JPH01283757A - 自動焦点合わせ方式 - Google Patents
自動焦点合わせ方式Info
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- JPH01283757A JPH01283757A JP63114050A JP11405088A JPH01283757A JP H01283757 A JPH01283757 A JP H01283757A JP 63114050 A JP63114050 A JP 63114050A JP 11405088 A JP11405088 A JP 11405088A JP H01283757 A JPH01283757 A JP H01283757A
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- Japan
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- signal
- coil current
- focus coil
- automatic focusing
- signal strength
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、フォーカスコイル電流の信号強度曲線から最
適値を探査する自動焦点合わせ方式に関する。
適値を探査する自動焦点合わせ方式に関する。
線幅測長器は、電子ビームを物差しとして、細かい回路
素子の寸法を測定する場合等に使用されるものであり、
第３図はデジタルラスタースキャンを説明するための図
、第４図はデジタルラインスキャンを説明するための図
である。
素子の寸法を測定する場合等に使用されるものであり、
第３図はデジタルラスタースキャンを説明するための図
、第４図はデジタルラインスキャンを説明するための図
である。
線幅測長器では、まず、第３図に示すようにデジタルス
キャンジェネレータをラスターモードにしてデイスプレ
ィに画像表示すると共に、マーカーを重畳表示させて画
像を観察し、測定希望個所をマーカーで指定した後、測
定命令をコンピュータ（ＣＰＵ）に送信する。コンピュ
ータは、デジタルスキャンジェネレータをラインモード
にして第４図に示すようにマーカーで指定された個所を
スキャンする。このようにデジタルスキャンジェネレー
タは、一般にラスタースキャンとラインスキャンのモー
ドをもち、線幅の測定をラインスキャンで行っている。
キャンジェネレータをラスターモードにしてデイスプレ
ィに画像表示すると共に、マーカーを重畳表示させて画
像を観察し、測定希望個所をマーカーで指定した後、測
定命令をコンピュータ（ＣＰＵ）に送信する。コンピュ
ータは、デジタルスキャンジェネレータをラインモード
にして第４図に示すようにマーカーで指定された個所を
スキャンする。このようにデジタルスキャンジェネレー
タは、一般にラスタースキャンとラインスキャンのモー
ドをもち、線幅の測定をラインスキャンで行っている。
第５図はフォーカスコイル電流に対する信号弾、度曲線
を示す図、第６図はフォーカスコイル電流の最大信号強
度探査の方法を説明するための図である。
を示す図、第６図はフォーカスコイル電流の最大信号強
度探査の方法を説明するための図である。
線幅測長器において、電子線の焦点が合ったときは試料
面上の電子線が最小限に絞られることを意味し、その時
試料から放出される二次電子または反射電子の密度は最
大になる。従って自動焦点合わせを行う場合のアルゴリ
ズムは次の基本事項に基づいて考えることができる。
面上の電子線が最小限に絞られることを意味し、その時
試料から放出される二次電子または反射電子の密度は最
大になる。従って自動焦点合わせを行う場合のアルゴリ
ズムは次の基本事項に基づいて考えることができる。
■ 第５図に示す如くコイル電流に対する信号強度曲線
を求める。
を求める。
■ 第６図に示す如く４種のパターン認識を行い、最大
信号強度に対するコイル電流を求める。
信号強度に対するコイル電流を求める。
フォーカスコイル電流の最適値探査に用いられる第６図
のパターンは、３点による構成を示し、（Ｊｌ）は単調
増加、（ｂｌは単調減少、（Ｃ１は前方ピーク、＋ｄｌ
は後方ピークのパターンである。従って、同図′（ａ）
、世）の場合には前後のステップヘシフトし、３点の中
央が１番大きい値を示す同図Ｔｅｌ、（ｄ＋の場合には
さらに最大信号強度の探索範囲を絞ってフォーカスコイ
ルの最適値を求める。なお、図から明らかなように一般
には両側のデータで大きい値を示す方のポイントと中央
のポイントとの間に最大信号強度が存在すると判断でき
る。
のパターンは、３点による構成を示し、（Ｊｌ）は単調
増加、（ｂｌは単調減少、（Ｃ１は前方ピーク、＋ｄｌ
は後方ピークのパターンである。従って、同図′（ａ）
、世）の場合には前後のステップヘシフトし、３点の中
央が１番大きい値を示す同図Ｔｅｌ、（ｄ＋の場合には
さらに最大信号強度の探索範囲を絞ってフォーカスコイ
ルの最適値を求める。なお、図から明らかなように一般
には両側のデータで大きい値を示す方のポイントと中央
のポイントとの間に最大信号強度が存在すると判断でき
る。
しかしながら、従来の線幅測長器における自動焦点合わ
せの第１番目の欠点は、初期信号強度曲線探査のときに
指定されたすべてのフォーカスコイル電流に対して、信
号レベルがノイズレベル以上にならないためにダイナミ
ックフォーカスコイル電流に対する信号強度曲線が探査
できない場合があることである。即ち、信号強度曲線の
探査では、コイル電流の数点に対して信号強度を求める
が、第２図ｊａ）および＋ｄｌに示す如く全てにノイズ
レベル以上の値が得られない場合がある。
せの第１番目の欠点は、初期信号強度曲線探査のときに
指定されたすべてのフォーカスコイル電流に対して、信
号レベルがノイズレベル以上にならないためにダイナミ
ックフォーカスコイル電流に対する信号強度曲線が探査
できない場合があることである。即ち、信号強度曲線の
探査では、コイル電流の数点に対して信号強度を求める
が、第２図ｊａ）および＋ｄｌに示す如く全てにノイズ
レベル以上の値が得られない場合がある。
また、第２番目の欠点は、フォーカスコイル最適値探査
時にピーク値加算機能を有する回路（積分回路２０）で
保持される信号（ピークホールド値）が電源電圧近傍に
なった場合にフォーカスコイルの最適値が探査できず、
自動焦点合わせが不可能になることである。
時にピーク値加算機能を有する回路（積分回路２０）で
保持される信号（ピークホールド値）が電源電圧近傍に
なった場合にフォーカスコイルの最適値が探査できず、
自動焦点合わせが不可能になることである。
この問題をさらに詳細に説明する。
第７図は試料パターンと走査ラインの例を示す図、第８
図は信号処理回路の動作を説明するための信号の波形を
示す図、第９図は信号処理回路中の信号がオーバーフロ
ーしたときのフォーカスコイル電流の最適値探査を説明
するための図である。
図は信号処理回路の動作を説明するための信号の波形を
示す図、第９図は信号処理回路中の信号がオーバーフロ
ーしたときのフォーカスコイル電流の最適値探査を説明
するための図である。
フォーカスコイル電流の最適値探査時には、例えば第７
図に示す如きラインａ−ｂで試料上をＸ方向に数回ライ
ン走査を行い、第１図に示す回路ではバッファメモリ１
３にＳ／Ｈの改善されたデータを蓄え、このデータがラ
ンチ回路１６を経て、繰り返し信号処理回路に転送され
る。この時の信号処理回路の各部の波形（第１図の■〜
■と対応する信号）を示したのが第８図であり、＋Ｍｌ
がフォーカスしている場合、伽）がデフォーカスの場合
の波形である。第７図に示す如きラインａ−ｂを走査す
ると、■の信号がＤ／Ａ変換回路１７を通して転送され
てくる。そして、この信号がバイパスフィルタ１８で微
分されると信号■となり、さらに全波整流され信号■と
なる。そして信号■で示す如く積分回路２０は、全波整
流回路１９で得られた信号■のピーク値を加算したのち
Ａ／Ｄ変換終了まで信号をホールドする。
図に示す如きラインａ−ｂで試料上をＸ方向に数回ライ
ン走査を行い、第１図に示す回路ではバッファメモリ１
３にＳ／Ｈの改善されたデータを蓄え、このデータがラ
ンチ回路１６を経て、繰り返し信号処理回路に転送され
る。この時の信号処理回路の各部の波形（第１図の■〜
■と対応する信号）を示したのが第８図であり、＋Ｍｌ
がフォーカスしている場合、伽）がデフォーカスの場合
の波形である。第７図に示す如きラインａ−ｂを走査す
ると、■の信号がＤ／Ａ変換回路１７を通して転送され
てくる。そして、この信号がバイパスフィルタ１８で微
分されると信号■となり、さらに全波整流され信号■と
なる。そして信号■で示す如く積分回路２０は、全波整
流回路１９で得られた信号■のピーク値を加算したのち
Ａ／Ｄ変換終了まで信号をホールドする。
ここで、焦点合わせが完全である場合には、第８図Ｔａ
ｌに示す如くビデオ信号■を滋分して得た波形の信号強
度■は最大になることから、これらの信号のピーク値を
１ライン分加算する方法は自動焦点合わせの方法として
最良である。しかしながら、第７図で示す如きパターン
がｉ数ある試料では、ピーク値を加算した電圧値ＶＰ）
Ｉはピーク値が多くなればなるほど大きな値になる。従
って、■Ｉは信号処理回路の電源電圧近傍まで上昇する
場合もありうる。このような場合にはフォーカスコイル
電流の最適値探査が不可能になる。
ｌに示す如くビデオ信号■を滋分して得た波形の信号強
度■は最大になることから、これらの信号のピーク値を
１ライン分加算する方法は自動焦点合わせの方法として
最良である。しかしながら、第７図で示す如きパターン
がｉ数ある試料では、ピーク値を加算した電圧値ＶＰ）
Ｉはピーク値が多くなればなるほど大きな値になる。従
って、■Ｉは信号処理回路の電源電圧近傍まで上昇する
場合もありうる。このような場合にはフォーカスコイル
電流の最適値探査が不可能になる。
例えば、信号処理回路中の信号がオーバーフローしたと
きであっても、第９図（ａｌ〜（ｄｌの４種のパターン
認識は可能である。ところが２分法で次のステップに進
んだ場合同図（８１〜（ｈｌでは信号のピーク値が２個
存在することにな゛り最大値がどちら側に存在するかわ
からなくなる。
きであっても、第９図（ａｌ〜（ｄｌの４種のパターン
認識は可能である。ところが２分法で次のステップに進
んだ場合同図（８１〜（ｈｌでは信号のピーク値が２個
存在することにな゛り最大値がどちら側に存在するかわ
からなくなる。
本発明は、上記の考察に基づくものであって、フォーカ
スコイル電流に対する信号強度曲線の初期探査を容易に
しフォーカスコイル電流の最適値探査が確実に行える自
動焦点合わせ方式を提供することを目的とするものであ
る。
スコイル電流に対する信号強度曲線の初期探査を容易に
しフォーカスコイル電流の最適値探査が確実に行える自
動焦点合わせ方式を提供することを目的とするものであ
る。
そのために本発明番よ、電子線を試料に照射して試料か
ら放射される量子信号を検出し、フォーカスコイル電流
の最適値を探査する自動焦点合わせ方式において、ｌラ
イン走査分の信号からフォーカスコイル電流の分割制御
とシフト制御を行って信号強度曲線を探査し、信号レベ
ルのゲインを制御して最大信号強度の探索を行うことを
特徴とするものである。
ら放射される量子信号を検出し、フォーカスコイル電流
の最適値を探査する自動焦点合わせ方式において、ｌラ
イン走査分の信号からフォーカスコイル電流の分割制御
とシフト制御を行って信号強度曲線を探査し、信号レベ
ルのゲインを制御して最大信号強度の探索を行うことを
特徴とするものである。
本発明の自動焦点合わせ方式では、ノイズレベルより大
きい信号強度が得られない場合には、フォーカスコイル
電流を分割ピンチの１／２シフト、さらに１／４シフト
で２倍分割のステップで変化させるので、少ない分割数
による処理で迅速に信号強度曲線が探査できる。また、
３点抽出によるパターン認識を行い、隣接する２点が同
値の場合には直前の信号強度曲線より最大値を予測して
低減率を求めゲイン制御するので、信号処理回路中の信
号のピークホールド値がオーバーフローになっても、信
号レベルを適性なゲインに下げることができるので、常
に最大信号強度の探索を行うことができる。
きい信号強度が得られない場合には、フォーカスコイル
電流を分割ピンチの１／２シフト、さらに１／４シフト
で２倍分割のステップで変化させるので、少ない分割数
による処理で迅速に信号強度曲線が探査できる。また、
３点抽出によるパターン認識を行い、隣接する２点が同
値の場合には直前の信号強度曲線より最大値を予測して
低減率を求めゲイン制御するので、信号処理回路中の信
号のピークホールド値がオーバーフローになっても、信
号レベルを適性なゲインに下げることができるので、常
に最大信号強度の探索を行うことができる。
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は本発明に係る線幅測長器の自動焦点合わせ方式
の１実施例を説明するための図、第２図はフォーカスコ
イル電流に対応する信号強度曲線の初期探査アルゴリズ
ムを説明するための図である。
の１実施例を説明するための図、第２図はフォーカスコ
イル電流に対応する信号強度曲線の初期探査アルゴリズ
ムを説明するための図である。
第１図において、１は電子銃、３はダイナミックフォー
カスコイル、４は対物レンズ、５は信号検出器、６は試
料、７と２１はアンプ、８はサンプルホールド回路、９
と２２はＡ／Ｄ変換回路、１０と１６はランチ回路、１
１は加算回路、１２はデータバスゲート、１３はバッフ
ァメモリ、１４はＤＭＡインターフェース、１５はＣＰ
Ｕ５１７はＤ／Ａ変換回路、１８はバイパスフィルタ、
１９は全波整流回路、２０は積分回路、２３．２４と２
７はインターフェース、２５はゲインレベルコントロー
ル回路、２６はメインメモリ、２８はダイナミックフォ
ーカスコントロール回路を示す。
カスコイル、４は対物レンズ、５は信号検出器、６は試
料、７と２１はアンプ、８はサンプルホールド回路、９
と２２はＡ／Ｄ変換回路、１０と１６はランチ回路、１
１は加算回路、１２はデータバスゲート、１３はバッフ
ァメモリ、１４はＤＭＡインターフェース、１５はＣＰ
Ｕ５１７はＤ／Ａ変換回路、１８はバイパスフィルタ、
１９は全波整流回路、２０は積分回路、２３．２４と２
７はインターフェース、２５はゲインレベルコントロー
ル回路、２６はメインメモリ、２８はダイナミックフォ
ーカスコントロール回路を示す。
第１図に示す回路は本出願人が既に提案している線幅測
長器のデータアクジションシステム（特願昭５９−２３
８０６２号）に自動焦点合わせのための信号処理回路を
付加したものであり、信号強度曲線の探査では、フォー
カスコイル電流の分割数とシフトを制御するアルゴリズ
ムにより効率的な探査を実現し、また、信号レベルのオ
ーバーフローでは、図中点線部分のゲインレベルコント
ロール回路２５を従来回路に付加することにより、信号
がオーバーフローしたときにアンプ７の利得を下げて、
システムの稼働率を向上させている。
長器のデータアクジションシステム（特願昭５９−２３
８０６２号）に自動焦点合わせのための信号処理回路を
付加したものであり、信号強度曲線の探査では、フォー
カスコイル電流の分割数とシフトを制御するアルゴリズ
ムにより効率的な探査を実現し、また、信号レベルのオ
ーバーフローでは、図中点線部分のゲインレベルコント
ロール回路２５を従来回路に付加することにより、信号
がオーバーフローしたときにアンプ７の利得を下げて、
システムの稼働率を向上させている。
初めに第１図に示す回路の動作を説明する。
第１図に示すシステムにおける自動焦点合わせでは、ま
ず、１ライン走査分の信号を信号検出器５、アンプ７、
サンプルホールド回路８、Ａ／Ｄ変換回路９を通して取
り込み、ラッチ回路１０．１６、加算回路１１、データ
バスゲート１２を使用して積算しＳ／Ｎを改善した情報
をバッファメモリ１３に蓄える。しかる後、ラッチ回路
１６を経て転送する。この信号は、Ｄ／Ａ変換された後
、バイパスフィルタ（微分回路）１８、全波整流回路１
９、積分回路２０、アンプ２１．Ａ／Ｄ変換回路２２、
インターフェース２３を経てＣＰＵｌ５のメインメモリ
２６に蓄えられる。このようにしてダイナミックフォー
カス電流ごとに１ライン走査分のデータがリアルタイム
で信号処理され、処理された１ライン分のデータより第
５図に示す如き信号強度曲線を探査する。そして、隣接
する３点のデータを取り出して第６図に示す如き４種の
パターンのうちいずれかのパターンを認識しフォーカス
コイルの最適値を求める。
ず、１ライン走査分の信号を信号検出器５、アンプ７、
サンプルホールド回路８、Ａ／Ｄ変換回路９を通して取
り込み、ラッチ回路１０．１６、加算回路１１、データ
バスゲート１２を使用して積算しＳ／Ｎを改善した情報
をバッファメモリ１３に蓄える。しかる後、ラッチ回路
１６を経て転送する。この信号は、Ｄ／Ａ変換された後
、バイパスフィルタ（微分回路）１８、全波整流回路１
９、積分回路２０、アンプ２１．Ａ／Ｄ変換回路２２、
インターフェース２３を経てＣＰＵｌ５のメインメモリ
２６に蓄えられる。このようにしてダイナミックフォー
カス電流ごとに１ライン走査分のデータがリアルタイム
で信号処理され、処理された１ライン分のデータより第
５図に示す如き信号強度曲線を探査する。そして、隣接
する３点のデータを取り出して第６図に示す如き４種の
パターンのうちいずれかのパターンを認識しフォーカス
コイルの最適値を求める。
本発明の線幅測長器における自動焦点合わせ方式では、
上記のシステムにおいて、次のようなアルゴリズムによ
り信号強度曲線の初期探査を行う。
上記のシステムにおいて、次のようなアルゴリズムによ
り信号強度曲線の初期探査を行う。
■、ダイナミックフォーカスコイル電流１−１１、Ｉ８
、・・・・・・、Ｉ、、 、Ｉ、に対して信号強度曲線
を求める。
、・・・・・・、Ｉ、、 、Ｉ、に対して信号強度曲線
を求める。
■ ノイズレベルより大きな信号強度が得られた場合に
は、第２図（Ｃ１、（幻に示す如くそのコイル電流の両
側のコイル電流 に対する信号強度を求める。
は、第２図（Ｃ１、（幻に示す如くそのコイル電流の両
側のコイル電流 に対する信号強度を求める。
■ 上記■で得られた信号強度曲線は第６図に示した４
種のパターンのどれかに属するので、このパターン認識
を行い、フォーカスコイル電流の最適値を求める。
種のパターンのどれかに属するので、このパターン認識
を行い、フォーカスコイル電流の最適値を求める。
上記■において、ノイズレベルより大きな信号強度が得
られないとき、すなわち、第２図（ａｌおよび＋ｄ）に
示す如き状態のときには、次の処理を行う。
られないとき、すなわち、第２図（ａｌおよび＋ｄ）に
示す如き状態のときには、次の処理を行う。
Φ′上記のコイル電流に対して分割ピッチのｌ／２だけ
シフトした中間のコイル電流 ｔ＋ｔ−１” ｌ１１−ｚ Ｉｌｌ＋Ｉｎ−＋によ
り信号強度曲線を求める。第２図山）はコイルＴ１ｍ
（＋ 、ｌ＋ ｌ。−１）／２でノイズレベルより大き
な信号強度が得られた場合であり、従って、この場合に
は上記■の処理、すなわち第２図（Ｃ１に示す如き処理
を行う。
シフトした中間のコイル電流 ｔ＋ｔ−１” ｌ１１−ｚ Ｉｌｌ＋Ｉｎ−＋によ
り信号強度曲線を求める。第２図山）はコイルＴ１ｍ
（＋ 、ｌ＋ ｌ。−１）／２でノイズレベルより大き
な信号強度が得られた場合であり、従って、この場合に
は上記■の処理、すなわち第２図（Ｃ１に示す如き処理
を行う。
しかし、それでもまだ第２図＋ａｌに示す如く指定した
すべてのコイル電流でノイズレベルより大きな信号強度
が得られない場合には、 ■′さらに第２図（ｆｌに示す如く上記■とΦ′の中間
のコイル電流 ４．４ ３１．１−１ ” Ｉｓ Ｆ−１”３１ｍに対し
て信号強度曲線を求める。このとき指定されるコイル電
流の分割間隔は初期の１７２になる。
すべてのコイル電流でノイズレベルより大きな信号強度
が得られない場合には、 ■′さらに第２図（ｆｌに示す如く上記■とΦ′の中間
のコイル電流 ４．４ ３１．１−１ ” Ｉｓ Ｆ−１”３１ｍに対し
て信号強度曲線を求める。このとき指定されるコイル電
流の分割間隔は初期の１７２になる。
このようにノイズレベルより大きな信号強度が得られる
までコイル電流の指定を行う、つまり、フォーカスコイ
ル電流を分割ピッチの１７２シフト、さらに次のステッ
プでは、Ｉ／４シフト、２倍分割で変化させればよい。
までコイル電流の指定を行う、つまり、フォーカスコイ
ル電流を分割ピッチの１７２シフト、さらに次のステッ
プでは、Ｉ／４シフト、２倍分割で変化させればよい。
次に上記■のフォーカスコイル電流の最適値探索を説明
する。４種のパターン認識によりコイル電流の最適値を
求める。
する。４種のパターン認識によりコイル電流の最適値を
求める。
第９図に示す如く、信号処理回路中の信号がオーバーフ
ローになった場合でも、先に説明したように同図１Ｍ）
〜（ｄ）については４種のパターンｔｖｉは可能である
。ところが２分法で次のステップに進んだ場合、すなわ
ち、第９図（ｅ）〜（（へ）ではピーク値が２個存在す
ることになり４種のパターン認識が不可能になる。そこ
で、この問題を解決するため、本発明では、４種のパタ
ーン認識過程において２個のピーク値が認識され場合、
第１図に示したゲインレベルコントロール回路２５から
アンプ７の利得を低減する信号を転送する。この利得の
低減率は次のように決定する。
ローになった場合でも、先に説明したように同図１Ｍ）
〜（ｄ）については４種のパターンｔｖｉは可能である
。ところが２分法で次のステップに進んだ場合、すなわ
ち、第９図（ｅ）〜（（へ）ではピーク値が２個存在す
ることになり４種のパターン認識が不可能になる。そこ
で、この問題を解決するため、本発明では、４種のパタ
ーン認識過程において２個のピーク値が認識され場合、
第１図に示したゲインレベルコントロール回路２５から
アンプ７の利得を低減する信号を転送する。この利得の
低減率は次のように決定する。
すなわち、２分法を用いた４種のパターン認識過程で２
個のピーク値が存在したとき、２個のピーク値から得ら
れる前の信号強度曲線より最大値を予測し低減率を求め
る。この値をアンプ７の利得とすることによって第６図
に示した最大信号強度の探査を行う。
個のピーク値が存在したとき、２個のピーク値から得ら
れる前の信号強度曲線より最大値を予測し低減率を求め
る。この値をアンプ７の利得とすることによって第６図
に示した最大信号強度の探査を行う。
なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではな
く、種々の変形が可能である０例えばディジタル信号処
理、ログアンプ等を利用して信号処理回路のダイナミッ
クレンジを拡げるようにしてもよい、また、信号処理回
路が電源電圧近傍になる場合、信号がオーバーフローし
たことを検出して、アンプの利得を減少させるようにし
てもよい。
く、種々の変形が可能である０例えばディジタル信号処
理、ログアンプ等を利用して信号処理回路のダイナミッ
クレンジを拡げるようにしてもよい、また、信号処理回
路が電源電圧近傍になる場合、信号がオーバーフローし
たことを検出して、アンプの利得を減少させるようにし
てもよい。
以上の説明から明らかなように、従来の信号処理回路及
びそのアルゴリズムでは初期信号強度曲線探査が不可能
になる場合があったが、本発明によれば、フォーカスコ
イル電流を分割値の１７２シフト、２倍分割と段階的に
変えるので、探査の高速化を図ることができる。また、
従来は、Ａｌｌのパターン認識過程において信号処理回
路中の信号ピークホールド値がオーバーフローになった
ときフォーカスコイル電流の最適値探査が不可能になる
場合が為ったが、本発明によれば、オーバーフロー文な
った止きゲインレベルを制御するので、常にフォーカス
コイル電流の最適値探査が可能になる。従って、自動焦
点合わせが完全に稼働するシステムが実現できる。
びそのアルゴリズムでは初期信号強度曲線探査が不可能
になる場合があったが、本発明によれば、フォーカスコ
イル電流を分割値の１７２シフト、２倍分割と段階的に
変えるので、探査の高速化を図ることができる。また、
従来は、Ａｌｌのパターン認識過程において信号処理回
路中の信号ピークホールド値がオーバーフローになった
ときフォーカスコイル電流の最適値探査が不可能になる
場合が為ったが、本発明によれば、オーバーフロー文な
った止きゲインレベルを制御するので、常にフォーカス
コイル電流の最適値探査が可能になる。従って、自動焦
点合わせが完全に稼働するシステムが実現できる。
第１図は本発明に係る線幅測長器の自動焦点合わせ方式
の１実施例を説明するための図、第２図はフォーカスコ
イル電流に対応する信号強度曲線の初期探査アルゴリズ
ムを説明するための図、第３図はデジタルラスタースキ
ャンを説明するための図、第４図はデジタルラインスキ
ャンを説明するための図、第５図はフォーカスコイル電
流に対する信号強度曲線を示す図、第６図はフォーカス
コイル電流の最大信号強度探査の方法を説明するための
図、第７図は試料パターンと走査ラインの例を示す図、
第８図は信号処理回路の動作を説明するための信号の波
形を示す図、第９図は信号処理回路中の信号がオーバー
フローしたときのフォーカスコイル電流の最適値探査を
説明するための一図である。 ｌ・・・電子銃、３・・・ダイナミックフォーカスコイ
ル、４−・・対物レンズ、５・・・信号検出器、６・・
・試料、７と２１・・・アンプ、８・・・サンプルホー
ルド回路、９と２２・・・Ａ／Ｄ変換回路、１０と１６
・・・ラッチ回路、１１・・・加算回路、１２・・・デ
ータバスゲート、１−３ ・・・バッファメモリ、１４
・・・ＤＭＡインターフェース、ｌ′Ｓ・・・ＣＰＵ、
１７・・・Ｄ／Ａ変換何路、１８・・・バイパスフィル
タ、１９・・・全波整流回路、２０・・・積分回路、２
３．２４と２７・・・インターフェース、２５・・・ゲ
インレベルコントロール回路、２６・・・メインメモリ
、２８・・・ダイナミックフォーカスコントロール回路
。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 阿 部 龍 吉（外４名）第２図 （２）（ｄ） 第３図 （ａ） ’ （ｂ）第４因 （ａ） （ｂ） 第５図 コイルｔえ ＩＤＦ 菓６図 （ａ） （ｃ）−ｍ−÷Ｉ
ＣＦ （ｂ）
（ｄ）第７図 第８図 （ａ）（ｂ） 第９ （ｂ） （ｄ） ａ ＯＣ （ｅ）
の１実施例を説明するための図、第２図はフォーカスコ
イル電流に対応する信号強度曲線の初期探査アルゴリズ
ムを説明するための図、第３図はデジタルラスタースキ
ャンを説明するための図、第４図はデジタルラインスキ
ャンを説明するための図、第５図はフォーカスコイル電
流に対する信号強度曲線を示す図、第６図はフォーカス
コイル電流の最大信号強度探査の方法を説明するための
図、第７図は試料パターンと走査ラインの例を示す図、
第８図は信号処理回路の動作を説明するための信号の波
形を示す図、第９図は信号処理回路中の信号がオーバー
フローしたときのフォーカスコイル電流の最適値探査を
説明するための一図である。 ｌ・・・電子銃、３・・・ダイナミックフォーカスコイ
ル、４−・・対物レンズ、５・・・信号検出器、６・・
・試料、７と２１・・・アンプ、８・・・サンプルホー
ルド回路、９と２２・・・Ａ／Ｄ変換回路、１０と１６
・・・ラッチ回路、１１・・・加算回路、１２・・・デ
ータバスゲート、１−３ ・・・バッファメモリ、１４
・・・ＤＭＡインターフェース、ｌ′Ｓ・・・ＣＰＵ、
１７・・・Ｄ／Ａ変換何路、１８・・・バイパスフィル
タ、１９・・・全波整流回路、２０・・・積分回路、２
３．２４と２７・・・インターフェース、２５・・・ゲ
インレベルコントロール回路、２６・・・メインメモリ
、２８・・・ダイナミックフォーカスコントロール回路
。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 阿 部 龍 吉（外４名）第２図 （２）（ｄ） 第３図 （ａ） ’ （ｂ）第４因 （ａ） （ｂ） 第５図 コイルｔえ ＩＤＦ 菓６図 （ａ） （ｃ）−ｍ−÷Ｉ
ＣＦ （ｂ）
（ｄ）第７図 第８図 （ａ）（ｂ） 第９ （ｂ） （ｄ） ａ ＯＣ （ｅ）
Claims (3)
- （１）電子線を試料に照射して試料から放射される量子
信号を検出し、フォーカスコイル電流の最適値を探査す
る自動焦点合わせ方式において、信号強度曲線の探査の
際にノイズレベルより大きい信号強度が得られない場合
には１ライン走査分の信号からフォーカスコイル電流の
分割制御とシフト制御を行うことを特徴とする自動焦点
合わせ方式。 - （２）信号強度曲線の探査でノイズレベルより大きい信
号強度が得られない場合には、フォーカスコイル電流を
分割ピッチの１／２シフト、さらに１／４シフトで２倍
分割のステップで変化させることを特徴とする請求項１
記載の自動焦点合わせ方式。 - （３）電子線を試料に照射して試料から放射される量子
信号を検出し、フォーカスコイル電流の最適値を探査す
る自動焦点合わせ方式において、最大信号強度の探索の
パターン認識を行う際に、隣接する２点が同値の場合に
は直前の信号強度曲線より最大値を予測して低減率を求
めゲイン制御することを特徴とする自動焦点合わせ方式
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63114050A JPH01283757A (ja) | 1988-05-11 | 1988-05-11 | 自動焦点合わせ方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63114050A JPH01283757A (ja) | 1988-05-11 | 1988-05-11 | 自動焦点合わせ方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01283757A true JPH01283757A (ja) | 1989-11-15 |
Family
ID=14627781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63114050A Pending JPH01283757A (ja) | 1988-05-11 | 1988-05-11 | 自動焦点合わせ方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01283757A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6054152A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-28 | Hitachi Ltd | 電子線装置における自動焦点調節法 |
-
1988
- 1988-05-11 JP JP63114050A patent/JPH01283757A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6054152A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-28 | Hitachi Ltd | 電子線装置における自動焦点調節法 |
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