JPH0648848Y2 - カセット二連式基板処理装置のカセット整列装置 - Google Patents
カセット二連式基板処理装置のカセット整列装置Info
- Publication number
- JPH0648848Y2 JPH0648848Y2 JP1989092323U JP9232389U JPH0648848Y2 JP H0648848 Y2 JPH0648848 Y2 JP H0648848Y2 JP 1989092323 U JP1989092323 U JP 1989092323U JP 9232389 U JP9232389 U JP 9232389U JP H0648848 Y2 JPH0648848 Y2 JP H0648848Y2
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- Japan
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- wafer
- substrate processing
- cassettes
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Description
【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ この考案は、例えば浸漬型基板処理装置のように、多数
の半導体ウエハ等をウエハカセットに収容したままで表
面処理する装置に関し、さらに詳しくは、カセット二連
式基板処理装置のカセットバッファ停留部に設けられる
カセット整列装置に関するものである。
の半導体ウエハ等をウエハカセットに収容したままで表
面処理する装置に関し、さらに詳しくは、カセット二連
式基板処理装置のカセットバッファ停留部に設けられる
カセット整列装置に関するものである。
＜従来の技術＞ カセット二連式基板処理装置としては、従来より例えば
第６図に示すものが本出願人により開示されている（実
開昭63−180925）。
第６図に示すものが本出願人により開示されている（実
開昭63−180925）。
それは、カセットバッファ停留部２に「ローダ」と称す
るカセット移送手段を前後二連に並設して、ウエハカセ
ットのバッファスペースを確保しつつ、整列配置したウ
エハカセット３を搬送用ロボット４で２個同時に保持し
て搬送し、順次各処理槽５…内にウエハカセット３を浸
漬して所要の表面処理をなし、最後にスピンドライヤ６
で水切り乾燥して、後続のカセットバッファ停留部２に
当該ウエハカセット３を載置するように構成されてい
る。
るカセット移送手段を前後二連に並設して、ウエハカセ
ットのバッファスペースを確保しつつ、整列配置したウ
エハカセット３を搬送用ロボット４で２個同時に保持し
て搬送し、順次各処理槽５…内にウエハカセット３を浸
漬して所要の表面処理をなし、最後にスピンドライヤ６
で水切り乾燥して、後続のカセットバッファ停留部２に
当該ウエハカセット３を載置するように構成されてい
る。
このようなカセット二連式基板処理装置１では、全体の
設置面積を小さくするとともに、各処理槽５…内の処理
液の貯溜量を少なくしてランニングコストの低減を図る
という見地より、２つのウエハカセット３・３をなるべ
く接近させた状態で搬送し、浸漬することが望ましい。
設置面積を小さくするとともに、各処理槽５…内の処理
液の貯溜量を少なくしてランニングコストの低減を図る
という見地より、２つのウエハカセット３・３をなるべ
く接近させた状態で搬送し、浸漬することが望ましい。
一方、スピンドライヤ６で水切乾り燥するには、第５図
に示すように、一対のカセットホルダ７・７を最接近さ
せた受入姿勢Ａで２つのウエハカセット３・３を搬送用
ロボット４から受取り、次いで、同図Ｂのように一対の
カセットホルダ７・７を離間させ、同図Ｃのように一対
のカセットホルダ７・７を横転させてスピンドライ位置
に切り換え、ウエハＷを略水平にした状態で回転体８を
高速回転させ、その遠心力で水切り乾燥するように構成
されている。そして、上記スピンドライ位置Ｃでは両カ
セット３・３内のウエハＷの有効面（表面）が全て上向
きもしくは全て下向きとなるように、カセットホルダ７
・７の横転方向（矢印Ｄ）を考慮して、上記受入姿勢Ａ
では、例えばウエハＷの非有効面が相互に対面するよう
に２つのウエハカセット３・３をカセットホルダ７・７
へ装着する。
に示すように、一対のカセットホルダ７・７を最接近さ
せた受入姿勢Ａで２つのウエハカセット３・３を搬送用
ロボット４から受取り、次いで、同図Ｂのように一対の
カセットホルダ７・７を離間させ、同図Ｃのように一対
のカセットホルダ７・７を横転させてスピンドライ位置
に切り換え、ウエハＷを略水平にした状態で回転体８を
高速回転させ、その遠心力で水切り乾燥するように構成
されている。そして、上記スピンドライ位置Ｃでは両カ
セット３・３内のウエハＷの有効面（表面）が全て上向
きもしくは全て下向きとなるように、カセットホルダ７
・７の横転方向（矢印Ｄ）を考慮して、上記受入姿勢Ａ
では、例えばウエハＷの非有効面が相互に対面するよう
に２つのウエハカセット３・３をカセットホルダ７・７
へ装着する。
なお、各ウエハカセット３・３にはウエハＷの非有効面
側を表示する目印として、例えば切り欠き3cが形成され
ており、従来は作業者がその切り欠き3cを目印にして、
カセットバッファ停留部２のカセット移送手段上へ搬入
されてきたウエハカセット３の向きを揃えていた。つま
り、ウエハの歩留まり向上を考慮して一組のカセット３
・３の向きがスピンドライヤ６の受入姿勢Ａに適合する
向きとなるように、相互の切り欠き3c・3cを対向させて
整列配置していたのである。
側を表示する目印として、例えば切り欠き3cが形成され
ており、従来は作業者がその切り欠き3cを目印にして、
カセットバッファ停留部２のカセット移送手段上へ搬入
されてきたウエハカセット３の向きを揃えていた。つま
り、ウエハの歩留まり向上を考慮して一組のカセット３
・３の向きがスピンドライヤ６の受入姿勢Ａに適合する
向きとなるように、相互の切り欠き3c・3cを対向させて
整列配置していたのである。
＜考案が解決しようとする課題＞ しかるに、近年では無人で24時間稼働可能な工場設備が
要求されるようになり、これに伴って、カセット自動搬
送装置（Auto Guided Vehicle:以下AGVと称する）等で
ウエハカセット３を一方の処理工程から他方の基板処理
工程へ搬送するようになってきた。
要求されるようになり、これに伴って、カセット自動搬
送装置（Auto Guided Vehicle:以下AGVと称する）等で
ウエハカセット３を一方の処理工程から他方の基板処理
工程へ搬送するようになってきた。
従って、AGVでカセットバッファ停留部２へ搬入されて
きたウエハカセット３を作業者に代わってカセット整列
装置で整列配置する必要がある。なお、AGVで搬入され
てきたウエハカセット３の向きは、例えば第３図Ａに示
すように一定方向を向いているため、そのままではスピ
ンドライ工程で不都合を生ずる。
きたウエハカセット３を作業者に代わってカセット整列
装置で整列配置する必要がある。なお、AGVで搬入され
てきたウエハカセット３の向きは、例えば第３図Ａに示
すように一定方向を向いているため、そのままではスピ
ンドライ工程で不都合を生ずる。
なお、カセットバッファ停留部２以外の位置にカセット
整列装置を設けてもよいが、その結果、装置寸法の増大
となることが多く、クリーンルームの省スペース化に反
することになり好ましくない。
整列装置を設けてもよいが、その結果、装置寸法の増大
となることが多く、クリーンルームの省スペース化に反
することになり好ましくない。
本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、カセ
ットバッファ停留部へ搬入されてきた一組のカセットの
向きを人手を介在させずにスピンドライヤの受入姿勢に
適合する向きとなるように整列配置すること、並びにAG
Vへ搬出する際に元の状態に戻すことを技術課題とす
る。
ットバッファ停留部へ搬入されてきた一組のカセットの
向きを人手を介在させずにスピンドライヤの受入姿勢に
適合する向きとなるように整列配置すること、並びにAG
Vへ搬出する際に元の状態に戻すことを技術課題とす
る。
＜課題を解決するための手段＞ 本考案は上記課題を解決するものとして、以下のように
構成される。
構成される。
即ち、カセット二連式基板処理装置のカセットバッファ
停留部に設けられたカセット整列装置であって、搬入さ
れてきたウエハカセットを搬送用ロボットの取出し位置
まで移送する二連の移送手段と、少なくとも一方の移送
手段に付設された方向転換手段とを具備して成り、方向
転換手段で一方のウエハカセットの向きを所定角度水平
旋回させるように構成したことを特徴とするものであ
る。
停留部に設けられたカセット整列装置であって、搬入さ
れてきたウエハカセットを搬送用ロボットの取出し位置
まで移送する二連の移送手段と、少なくとも一方の移送
手段に付設された方向転換手段とを具備して成り、方向
転換手段で一方のウエハカセットの向きを所定角度水平
旋回させるように構成したことを特徴とするものであ
る。
＜作用＞ 本考案では、方向転換手段で一方のウエハカセットの向
きを所定角度水平旋回させることにより、人手を介在す
ることなく、一組みのカセットの向きを前記スピンドラ
イヤの受入姿勢に適合する向きに整列配置する。
きを所定角度水平旋回させることにより、人手を介在す
ることなく、一組みのカセットの向きを前記スピンドラ
イヤの受入姿勢に適合する向きに整列配置する。
＜実施例＞ 第１図は本考案に係るカセット整列装置の第１の実施例
を示す要部縦断面図、第２図はその平面図、第３図はそ
の動作説明図であり、第１図中符号10はカセット整列装
置全体を示す。
を示す要部縦断面図、第２図はその平面図、第３図はそ
の動作説明図であり、第１図中符号10はカセット整列装
置全体を示す。
このカセット整列装置10は前後２連に並設された移送手
段11・11と、一方の移送手段11に付設された方向転換手
段20とを具備して成り、第６図に示したカセット二連式
基板処理装置１のカセットバッファ停留部２に設けられ
ている。
段11・11と、一方の移送手段11に付設された方向転換手
段20とを具備して成り、第６図に示したカセット二連式
基板処理装置１のカセットバッファ停留部２に設けられ
ている。
各移送手段11は、それぞれカセットバッファ停留部２の
前後の両側枠2aに平行レール12を上下２段に固定し、平
行レール12に２つの走行架13・13をを一体で水平走行可
能に架設し、各走行架13・13に昇降ガイド14を介して昇
降フレーム15を搭載し、昇降フレーム15にウエハカセッ
ト３の支持台16を設け、昇降フレーム15をエアシリンダ
17で上下動可能に支持するように構成されており、所定
ピッチＰで配置されたカセット受台18の下側にカセット
支持台16を位置させ、エアシリンダ17を作動させること
によりウエハカセット３をカセット支持台16で持ち上
げ、所定ピッチＰづつウエハカセット３を移送するタク
ト移送機構をなすように構成されている。
前後の両側枠2aに平行レール12を上下２段に固定し、平
行レール12に２つの走行架13・13をを一体で水平走行可
能に架設し、各走行架13・13に昇降ガイド14を介して昇
降フレーム15を搭載し、昇降フレーム15にウエハカセッ
ト３の支持台16を設け、昇降フレーム15をエアシリンダ
17で上下動可能に支持するように構成されており、所定
ピッチＰで配置されたカセット受台18の下側にカセット
支持台16を位置させ、エアシリンダ17を作動させること
によりウエハカセット３をカセット支持台16で持ち上
げ、所定ピッチＰづつウエハカセット３を移送するタク
ト移送機構をなすように構成されている。
また、上記方向転換手段20として、一方の移送手段11の
第１図中左側の昇降フレーム15にロータリアクチェータ
20が付設して成り、ロータリアクチェータ20でカセット
支持台16を略180°水平旋回させ得るように構成されて
いる。
第１図中左側の昇降フレーム15にロータリアクチェータ
20が付設して成り、ロータリアクチェータ20でカセット
支持台16を略180°水平旋回させ得るように構成されて
いる。
次にカセット整列装置の動作を第３図に基づいて説明す
る。
る。
第３図Ａにおいて、AGVで搬入されてきたウエハカセッ
ト３は一定の方向に向いており、その向きのままで受入
れ側（第２図Ｅ）のカセット受台18へ移載される。なお
移載手段としては、AGVとカセットバッファ停留部２と
の間に設けた移載ロボット（図示せず）が用いられる。
ト３は一定の方向に向いており、その向きのままで受入
れ側（第２図Ｅ）のカセット受台18へ移載される。なお
移載手段としては、AGVとカセットバッファ停留部２と
の間に設けた移載ロボット（図示せず）が用いられる。
次いで第３図Ｂにおいて、一方のウエハカセット3aを方
向転換するに先立って、他方のウエハカセット3bを移送
手段11Bで中間位置（第２図Ｆ）のカセット受台18へ移
送し、その後一方のウエハカセット3aをカセット支持台
16で持ち上げて180°方向転換する。これは、一組のウ
エハカセット3a・3bが方向転換時に衝突しないようにす
るためで、一方のウエハカセット3aを十分高く持ち上げ
て方向転換した後、中間のカセット受台18へ同時に移送
してもよい。
向転換するに先立って、他方のウエハカセット3bを移送
手段11Bで中間位置（第２図Ｆ）のカセット受台18へ移
送し、その後一方のウエハカセット3aをカセット支持台
16で持ち上げて180°方向転換する。これは、一組のウ
エハカセット3a・3bが方向転換時に衝突しないようにす
るためで、一方のウエハカセット3aを十分高く持ち上げ
て方向転換した後、中間のカセット受台18へ同時に移送
してもよい。
そして第３図Ｃにおいて、一組のウエハカセット3a・3b
は中間の位置Ｆで前記切り欠き3cが相互に対向する状態
に整列され、再び移送手段11A・11Bで搬送用ロボット４
の取出し位置（第２図Ｇ）まで移送される。つまり、一
組のウエハカセット3a・3bの向きを前記スピンドライヤ
６の受入姿勢（第５図Ａ）に適合する向きとなるように
相互の切り欠き3cを対向させて整列配置し、それらのウ
エハカセット3a・3bを前記搬送用ロボット４で保持、搬
送するように構成される。
は中間の位置Ｆで前記切り欠き3cが相互に対向する状態
に整列され、再び移送手段11A・11Bで搬送用ロボット４
の取出し位置（第２図Ｇ）まで移送される。つまり、一
組のウエハカセット3a・3bの向きを前記スピンドライヤ
６の受入姿勢（第５図Ａ）に適合する向きとなるように
相互の切り欠き3cを対向させて整列配置し、それらのウ
エハカセット3a・3bを前記搬送用ロボット４で保持、搬
送するように構成される。
なお、上記実施例では、カセット受台18を受入れ側Ｅ
と、中間位置Ｆと搬送用ロボットの取出し位置Ｇと３箇
所に配置してウエハカセットのバッファ停留部２を構成
したが、これをさらに増やしてもよい。即ち、カセット
二連式基板処理装置１の処理が円滑に流れるように、上
記ウエハカセット３の方向転換等の時間的余裕を考慮
し、カセット停留部２にバッファ機能を付与するのであ
る。
と、中間位置Ｆと搬送用ロボットの取出し位置Ｇと３箇
所に配置してウエハカセットのバッファ停留部２を構成
したが、これをさらに増やしてもよい。即ち、カセット
二連式基板処理装置１の処理が円滑に流れるように、上
記ウエハカセット３の方向転換等の時間的余裕を考慮
し、カセット停留部２にバッファ機能を付与するのであ
る。
また、上記実施例では、各移送手段11が２つの走行架13
を一体で水平走行可能に架設し、タクト移送機構をなす
ように構成したが、これに限るものではなく、単一の走
行架を備えるものでもよい。
を一体で水平走行可能に架設し、タクト移送機構をなす
ように構成したが、これに限るものではなく、単一の走
行架を備えるものでもよい。
第４図は本考案に係る第２の実施例を示す要部平面図で
ある。この実施例は、前後２連に並設した移送手段11が
ベルト搬送手段Ｖで構成されている点が前記実施例と異
なり、その他の点では基本的に同様な機能を備えてい
る。
ある。この実施例は、前後２連に並設した移送手段11が
ベルト搬送手段Ｖで構成されている点が前記実施例と異
なり、その他の点では基本的に同様な機能を備えてい
る。
即ち、各ベルト搬送手段Ｖは前後一対をなす一組の無端
ベルトV1・V2を備え、一組の無端ベルトV1・V2でウエハ
カセット３の前部及び後部を支持し、間欠的に同期作動
して所定ピッチづつウエハカセット３を移送し得るよう
に構成されている。また、無端ベルトV1・V2はウエハカ
セット３のバッファスペースを確保すべく、所要の長さ
に設定されている。
ベルトV1・V2を備え、一組の無端ベルトV1・V2でウエハ
カセット３の前部及び後部を支持し、間欠的に同期作動
して所定ピッチづつウエハカセット３を移送し得るよう
に構成されている。また、無端ベルトV1・V2はウエハカ
セット３のバッファスペースを確保すべく、所要の長さ
に設定されている。
なお、同図中、符号16は方向転換手段20で支持されたカ
セット支持台であり、同図中仮想線で示すように、搬送
用ロボットの取出し位置Ｇに配置してもよい。
セット支持台であり、同図中仮想線で示すように、搬送
用ロボットの取出し位置Ｇに配置してもよい。
＜考案の効果＞ 以上の説明で明らかなように、本考案では二連に並設し
た移送手段の少なくとも一方に方向転換手段を付設し、
方向転換手段で一方のウエハカセットの向きを所定角度
水平旋回させるように構成したので、カセットバッファ
停留部へ搬入されてきた一組のカセットの向きを、人手
を介在させることなくスピンドライヤの受入れ姿勢に適
合する向きに整列配置することができる。これにより、
無人設備として24時間稼働が可能となる。
た移送手段の少なくとも一方に方向転換手段を付設し、
方向転換手段で一方のウエハカセットの向きを所定角度
水平旋回させるように構成したので、カセットバッファ
停留部へ搬入されてきた一組のカセットの向きを、人手
を介在させることなくスピンドライヤの受入れ姿勢に適
合する向きに整列配置することができる。これにより、
無人設備として24時間稼働が可能となる。
第１図は本考案に係るカセット整列装置の第１の実施例
を示す要部縦断面図、第２図はその平面図、第３図はそ
の動作説明図、第４図は本考案に係る第２の実施例を示
す要部平面図、第５図はスピンドライヤの動作説明図、
第６図はカセット二連式基板処理装置の斜視図である。 １……カセット二連式基板処理装置、２……カセットバ
ッファ停留部、３（3a・3b）……ウエハカセット、４…
…搬送用ロボット、５……処理槽、６……スピンドライ
ヤ、10……カセット整列装置、11……移送手段、20……
方向転換手段、Ａ……スピンドライヤの受入姿勢、Ｇ…
…搬送用ロボットの取出し位置。
を示す要部縦断面図、第２図はその平面図、第３図はそ
の動作説明図、第４図は本考案に係る第２の実施例を示
す要部平面図、第５図はスピンドライヤの動作説明図、
第６図はカセット二連式基板処理装置の斜視図である。 １……カセット二連式基板処理装置、２……カセットバ
ッファ停留部、３（3a・3b）……ウエハカセット、４…
…搬送用ロボット、５……処理槽、６……スピンドライ
ヤ、10……カセット整列装置、11……移送手段、20……
方向転換手段、Ａ……スピンドライヤの受入姿勢、Ｇ…
…搬送用ロボットの取出し位置。
Claims (1)
- 【請求項１】カセット二連式基板処理装置のカセットバ
ッファ停留部に設けられたカセット整列装置であって、 搬入されたウエハカセットを搬送用ロボットの取出し位
置まで移送する二連の移送手段と、少なくとも一方の移
送手段に付設された方向転換手段とを具備して成り、 方向転換手段で一方のウエハカセットの向きを所定角度
水平旋回させることにより、一組のカセットの向きを、
当該基板処理装置のスピンドライヤの受入姿勢に整列配
置することを特徴とするカセット二連式基板処理装置の
カセット整列装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989092323U JPH0648848Y2 (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | カセット二連式基板処理装置のカセット整列装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989092323U JPH0648848Y2 (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | カセット二連式基板処理装置のカセット整列装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0332428U JPH0332428U (ja) | 1991-03-29 |
| JPH0648848Y2 true JPH0648848Y2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=31641760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989092323U Expired - Lifetime JPH0648848Y2 (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | カセット二連式基板処理装置のカセット整列装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648848Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002051904A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-19 | Nippon Kouatsu Electric Co | 香 炉 |
| JP4658308B2 (ja) * | 2000-11-16 | 2011-03-23 | 日本高圧電気株式会社 | 香炉 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS596545A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-13 | Hitachi Ltd | ウエハ乾燥装置 |
| JPS60163436A (ja) * | 1984-02-06 | 1985-08-26 | Seiichiro Sogo | 半導体材料の洗浄乾燥方法 |
-
1989
- 1989-08-04 JP JP1989092323U patent/JPH0648848Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0332428U (ja) | 1991-03-29 |
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