JPH09150912A - クリーン装置付き荷保管設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 空気中の化学物質（ケミカルコンタミネーシ
ョン）などをフィルターにより充分に補足できず、棚に
保管されている製品がウエハなどの半導体である場合、
半導体に化学物質が付着して汚染されるなど、歩留りに
非常に悪影響を及ぼしている。 【解決手段】 エアー供給装置20の作動により棚装置10
外のエアー4Ａを、エアー吸引部22を通して吸引する際
に、エアー4Ａを化学フィルター23に通す。各種の化学
物質などを化学フィルター23によって充分に補足して、
化学物質が混在していないエアー4Ａにする。エアーを
フィルター18に対して後面側から供給して、化学物質が
混在していないクリーンエアー28にしたのち、クリーン
エアー28を、区画収納空間16の後面側から出し入れ装置
30に対向する前面側に向けて流出させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば半導体の
ような塵埃とか温度変化を極端にきらう物品（荷）の保
管に使用されるクリーン装置付き荷保管設備に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の設備としては、たとえば
特開平３−192005号公報に見られるクリーンルーム内の
荷保管設備が提供されている。すなわち、この従来設備
は、クリーンルーム内に、上下方向ならびに横方向に複
数の区画収納空間を有する棚と、この棚の前面に沿った
一定経路上を走行自在でかつ前記区画収納空間に対し荷
の入出庫を行う搬入出装置とが設けられている。そして
棚は、搬入出装置に対向する前面が開放され、後面側の
全面にフィルターが配設されている。さらに棚下方部に
は、クリーンルーム内の空気を棚本体内に吸引してフィ
ルターの後面側からフィルターを通して各区画収納空間
に対し、搬入出装置に対向する前面側に向けてクリーン
エアーを流出させるエアー供給装置が設けられている。

【０００３】この従来構成によると、エアー供給装置の
作動によって、クリーンルーム内の空気がフィルターに
通されることでクリーンエアーとなり、このクリーンエ
アーが、棚の各区画収納空間において、その後面側から
搬入出装置に対向する前面側に向けて流出されること
で、搬入出装置部分で発生した塵埃が棚側に移行するこ
とを防止している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
設備によると、空気中の化学物質（ケミカルコンタミネ
ーション）などをフィルターにより充分に補足できず、
したがって、棚に保管されている製品がウエハなどの半
導体である場合は、この半導体に化学物質が付着して汚
染されるなど、歩留りに非常に悪影響を及ぼすことにな
る。

【０００５】そこで本発明のうち請求項１記載の発明
は、空気中の化学物質を充分に補足し得るクリーン装置
付き荷保管設備を提供することを目的としたものであ
る。また請求項２記載の発明は、化学物質をより充分に
補足し得るクリーン装置付き荷保管設備を提供すること
を目的としたものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のうちで請求項１記載のクリーン装置付
き荷保管設備は、上下方向ならびに横方向に複数の区画
収納空間を有する棚装置と、この棚装置の前面に沿った
一定経路上を走行自在で、前記上下方向ならびに横方向
に複数の区画収納空間に対し荷を入出庫する出し入れ装
置を設け、前記棚装置の棚は、前記出し入れ装置に対向
する前面を開放するとともに、後面側の全面にフィルタ
ーを配設し、前記棚装置外のエアーを棚装置内に吸引し
て前記フィルターの後面側からフィルターを通してクリ
ーンエアーとしたのち、このクリーンエアーを各区画収
納空間に対し、出し入れ装置に対向する前面側に向けて
流出させるエアー供給装置を設け、棚装置外からのエア
ー吸引部に化学フィルターを設けたことを特徴としたも
のである。

【０００７】したがって請求項１の発明によると、エア
ー供給装置の作動により棚装置外のエアーを、エアー吸
引部を通して吸引し得、その際にエアーを化学フィルタ
ーに通すことで、各種の化学物質などを化学フィルター
によって充分に補足し得、以て化学物質が混在していな
いエアーにし得る。そしてエアーをフィルターに対して
後面側から供給して、化学物質が混在していないクリー
ンエアーにしたのち、このクリーンエアーを、各区画収
納空間の後面側から出し入れ装置に対向する前面側に向
けて流出し得る。

【０００８】また本発明の請求項２記載のクリーン装置
付き荷保管設備は、上記した請求項１記載の構成におい
て、棚の後面側に配設されるフィルターを化学フィルタ
ーにより構成したことを特徴としたものである。

【０００９】したがって請求項２の発明によると、化学
物質が混在していないエアーを、再度、化学フィルター
に通すことになって、各種の化学物質を、より充分に補
足し得る。

【００１０】そして本発明の請求項３記載のクリーン装
置付き荷保管設備は、上記した請求項１または２記載の
構成において、クリーンルーム内に設置されることを特
徴としたものである。

【００１１】したがって請求項３の発明によると、棚装
置外からクリーンエアーを吸引して、化学フィルターに
通し得る。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を、
クリーンルーム内に設置した状態として図１〜図４に基
づいて説明する。

【００１３】図１、図２において、クリーンルーム１
は、天井２側からフィルター（高性能フィルター）３を
通してクリーンエアー４が下吹きされ、下降されるクリ
ーンエアー４がメッシュ形式の床５を通して床下に吸引
されるように構成されている。

【００１４】所定の通路６を置いて並設された一対の棚
装置10は、それぞれ下枠体11と、この下枠体11上に一体
化された棚12と、この棚12の前面側を除いて下枠体11か
ら棚12に亘っての周囲に配設されたカバー状の囲壁体17
とにより構成される。前記両棚12は、前面と後面とが開
放された箱状の棚本体13と、棚本体13内において横方向
に多数並設された縦仕切板14、ならびに上下方向に多数
並設された横仕切板15とからなり、両仕切板14，15によ
って上下方向ならびに横方向にそれぞれ複数の区画収納
空間16が形成されている。そして各区画収納空間16にお
いて、半導体などからなる荷９が支持される。

【００１５】前記棚装置10内において、前記棚本体13の
後面側、すなわち全区画収納空間16の後面側の全面に高
性能フィルター（フィルター）18が配設され、そして高
性能フィルター18の後面側と、この後方に位置される囲
壁体17との間にエアー路空間19が形成されている。前記
下枠体11内には、前記棚装置10外のエアー４Ａを棚装置
10内に吸引して前記エアー路空間19に供給するエアー供
給装置（ファンなど）20が配設されている。

【００１６】前記下枠体11の前面には、少なくとも一部
が開放されて通路６側からのクリーンエアーを吸引自在
なクリーンエアー吸引部21が形成され、また後面には、
少なくとも一部が開放されて棚装置10外からのエアーを
吸引自在なエアー吸引部22が形成されている。そして棚
装置10外からのエアー吸引部22には、化学フィルター
（ケミカルフィルター）23が設けられている。

【００１７】両棚装置10の上端間は、通路６の上部閉塞
を兼用する上部材25により連結され、そして両棚装置10
の側端間は、通路６の側部閉塞を兼用する側部材26によ
り連結され、さらに両棚装置10の下端間は、通路６の下
部を開放させる下部材27により連結されている。なお下
部材27により両棚装置10のベース枠を兼用してもよい。

【００１８】前記通路６内には、前記棚装置10の前面に
沿った一定経路７上を走行自在な出し入れ装置30が配設
されている。すなわち図１〜図４において、通路６の下
部で下部材27上には、機枠31を介して一対のレール32が
配設され、出し入れ装置30の本体33は、複数個の車輪34
を介してレール32上に載置されている。そして本体33に
は車輪34に連動する走行駆動装置35が設けられ、この走
行駆動装置35は、衝撃の発生し難いＤＣサーボモータな
どから構成されるとともに、最下段の区画収納空間16よ
りも下方に位置すべく配設されている。

【００１９】前記本体33の中央部からは四角状の角筒体
36が立設され、この角筒体36の上端は天板37により閉塞
されるとともに、下端は下端開放部38に形成され、また
前面の中央には上下方向のスリット39が形成されてい
る。前記本体33には下端開放部38に連通する上下方向の
貫通部40が形成され、また貫通部40に下方から対向され
る吸気ファンなどの吸引装置41が配設されている。

【００２０】前記スリット39を通って角筒体36の内外に
亘って位置される可動体42が設けられ、この可動体42
は、角筒体36に沿って昇降自在に配設されている。すな
わち、角筒体36内にはＬＭガイド形式の昇降案内装置43
が配設され、この昇降案内装置43は、角筒体36の後部内
面に上下方向に取り付けられたガイドレール44と、この
ガイドレール44に案内されかつ可動体42の後部に取り付
けられ被ガイド体45などから構成される。

【００２１】さらに角筒体36内には昇降駆動装置46が配
設される。すなわち昇降駆動装置46は、天板37の近くに
配設された上位輪体47と、下端開放部38の近くに配設さ
れた下位輪体48と、両輪体47,48 間に掛張されかつ可動
体42に固着された索体49と、下位輪体48に連動されかつ
本体33上に搭載されたインバータ制御モータ50などから
構成されている。前記索体49の後部側経路は角筒体36の
後外面側に取り付けられた保護体51内に位置され、この
保護体51も下端のみ開放されている。なおインバータ制
御モータ50や走行駆動装置35の上方には保護カバー52が
設けられる。

【００２２】前記角筒体36内の上端と下端には、それぞ
ればねなどにより巻き取り付勢されたドラム53，54が配
設されており、これらドラム53，54に巻き取られるシー
ト幕（ナイロン製など）55，56の下端ならびに上端が前
記可動体42に固着されている。前記可動体42の前部には
キャレッジ57が一体化され、このキャレッジ57の上部に
は、横方向出退により前記区画収納空間16に対して荷９
の入出庫を行う出し入れ具（フォーク体）58が配設さて
いれる。なおキャレッジ57には、インバータ制御モータ
などからなる出し入れ具駆動装置59が設けられる。

【００２３】以下に、上記した実施の形態における作用
を説明する。クリーンルーム１内では、フィルター３を
通って下吹きされるクリーンエアー４が下降し、そして
下降するエアーを床５下に吸引することから、クリーン
ルーム１内のクリーン度は確保されている。

【００２４】また前記棚装置10においては、エアー供給
装置20の作動によって、クリーンルーム１内のエアー、
すなわち棚装置10外のエアー４Ａがエアー吸引部22を通
して吸引されるとともに、通路６内のクリーンエアー28
がクリーンエアー吸引部21を通して吸引され、これらエ
アー４Ａ，28は混合エアー29となってエアー路空間19に
供給される。その際に棚装置10外のエアー４Ａは、化学
フィルター23を通ることで各種の化学物質（ケミカルコ
ンタミネーション）などが、この化学フィルター23によ
って充分に補足され、以て化学物質が混在していないエ
アー４Ａとなってクリーンエアー28と混合される。

【００２５】前述したようにエアー路空間19に供給され
た混合エアー29は、高性能フィルター18に対して後面側
から供給され、これにより混合エアー29は高性能フィル
ター18を通って化学物質が混在していないクリーンエア
ー28となる。そしてクリーンエアー28は各区画収納空間
16において、その後面側から出し入れ装置30に対向する
前面側に向けて流出され、以て各区画収納空間16内、す
なわち荷９の清浄化を図り得るとともに、荷９に対する
化学物質の付着を防止し得る。なお通路６内のクリーン
エアー28の一部は、下部材27などを通して床下に流出さ
れる。

【００２６】このような条件下において、出し入れ装置
30を使用しての、棚12の目的とする区画収納空間16に対
する荷９の出し入れは、この出し入れ装置30の一定経路
７上での走行動作と、キャレッジ57の昇降動作と、出し
入れ具58の横方向出退動作との組合わせ動作により行え
る。その際に区画収納空間16内の荷９や、この荷９の出
し入れを行う出し入れ具58などから塵埃が発生して落下
したとき、この塵埃はその下方に位置している横仕切板
15で受止められることになり、したがって下段区画収納
空間16で保管している荷９上に落下し堆積することは防
止される。

【００２７】また出し入れ具58などを支持するキャレッ
ジ57の昇降時においては、シート幕55,56 のうちの一方
が自動的に繰出され、また他方が巻取られることから、
可動体42が通るスリット39は常に内側からシールされた
状態にある。したがって角筒体36内に配設した昇降案内
装置43や昇降駆動装置46から発生した塵埃は、この角筒
体36内にとどまって棚12側に移行するのを防止し得る。

【００２８】その際に作動されている吸引装置41によっ
て下端開放部38に吸引力が作用していることから、前述
したように角筒体36内にとどまっている塵埃は吸引流に
乗って下端開放部38から貫通部40を通って床５に向けて
排出され、全て床５下に吸引除去されることになる。ま
た、このような作用中において角筒体36内が負圧化され
ようとするが、これはスリット39を通ってのクリーンエ
アー28の流入によって解消できる。さらに外から内への
クリーンエアー28の流入により、スリット39を通っての
塵埃の流出を確実に防止し得る。その際にクリーンエア
ー28の流入は、シート幕55,56 による規制でスリット39
の長さ方向においてほぼ均一に行なわれることから、角
筒体36内の上下方向のどの位置で発生した塵埃でも確実
に除去し得る。

【００２９】上述した実施の形態のように、クリーンル
ーム１内の低温のエアー４Ａをエアー吸引部22から吸引
するとともに、通路６内の少し高温のクリーンエアー28
をクリーンエアー吸引部21から吸引し、そして通路６内
の少し高温のクリーンエアー28の一部を床下に流出させ
ることで、棚装置10内で循環状のエアーが、エアー供給
装置（ファン）20を通ることで次第に高温化されること
を防止し得る。このため、荷９が、微細な温度変化に対
して非常に敏感である半導体の場合でも、棚装置10に好
適に保管し得る。

【００３０】次に、本発明の別の実施の形態を、図５に
基づいて説明する。すなわち棚12の後面側に配設される
フィルターも化学フィルター60により構成されている。

【００３１】この別の実施の形態によると、混合エアー
29を化学フィルター60に通すことになって、各種の化学
物質は、より充分に補足される。上記した実施の形態で
は、棚12の後面側に配設される高性能フィルター18や化
学フィルター60に対して、エアー供給装置20が離れて設
けられた形式を示したが、これは高性能フィルター18や
化学フィルター60が複数に分割され、各分割体のそれぞ
れにエアー供給装置が一体状に設けられた形式であって
もよい。

【００３２】上記した実施の形態では、一対の棚装置10
と出し入れ装置30との組み合わせ形式を示したが、これ
は一個の棚装置10と出し入れ装置30との組み合わせ形式
であってもよい。

【００３３】上記した実施の形態では、通路６内の上部
が上部材25により閉塞されているが、これは上部材25に
開放部を形成して、クリーンエアー４の一部を通路６内
で流下させてもよい。

【００３４】

【発明の効果】上記した本発明の請求項１によると、エ
アー供給装置の作動により棚装置外から吸引したエアー
を化学フィルターに通すことで、各種の化学物質などを
化学フィルターによって充分に補足でき、化学物質が混
在していないエアーにできる。そしてエアーを、フィル
ターに供給することで化学物質が混在していないクリー
ンエアーにできるとともに、各区画収納空間の後面側か
ら出し入れ装置に対向する前面側に向けて流出でき、以
て各区画収納空間内、すなわち荷の清浄化を図ることが
できるとともに、荷に対する化学物質の付着を防止でき
る。したがって、棚に保管されている製品がウエハなど
の半導体である場合は、この半導体が化学物質に汚染さ
れることを防止でき、歩どまりに好適な荷保管を行なう
ことができる。

【００３５】また上記した本発明の請求項２によると、
化学物質が混在していないエアーを、再度、化学フィル
ターに通すことで、各種の化学物質を、より充分に補足
できる。

【００３６】そして上記した本発明の請求項３による
と、棚装置外からクリーンエアーを吸引して、化学フィ
ルターに通すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の一例を示し、クリーン装
置付き荷保管設備の一部切り欠き正面図である。

【図２】同クリーン装置付き荷保管設備の一部切り欠き
側面図である。

【図３】同クリーン装置付き荷保管設備における出し入
れ装置部分の一部切り欠き側面図である。

【図４】同クリーン装置付き荷保管設備における出し入
れ装置部分の一部切り欠き平面図である。

【図５】本発明の別の実施の形態を示し、クリーン装置
付き荷保管設備の一部切り欠き正面図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム ４Ａ エアー ７ 一定経路 ９ 荷 10 棚装置 12 棚 13 棚本体 16 区画収納空間 17 囲壁体 18 高性能フィルター 19 エアー路空間 20 エアー供給装置 21 クリーンエアー吸引部 22 エアー吸引部 23 化学フィルター 28 クリーンエアー 29 混合エアー 30 出し入れ装置 57 キャレッジ 58 出し入れ具 60 化学フィルター

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下方向ならびに横方向に複数の区画収
   納空間を有する棚装置と、この棚装置の前面に沿った一
   定経路上を走行自在で、前記上下方向ならびに横方向に
   複数の区画収納空間に対し荷を入出庫する出し入れ装置
   を設け、前記棚装置の棚は、前記出し入れ装置に対向す
   る前面を開放するとともに、後面側の全面にフィルター
   を配設し、前記棚装置外のエアーを棚装置内に吸引して
   前記フィルターの後面側からフィルターを通してクリー
   ンエアーとしたのち、このクリーンエアーを各区画収納
   空間に対し、出し入れ装置に対向する前面側に向けて流
   出させるエアー供給装置を設け、棚装置外からのエアー
   吸引部に化学フィルターを設けたことを特徴とするクリ
   ーン装置付き荷保管設備。
2. 【請求項２】 棚の後面側に配設されるフィルターを化
   学フィルターにより構成したことを特徴とする請求項１
   記載のクリーン装置付き荷保管設備。
3. 【請求項３】 クリーンルーム内に設置されることを特
   徴とする請求項１または２記載のクリーン装置付き荷保
   管設備。