態、（Ｃ ）は、固定リングをコンタクトリングに取り付ける状態、（Ｄ）は、すべて取り 付けた状態を示す。

【００２０】 （Ａ）図において、位置決め用ピン４０をコンタクトリング１１の貫通孔１１ ３に入れる。このとき、ボールプランジャー４３は、貫通孔１１３を通るとき、 ボール４３１がバネを押して、ボールプランジャー４３の内部に格納される。そ して、ボールプランジャー４３が貫通孔１１３を通り過ぎると、ボール４３１が ばね力により押し出される。その結果、ボールプランジャー４３のボール４３１ に対して、ある程度の力が加わらないと、ボール４３１は、ばねを押して、内部 に格納されず、位置決め用ピン４０を抜き取ることができない。また、テストヘ ッド１０の表裏を回転させても、位置決め用ピン４０が抜け落ちることがない。

【００２１】 （Ｂ）図において、コンタクトリング１１に位置決め用ピン４０が取り付けら れた状態で、パフォーマンスボード２０の挿入孔２０１をガイドピン４１に合わ せ、矢印の方向に挿入する。そして、位置決め用ピン４０の本体に挿入孔２０１ を挿入する。

【００２２】 （Ｃ）図において、パフォーマンスボード２０がコンタクトリング１１に搭載 された状態で、パフォーマンスボード２０をコンタクトピン１１１に押しつける ために、固定リング２１をテストヘッド１０に搭載する。固定リング２１には、 ガイドピン４１を位置決め用ピン４０の内部に格納させる位置決め用溝２１２が ある。位置決め用溝２１２をガイドピン４１に合わせて、固定リング２１を矢印 の方向に下げることにより、ガイドピン４１は押され位置決め用ピン４０の内部 に格納される。そして、固定リング２１により、パフォーマンスボード２０を固 定する。この結果、（Ｄ）図となる。

【００２３】 その他の実施例を以下に示す。 図４は本考案の他の実施例を示した構成図である。図は図７のＢ−Ｂ’断面図 である。 図において、５０は位置決め用ピンで、図７の装置の位置決め用孔２０１とは 別にパフォーマンスボード上に位置決め用孔を設け、この位置決め用孔に挿入し 、パフォーマンスボードの位置を決める。位置決め用ピン５０は、ストッパ５０ １と保持部５０２とで構成される。５１は弾性部材であるばねで、コンタクトリ ング１１と位置決め用ピン５０との間に介在する。バネ５１は、ストッパ５０１ と接続し、保持部５０２により保持される。５２は、コンタクトリング１１にネ ジにより固定し、位置決め用ピン５０をコンタクトリング１１内に回避可能に保 持する保持部材であるブラケットである。

【００２４】 このような構成の装置の動作を以下に示す。 図５は、図４の装置のパフォーマンスボードの取付け動作説明図である。 図において、２０２は、図７における位置決め用孔２０１とは別の位置決め用 孔である。 パフォーマンスボード２０を位置決め用孔２０２を位置決め用ピン５０に合わ せて矢印の方向に下げる。そして、位置決め用ピン５０に位置決め用孔２０２を 挿入して、パフォーマンスボード２０の位置決めを行う。

【００２５】 図６は、図４の装置のプローバーの取付け動作説明図である。 図において、６０は半導体ウェハーを検査するプローバー、６１はプローバー ６０に設けられたソケットリングで、パフォーマンスボード２０を固定する。６ ２は位置決めピンで、パフォーマンスボード２０の位置決め用孔２０１を通り、 コンタクトリング１１の貫通孔１１３に挿入し、パフォーマンスボード２０とコ ンタクトリング１１との位置を決める。６１１はソケットリングに設けられた突 起部で、パフォーマンスボード２０の位置決め用孔２０２に挿入し、パフォーマ ンスボード２０とソケットリング６１との位置を決定する。

【００２６】 プローバー６０に固定したパフォーマンスボード２０をコンタクトリング１１ の貫通孔１１３に位置決めピン６２を合わせて挿入する。そのとき、位置決め用 ピン５０は、突起部６１１が位置決め用孔２０２に挿入されているので、プロー バー６０をコンタクトリング１１に接続するときは、ばね５１が縮んで、コンタ クトリング１１内に位置決め用ピン５０が格納される。

【００２７】 以上のように、位置決め用ピン５０は、コンタクトリング１１に固定してある ので、テストヘッド１０を回転させてコンタクトリング１１を床方向に向けても 、落下しない。そして、プローバー６０を接続する場合において、ばね５１によ り、位置決め用ピン５０がコンタクトリング１１内に格納されるので、位置決め 用ピン５０が邪魔にならない。

【００２８】

【考案の効果】

本考案によれば、以下のような効果がある。 位置決め用ピンにボールプランジャーを設けたことにより、ボールプランジャ ーのボールが、貫通孔の引っ掛かりになり、テストヘッドを回転しても、落下し ない。また、ボールプランジャーのボールは、貫通孔通過時には、ボールプラン ジャー内に格納されるので、位置決め用ピンは取り外しが可能である。 位置決め用ピンは、コンタクトリングに固定してあるので、テストヘッドの表 裏を回転させてコンタクトリングを床方向に向けても、落下しない。そして、プ ローバーを接続する場合において、ばねにより、位置決め用ピンがコンタクトリ ング内に格納されるので、位置決め用ピンが邪魔にならない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示した要部構成図である。

【図２】図１の装置の動作説明図である。

【図３】図１の装置の動作説明図である。

【図４】本考案の他の実施例を示した構成図である。

【図５】図４の装置のパフォーマンスボードの取付け動
作説明図である。

【図６】図４の装置のプローバーの取付け動作説明図で
ある。

【図７】従来のＬＳＩテスタのテストヘッドのハンドラ
接続用の分解構成斜視図である。

【図８】図７のＡ−Ａ’断面図で、ハンドラに位置合わ
せされたテストヘッドにパフォーマンスボードを取り付
けるときの動作説明図である。

【符号の説明】

１０ テストヘッド １１ コンタクトリング ２０ パフォーマンスボード ４０，５０ 位置決め用ピン ４２ 貫通穴 ４３ ボールプランジャー ５１ ばね ５２ ブラケット １１１ コンタクトピン １１３ 貫通孔 ２０１，２０２ 位置決め用孔 ４３１ ボール

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 信号の授受を行うコンタクトピンが立て
   られたコンタクトリングに貫通孔を設け、この貫通孔に
   位置決めピン用を挿入し、この位置決め用ピンは、前記
   コンタクトピンを介して、信号の授受を行うパフォーマ
   ンスボードに設けられた位置決め用孔にも挿入されてい
   る構成になったテストヘッドにおいて、 前記位置決め用ピンは、 前記貫通孔を貫通した部分に、貫通孔に対して交わる方
   向に設けられた貫通穴と、 この貫通穴に挿入し、ボールが前記位置決め用ピンの側
   面より突出しているボールプランジャーと、 を具備し、前記ボールは貫通孔内にあるときはボールプ
   ランジャー内に引っ込められ、位置決め用ピンが貫通孔
   を貫通しているときは、位置決め用ピンの側面より突出
   して位置決め用ピンの抜き止めを行っていることを特徴
   とするテストヘッド。
2. 【請求項２】 信号の授受を行うコンタクトピンが立て
   られたコンタクトリングに位置決め用ピンが設けられ、
   この位置決め用ピンはコンタクトピンと信号の授受を行
   うパフォーマンスボードに設けられた位置決め用孔に挿
   入された構成になったテストヘッドにおいて、 前記コンタクトリングと前記位置決め用ピンとの間に介
   在する弾性部材と、 前記コンタクトリングに固定し、前記位置決め用ピンを
   コンタクトリング内に回避可能に保持する保持部材と、 を具備することを特徴とするテストヘッド。