JPH0646554B2 - 電子線装置における自動焦点調節法 - Google Patents
電子線装置における自動焦点調節法Info
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- JPH0646554B2 JPH0646554B2 JP58160521A JP16052183A JPH0646554B2 JP H0646554 B2 JPH0646554 B2 JP H0646554B2 JP 58160521 A JP58160521 A JP 58160521A JP 16052183 A JP16052183 A JP 16052183A JP H0646554 B2 JPH0646554 B2 JP H0646554B2
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- lens
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- electron beam
- electron
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/21—Means for adjusting the focus
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、自動焦点調節法に係り、特に電子線装置にお
ける自動焦点調節法に関するものである。
ける自動焦点調節法に関するものである。
焦点検出に必要な波形信号は下記のようにして得られ
る。すなわち第１の方法は十字に張られた直径数十μｍ
の金属ワイヤ上を電子線でＸ方向、あるいはＹ方向に走
査し、その時得られる透過電子信号をワイヤの上部に設
けたフアラデーカツプで検出する方法である。第２の方
法はＳｉ上に作られた巾数十μｍ、高さ0.2〜0.3μｍ、
長さ数１００μｍの十字金属マーク上を電子線で走査
し、その時得られる反射電子信号を半導体検出器ＳＳＤ
で検出する方法である。
る。すなわち第１の方法は十字に張られた直径数十μｍ
の金属ワイヤ上を電子線でＸ方向、あるいはＹ方向に走
査し、その時得られる透過電子信号をワイヤの上部に設
けたフアラデーカツプで検出する方法である。第２の方
法はＳｉ上に作られた巾数十μｍ、高さ0.2〜0.3μｍ、
長さ数１００μｍの十字金属マーク上を電子線で走査
し、その時得られる反射電子信号を半導体検出器ＳＳＤ
で検出する方法である。
次に上記の２信号のうちどちらか１つの信号を使つて下
記のようにして焦点検出を行なう。
記のようにして焦点検出を行なう。
焦点検出の第１の方法は、上記の波形信号の巾が最小に
なるように焦点調整を行なう。第２の方法は、上記の波
形信号から１回微分信号を得て、その微分信号の巾が最
小になるように焦点調整を行なう。第３の方法は、上記
の波形信号から２回微分信号を得て、その微分信号のピ
ーク値が最大になるように焦点調整を行なう。第４の方
法は、波形信号を得る時のターゲットとして使用する電
子線の寸法より十分小さな寸法を有するマークを使用
し、その時得られる波形信号が既に第１の方法で述べた
微分信号と同等の性質を有する信号となるため、その信
号の巾が最小になるように焦点調整を行なう。第５の方
法は、第３の方法を行う際に得られる信号を１回微分
し、その微分信号のピーク値が最大になるように焦点調
整を行なう。
なるように焦点調整を行なう。第２の方法は、上記の波
形信号から１回微分信号を得て、その微分信号の巾が最
小になるように焦点調整を行なう。第３の方法は、上記
の波形信号から２回微分信号を得て、その微分信号のピ
ーク値が最大になるように焦点調整を行なう。第４の方
法は、波形信号を得る時のターゲットとして使用する電
子線の寸法より十分小さな寸法を有するマークを使用
し、その時得られる波形信号が既に第１の方法で述べた
微分信号と同等の性質を有する信号となるため、その信
号の巾が最小になるように焦点調整を行なう。第５の方
法は、第３の方法を行う際に得られる信号を１回微分
し、その微分信号のピーク値が最大になるように焦点調
整を行なう。
従来行なわれてきた方法は、第１〜第３の方法が多い。
例えば特開昭５１−２３０６５号に記載された方法は、
第１の方法であるが、焦点がずれた状態で波形信号の
巾を抽出するのが困難かつ不安定であること、焦点検
出能が微分法に比較して劣ること、などの欠点がある。
例えば特開昭５１−２３０６５号に記載された方法は、
第１の方法であるが、焦点がずれた状態で波形信号の
巾を抽出するのが困難かつ不安定であること、焦点検
出能が微分法に比較して劣ること、などの欠点がある。
第２〜第５の方法は、微分信号を利用するため焦点検出
能は優れているが、微分信号をそのまま利用するため焦
点検出が不安定になりやすい欠点がある。
能は優れているが、微分信号をそのまま利用するため焦
点検出が不安定になりやすい欠点がある。
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、電
子線装置において高い検出能を保持しながら安定かつ高
速性の優れた自動焦点調節法を提供することを目的とす
る。
子線装置において高い検出能を保持しながら安定かつ高
速性の優れた自動焦点調節法を提供することを目的とす
る。
本発明は、焦点の状態を検出するのに焦点検出能の優れ
た微分法を利用し、微分法の採用にともなつて生ずる焦
点検出の不安定さに対しては多数の焦点検出信号に対し
て曲線近似を行ない、その近似曲線を利用して最終的な
焦点検出を行なう方法を採用することによつて解決した
ものである。
た微分法を利用し、微分法の採用にともなつて生ずる焦
点検出の不安定さに対しては多数の焦点検出信号に対し
て曲線近似を行ない、その近似曲線を利用して最終的な
焦点検出を行なう方法を採用することによつて解決した
ものである。
更に１回の曲線近似で合焦点が検出できなかつた場合
は、その曲線から得られる結果を利用して再度焦点検出
信号の抽出、曲線近似、焦点検出の一連の動作をくり返
し最終的に合焦点検出を行なう方法も併用するものであ
る。
は、その曲線から得られる結果を利用して再度焦点検出
信号の抽出、曲線近似、焦点検出の一連の動作をくり返
し最終的に合焦点検出を行なう方法も併用するものであ
る。
最初に本発明の原理について説明する。
第１図(a)に示すように、例えばＡｕで作られたターゲ
ット又はマーク２を電子ビーム１で矢印の方向に走査
し、その時の反射電子（あるいは２次電子、透過電子）
を半導体検出器ＳＳＤで検出し電気信号に変換すると、
同図(b)に示すようなマーク波形信号が得られる。この
波形信号を１回微分すると同図(c)のような電子ビーム
の寸法に対応する１回微分信号（１次微分信号）が得ら
れ、その信号を更に微分、すなわち２回微分すると、同
図(d)のような電子ビームの分布の鋭さを示す２回微分
信号（２次微分信号）が得られる。つまり２回微分信号
の最大値を尖鋭度と定義する。この尖鋭度の値はビーム
のボケに逆比例する。即ち、焦点が合つている場合はこ
の尖鋭度の値は大きく、逆に焦点が合つてない場合は上
記の値が小さくなる。
ット又はマーク２を電子ビーム１で矢印の方向に走査
し、その時の反射電子（あるいは２次電子、透過電子）
を半導体検出器ＳＳＤで検出し電気信号に変換すると、
同図(b)に示すようなマーク波形信号が得られる。この
波形信号を１回微分すると同図(c)のような電子ビーム
の寸法に対応する１回微分信号（１次微分信号）が得ら
れ、その信号を更に微分、すなわち２回微分すると、同
図(d)のような電子ビームの分布の鋭さを示す２回微分
信号（２次微分信号）が得られる。つまり２回微分信号
の最大値を尖鋭度と定義する。この尖鋭度の値はビーム
のボケに逆比例する。即ち、焦点が合つている場合はこ
の尖鋭度の値は大きく、逆に焦点が合つてない場合は上
記の値が小さくなる。
第２図に電子光学系の焦点調整と２回微分信号例を示
す。同図(a)は１回微分波形、(b)は２回微分波形であ
る。この図において、真中の波形が合焦点時の２回微分
信号である。その左右の波形は、それぞれ下方，上方に
（この例では）１００μｍの焦点ずれを生起した場合を
示す。
す。同図(a)は１回微分波形、(b)は２回微分波形であ
る。この図において、真中の波形が合焦点時の２回微分
信号である。その左右の波形は、それぞれ下方，上方に
（この例では）１００μｍの焦点ずれを生起した場合を
示す。
第３図に電子光学系の焦点面を物面の上下１２０μｍの
範囲に６０μｍステップで５段階変化（同図(c)は２次
微分波形図で、各波形の１サイクルが１段階分に相当）
させ、その各ステップ毎に得られる２回微分信号の最大
値即ち尖鋭度を抽出し、それらの尖鋭度に対して２次曲
線近似を施した結果の一例を示す。この図より近似曲線
(a)の最大値(b)が合焦点（焦点誤差０の時）と一致して
いることが分る。
範囲に６０μｍステップで５段階変化（同図(c)は２次
微分波形図で、各波形の１サイクルが１段階分に相当）
させ、その各ステップ毎に得られる２回微分信号の最大
値即ち尖鋭度を抽出し、それらの尖鋭度に対して２次曲
線近似を施した結果の一例を示す。この図より近似曲線
(a)の最大値(b)が合焦点（焦点誤差０の時）と一致して
いることが分る。
次に本発明を電子線描画装置で採用した場合における具
体例について説明する。上記の装置では通常焦点調整用
レンズとしてＯ，ＯＳの２つがある。まず最初、Ｏレン
ズの電流値Ｉｏをあらかじめ決められている値に設定す
る。その状態でＯＳレンズの電流値Ｉosを９段階に変化
させ、各段階毎にマーク波形信号を取込み２回微分処理
を行ない尖鋭度を検出する。その後、各Ｉosと検出され
た尖鋭度に対して２次、ないし３次曲線のあてはめを行
ない、この近似曲線の最大値が９点のＩos変化幅の真中
付近で発生しているかどうかを調べる。真中付近に発生
していれば合焦点を検出したことになるのでその時のＩ
osを抽出し、ＯＳレンズをあらかじめ決められた一定値
Ｉosl（例えば零）にすると同時に、抽出された電流値
ＩosをＯレンズの電流値に換算し（ＩosとＩｏの換算式
はあらかじめ決められている。）、その電流値ＩojをＯ
レンズに流すことにより同じ位置に焦点が合うようにす
る。
体例について説明する。上記の装置では通常焦点調整用
レンズとしてＯ，ＯＳの２つがある。まず最初、Ｏレン
ズの電流値Ｉｏをあらかじめ決められている値に設定す
る。その状態でＯＳレンズの電流値Ｉosを９段階に変化
させ、各段階毎にマーク波形信号を取込み２回微分処理
を行ない尖鋭度を検出する。その後、各Ｉosと検出され
た尖鋭度に対して２次、ないし３次曲線のあてはめを行
ない、この近似曲線の最大値が９点のＩos変化幅の真中
付近で発生しているかどうかを調べる。真中付近に発生
していれば合焦点を検出したことになるのでその時のＩ
osを抽出し、ＯＳレンズをあらかじめ決められた一定値
Ｉosl（例えば零）にすると同時に、抽出された電流値
ＩosをＯレンズの電流値に換算し（ＩosとＩｏの換算式
はあらかじめ決められている。）、その電流値ＩojをＯ
レンズに流すことにより同じ位置に焦点が合うようにす
る。
一方、近似曲線の最大値が真中付近になければ、その時
求まつた最大値に対応するＯＳレンズの電流値を参考に
し、Ｏレンズの電流値Ｉｏを少し変化させ同様の方法で
焦点検出する。この合焦点を検出する回数はあらかじめ
決められているので、その回数内で合焦点検出が出来な
い場合は検出不能としてオペレータに知らせる。
求まつた最大値に対応するＯＳレンズの電流値を参考に
し、Ｏレンズの電流値Ｉｏを少し変化させ同様の方法で
焦点検出する。この合焦点を検出する回数はあらかじめ
決められているので、その回数内で合焦点検出が出来な
い場合は検出不能としてオペレータに知らせる。
第４図にかかる焦点検出および調整の様子の一例を示
す。図の例ではＸ方向の合焦点検出に４回かかつてお
り、同図(a)に示すように第１回目のＯレンズの電流値
Ｉｏが164.3ｍＡであつたものが、合焦点時には(d)に示
すように162.9ｍＡ、ＯＳレンズの電流値の変化範囲は
４回とも同じ−１００ｍＡ〜１００ｍＡとなつている。
なお同図(b)，(c)は、それぞれＸ方向の第２回目、第３
回目のＩｏの変化を示す。かくして、Ｘ方向の合焦点が
求まると、その時のＩｏでＹ方向の焦点も合つているか
どうか調らべる。これは非点の状態をチエツクするため
であり、両者の電流差が許容値内ならば両者の平均値で
もつて合焦点電流値とし、許容値を越えた時は非点大と
してオペレータに知らせる。第４図の例ではＸ方向の焦
点調整後、同図(e)に示すように１回でＹ方向の合焦点
検出が終了しており、非点が許容値内に入つていること
が分る。
す。図の例ではＸ方向の合焦点検出に４回かかつてお
り、同図(a)に示すように第１回目のＯレンズの電流値
Ｉｏが164.3ｍＡであつたものが、合焦点時には(d)に示
すように162.9ｍＡ、ＯＳレンズの電流値の変化範囲は
４回とも同じ−１００ｍＡ〜１００ｍＡとなつている。
なお同図(b)，(c)は、それぞれＸ方向の第２回目、第３
回目のＩｏの変化を示す。かくして、Ｘ方向の合焦点が
求まると、その時のＩｏでＹ方向の焦点も合つているか
どうか調らべる。これは非点の状態をチエツクするため
であり、両者の電流差が許容値内ならば両者の平均値で
もつて合焦点電流値とし、許容値を越えた時は非点大と
してオペレータに知らせる。第４図の例ではＸ方向の焦
点調整後、同図(e)に示すように１回でＹ方向の合焦点
検出が終了しており、非点が許容値内に入つていること
が分る。
第５図は本発明の一実施例である。図において、１は電
子ビーム、２は試料台に設けられた金（Ａｕ）等のマー
ク、３′，３″は反射電子（あるいは２次電子）の検出
器、４，５はビームを走査するためのＸ，Ｙ偏向器、
６′，６″は電流−電圧変換器、７は加算器、８はアナ
ログ−デイジタル変換器（Ａ／Ｄ変換器）、９，１０，
１６，１７はデイジタル−アナログ変換器（Ｄ／Ａ変換
器）、１１，１２は偏向データを与えるカウンタ、１３
は入力信号のデータ確立のためのラツチメモリ、１４は
焦点レンズＯ、１５は他の焦点レンズＯＳ、１８，１９
はＯレンズ、およびＯＳレンズの電流値Ｉｏ，Ｉosを与
えるデータを一時記憶するラツチメモリ、２０はＺosを
例えば９段階変化させた時に得られるマーク波形信号を
記憶するメモリ、２１は波形信号に対して２次微分処理
を行なうための積和演算を行なう微分回路、２２は各２
次微分信号Ｑの最大値即ち尖鋭度Ｑｉ（ｉ＝１〜ｍ、こ
の例ではｍ＝９）を抽出するため最大値検出回路、２３
はＱｌ〜Ｑｍを一時記憶するメモリ、２４はマイクロコ
ンピュータ等で構成される制御回路であり、近似曲線 （この例では、ｎ＝３） を決定し、かつＱmaxを求め、更にＱmaxの時のＯＳコイ
ル電流Ｉosmaxを求める。
子ビーム、２は試料台に設けられた金（Ａｕ）等のマー
ク、３′，３″は反射電子（あるいは２次電子）の検出
器、４，５はビームを走査するためのＸ，Ｙ偏向器、
６′，６″は電流−電圧変換器、７は加算器、８はアナ
ログ−デイジタル変換器（Ａ／Ｄ変換器）、９，１０，
１６，１７はデイジタル−アナログ変換器（Ｄ／Ａ変換
器）、１１，１２は偏向データを与えるカウンタ、１３
は入力信号のデータ確立のためのラツチメモリ、１４は
焦点レンズＯ、１５は他の焦点レンズＯＳ、１８，１９
はＯレンズ、およびＯＳレンズの電流値Ｉｏ，Ｉosを与
えるデータを一時記憶するラツチメモリ、２０はＺosを
例えば９段階変化させた時に得られるマーク波形信号を
記憶するメモリ、２１は波形信号に対して２次微分処理
を行なうための積和演算を行なう微分回路、２２は各２
次微分信号Ｑの最大値即ち尖鋭度Ｑｉ（ｉ＝１〜ｍ、こ
の例ではｍ＝９）を抽出するため最大値検出回路、２３
はＱｌ〜Ｑｍを一時記憶するメモリ、２４はマイクロコ
ンピュータ等で構成される制御回路であり、近似曲線 （この例では、ｎ＝３） を決定し、かつＱmaxを求め、更にＱmaxの時のＯＳコイ
ル電流Ｉosmaxを求める。
(1)式におけるｂnkは、最小自乗法を用いて （ここでｒ＝０〜ｎ） より求められる。ここでｒ＝０〜ｎ まず最初に、制御回路２４よりラツチメモリ１８，１９
にデータを与えＯおよび第１回目のＯＳレンズの電流値
を設定する。続いて１１，１２に偏向データを与え電子
ビーム１で３のマークを走査し波形信号を得る。続いて
第２回目のＯＳレンズの電流値を設定し、同様の方法で
波形信号を得ると同時に、２１，２２，２３の各回路を
使つて第１回目の波形信号より尖鋭度Ｑ１を求める。以
上のようにして波形信号の取込みと尖鋭度の抽出を同時
に行なう。
にデータを与えＯおよび第１回目のＯＳレンズの電流値
を設定する。続いて１１，１２に偏向データを与え電子
ビーム１で３のマークを走査し波形信号を得る。続いて
第２回目のＯＳレンズの電流値を設定し、同様の方法で
波形信号を得ると同時に、２１，２２，２３の各回路を
使つて第１回目の波形信号より尖鋭度Ｑ１を求める。以
上のようにして波形信号の取込みと尖鋭度の抽出を同時
に行なう。
Ｉos値を９段階に変化させたのち(2)式を使つてｂ30〜
ｂ33の係数を求め、(1)式を完成させる。次に(1)式を使
つて尖鋭度の最大値Ｑmax、およびＩosmaxを求める。こ
のＩosmaxに対応するＯレンズの電流値Ｉojを求め、そ
のデータを１８のラツチメモリに転送する。この時Ｉ
osmaxが９段階に変化させたＩos値Ｉos1〜Ｉos9の中間
値Ｉos5付近ならば合焦点検出が終了したとしてＯＳレ
ンズの電流値をあらかじめ定められた一定値Ｉoslに設
定する。一方、ＩosmaxがＩos5付近にない場合は合焦点
が未検出として、Ｏレンズの電流値をＩojにして再度、
Ｉosを９段階に変化させ、各段階でのマーク波形信号の
取込みからＱmax，Ｉosmaxの抽出までの一連の動作をく
り返す。また、Ｘ方向の焦点検出および焦点調整が終了
するとＹ方向の焦点検出、調整を行なう。
ｂ33の係数を求め、(1)式を完成させる。次に(1)式を使
つて尖鋭度の最大値Ｑmax、およびＩosmaxを求める。こ
のＩosmaxに対応するＯレンズの電流値Ｉojを求め、そ
のデータを１８のラツチメモリに転送する。この時Ｉ
osmaxが９段階に変化させたＩos値Ｉos1〜Ｉos9の中間
値Ｉos5付近ならば合焦点検出が終了したとしてＯＳレ
ンズの電流値をあらかじめ定められた一定値Ｉoslに設
定する。一方、ＩosmaxがＩos5付近にない場合は合焦点
が未検出として、Ｏレンズの電流値をＩojにして再度、
Ｉosを９段階に変化させ、各段階でのマーク波形信号の
取込みからＱmax，Ｉosmaxの抽出までの一連の動作をく
り返す。また、Ｘ方向の焦点検出および焦点調整が終了
するとＹ方向の焦点検出、調整を行なう。
上述から分るように合焦点検出の判定は、 ｜Ｉosmax−Ｉos5｜≦α で行なわれ、この判定パラメータはあらかじめ与えら
れ、本実施例ではα＝５ｍＡを使用した。
れ、本実施例ではα＝５ｍＡを使用した。
以上詳述したように、本発明によれば、電子レンズの焦
点距離をｍ点ステップ状に変化させ、各ステップにおけ
る検出信号波形から抽出された焦点情報により焦点外れ
の状態を求め、かつこれらの量を最小自乗法を用いてｎ
次の多項式に近似し、この近似式から最適の位置を求
め、その結果を電子レンズに帰還せしめて電子レンズを
調節するように構成することにより、焦点検出と焦点調
整が安定に、かつ高分解能で実施することが出来る。そ
して、特に、上記の場合、ｍ≧５，ｎ≦３の時に、安定
かつ高速に焦点調節が可能となる。
点距離をｍ点ステップ状に変化させ、各ステップにおけ
る検出信号波形から抽出された焦点情報により焦点外れ
の状態を求め、かつこれらの量を最小自乗法を用いてｎ
次の多項式に近似し、この近似式から最適の位置を求
め、その結果を電子レンズに帰還せしめて電子レンズを
調節するように構成することにより、焦点検出と焦点調
整が安定に、かつ高分解能で実施することが出来る。そ
して、特に、上記の場合、ｍ≧５，ｎ≦３の時に、安定
かつ高速に焦点調節が可能となる。
また、焦点検出時にＯＳ電流のサンプル点を多数採用す
る必要がなく、近似の多項式を決定するに必要なサンプ
ル点で十分であり、多数点をサンプルしなくても近似曲
線で最適値が得られるため処理時間が大巾に短縮され
る。すなわち、本発明によれば焦点検出と焦点調整が短
時間で実施することが出来る。
る必要がなく、近似の多項式を決定するに必要なサンプ
ル点で十分であり、多数点をサンプルしなくても近似曲
線で最適値が得られるため処理時間が大巾に短縮され
る。すなわち、本発明によれば焦点検出と焦点調整が短
時間で実施することが出来る。
このように、本発明は、電子線等を電子レンズを介して
ターゲット上で偏向走査し、反射電子、２次電子あるい
は透過電子を検出し、その検出信号から電子線の焦点状
態を認識するように構成された電子線装置、例えば電子
線露光装置や走査型電子顕微鏡などに適用して極めて有
効なものであるが、その基本的考え方は、これらの電子
線装置に限らず例えばレーザ光等の焦点検出やイオン線
等を用いた荷電粒子線装置において適用しても有効であ
る。
ターゲット上で偏向走査し、反射電子、２次電子あるい
は透過電子を検出し、その検出信号から電子線の焦点状
態を認識するように構成された電子線装置、例えば電子
線露光装置や走査型電子顕微鏡などに適用して極めて有
効なものであるが、その基本的考え方は、これらの電子
線装置に限らず例えばレーザ光等の焦点検出やイオン線
等を用いた荷電粒子線装置において適用しても有効であ
る。
【図面の簡単な説明】 第１図，第２図，第３図，第４図は、本発明の原理を説
明する図、第５図は本発明の一実施例を示すブロツク図
である。 １……電子ビーム、２……マーク、３′，３″……検出
器、４，５……Ｘ，Ｙ偏向器、６′，６″……電流−電
圧変換器、７……加算器、８……Ａ／Ｄ変換器、９，１
０……Ｄ／Ａ変換器、１１，１２……カウンタ、１３…
…ラツチメモリ、１４……焦点レンズＯ、１５……他の
焦点レンズＯＳ、１６，１７……Ｄ／Ａ変換器、１８，
１９……ラツチメモリ、２０……メモリ、２１……微分
回路、２２……最大値検出回路、２３……メモリ、２４
……制御回路。
明する図、第５図は本発明の一実施例を示すブロツク図
である。 １……電子ビーム、２……マーク、３′，３″……検出
器、４，５……Ｘ，Ｙ偏向器、６′，６″……電流−電
圧変換器、７……加算器、８……Ａ／Ｄ変換器、９，１
０……Ｄ／Ａ変換器、１１，１２……カウンタ、１３…
…ラツチメモリ、１４……焦点レンズＯ、１５……他の
焦点レンズＯＳ、１６，１７……Ｄ／Ａ変換器、１８，
１９……ラツチメモリ、２０……メモリ、２１……微分
回路、２２……最大値検出回路、２３……メモリ、２４
……制御回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０４Ｎ 5/232 Ａ (72)発明者 松岡 玄也 東京都国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 奥村 正秀 東京都国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 小笹 進 東京都国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 高本 喜一 神奈川県厚木市小野1831番地 日本電信電 話公社厚木電気通信研究所内 (72)発明者 大久保 恒夫 神奈川県厚木市小野1831番地 日本電信電 話公社厚木電気通信研究所内 (56)参考文献 特開 昭56−138926（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−41663（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−128975（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−7341（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】電子線を電子レンズを介してターゲット上
で偏向走査して、反射電子、二次電子あるいは透過電子
を検出し、その検出信号から電子線の焦点状態を認識す
るように構成された電子線装置において、 上記電子レンズを第１および第２のレンズにより構成し
ておき、 上記第１のレンズのレンズ電流をある一定値に設定した
状態で、上記第２のレンズのレンズ電流値をｍ点（ｍ≧
５）についてステップ状に変化させ、 各ステップにおける前記検出信号からその時々の電子線
の尖鋭度を求め、このｍ点についての上記第２のレンズ
のレンズ電流値と求められた尖鋭度の値とを用いて上記
第２のレンズのレンズ電流値の変化に対する尖鋭度の値
の変化の関係を最小自乗法を用いてｎ次（ｎ≦３）の多
項式曲線に曲線近似させ、 この得られた近似曲線が上記第２のレンズのレンズ電流
値の変化範囲内で最大値を示すようになるまで上記第１
のレンズのレンズ電流の設定値を段階状に変化させて上
記の操作を繰返し、該近似曲線が上記第２のレンズのレ
ンズ電流値の変化範囲内で最大値を示すようになった時
の該最大値に対応する上記第２のレンズのレンズ電流値
を求め、 この求められた上記第２のレンズのレンズ電流値とその
時の上記第１のレンズのレンズ電流値をもって最適焦点
状態を実現するための最適レンズ電流値とすることを特
徴とする電子線装置における自動焦点調節法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58160521A JPH0646554B2 (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 電子線装置における自動焦点調節法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58160521A JPH0646554B2 (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 電子線装置における自動焦点調節法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6054152A JPS6054152A (ja) | 1985-03-28 |
| JPH0646554B2 true JPH0646554B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=15716751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58160521A Expired - Lifetime JPH0646554B2 (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 電子線装置における自動焦点調節法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0646554B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5446494A (en) * | 1986-03-04 | 1995-08-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Focus detecting system |
| JP2554051B2 (ja) * | 1986-03-04 | 1996-11-13 | キヤノン株式会社 | オ−トフォ−カス装置 |
| JPH0772763B2 (ja) * | 1986-09-30 | 1995-08-02 | キヤノン株式会社 | 自動焦点調節方法 |
| JPH01283757A (ja) * | 1988-05-11 | 1989-11-15 | Jeol Ltd | 自動焦点合わせ方式 |
| JP2833836B2 (ja) * | 1990-07-17 | 1998-12-09 | 日本電子株式会社 | 走査型電子顕微鏡のオートフォーカス方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS608580B2 (ja) * | 1977-04-15 | 1985-03-04 | 株式会社島津製作所 | 走査型電子線装置等の自動焦点調整装置 |
| JPS567341A (en) * | 1979-06-29 | 1981-01-26 | Jeol Ltd | Automatic astigmatism compensation and focussing in scanning electron microscope |
| JPS5641663A (en) * | 1979-09-12 | 1981-04-18 | Akashi Seisakusho Co Ltd | Focusing method and its device for scanning electron microscope and the like |
-
1983
- 1983-09-02 JP JP58160521A patent/JPH0646554B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6054152A (ja) | 1985-03-28 |
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