JPH0649523B2 - クリ−ンル−ム内の荷保管設備 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、クリーンルーム内に設置され、例えば半導体
のような塵埃とか温度変化を極端にきらう物品（荷）の
保管に使用されるクリーンルーム内の荷保管設備に関す
るものである。

一般的に荷保管設備は、たとえば特開昭57−156903号公
報に見られるように、上下方向ならびに横方向に複数の
区画収納空間を有する保管棚と、その前面に設けられた
ドアと、これら保管棚とドアの間に配置され、保管棚に
沿った一定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに横方向
出退自在なハンドラを有する搬送手段とから構成され
る。そして保管棚では、その背面にフィルタを取付ける
と共に、このフィルタを通して清浄空気を保管棚に供給
するためダクトが、空気を下吹きする状態で配設されて
いる。

この従来形式によると、ダクト内を下吹きされる空気が
フィルターを通ることで清浄空気になり、そして清浄空
気が保管棚の背面側から搬送手段の走行領域に向けて供
給されることで、製品を、異物が付着することなく保管
などし得るとされている。

しかし、この従来形式の荷保管設備では、保管棚の背面
側から搬送手段の走行領域の方向へ供給された清浄空気
は、本体の前面に設けられたドアに衝突しうず巻き状態
となる。このため、保管棚とドアの間に配置されている
搬送手段から発生する粉塵や搬送手段に付着している粉
塵が舞い上がり、保管棚に収納している製品に付着する
といった事態が生じ、製品が半導体の場合、その特性が
損なわれる。

更に、保管棚の背面側から搬送手段の走行領域の方向へ
流出する清浄空気は製品授受部の開口部から排出される
と考えられるが、その場合は、搬送手段から発生する粉
塵が途中の床面に落ちてたまる。このたまった粉塵がう
ず巻き状態となった空気や搬送手段の走行により舞い上
がって保管棚内の製品に付着したり、又、空気流が開口
部に向って流れるため、開口部近傍の保管棚部分に粉塵
が付着したりして、製品授受部近傍に保管される製品に
粉塵が付着する恐れがある。

また、特開昭57−156903号公報明細書には明示されてい
ないが、仮に保管棚から排出されたエアーの全てが再び
エアー供給装置へ入るならば、エアーは循環状態になり
エアーの温度は上昇する。

また、エアー供給用ダクトが棚上部に配置されているの
で、上昇温度によりエアーは棚上部に滞留し、そのた
め、クリーンルーム全体の温度が次第に上昇する。

ここで棚に保管されている製品がウエハなどの半導体で
ある場合は、微細な温度変化に対して敏感であり、歩留
りに非常に悪影響を及ぼすことになる。

このように従来形式の荷保管設備ではエアーの温度上昇
に対する配慮がなされていない。

本発明の目的とするところは、棚の各区画収納空間にお
いて、その後面側から搬入出装置に対向する前面側に向
けてクリーンエアー流を生ぜしめて、この搬入出装置部
分で発生した塵埃が棚側に移行することを防止し得、し
かもクリーンルーム内で使用しているクリーンエアーの
少なくとも一部をクリーンルーム外の空気と置換し得る
クリーンルーム内の荷保管設備を提供する点にある。

上記目的を達成するために本発明におけるクリーンルー
ム内の荷保管設備は、クリーンルーム内に上下方向なら
びに横方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚
の前面に沿った一定経路上を走行自在で、前記上下方向
ならびに横方向に複数の区画収納空間に対し荷を入出庫
する荷出し入れ機構を昇降自在に有する搬入出装置を設
け、前記棚は、前記搬入出装置に対向する前面を開放
し、後面側の全面にフィルターを配設すると共に、クリ
ーンルーム内の空気を棚の本体内に吸引して前記フィル
ターの後面側からフィルターを通して各区画収納空間に
対し、搬入出装置に対向する前面側に向けてクリーンエ
アーを流出させるエアー供給装置を棚下方部に設け、各
区画収納空間から流出したエアーの少なくとも一部を排
出する床を設けて構成している。

かかる本発明の構成によると、エアー供給装置の作動に
よって、棚の前面側に出てきた微細に温度上昇したクリ
ーンエアーの少なくとも一部を、床を通してクリーンル
ーム外に排出し得ることから、装置全体の温度上昇を抑
えることができる。そしてフィルターを通して生ぜしめ
たクリーンエアーを、棚の各区画収納空間において、そ
の後面側から搬入出装置に対向する前面側に向けて流出
させ、したがって搬入出装置部分で発生した塵埃が棚側
に移行することを防止し得る。これによりクリーンルー
ム内での荷保管の機械化、自動化が可能となる。

以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。１
はクリーンルームで、天井２側からフィルター３を通し
てクリーンエアー４を下吹きし、下降するエアーをメッ
シュ形式の床５を通して該床下に吸引するように構成し
てある。６は棚で所定の通路７を置いて並設してある。
これら棚６は、前面の中間部から上部に亘った部分が開
放する箱状の本体８と、開放部において横方向に多数並
設された縦仕切板９、ならびに上下方向に多数並設され
た横仕切板10とからなり、両仕切板９，10によって上下
方向ならびに横方向に夫々複数の区画収納空間11を形成
する。各区画収納空間11には夫々左右一対の腕木12が配
設され、これら腕木12によって半導体などからなる荷13
を支持する。14は通路７内に配設した搬入出装置で、前
記棚６に沿った一定経路15上を走行自在である。

すなわち通路７の下部には機枠16を介して一対のレール
17が配設され、搬入出装置14の本体18は複数個の車輪19
を介してレール17上に載置してある。そして本体18には
車輪19に連動する走行駆動装置20が設けられ、この走行
駆動装置20は、衝撃の発生し難いＤＣサーボモータなど
から構成すると共に、最下段の区画収納空間11よりも下
方に位置すべく配設している。前記本体18の中央部から
は四角状の角筒体21が立設され、この角筒体21の上端は
天板22により閉塞されると共に、下端は下端開放部23に
形成され、また前面の中央には上下方向のスリット24が
形成されている。前記本体18には下端開放部23に連通す
る上下方向の貫通部25が形成され、また貫通部25に下方
から対向する吸気ファンなどの吸引装置26が配設されて
いる。

27は前記スリット24を通って角筒体21の内外に亘って位
置する可動体で、この角筒体21に沿って昇降自在に配設
してある。すなわち角筒体21内にはＬＭガイド形式の昇
降案内装置28が配設され、この昇降案内装置28は、角筒
体21の後部内面に上下方向に取付けたガイドレール29
と、このガイドレール29に案内され且つ可動体27の後部
に取付けた被ガイド体30とから構成される。

さらに角筒体21内には昇降駆動装置31が配設される。す
なわち昇降駆動装置31は、天板22の近くに配設した上位
輪体32と、下端開放部23の近くに配設した下位輪体33
と、両輪体32,33間に掛張され且つ可動体27に固着され
た索体34と、前記下位輪体33に連動し且つ本体18上に搭
載したインバータ制御モータ35とから構成されている。
前記索体34の後部側経路は角筒体21の後外面側に取付け
た保護体36内に位置し、この保護体36も下端のみ開放し
ている。なおインバータ制御モータ35や走行駆動装置20
の上方には保護カバー37が設けられる。

前記角筒体21内の上端と下端には、夫々ばねなどにより
巻取り付勢されたドラム38,39が配設してあり、これら
ドラム38,39に巻取られるシート幕（ナイロン製など）4
0,41の下端ならびに上端が前記可動体27に固着してあ
る。前記可動体27の前部には昇降台42が一体化され、こ
の昇降台42の上部には横方向出退自在な荷出入れ機構の
一例であるフォーク43が配設される。なお昇降台42に
は、インバータ制御モータなどからなる荷出入れ機構駆
動装置44が設けられる。

前記棚６の本体８内において、全区画収納空間11の後面
側にフィルター（ケミカルフィルター）45を配設し、そ
してフィルター45の後面側に下方からエアーを供給する
ファンなどからなるエアー供給装置46を該本体８内の棚
下方部に配設している。47は漏電ブレーカーを示す。

以下に作用を説明する。搬入出装置14を使用しての、棚
６の目的とする区画収納空間11に対する荷13の出し入れ
は、この搬入出装置14の定経路上での走行動作と、昇降
台42の昇降動作と、フォーク43の横方向出退動作との組
合わせ動作により行なえる。その際に腕木12に支持させ
た荷13や、この荷13の出し入れを行なうフォーク43など
から塵埃が発生して落下したとき、この塵埃はその下方
に位置している横仕切板10で受止められることになり、
したがって下段区画収納空間11を保管している荷13上に
落下堆積することは防止される。

このような作業中において、クリーンルーム１内では、
フィルター３を通って下吹きされるクリーンエアー４が
下降し、そして下降するエアーを床５下に吸引すること
から、そのクリーン度は確保されている。またフォーク
43などを支持する可動体42の昇降時においては、シート
幕40,41のうちの一方が自動的に繰出され、また他方が
巻取られることから、この可動体27が通るスリット24は
常に内側からシールされた状態にある。したがって角筒
体21内に配設した昇降案内装置28や昇降駆動装置31から
発生した塵埃は該角筒体21内にとどまって棚６側に移行
するのを防止し得る。

その際に作動されている吸引装置26によって下端開放部
23に吸引力が作用していることから、前述したように角
筒体21内にとどまっている塵埃は吸引流に乗って下端開
放部23から貫通部25を通って床５に向けて排出され、全
て床５下に吸引除去されることになる。また、このよう
な作用中において角筒体21内が負圧化されようとする
が、これはスリット24を通ってのクリーンエアー４の流
入によって解消できる。さらに外から内へのクリーンエ
アー４の流入により、スリット24を通っての塵埃の流出
を確実に防止し得る。その際にクリーンエアー14の流入
は、シート幕40,41による規制でスリット24の長さ方向
においてほぼ均一に行なわれることから、角筒体21内の
上下方向のどの位置で発生した塵埃でも確実に除去し得
る。

前記棚６においては、エアー供給装置46の作動によっ
て、クリーンルーム１内の空気を本体８内に吸引すると
共に、フィルター45に対して後面側から供給する。これ
により空気はフィルター45を通ってクリーンエアー48と
なり、そして各区画収納空間11において、その後面側か
ら搬入出装置14に対向する前面側に向けて流出させ得
る。

上記クリーンルーム１の空気を本体８内に吸引する場
合、例えばその吸入口を棚６の前面下部にのみ設けた場
合は、区画収納空間11から流出したクリーンエアー48は
通路７間を下方に流れて棚前面下部の吸入口へ吸引され
るので、通路７間を下降するエアーはみだれることなく
強力な下降エアー流となる。しかし、棚６の前面下部に
設けた吸入口から吸引された空気はエアー供給装置46で
あるファンにより再び棚へ送り出されるため、ファンを
通る空気は循環状態となり、ファンの発熱を除去する配
慮がない場合は空気の温度が次第に上昇することにな
る。このため、棚６に保管されている荷13が半導体の場
合、微細な温度変化に対して非常に敏感であることか
ら、この温度上昇により歩どまりに多大な影響を及ぼ
す。

また、ファンの吸入口を棚前面下部と棚後面下部に設け
た場合、区画収納空間11から流出したクリーンエアー48
の一部は棚前面下部の吸入口へ、残りは棚後面下部の吸
入口へ吸引されることになる。このため、通路７を下降
し棚前面下部の吸入口へ吸引される一部のエアーはみだ
れることなく、下降エアー流となるが、ファンにより再
び棚６へ送り出されるのでファンを通る空気は循環状態
になり、ファンの発熱により空気の温度が次第に上昇す
る。一方、棚後面下部の吸入口へ吸引される残りのエア
ーも循環エアーとなるためファンを通る空気の温度は次
第に上昇する。それゆえ、棚６に保管される半導体の歩
どまりに多大な影響を及ぼす。

また、ファンの吸入口を棚６の後面下部に設けた場合で
も区画収納空間11から流出したクリーンエアー48は棚後
面下部の吸入口へ吸引され、循環エアーとなるため、フ
ァンを通る空気の温度は次第に上昇する。それゆえ、こ
の場合においても、棚６に保管される半導体の歩どまり
に多大な影響を及ぼす。

上記した本発明の構成によると次のような効果を期待で
きる。すなわちエアー供給装置の作動により棚の前面側
に出てきた微細に温度上昇したクリーンエアーの少なく
とも一部を、床を通してクリーンルーム外に排出するか
ら装置全体の温度上昇を抑えることができる。また、各
区画収納空間から流出したエアーを下方に吸引させるよ
うに構成したので、各区画収納空間から流出したエアー
が通路でうず巻き状態になることがなく、搬入出装置か
ら発生する粉塵が舞い上がり、保管棚に収納されている
製品に粉塵が付着するといったことがない。更に、通路
床面に粉塵がたまることがないので各区画収納空間から
流出するエアーにより床面から粉塵が舞い上がり、保管
棚に収納されている製品に粉塵が付着するといった事態
は生じない。

従って、本発明の荷保管設備は半導体のように温度変化
や粉塵を極端にきらう物品に悪影響を及ぼすことを防止
し、歩どまりに好適な荷保管を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は側面図、第２
図は平面図、第３図は一部切欠正面図、第４図は搬入出
装置の一部切欠側面図、第５図は同一部切欠平面図、第
６図は棚の側面図である。 １……クリーンルーム、２……天井、３……フィルタ
ー、４……クリーンエアー、５……床、６……棚、８…
…本体、９……縦仕切板、10……横仕切板、11……区画
収納空間、12……腕木、13……荷、14……搬入出装置、
15……一定経路、43……フォーク（荷出入れ機構の一
例）、45……フィルター、46……エアー供給装置、48…
…クリーンエアー。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】クリーンルーム内に上下方向ならびに横方
   向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚の前面に
   沿った一定経路上を走行自在で、前記上下方向ならびに
   横方向に複数の区画収納空間に対し荷を入出庫する荷出
   し入れ機構を昇降自在に有する搬入出装置を設け、前記
   棚は、前記搬入出装置に対向する前面を開放し、後面側
   の全面にフィルターを配設すると共に、クリーンルーム
   内の空気を棚の本体内に吸引して前記フィルターの後面
   側からフィルターを通して各区画収納空間に対し、搬入
   出装置に対向する前面側に向けてクリーンエアーを流出
   させるエアー供給装置を棚下方部に設け、各区画収納空
   間から流出したエアーの少なくとも一部を排出する床を
   設けたことを特徴とするクリーンルーム内の荷保管設
   備。